JP2007253447A - Relief printing plate for printing and printed matter - Google Patents

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JP2007253447A JP2006080354A JP2006080354A JP2007253447A JP 2007253447 A JP2007253447 A JP 2007253447A JP 2006080354 A JP2006080354 A JP 2006080354A JP 2006080354 A JP2006080354 A JP 2006080354A JP 2007253447 A JP2007253447 A JP 2007253447A
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Hironori Kawakami
宏典 川上
Koji Takeshita
耕二 竹下
Takahisa Shimizu
貴央 清水
Nahoko Inoguchi
奈歩子 猪口
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Toppan Inc
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Toppan Printing Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a relief printing plate for a highly precise printing capable of forming an ink pattern requiring an extremely high printing accuracy represented by a case where an organic light emitting layer in an organic EL element is formed by using an organic light emitting ink by a relief printing process. <P>SOLUTION: In the relief printing plate 104 for printing in which an ink 108 is fed on a projecting part pattern of the relief printing plate 104, the ink 108 on the projecting part pattern is transferred on a body 106 to be printed, and an ink pattern 108a is formed on the surface of the body 106 to be printed, the relief printing plate for the highly precise printing is characterized in that a mean roughness Rz of ten points on the surface of the projecting part pattern of the relief printing plate 104 for printing is ≤25% of the length of the shortest side of the projecting part pattern. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、凸版印刷法に用いられる印刷用凸版、また、該印刷用凸版を用い製造された印刷物に関するものである。この印刷物としては有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子)が例示でき、この有機EL素子の有機発光層等の有機EL層のうち少なくとも1層を凸版印刷法により形成することができる。また、前記印刷物としては、有機EL素子の他にカラーフィルタ、回路基材、薄膜トランジスタ、マイクロレンズ、バイオチップ等を印刷物として例示することができる。   The present invention relates to a printing relief plate used in a relief printing method, and a printed matter produced using the printing relief plate. As this printed matter, an organic electroluminescence element (hereinafter referred to as an organic EL element) can be exemplified, and at least one layer of organic EL layers such as an organic light emitting layer of the organic EL element can be formed by a relief printing method. Moreover, as said printed matter, a color filter, a circuit base material, a thin-film transistor, a microlens, a biochip etc. other than an organic EL element can be illustrated as printed matter.

有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子とする)は、二つの対向する電極の間に有機発光材料からなる有機発光層を形成し、有機発光層に電流を流すことで発光させるものであるが、効率良く発光させるには発光層の膜厚が重要であり、100nm程度の薄膜にする必要がある。さらに、これをディスプレイ化するには高精細にパターニングする必要がある。   An organic electroluminescence element (hereinafter referred to as an organic EL element) is an element in which an organic light emitting layer made of an organic light emitting material is formed between two opposing electrodes, and light is emitted by passing a current through the organic light emitting layer. In order to emit light efficiently, the thickness of the light emitting layer is important, and it is necessary to form a thin film of about 100 nm. Further, in order to make this a display, it is necessary to pattern it with high definition.

有機発光材料には、低分子材料と高分子材料があり、一般に低分子材料は抵抗加熱蒸着法等により薄膜形成し、このときに微細パターンのマスクを用いてパターニングするが、この方法では基板が大型化すればするほどパターニング精度が出にくいという問題がある。   Organic light-emitting materials include low-molecular materials and high-molecular materials. In general, low-molecular materials are formed into thin films by resistance heating vapor deposition or the like, and then patterned using a fine pattern mask. There is a problem that the patterning accuracy is less likely to increase as the size increases.

そこで、最近では有機発光材料に高分子材料を用い、有機発光材料を溶剤に溶かして塗工液にし、これをウェットコーティング法で薄膜形成する方法が試みられるようになってきている。薄膜形成するためのウェットコーティング法としては、スピンコート法、バーコート法、突出コート法、ディップコート法等があるが、高精細にパターニングしたりRGB3色に塗り分けしたりするためには、これらのウェットコーティング法では難しく、塗り分けパターニングを得意とする印刷法による薄膜形成が最も有効であると考えられる。   Therefore, recently, a method of using a polymer material as an organic light emitting material, dissolving the organic light emitting material in a solvent to form a coating liquid, and forming a thin film by a wet coating method has been tried. As the wet coating method for forming a thin film, there are a spin coating method, a bar coating method, a protruding coating method, a dip coating method, and the like. However, it is considered difficult to form a thin film by a printing method that is good at coating patterning.

さらに各種印刷法の中でも、有機EL素子やディスプレイでは、基板としてガラス基板を用いることが多いため、グラビア印刷法等のように金属製の印刷版等の硬い版を用いる方法は不向きであり、弾性を有するゴム版を用いたオフセット印刷法や、ゴムやその他の樹脂を主成分とした感光性樹脂版を用いる凸版印刷法が適正である。実際にこれらの印刷法の試みとして、オフセット印刷による方法(特許文献1)、凸版印刷による方法(特許文献2)などが提唱されている。
特開2001−93668号公報 特開2001−155858号公報
Furthermore, among various printing methods, organic EL elements and displays often use a glass substrate as a substrate, and therefore methods such as gravure printing that use hard plates such as metal printing plates are unsuitable and elastic. An offset printing method using a rubber plate having a stencil and a relief printing method using a photosensitive resin plate mainly composed of rubber or other resin are appropriate. Actually, as a trial of these printing methods, a method by offset printing (Patent Document 1), a method by letterpress printing (Patent Document 2) and the like have been proposed.
JP 2001-93668 A JP 2001-155858 A

有機EL素子において有機発光層のパターンは、テレビ用途の大型ディスプレイの場合、例えば対角40インチのワイドディスプレイではライン幅が100μm、画素ピッチが500μmとなる。また、携帯電話などの小型ディスプレイの場合、例えば対角2インチで主流のQVGA(320×240画素)では、1角サブピクセルの幅は40μm、画素ピッチは120μmとなる。このように高精細なディスプレイを有機発光材料を溶媒に溶解又は分散させた有機発光インキを用い凸版印刷法により形成しようとした場合、±5μmといった非常に高い印刷精度を必要とされる。このとき、形成された有機発光層のパターン精度が悪いときには、電極層もしくは正孔輸送層や電子輸送層といったキャリア輸送層が直接触れてしまうことによる短絡や、異なる発光色を有する有機発光層による混色が発生してしまう。   In the case of a large display for television use, the pattern of the organic light emitting layer in the organic EL element has a line width of 100 μm and a pixel pitch of 500 μm, for example, in a wide display with a diagonal of 40 inches. In the case of a small display such as a mobile phone, for example, in a mainstream QVGA (320 × 240 pixels) with a diagonal size of 2 inches, the width of one corner subpixel is 40 μm and the pixel pitch is 120 μm. When a high-definition display is to be formed by a relief printing method using an organic light-emitting ink in which an organic light-emitting material is dissolved or dispersed in a solvent, a very high printing accuracy of ± 5 μm is required. At this time, when the pattern accuracy of the formed organic light emitting layer is poor, a short circuit due to direct contact with the electrode transport layer such as the electrode layer or the hole transport layer or the electron transport layer, or an organic light emitting layer having a different light emission color. Color mixing will occur.

また、形成される有機発光層の膜厚は50〜150nm程度と非常に薄い層である。そして、形成される有機発光層は膜厚が均一で高平滑であることが要求される。形成された有機発光層の膜厚が不均一な場合は、膜厚が厚い箇所にあっては電流が流れにくくなり、膜厚の薄い箇所では電流のリークが発生するため、不均一な発光となり、発光ムラが発生してしまう。   Moreover, the film thickness of the organic light emitting layer to be formed is a very thin layer of about 50 to 150 nm. The formed organic light emitting layer is required to have a uniform film thickness and high smoothness. If the thickness of the formed organic light emitting layer is not uniform, current will not flow easily at the thick part, and current leakage will occur at the thin part, resulting in uneven light emission. Uneven light emission occurs.

そこで、本発明では、有機EL素子における有機発光層を有機発光インキを用いて凸版印刷法により形成する場合に代表される、非常に高い印刷精度が必要とされるインキパターンを形成することが可能な高精細印刷用凸版を提供することを目的とする。   Therefore, in the present invention, it is possible to form an ink pattern that requires a very high printing accuracy, as typified by forming an organic light emitting layer in an organic EL element by a relief printing method using an organic light emitting ink. An object is to provide a relief printing plate for high-definition printing.

本発明者らは、凸版印刷法によって得られるインキパターンにおいて精度の高い印刷パターンを得るためには、凸版印刷に用いられる印刷用凸版の表面粗さが大きく係っていることを見い出した。   The present inventors have found that the surface roughness of a printing relief plate used for relief printing is greatly related to obtaining a highly accurate printing pattern in the ink pattern obtained by the relief printing method.

そこで、請求項1に係る発明は、インキを凸版の凸部パターンに供給し、凸部パターンにあるインキを被印刷体に転写し、被印刷体表面にインキパターンを形成する際に用いる印刷用凸版において、該印刷用凸版の凸部パターン表面の十点平均粗さRzが、凸部パターンの最短辺の長さの25%以下であることを特徴とする高精細印刷用凸版とした。   Accordingly, the invention according to claim 1 is for printing used when supplying ink to a convex pattern of a relief plate, transferring the ink in the convex pattern to the printing medium, and forming an ink pattern on the surface of the printing medium. In the relief plate, a ten-point average roughness Rz of the convex pattern surface of the printing relief plate is 25% or less of the length of the shortest side of the convex pattern.

また、請求項2に係る発明は、前記印刷用凸版の凸部パターンが樹脂からなることを特徴とする請求項1記載の印刷用凸版とした。   The invention according to claim 2 is the printing relief plate according to claim 1, wherein the convex pattern of the printing relief plate is made of a resin.

また、請求項3に係る発明は、前記印刷用凸版の凸部パターンが水溶性ポリマーを含むことを特徴とする請求項1または2記載の印刷用凸版の製造方法とした。   The invention according to claim 3 is the method for producing a printing relief plate according to claim 1 or 2, wherein the convex pattern of the printing relief plate contains a water-soluble polymer.

また、請求項4に係る発明は、基材上に感光性樹脂層を設けた版材を用い、該版材をフォトマスクを用い露光する工程と、該露光した版材を現像することにより凸部パターンを形成することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の印刷用凸版の製造方法とした。   According to a fourth aspect of the present invention, a plate material having a photosensitive resin layer provided on a substrate is used, and the plate material is exposed by using a photomask, and the exposed plate material is developed to develop the projection. 4. A method for producing a relief printing plate according to claim 1, wherein a part pattern is formed.

また、請求項5に係る発明は、インキ供給体からインキを請求項1乃至3のいずれかに記載の印刷用凸版の凸部パターンに供給する工程と、該印刷用凸版の凸部パターンにあるインキを被印刷体表面に転写し、該被印刷体表面にインキパターンを形成する工程を有することを特徴とする印刷物の製造方法とした。   The invention according to claim 5 is the step of supplying ink from the ink supply to the convex pattern of the printing relief plate according to any one of claims 1 to 3, and the convex pattern of the printing relief plate It was set as the manufacturing method of the printed matter characterized by having the process of transferring ink to the to-be-printed body surface, and forming an ink pattern in the to-be-printed body surface.

また、請求項6に係る発明は、少なくとも第一電極と第二電極と有機発光層を含む有機EL層からなり、両電極から有機発光層に電流を流すことにより有機発光層を発光させる有機エレクトロルミネッセンス素子において、有機EL層形成材料を溶剤に溶解または分散させてなるインキを請求項1乃至3のいずれかに記載の印刷用凸版の凸部パターンに供給する工程と、該印刷用凸版の凸部パターンにある該インキを被印刷基板表面に転写し、該被印刷基板表面に有機EL層のうち少なくとも1層を形成する工程を有することを特徴とする有機EL素子の製造方法とした。   The invention according to claim 6 comprises an organic EL layer including at least a first electrode, a second electrode, and an organic light emitting layer, and causes the organic light emitting layer to emit light by passing a current from both electrodes to the organic light emitting layer. In the luminescence element, a step of supplying an ink obtained by dissolving or dispersing an organic EL layer forming material in a solvent to the convex pattern of the printing relief plate according to any one of claims 1 to 3, and a convexity of the printing relief plate A method for producing an organic EL device comprising the steps of: transferring the ink in a partial pattern onto a surface of a substrate to be printed, and forming at least one layer of the organic EL layer on the surface of the substrate to be printed.

また、請求項7に係る発明は、少なくとも第一電極と第二電極と有機発光層を含む有機EL層からなり、両電極から有機発光層に電流を流すことにより有機発光層を発光させる有機エレクトロルミネッセンス素子において、有機発光材料を溶剤に溶解または分散させてなる有機発光インキを請求項1乃至3のいずれかに記載の印刷用凸版の凸部パターンに供給する工程と、該印刷用凸版の凸部パターンにある有機発光インキを被印刷基板表面に転写し、該被印刷基板表面に有機発光層を形成する工程を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法とした。   The invention according to claim 7 comprises an organic EL layer comprising at least a first electrode, a second electrode, and an organic light emitting layer, and causing the organic light emitting layer to emit light by passing a current from both electrodes to the organic light emitting layer. A step of supplying an organic light emitting ink obtained by dissolving or dispersing an organic light emitting material in a solvent to the convex pattern of the printing relief plate according to any one of claims 1 to 3, and a convexity of the printing relief plate An organic electroluminescent element manufacturing method comprising a step of transferring an organic light emitting ink in a partial pattern onto a surface of a substrate to be printed and forming an organic light emitting layer on the surface of the substrate to be printed.

一般的な凸版印刷法による印刷に用いられるの印刷用凸版は、その凸版表面への充分なインキング量を得るために、表面粗さが粗いほうが良好なインキング量が得られるため、印刷適性が高いとされている。しかしながら、例えば、有機EL素子における有機発光層を含む有機EL層にあっては、形成される層の膜厚はサブミクロンオーダーであり、平滑な表面を有する凸部パターンからなる印刷用凸版を用いてもインキング量の不足は生じない。   The printing relief plate used for printing by a general relief printing method has a good inking amount when the surface roughness is rough in order to obtain a sufficient inking amount on the relief plate surface. Is said to be high. However, for example, in the case of an organic EL layer including an organic light emitting layer in an organic EL element, the thickness of the layer to be formed is on the order of submicrons, and a printing relief plate made of a convex pattern having a smooth surface is used. However, there is no shortage of inking.

本発明では、印刷用凸版の凸部パターン表面の十点平均粗さRzが凸部パターンの最短辺の長さの25%以下であるとすることにより、ナノオーダーで表面が平滑なインキパターンを形成することが可能となり、また、平面形状に関しても均一なインキパターンを得ることが可能となり、高精細な印刷物を得ることができた。   In the present invention, the ten-point average roughness Rz of the convex pattern surface of the relief printing plate is 25% or less of the length of the shortest side of the convex pattern. It was possible to form a uniform ink pattern with respect to the planar shape, and a high-definition printed matter could be obtained.

また、印刷用凸版の凸部パターンに樹脂を用いることにより、ガラス基板といった硬質な被印刷体に対しても、被印刷基板を傷つけることなく良好なインキパターン有する印刷物を得ることが可能となった。   In addition, by using a resin for the convex pattern of the printing relief plate, it has become possible to obtain a printed matter having a good ink pattern without damaging the substrate to be printed even on a hard substrate such as a glass substrate. .

また、印刷用凸版の凸部パターンが水溶性ポリマーを含むことにより、水溶性ポリマーは有機溶剤に対する耐性が高いことから、インキに有機溶剤を用いた場合に版の膨潤や変形が発生しにくいことから、高精細な印刷物を得ることが可能となった。   In addition, since the convex pattern of the printing relief plate contains a water-soluble polymer, the water-soluble polymer is highly resistant to organic solvents, so that the plate is less likely to swell or deform when an organic solvent is used in the ink. Therefore, it became possible to obtain high-definition printed matter.

また、印刷用凸版において、基材上に感光性樹脂層を設けた版材を用い、フォトリソグラフィー法により凸部パターンをすることにより、高精細な凸部パターンを有する印刷用凸版を得ることができた。   Further, in a printing relief plate, a printing relief plate having a high-definition projection pattern can be obtained by using a printing plate having a photosensitive resin layer on a substrate and forming a projection pattern by a photolithography method. did it.

また、これら本発明の印刷用凸版を用い凸版印刷法により被印刷基板上にインキパターンを形成することにより、安価で高精細な印刷物を製造することが可能となった。   In addition, by forming an ink pattern on a substrate to be printed by a relief printing method using these relief printing plates of the present invention, it has become possible to produce an inexpensive and high-definition printed matter.

また、本発明の印刷用凸版を用いて、有機EL素子の有機EL層のうち少なくとも1層を形成することにより、安価に高精細な有機EL素子を製造することが可能となった。   Moreover, it became possible to manufacture a high-definition organic EL element at low cost by forming at least one of the organic EL layers of the organic EL element using the printing relief plate of the present invention.

また、有機EL層のなかでも、RGB3色に塗りわけが必要な有機発光層を形成することにより、安価に高精細な有機EL素子を製造することが可能となった。   In addition, among organic EL layers, by forming an organic light emitting layer that needs to be applied to RGB three colors, it has become possible to manufacture a high-definition organic EL element at low cost.

以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、本発明はこれに限るものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The present invention is not limited to this.

図1に本発明の印刷用凸版の一例の説明断面図を示した。図1(a)、図1(b)ともに基材200上に凸部パターン201が形成されている。図1(b)では凸部パターンが隣接する凸部パターンに対して独立して基材上に形成されている。本発明では、図1(a)、(b)どちらの印刷用凸版を用いても構わないが、図1(b)のような、基材上に独立して凸部パターンを設けた印刷用凸版を用いることが好ましい。印刷用凸版では、凸部パターンには樹脂が好適に用いられるが、パターンを独立して形成することにより、インキの溶媒や熱による凸部パターンに用いられる樹脂の変形を抑えることができる。特に、基材として樹脂材料ではなく金属材料を用いた場合には、印刷する際により版の変形を抑えることができ好適に使用することができる。   FIG. 1 shows an explanatory sectional view of an example of the relief printing plate of the present invention. A convex pattern 201 is formed on the substrate 200 in both FIG. In FIG.1 (b), the convex part pattern is formed on the base material independently with respect to the adjacent convex part pattern. In the present invention, any of the printing relief plates shown in FIGS. 1A and 1B may be used. However, as shown in FIG. It is preferable to use a letterpress. In a printing relief plate, a resin is suitably used for the convex pattern, but by forming the pattern independently, deformation of the resin used for the convex pattern due to the solvent or heat of the ink can be suppressed. In particular, when a metal material instead of a resin material is used as the base material, the deformation of the plate can be suppressed during printing, which can be suitably used.

本発明の印刷用凸版は、凸部パターン表面の十点平均粗さRzが凸部パターンの最短辺の長さの25%以下であることを特徴とする。図2に本発明の印刷用凸版における凸部パターンと最短辺の説明概略図を示した。最短辺Lとは凸部パターン222がストライプ状であればストライプの幅であり(図2(a))、凸部パターン222が矩形であれば最短辺Lは短辺の長さであり(図2(b))、凸部パターン222が円であれば最短辺Lは直径の長さであり、凸部パターン222が楕円であれば最短辺Lは短軸の長さLとなる(図2(c))。   The relief printing plate of the present invention is characterized in that the ten-point average roughness Rz of the convex pattern surface is 25% or less of the length of the shortest side of the convex pattern. FIG. 2 shows an explanatory schematic diagram of the convex pattern and the shortest side in the printing relief plate of the present invention. The shortest side L is the width of the stripe if the convex pattern 222 is striped (FIG. 2A), and the shortest side L is the length of the short side if the convex pattern 222 is rectangular (FIG. 2). 2 (b)), if the convex pattern 222 is a circle, the shortest side L is the length of the diameter, and if the convex pattern 222 is an ellipse, the shortest side L is the short axis length L (FIG. 2). (C)).

本発明では凸部パターン表面の十点平均粗さRzを凸部パターンの最短辺の長さの25%以下とすることにより、得られるインキパターンの膜厚は均一なものとなり、またパターン形状も良好なものとなる。本発明の平滑な表面形状を有する印刷用凸版は、形成された層の膜厚が50〜150nmといった非常に薄い膜厚であり、且つ、形成された層の膜厚が均一であることを要求される、有機EL素子における有機EL層の形成に好適に使用することができる。   In the present invention, by setting the ten-point average roughness Rz of the convex pattern surface to 25% or less of the length of the shortest side of the convex pattern, the resulting ink pattern has a uniform film thickness, and the pattern shape is also It will be good. The relief printing plate having a smooth surface shape of the present invention requires that the formed layer has a very thin film thickness of 50 to 150 nm, and that the formed layer has a uniform film thickness. It can be suitably used for forming an organic EL layer in an organic EL element.

なお、凸部パターン表面の十点平均粗さRzについては、原子間力顕微鏡(AFM)、接触式表面形状測定装置、非接触式表面形状測定装置といった装置で測定することができる。   The ten-point average roughness Rz on the convex pattern surface can be measured with an apparatus such as an atomic force microscope (AFM), a contact surface shape measuring device, or a non-contact surface shape measuring device.

本発明の印刷用凸版は、基材上に樹脂層を設けた版材を好適に用いることができる。このような版材を用い、凸部パターンを樹脂製とすることにより、ガラス基板のような硬質な被印刷体に対しても、被印刷体を傷つけることなくインキパターンを形成することができる。   For the relief printing plate of the present invention, a plate material in which a resin layer is provided on a substrate can be suitably used. By using such a plate material and making the convex part pattern made of resin, an ink pattern can be formed on a hard printed material such as a glass substrate without damaging the printed material.

本発明の印刷用凸版に用いられる版材において、凸部パターンが形成される基材としては、印刷に対する機械的強度を有すれば良く、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリブタジエン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、ポリアミド、ポリエーテルスルホン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルスルホン、ポリビニルアルコールなどの公知の合成樹脂、鉄や銅、アルミニウムといった公知の金属、またはそれらの積層体を用いることができる。   In the plate material used for the relief printing plate of the present invention, the substrate on which the projection pattern is formed is only required to have mechanical strength against printing, such as polyethylene, polystyrene, polybutadiene, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, Known synthetic resins such as polyvinyl acetate, polyamide, polyethersulfone, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyethersulfone, and polyvinyl alcohol, known metals such as iron, copper, and aluminum, or laminates thereof can be used. .

なお、本発明に使用する印刷用凸版を構成する基材としては、樹脂部分の寸法変化を抑えるのに十分な剛性をもっていることと、基材自身も寸法変化しにくいことが要求される。また、インキに含まれる溶媒への耐性が高いものが望ましい。したがって、基材として用いられる材料としては金属が好適に使用される。また、金属材料からなる基材の中でも、加工性、経済性からスチール基材やアルミ基材を好適に用いることができる。   In addition, as a base material which comprises the relief printing plate used for this invention, it is requested | required that it should have sufficient rigidity to suppress the dimensional change of a resin part, and that a base material itself cannot change a dimension easily. Moreover, the thing with high tolerance with respect to the solvent contained in ink is desirable. Therefore, a metal is preferably used as the material used as the substrate. Moreover, among the base materials made of a metal material, a steel base material or an aluminum base material can be suitably used in terms of workability and economy.

本発明の印刷用凸版に用いられる版材において、基材上に設けられる樹脂層としてはニトリルゴム、シリコーンゴム、イソプレンゴム、スチレンブタジエンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、アクリロニトリルゴム、エチレンプロピレンゴム、ウレタンゴムなどのゴムの他に、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリブタジエン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、ポリアミド、ポリウレタン、ポリエーテルスルホン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルスルホン、ポリビニルアルコールなどの合成樹脂やそれらの共重合体、セルロースなどの天然高分子などから一種類以上を選択することができる。   In the plate material used for the printing relief plate of the present invention, the resin layer provided on the substrate is nitrile rubber, silicone rubber, isoprene rubber, styrene butadiene rubber, butadiene rubber, chloroprene rubber, butyl rubber, acrylonitrile rubber, ethylene propylene rubber. In addition to rubber such as urethane rubber, polyethylene, polystyrene, polybutadiene, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl acetate, polyamide, polyurethane, polyethersulfone, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyethersulfone, polyvinyl alcohol, etc. One or more types can be selected from these synthetic resins, copolymers thereof, natural polymers such as cellulose, and the like.

有機EL素子を製造する場合において、有機発光材料を溶媒に溶解または分散させた有機発光インキを用いて印刷するときは、有機溶剤に対する耐溶剤性の観点から、フッ素系エラストマーやポリ四フッ化エチレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリ六フッ化ビニリデンやそれらの共重合体といったフッ素系樹脂や、ポリアミド、ポリビニルアルコール、酢酸セルロースコハク酸エステル、部分ケン化ポリ酢酸ビニル、カチオン型ピペラジン含有ポリアミド、といった水溶性溶剤に可溶なポリマーを用いることが望ましい。特に、有機発光インキに用いられる溶媒はトルエンやキシレンといった芳香族系有機溶剤が用いられることから、芳香族系有機溶剤に高い耐溶剤性を示す、水溶性溶剤に可溶な親水性の高い水溶性ポリマーを好適に用いることができる。   When manufacturing an organic EL element, when printing using an organic light-emitting ink in which an organic light-emitting material is dissolved or dispersed in a solvent, fluorine elastomer or polytetrafluoroethylene is used from the viewpoint of solvent resistance to the organic solvent. Water-soluble solvents such as fluorinated resins such as polyvinylidene fluoride, poly (vinylidene fluoride) and copolymers thereof, polyamides, polyvinyl alcohol, cellulose acetate succinate, partially saponified polyvinyl acetate, and cationic piperazine-containing polyamides It is desirable to use a polymer that is soluble in water. In particular, since aromatic organic solvents such as toluene and xylene are used as solvents for organic light-emitting inks, they exhibit high solvent resistance to aromatic organic solvents and are highly hydrophilic and soluble in water-soluble solvents. Can be suitably used.

また、高精細な凸部パターンを容易に加工できることから、版材に用いられる樹脂層としては感光性樹脂を用いることが望ましく、例えば、ポリマーと不飽和結合を含むモノマーと光重合開始材を構成要素とする感光性樹脂が挙げられる。このとき、ポリマーとしては、先ほど示した樹脂材料の中から適宜選択することができる。また、ポリマーとしては、先ほどと同様に有機溶剤に対する耐性が高いという点で水溶性ポリマーを好適に用いることができ、水溶性ポリマーを用いた場合においては、後述する現像工程において現像液として水を使用することができる。また、不飽和結合を含むモノマーとしては例えばビニル結合を有するメタクリレート類を用いることができ、光重合開始剤としては例えば芳香族カルボニル化合物を用いることができる。   In addition, it is desirable to use a photosensitive resin as the resin layer used in the plate material because a high-definition convex pattern can be easily processed. For example, a monomer containing a polymer and an unsaturated bond and a photopolymerization initiator are formed. A photosensitive resin as an element can be mentioned. At this time, the polymer can be appropriately selected from the resin materials shown above. In addition, as the polymer, a water-soluble polymer can be suitably used in the same manner as described above in that it has high resistance to an organic solvent. In the case where a water-soluble polymer is used, water is used as a developer in a development step described later. Can be used. Further, as the monomer containing an unsaturated bond, for example, methacrylates having a vinyl bond can be used, and as the photopolymerization initiator, for example, an aromatic carbonyl compound can be used.

感光性樹脂を用いフォトリソグラフィー法により凸部パターン形成をする場合において、本発明の印刷用凸版の製造方法を示す。図3に印刷用凸版の製造方法の説明断面図を示した。まず、図3(a)に示したように、基材200上に感光性樹脂が一面に形成された版材を用意する。次に、図3(b)に示したように、遮光部205と透光部を有しており、且つ、透光部によってパターンが形成されたフォトマスク206を感光性樹脂上に配置する。フォトマスクは、透光性を有するガラス104上に例えばクロム薄膜からなる遮光部205がパターニングされた構造をしており、クロム薄膜が形成されている箇所が遮光部205、クロム薄膜が形成されていない箇所が透光部となる。   In the case where a convex pattern is formed by photolithography using a photosensitive resin, a method for producing a relief printing plate of the present invention will be described. FIG. 3 shows an explanatory cross-sectional view of a method for producing a printing relief plate. First, as shown in FIG. 3A, a plate material in which a photosensitive resin is formed on one surface on a base material 200 is prepared. Next, as shown in FIG. 3B, a photomask 206 having a light shielding portion 205 and a light transmitting portion and having a pattern formed by the light transmitting portion is disposed on the photosensitive resin. The photomask has a structure in which a light shielding portion 205 made of, for example, a chrome thin film is patterned on a light-transmitting glass 104, and the light shielding portion 205 and the chrome thin film are formed at a portion where the chromium thin film is formed. The part where there is no light becomes the translucent part.

次に、図3(c)に示したように、該フォトマスクを介して、紫外光に代表される活性エネルギー線207を照射し、露光する。このとき、フォトマスクの透光部を通過して活性エネルギー線が照射された部分が硬化される。   Next, as shown in FIG. 3C, exposure is performed by irradiating an active energy ray 207 typified by ultraviolet light through the photomask. At this time, the portion irradiated with the active energy ray through the light transmitting portion of the photomask is cured.

次にフォトマスクを樹脂凸版から外し、現像をおこなう。現像により露光によって光が照射されなかった未硬化部分を除去し、図3(d)に示したような、本発明の樹脂凸版となる。このとき、未硬化部分が水により溶解、除去可能な水現像タイプの樹脂凸版を用いた場合には、現像液として水が用いられる。また、現像後に、樹脂層を更に硬化させることを目的としてベークや後露光をおこなっても良い。なお、フォトマスクを用いる露光方法以外にも、感光性樹脂層表面にカーボンやアルミニウムといった光不透過性の層を形成し、これをレーザーによりアブレーションすることにより、遮光部205を形成した後、露光することも可能である。   Next, the photomask is removed from the resin relief printing and development is performed. The uncured portion that is not irradiated with light by exposure is removed by development, and the resin relief printing plate of the present invention as shown in FIG. At this time, when using a water-developing type resin relief plate in which the uncured portion can be dissolved and removed with water, water is used as the developer. Further, after the development, baking or post-exposure may be performed for the purpose of further curing the resin layer. In addition to the exposure method using a photomask, a light-impermeable layer such as carbon or aluminum is formed on the surface of the photosensitive resin layer, and this is ablated by a laser to form the light-shielding portion 205, followed by exposure. It is also possible to do.

また、本発明の印刷用凸版における、凸部パターンの形成方法としてフォトリソグラフィー法以外に、レーザーアブレーション法や切削加工により凸部パターンを形成することも可能である。   In addition to the photolithographic method, the convex pattern can be formed by laser ablation or cutting as a method for forming the convex pattern in the printing relief plate of the present invention.

次に、本発明の印刷用凸版を用い、凸版印刷法により被印刷基板表面にインキパターンを形成する印刷物の製造方法について示す。図4に本発明の印刷物の製造に用いられる凸版印刷装置の概略図を示した。ステージ107には被印刷基板106が固定されており、印刷用凸版104は版胴105に固定され、印刷用凸版104はインキ供給体であるアニロックスロール103と接しており、アニロックスロール103はインキ補充装置101とドクター102を備えている。   Next, the manufacturing method of the printed matter which forms an ink pattern on the to-be-printed substrate surface by a relief printing method using the relief printing plate of this invention is shown. FIG. 4 shows a schematic diagram of a relief printing apparatus used for producing the printed material of the present invention. The printing substrate 106 is fixed to the stage 107, the printing relief plate 104 is fixed to the plate cylinder 105, the printing relief plate 104 is in contact with the anilox roll 103 which is an ink supply body, and the anilox roll 103 is replenished with ink. A device 101 and a doctor 102 are provided.

まず、インキ補充装置101からアニロックスロール103へインキを補充し、アニロックスロール103に供給されたインキ108のうち余分なインキは、ドクター102により除去される。インキ補充装置101には、滴下型のインキ補充装置、ファウンテンロール、スリットコータ、ダイコータ、キャップコータなどのコータやそれらを組み合わせたものなどを用いることもできる。ドクター102にはドクターブレードの他にドクターロールといった公知の物を用いることもできる。また、アニロックスロール103は、クロム製やセラミックス製のものを用いることができる。また、印刷用凸版へのインキ供給体としてシリンダー状のアニロックスロールではなく、平版のアニロックス版を用いることも可能である。平版のアニロックス版は、例えば、図4の被印刷基板106の位置に配置され、インキ補充装置によりアニロックス版全面にインキを補充した後、版胴を回転させることにより被印刷基板へのインキの供給をおこなうことができる。   First, ink is replenished from the ink replenishing device 101 to the anilox roll 103, and excess ink out of the ink 108 supplied to the anilox roll 103 is removed by the doctor 102. The ink replenishing device 101 may be a dripping type ink replenishing device, a fountain roll, a slit coater, a die coater, a cap coater such as a cap coater, or a combination thereof. For the doctor 102, a known object such as a doctor roll can be used in addition to the doctor blade. Further, the anilox roll 103 can be made of chromium or ceramics. Further, instead of the cylindrical anilox roll, it is also possible to use a flat anilox plate as the ink supply to the printing relief plate. The flat anilox plate is disposed, for example, at the position of the printing substrate 106 in FIG. 4. After the ink is replenished to the entire surface of the anilox plate by an ink replenishing device, the ink is supplied to the printing substrate by rotating the plate cylinder. Can be done.

印刷用凸版へのインキ供給体であるアニロックスロール103表面にドクターによって均一に保持されたインキは、版胴105に取り付けられた印刷用凸版104の凸部パターンに転移、供給される。そして、版胴105の回転に合わせて印刷用凸版104の凸部パターンと基板は接しながら相対的に移動し、インキ108はステージ107上にある被印刷基板106の所定位置に転移し被印刷基板にインキパターン108aを形成する。被印刷基板にインキパターンが設けられた後は、必要に応じてオーブンなどによる乾燥工程を設けることができる。   The ink uniformly held by the doctor on the surface of the anilox roll 103 which is an ink supply body to the printing relief plate is transferred and supplied to the projection pattern of the printing relief plate 104 attached to the plate cylinder 105. Then, as the plate cylinder 105 rotates, the convex pattern of the printing relief plate 104 and the substrate move relatively while in contact with each other, and the ink 108 is transferred to a predetermined position on the printing substrate 106 on the stage 107 to be printed substrate. An ink pattern 108a is formed on the substrate. After the ink pattern is provided on the substrate to be printed, a drying step using an oven or the like can be provided as necessary.

なお、印刷用凸版上にあるインキを被印刷基板に印刷するときにおいては、版胴105の回転にあわせ被印刷基板106が固定されたステージ17を移動させる方式であってもよいし、図4上部の版胴105、印刷用凸版104、アニロックスロール103、インキ補充装置101からなる印刷ユニットを版胴の回転に合わせ移動させる方式であってもよい。また、本発明の印刷用凸版は版胴15上に樹脂層を形成し、直接製版し、凸部パターンを形成してもよい。   Note that when printing the ink on the printing relief plate on the printing substrate, the stage 17 to which the printing substrate 106 is fixed may be moved in accordance with the rotation of the plate cylinder 105. FIG. A printing unit including the upper plate cylinder 105, the printing relief plate 104, the anilox roll 103, and the ink replenishing device 101 may be moved in accordance with the rotation of the plate cylinder. In the printing relief plate of the present invention, a resin layer may be formed on the plate cylinder 15 and directly plate-making to form a projection pattern.

なお、図4は1枚毎に被印刷基板にインキパターンを形成する枚葉式の凸版印刷装置であるが、本発明の印刷物の製造方法にあって被印刷基板がウェブ状で巻き取り可能である場合には、ロール・ツゥー・ロール方式の凸版印刷装置を用いることもできる。ロール・ツゥー・ロール方式の凸版印刷装置を用いた場合には連続してインキパターンを形成することが可能となり、製造コストを低くすることが可能となる。   FIG. 4 shows a sheet-fed relief printing apparatus that forms an ink pattern on the substrate to be printed one by one. However, in the method for producing a printed material according to the present invention, the substrate to be printed can be wound in a web shape. In some cases, a roll-to-roll relief printing apparatus can be used. When a roll-to-roll type letterpress printing apparatus is used, it is possible to continuously form an ink pattern and to reduce the manufacturing cost.

次に、本発明での高精細樹脂凸版を用いた印刷物の製造方法の一例として、有機EL素子の製造方法について説明する。なお、本発明はこれに限るものではない。図5に本発明の有機EL素子の説明断面図を示した。有機EL素子の駆動方法としては、パッシブマトリックス方式とアクティブマトリックス方式があるが、本発明の有機EL素子はパッシブマトリックス方式の有機EL素子、アクティブマトリックス方式の有機EL素子のどちらにも適用可能である。   Next, a method for manufacturing an organic EL element will be described as an example of a method for manufacturing a printed matter using the high-definition resin relief plate in the present invention. The present invention is not limited to this. FIG. 5 shows an explanatory cross-sectional view of the organic EL element of the present invention. There are a passive matrix type and an active matrix type as a driving method of the organic EL element, but the organic EL element of the present invention can be applied to either a passive matrix type organic EL element or an active matrix type organic EL element. .

パッシブマトリックス方式とはストライプ状の電極を直交させるように対向させ、その交点を発光させる方式であるのに対し、アクティブマトリックス方式は画素毎にトランジスタを形成した、いわゆる薄膜トランジスタ(TFT)基板を用いることにより、画素毎に独立して発光する方式である。   The passive matrix method is a method in which stripe-shaped electrodes are opposed to each other so as to be orthogonal to each other, and light is emitted at the intersection, whereas the active matrix method uses a so-called thin film transistor (TFT) substrate in which a transistor is formed for each pixel. Thus, the light is emitted independently for each pixel.

図5に示すように、本発明の有機EL素子は、基板1の上に、陽極としてストライプ状に第一電極2を有している。隔壁は第一電極間に設けられ、第一電極端部のバリ等よるショートを防ぐことを目的として第一電極端部を覆うことがましい。   As shown in FIG. 5, the organic EL element of the present invention has a first electrode 2 in a stripe shape as an anode on a substrate 1. The partition wall is provided between the first electrodes, and preferably covers the first electrode end portion for the purpose of preventing a short circuit due to burrs or the like at the first electrode end portion.

そして、本発明の有機EL素子は、第一電極2上であって、隔壁7で区画された領域(発光領域L、画素部)に有機発光層及び発光補助層からなる有機EL層を有している。電極間に挟まれる有機EL層は、有機発光層単独から構成されたものであってもよいし、有機発光層と発光補助層との積層構造から構成されたものでもよい。発光補助層としては正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層、電荷発生層が挙げられる。図5では発光補助層である正孔輸送層3と有機発光層(41、42、43)との積層構造からなる構成を示している。第一電極2上に正孔輸送層3が設けられ、正孔輸送層3上に赤色(R)有機発光層41、緑色(G)有機発光層42、青色(B)有機発光層43がそれぞれ設けられている。   And the organic EL element of this invention has the organic EL layer which consists of an organic light emitting layer and a light emission auxiliary layer in the area | region (light emission area | region L, pixel part) on the 1st electrode 2 and divided by the partition 7. ing. The organic EL layer sandwiched between the electrodes may be composed of an organic light emitting layer alone, or may be composed of a laminated structure of an organic light emitting layer and a light emission auxiliary layer. Examples of the light emission auxiliary layer include a hole transport layer, a hole injection layer, an electron transport layer, an electron injection layer, and a charge generation layer. In FIG. 5, the structure which consists of a laminated structure of the positive hole transport layer 3 which is a light emission auxiliary layer, and an organic light emitting layer (41, 42, 43) is shown. A hole transport layer 3 is provided on the first electrode 2, and a red (R) organic light-emitting layer 41, a green (G) organic light-emitting layer 42, and a blue (B) organic light-emitting layer 43 are provided on the hole transport layer 3. Is provided.

次に、有機発光媒体層上に陽極である第一電極2と対向するように陰極として第二電極5が配置される。パッシブマトリックス方式の場合、ストライプ状を有する第一電極と直交する形で第二電極はストライプ状に設けられる。アクティブマトリックス方式の場合、第二電極は、有機EL素子全面に形成される。更に、図示していないが、環境中の水分、酸素の第一電極、有機発光層、発光補助層、第二電極への侵入を防ぐために有効画素全面に対してガラスキャップ等による封止体が設けられ、接着剤を介して基板と貼りあわされる。   Next, the 2nd electrode 5 is arrange | positioned as a cathode so as to oppose the 1st electrode 2 which is an anode on an organic luminescent medium layer. In the case of the passive matrix method, the second electrode is provided in a stripe shape so as to be orthogonal to the first electrode having a stripe shape. In the case of the active matrix method, the second electrode is formed on the entire surface of the organic EL element. Further, although not shown, a sealing body such as a glass cap is provided on the entire effective pixel in order to prevent moisture and oxygen in the environment from entering the first electrode, the organic light emitting layer, the light emitting auxiliary layer, and the second electrode. It is provided and bonded to the substrate via an adhesive.

本発明の有機EL素子は、少なくとも基板と、当該基板に支持されたパターン状の第一電極と、有機発光層と、第二電極を具備する。本発明の有機EL素子は、図5とは逆に、第一電極を陰極、第二電極を陽極とする構造であっても良い。また、ガラスキャップ等の封止体の代わりに有機発光媒体層や電極を外部の酸素や水分の浸入から保護するためにパッシベーション層や外部応力から保護する保護層、あるいはその両方の機能備えた封止基材を備えてもよい。   The organic EL device of the present invention includes at least a substrate, a patterned first electrode supported by the substrate, an organic light emitting layer, and a second electrode. The organic EL element of the present invention may have a structure in which the first electrode is a cathode and the second electrode is an anode, contrary to FIG. In addition, in order to protect the organic light emitting medium layer and the electrode from the ingress of external oxygen and moisture in place of a sealing body such as a glass cap, a sealing layer having a function of a passivation layer and a protective layer for protecting from external stress, or both, is provided. You may provide a stop base material.

次に、有機EL素子の製造方法を説明する。   Next, the manufacturing method of an organic EL element is demonstrated.

本発明にかかる基板としては、絶縁性を有する基板であればいかなる基板も使用することができる。この基板側から光を取り出すボトムエミッション方式の有機EL素子とする場合には、基板として透明なものを使用する必要がある。   As the substrate according to the present invention, any substrate can be used as long as it has an insulating property. In the case of a bottom emission type organic EL element that extracts light from the substrate side, it is necessary to use a transparent substrate.

例えば、基板としてはガラス基板や石英基板が使用できる。また、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリアクリレート、ポリアミド、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のプラスチックフィルムやシートであっても良い。これら、プラスチックフィルムやシートに、有機発光媒体層への水分の侵入を防ぐことを目的として、金属酸化物薄膜、金属弗化物薄膜、金属窒化物薄膜、金属酸窒化膜薄膜、あるいは高分子樹脂膜を積層したものを基板として利用してもよい。   For example, a glass substrate or a quartz substrate can be used as the substrate. Further, it may be a plastic film or sheet such as polypropylene, polyethersulfone, polycarbonate, cycloolefin polymer, polyacrylate, polyamide, polymethyl methacrylate, polyethylene terephthalate, or polyethylene naphthalate. Metal oxide thin film, metal fluoride thin film, metal nitride thin film, metal oxynitride thin film, or polymer resin film for the purpose of preventing moisture from entering the organic light emitting medium layer in these plastic films and sheets You may utilize what laminated | stacked these as a board | substrate.

また、これらの基板は、あらかじめ加熱処理を行うことにより、基板内部や表面に吸着した水分を極力低減することがより好ましい。また、基板上に積層される材料に応じて、密着性を向上させるために、超音波洗浄処理、コロナ放電処理、プラズマ処理、UVオゾン処理などの表面処理を施してから使用することが好ましい。   In addition, it is more preferable to reduce the moisture adsorbed on the inside or the surface of the substrate as much as possible by performing a heat treatment on these substrates in advance. Further, in order to improve the adhesion depending on the material to be laminated on the substrate, it is preferable to use after performing surface treatment such as ultrasonic cleaning treatment, corona discharge treatment, plasma treatment, UV ozone treatment.

また、これらに薄膜トランジスタ(TFT)を形成して、アクティブマトリックス方式の有機EL素子用の基板とすることが可能である。本発明のアクティブマトリックス方式の基板の一例の説明断面図を図6に示す。本発明の有機EL素子基板とする場合には、TFT120上に、平坦化層117が形成してあるとともに、平坦化層117上に有機EL素子の下部電極(第一電極2)が設けられており、かつ、TFTと下部電極とが平坦化層117に設けたコンタクトホール118を介して電気接続してあることが好ましい。このように構成することにより、TFTと、有機EL素子との間で、優れた電気絶縁性を得ることができる。   Further, a thin film transistor (TFT) can be formed on these to form a substrate for an active matrix organic EL element. FIG. 6 shows an explanatory cross-sectional view of an example of the active matrix substrate of the present invention. In the case of the organic EL element substrate of the present invention, the planarization layer 117 is formed on the TFT 120, and the lower electrode (first electrode 2) of the organic EL element is provided on the planarization layer 117. In addition, the TFT and the lower electrode are preferably electrically connected through a contact hole 118 provided in the planarization layer 117. By comprising in this way, the outstanding electrical insulation can be obtained between TFT and an organic EL element.

TFT120や、その上方に構成される有機EL素子は支持体111で支持される。支持体としては機械的強度や、寸法安定性に優れていることが好ましく、具体的には先に基板として述べた材料を用いることができる。   The TFT 120 and the organic EL element formed above the TFT 120 are supported by a support 111. The support is preferably excellent in mechanical strength and dimensional stability. Specifically, the materials described above as the substrate can be used.

支持体上に設けるTFT120は、公知の薄膜トランジスタを用いることができる。具体的には、主として、ソース/ドレイン領域及びチャネル領域が形成される活性層、ゲート絶縁膜及びゲート電極から構成される薄膜トランジスタが挙げられる。薄膜トランジスタの構造としては、特に限定されるものではなく、例えば、スタガ型、逆スタガ型、トップゲート型、コプレーナ型等が挙げられる。   As the TFT 120 provided on the support, a known thin film transistor can be used. Specifically, a thin film transistor mainly including an active layer in which a source / drain region and a channel region are formed, a gate insulating film, and a gate electrode can be given. The structure of the thin film transistor is not particularly limited, and examples thereof include a staggered type, an inverted staggered type, a top gate type, and a coplanar type.

活性層112は、特に限定されるものではなく、例えば、非晶質シリコン、多結晶シリコン、微結晶シリコン、セレン化カドミウム等の無機半導体材料又はチオフェンオリゴマー、ポリ(p−フェリレンビニレン)等の有機半導体材料により形成することができる。これらの活性層は、例えば、アモルファスシリコンをプラズマCVD法により積層し、イオンドーピングする方法、SiHガスを用いてLPCVD法によりアモルファスシリコンを形成し、固相成長法によりアモルファスシリコンを結晶化してポリシリコンを得た後、イオン打ち込み法によりイオンドーピングする方法、Siガスを用いてLPCVD法により、また、SiHガスを用いてPECVD法によりアモルファスシリコンを形成し、エキシマレーザー等のレーザーによりアニールし、アモルファスシリコンを結晶化してポリシリコンを得た後、イオンドーピング法によりイオンドーピングする方法(低温プロセス)、減圧CVD法又はLPCVD法によりポリシリコンを積層し、1000℃以上で熱酸化してゲート絶縁膜を形成し、その上にn+ポリシリコンのゲート電極114を形成し、その後、イオン打ち込み法によりイオンドーピングする方法(高温プロセス)等が挙げられる。 The active layer 112 is not particularly limited, and examples thereof include amorphous semiconductor materials such as amorphous silicon, polycrystalline silicon, microcrystalline silicon, cadmium selenide, thiophene oligomers, poly (p-ferylene vinylene), and the like. It can be formed of an organic semiconductor material. These active layers are formed by, for example, depositing amorphous silicon by plasma CVD, ion doping, forming amorphous silicon by LPCVD using SiH 4 gas, and crystallizing amorphous silicon by solid phase growth. After obtaining silicon, ion doping is performed by ion implantation, LPCVD using Si 2 H 6 gas, and amorphous silicon is formed by PECVD using SiH 4 gas, and laser such as excimer laser is used. After annealing and crystallizing amorphous silicon to obtain polysilicon, polysilicon is deposited by ion doping (low temperature process), low pressure CVD or LPCVD, and thermally oxidized at 1000 ° C. or higher. Gate break Film is formed, an n + polysilicon gate electrode 114 is formed thereon, then, a method of ion doping (high temperature process), and the like by an ion implantation method.

ゲート絶縁膜113としては、通常、ゲート絶縁膜として使用されているものを用いることができ、例えば、PECVD法、LPCVD法等により形成されたSiO、ポリシリコン膜を熱酸化して得られるSiO等を用いることができる。 As the gate insulating film 113, a film normally used as a gate insulating film can be used. For example, SiO 2 formed by PECVD, LPCVD, etc., SiO obtained by thermally oxidizing a polysilicon film 2 etc. can be used.

ゲート電極114としては、通常、ゲート電極として使用されているものを用いることができ、例えば、アルミ、銅等の金属、チタン、タンタル、タングステン等の高融点金属、ポリシリコン、高融点金属のシリサイド、ポリサイド等が挙げられる。   As the gate electrode 114, those normally used as the gate electrode can be used. For example, metals such as aluminum and copper, refractory metals such as titanium, tantalum and tungsten, polysilicon, silicide of refractory metals And polycide.

TFT120は、シングルゲート構造、ダブルゲート構造、ゲート電極が3つ以上のマルチゲート構造であってもよい。また、LDD構造、オフセット構造を有していてもよい。さらに、1つの画素中に2つ以上の薄膜トランジスタが配置されていてもよい。   The TFT 120 may have a single gate structure, a double gate structure, or a multi-gate structure having three or more gate electrodes. Moreover, you may have a LDD structure and an offset structure. Further, two or more thin film transistors may be arranged in one pixel.

本発明の表示装置は薄膜トランジスタ(TFT)が有機EL素子のスイッチング素子として機能するように接続されている必要があり、トランジスタのドレイン電極116と有機EL素子の画素電極(第一電極2)が電気的に接続されている。さらにトップエミッション構造をとるための画素電極は一般に光を反射する金属が用いられる必要がある。   The display device of the present invention needs to be connected so that the thin film transistor (TFT) functions as a switching element of the organic EL element, and the drain electrode 116 of the transistor and the pixel electrode (first electrode 2) of the organic EL element are electrically connected. Connected. Further, it is generally necessary to use a metal that reflects light as a pixel electrode for taking a top emission structure.

TFT120とドレイン電極116と有機EL素子の画素電極(第一電極2)との接続は、平坦化膜117を貫通するコンタクトホール118内に形成された接続配線を介して行われる。   The TFT 120, the drain electrode 116, and the pixel electrode (first electrode 2) of the organic EL element are connected through a connection wiring formed in a contact hole 118 that penetrates the planarizing film 117.

平坦化膜117の材料についてはSiO、スピンオンガラス、SiN(Si)、TaO(Ta)等の無機材料、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、フォトレジスト材料、ブラックマトリックス材料等の有機材料等を用いることができる。これらの材料に合わせてスピンコーティング、CVD、蒸着法等を選択できる。必要に応じて、平坦化層として感光性樹脂を用いフォトリソグラフィーの手法により、あるいは一旦全面に平坦化層を形成後、下層のTFT120に対応した位置にドライエッチング、ウェットエッチング等でコンタクトホール118を形成する。コンタクトホールはその後導電性材料で埋めて平坦化層上層に形成される画素電極との導通を図る。平坦化層の厚みは下層のTFT、コンデンサ、配線等を覆うことができればよく、厚みは数μm、例えば3μm程度あればよい。 Regarding the material of the planarizing film 117, inorganic materials such as SiO 2 , spin-on glass, SiN (Si 3 N 4 ), TaO (Ta 2 O 5 ), organic materials such as polyimide resin, acrylic resin, photoresist material, and black matrix material are used. Materials and the like can be used. Spin coating, CVD, vapor deposition, etc. can be selected according to these materials. If necessary, a contact hole 118 is formed by dry etching, wet etching, or the like at a position corresponding to the lower TFT 120 after photolithography using a photosensitive resin as the planarizing layer, or once the planarizing layer is formed on the entire surface. Form. The contact hole is then filled with a conductive material to establish conduction with the pixel electrode formed in the upper layer of the planarization layer. The thickness of the planarizing layer is not limited as long as it can cover the lower TFT, capacitor, wiring, etc., and the thickness may be several μm, for example, about 3 μm.

基板上には第一電極2が設けられる。第一電極を陽極とした場合、その材料としては、ITO(インジウムスズ複合酸化物)、IZO(インジウム亜鉛複合酸化物)、酸化錫、酸化亜鉛、酸化インジウム、亜鉛アルミニウム複合酸化物等の金属複合酸化物や金、白金、クロムなどの金属材料を単層または積層したものをいずれも使用できる。第一電極の形成方法は、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法等の乾式成膜法を用いることができる。   A first electrode 2 is provided on the substrate. When the first electrode is used as an anode, the material is a metal composite such as ITO (indium tin composite oxide), IZO (indium zinc composite oxide), tin oxide, zinc oxide, indium oxide, zinc aluminum composite oxide. A single layer or a stacked layer of metal materials such as oxide, gold, platinum, and chromium can be used. As a method for forming the first electrode, a dry film forming method such as a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, or a sputtering method can be used.

なお、低抵抗であること、溶剤耐性があること、また、ボトムミッション方式としたときには透明性が高いことなどからITOが好ましく使用できる。ITOはスパッタ法によりガラス基板上に形成され、フォトリソ法によりパターニングされて第一電極2となる。   In addition, ITO is preferably used because of its low resistance, solvent resistance, and high transparency when the bottom mission method is adopted. ITO is formed on the glass substrate by sputtering, and is patterned by photolithography to form the first electrode 2.

第一電極2を形成後、第一電極縁部を覆うようにして隔壁7が形成される。隔壁7は絶縁性を有する必要があり、感光性材料等を用いることができる。感光性材料としては、ポジ型であってもネガ型であってもよく、光ラジカル重合系、光カチオン重合系の光硬化性樹脂、あるいはアクリロニトリル成分を含有する共重合体、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコール、ノボラック樹脂、ポリイミド樹脂、およびシアノエチルプルラン等を用いることができる。また、隔壁形成材料として、SiO、TiO等を用いることもできる。 After the first electrode 2 is formed, the partition wall 7 is formed so as to cover the first electrode edge. The partition 7 needs to have insulating properties, and a photosensitive material or the like can be used. The photosensitive material may be a positive type or a negative type, and is a photo-curing resin of a photo radical polymerization system, a photo cation polymerization system, or a copolymer containing an acrylonitrile component, polyvinyl phenol, polyvinyl alcohol. , Novolac resin, polyimide resin, cyanoethyl pullulan, and the like can be used. Further, as a partition wall forming material, it is also possible to use SiO 2, TiO 2 or the like.

隔壁形成材料が感光性材料の場合、形成材料溶液をスリットコート法やスピンコート法により全面コーティングしたあと、露光、現像といったフォトリソ法によりパターニングがおこなわれる。スピンコート法の場合、隔壁の高さは、スピンコートするときの回転数等の条件でコントロールできるが、1回のコーティングでは限界の高さがあり、それ以上高くするときは複数回スピンコートを繰り返す手法を用いる。   When the partition wall forming material is a photosensitive material, the entire surface of the forming material solution is coated by a slit coating method or a spin coating method, and then patterning is performed by a photolithography method such as exposure and development. In the case of the spin coating method, the height of the partition wall can be controlled by conditions such as the number of rotations when spin coating, but there is a limit height in one coating, and if it is higher than that, multiple spin coatings are performed. Use an iterative approach.

感光性材料を用いてフォトリソ法により隔壁を形成する場合、その形状は露光条件や現像条件により制御可能である。例えば、ネガ型の感光性樹脂を塗布し、露光・現像した後、ポストベークして、隔壁を得るときに、隔壁端部の形状を順テーパー形状としたい場合には、この現像条件である現像液の種類、濃度、温度、あるいは現像時間を制御すればよい。現像条件を穏やかなものとすれば、隔壁端部は順テーパー形状となり、現像条件を過酷にすれば、隔壁端部は逆テーパー形状となる。   When the barrier rib is formed by a photolithography method using a photosensitive material, its shape can be controlled by exposure conditions and development conditions. For example, when a negative photosensitive resin is applied, exposed and developed, and then post-baked to obtain a partition wall, if the partition wall end portion has a forward taper shape, the development under this development condition is required. The type, concentration, temperature, or development time of the liquid may be controlled. If the development conditions are mild, the partition wall ends have a forward taper shape, and if the development conditions are severe, the partition wall ends have a reverse taper shape.

また、隔壁形成材料がSiO、TiOの場合、スパッタリング法、CVD法といった乾式成膜法で形成可能である。この場合、隔壁のパターニングはマスクやフォトリソ法により行うことができる。 Further, when the partition wall forming material is SiO 2 or TiO 2 , it can be formed by a dry film forming method such as a sputtering method or a CVD method. In this case, patterning of the partition walls can be performed by a mask or a photolithography method.

次に、有機発光層及び発光補助層からなる有機EL層を形成する。電極間に挟まれる有機EL層としては、有機発光層単独から構成されたものでもよいし、有機発光層と正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層、電荷発生層といった発光を補助するための発光補助層との積層構造としてもよい。なお、正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層、電荷発生層は必要に応じて適宜選択される。   Next, an organic EL layer composed of an organic light emitting layer and a light emission auxiliary layer is formed. The organic EL layer sandwiched between the electrodes may be composed of an organic light emitting layer alone, an organic light emitting layer and a hole transport layer, a hole injection layer, an electron transport layer, an electron injection layer, a charge generation layer, etc. It is good also as a laminated structure with the light emission auxiliary layer for assisting light emission. The hole transport layer, hole injection layer, electron transport layer, electron injection layer, and charge generation layer are appropriately selected as necessary.

そして、本発明は有機発光層や正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層、電荷発生層といった発光補助層からなる有機EL層のうち少なくとも1層を、有機EL層材料を溶媒に溶解、または分散させたインキを用い、基材上に樹脂からなる凸部パターンを有する樹脂凸版を印刷版とした凸版印刷法により前記第一電極の上方に印刷して形成する際に適用することができる。以降、本発明において、有機発光材料を溶媒に溶解、または分散させた有機発光インキを用いた場合について示す。   In the present invention, at least one of the organic EL layers composed of a light emitting auxiliary layer such as an organic light emitting layer, a hole transport layer, a hole injection layer, an electron transport layer, an electron injection layer, and a charge generation layer is used as an organic EL layer material. Is formed by printing above the first electrode by a relief printing method using a resin relief plate having a projection pattern made of resin on a substrate and using a resin dissolved or dispersed in a solvent. Can be applied. Hereinafter, in the present invention, a case where an organic light emitting ink in which an organic light emitting material is dissolved or dispersed in a solvent is used will be described.

有機発光層は電流を流すことにより発光する層である。有機発光層の形成する有機発光材料としては、9,10−ジアリールアントラセン誘導体、ピレン、コロネン、ペリレン、ルブレン、1,1,4,4−テトラフェニルブタジエン、トリス(8−キノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−8−キノラート)アルミニウム錯体、ビス(8−キノラート)亜鉛錯体、トリス(4−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−5−シアノ−8−キノラート)アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−シアノー8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、トリス(8−キノリノラート)スカンジウム錯体、ビス[8−(パラ−トシル)アミノキノリン]亜鉛錯体及びカドミウム錯体、1,2,3,4−テトラフェニルシクロペンタジエン、ポリ−2,5−ジヘプチルオキシ−パラ−フェニレンビニレンなどの低分子系発光材料が使用できる。   The organic light emitting layer is a layer that emits light when an electric current is passed. Organic light-emitting materials formed by the organic light-emitting layer include 9,10-diarylanthracene derivatives, pyrene, coronene, perylene, rubrene, 1,1,4,4-tetraphenylbutadiene, tris (8-quinolato) aluminum complex, tris (4-methyl-8-quinolato) aluminum complex, bis (8-quinolato) zinc complex, tris (4-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolato) aluminum complex, tris (4-methyl-5-cyano-) 8-quinolate) aluminum complex, bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolate) [4- (4-cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, bis (2-methyl-5-cyano-8-quinolinolate) [4- (4-cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, Lis (8-quinolinolato) scandium complex, bis [8- (para-tosyl) aminoquinoline] zinc complex and cadmium complex, 1,2,3,4-tetraphenylcyclopentadiene, poly-2,5-diheptyloxy- A low molecular weight light emitting material such as para-phenylene vinylene can be used.

また、クマリン系蛍光体、ペリレン系蛍光体、ピラン系蛍光体、アンスロン系蛍光体、ポリフィリン系蛍光体、キナクリドン系蛍光体、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系蛍光体、ナフタルイミド系蛍光体、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系蛍光体等、Ir錯体等の燐光性発光体などの低分子系発光材料を、高分子中に分散させたものが使用できる。高分子としてはポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾール等が使用できる。   Also, coumarin phosphors, perylene phosphors, pyran phosphors, anthrone phosphors, polyphyrin phosphors, quinacridone phosphors, N, N′-dialkyl-substituted quinacridone phosphors, naphthalimide phosphors, A material obtained by dispersing a low molecular weight light emitting material such as an N, N′-diaryl-substituted pyrrolopyrrole fluorescent material or a phosphorescent light emitting material such as an Ir complex in a polymer can be used. As the polymer, polystyrene, polymethyl methacrylate, polyvinyl carbazole and the like can be used.

また、ポリ(2−デシルオキシ−1,4−フェニレン)(DO−PPP)やポリ[2,5−ビス−[2−(N,N,N−トリエチルアンモニウム)エトキシ]−1,4−フェニル−アルト−1,4−フェニルレン]ジブロマイドなどのPPP誘導体、ポリ[2−(2’−エチルヘキシルオキシ)−5−メトキシ−1,4−フェニレンビニレン](MEH−PPV)、ポリ[5−メトキシ−(2−プロパノキシサルフォニド)−1,4−フェニレンビニレン](MPS−PPV)、ポリ[2,5−ビス−(ヘキシルオキシ)−1,4−フェニレン−(1−シアノビニレン)](CN−PPV)、ポリ(9,9−ジオクチルフルオレン)(PDAF)、ポリスピロフルオレンなどの高分子発光材料であってもよい。PPV前駆体、PPP前駆体などの高分子前駆体が挙げられる。また、その他既存の発光材料を用いることもできる。   Further, poly (2-decyloxy-1,4-phenylene) (DO-PPP) and poly [2,5-bis- [2- (N, N, N-triethylammonium) ethoxy] -1,4-phenyl- PPP derivatives such as alto-1,4-phenylylene] dibromide, poly [2- (2′-ethylhexyloxy) -5-methoxy-1,4-phenylenevinylene] (MEH-PPV), poly [5-methoxy -(2-propanoxysulfonide) -1,4-phenylenevinylene] (MPS-PPV), poly [2,5-bis- (hexyloxy) -1,4-phenylene- (1-cyanovinylene)] ( CN-PPV), poly (9,9-dioctylfluorene) (PDAF), and polyspirofluorene may be used. Examples thereof include polymer precursors such as a PPV precursor and a PPP precursor. Other existing light emitting materials can also be used.

正孔輸送層を形成する正孔輸送材料としては、銅フタロシアニン、テトラ(t−ブチル)銅フタロシアニン等の金属フタロシアニン類及び無金属フタロシアニン類、キナクリドン化合物、1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン、N,N’−ジ(1−ナフチル)−N,N’−ジフェニル−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン等の芳香族アミン系低分子正孔注入輸送材料や、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリビニルカルバゾール、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)とポリスチレンスルホン酸との混合物などの高分子正孔輸送材料、チオフェンオリゴマー材料、その他既存の正孔輸送材料の中から選ぶことができる。   Examples of the hole transport material forming the hole transport layer include metal phthalocyanines such as copper phthalocyanine and tetra (t-butyl) copper phthalocyanine, and metal-free phthalocyanines, quinacridone compounds, 1,1-bis (4-di-p -Tolylaminophenyl) cyclohexane, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1′-biphenyl-4,4′-diamine, N, N′-di (1- Naphthyl) -N, N′-diphenyl-1,1′-biphenyl-4,4′-diamine and other aromatic amine-based low molecular hole injection transport materials, polyaniline, polythiophene, polyvinylcarbazole, poly (3,4 -Ethylenedioxythiophene) and polymer hole transport materials such as polystyrene sulfonic acid mixtures, thiophene oligomer materials, and other existing positive It can be selected from among transport material.

また、電子輸送層を形成する電子輸送材料としては、2−(4−ビフィニルイル)−5−(4−t−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、2,5−ビス(1−ナフチル)−1,3,4−オキサジアゾール、オキサジアゾール誘導体やビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]キノリノラート)ベリリウム錯体、トリアゾール化合物等を用いることができる。   Examples of the electron transport material for forming the electron transport layer include 2- (4-bifinylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole, 2,5-bis (1 -Naphtyl) -1,3,4-oxadiazole, oxadiazole derivatives, bis (10-hydroxybenzo [h] quinolinolato) beryllium complexes, triazole compounds, and the like can be used.

有機発光材料を溶解または分散する溶媒としては、トルエン、キシレン、アセトン、ヘキサン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチル、2−メチル−(t−ブチル)ベンゼン、1,2,3,4−テトラメチルベンゼン、ペンチルベンゼン、1,3,5−トリエチルベンゼン、シクロヘキシルベンゼン、1,3,5−トリ−イソプロピルベンゼン等を単独又は混合して用いることができる。また、有機発光インキには、必要に応じて、界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤等が添加されてもよい。   Solvents that dissolve or disperse the organic light emitting material include toluene, xylene, acetone, hexane, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, butyl acetate, 2-methyl- (t-butyl) Benzene, 1,2,3,4-tetramethylbenzene, pentylbenzene, 1,3,5-triethylbenzene, cyclohexylbenzene, 1,3,5-tri-isopropylbenzene and the like can be used alone or in combination. . Moreover, surfactant, antioxidant, a viscosity modifier, a ultraviolet absorber, etc. may be added to organic luminescent ink as needed.

正孔輸送材料、電子輸送材料を溶解または分散させる溶媒としては、例えば、トルエン、キシレン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチル、水等の単独またはこれらの混合溶剤などが挙げられる。特に、正孔輸送材料をインキ化する場合には水またはアルコール類が好適である。   Examples of the solvent for dissolving or dispersing the hole transport material and the electron transport material include, for example, toluene, xylene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, butyl acetate, water and the like Alternatively, a mixed solvent thereof can be used. In particular, water or alcohols are suitable when forming a hole transport material into an ink.

有機発光層や発光補助層は湿式成膜法により形成される。なお、これらの層が積層構造から構成される場合には、その各層の全てを湿式成膜法により形成する必要はない。湿式成膜法としては、スピンコート法、ダイコート法、ディップコート法、吐出コート法、プレコート法、ロールコート法、バーコート法等の塗布法と、凸版印刷法、インクジェット印刷法、オフセット印刷法、グラビア印刷法等の印刷法が挙げられる。特に、RGB三色の有機発光層をパターン形成する場合、印刷法によって画素部に選択的に形成することができ、カラー表示のできる有機EL素子を製造することが可能となる。有機発光媒体層の膜厚は、単層又は積層により形成する場合においても1000nm以下であり、好ましくは50nm〜150nmである。   The organic light emitting layer and the light emission auxiliary layer are formed by a wet film forming method. Note that in the case where these layers have a laminated structure, it is not necessary to form all of the layers by a wet film formation method. As the wet film forming method, spin coating method, die coating method, dip coating method, discharge coating method, pre-coating method, roll coating method, bar coating method and the like, relief printing method, inkjet printing method, offset printing method, Examples of the printing method include a gravure printing method. In particular, when patterning organic light emitting layers of three colors of RGB, it can be selectively formed on the pixel portion by a printing method, and an organic EL element capable of color display can be manufactured. The film thickness of the organic light emitting medium layer is 1000 nm or less, preferably 50 nm to 150 nm, even when formed by a single layer or stacked layers.

繰り返しになるが、本発明は有機発光インキを用い凸版印刷法により有機発光層形成する場合だけでなく、正孔輸送インキや電子輸送インキを用い凸版印刷法により正孔輸送層や電子輸送層といった発光補助層を形成する場合にも使用することができる。   Again, the present invention is not only for forming an organic light emitting layer by a relief printing method using an organic light emitting ink, but also for a hole transport layer or an electron transport layer by a relief printing method using a hole transport ink or an electron transport ink. It can also be used when forming a light emission auxiliary layer.

次に、第二電極を形成する。第二電極を陰極とした場合その材料としては電子注入効率の高い物質を用いる。具体的にはMg、Al、Yb等の金属単体を用いたり、発光媒体と接する界面にLiや酸化Li、LiF等の化合物を1nm程度挟んで、安定性・導電性の高いAlやCuを積層して用いる。または電子注入効率と安定性を両立させるため、低仕事関数なLi、Mg、Ca、Sr、La、Ce、Er、Eu、Sc、Y、Yb等の金属1種以上と、安定なAg、Al、Cu等の金属元素との合金系が用いられる。具体的にはMgAg、AlLi,CuLi等の合金が使用できる。また、トップエミッション方式の有機EL素子とする場合は、陰極は透明性を有する必要があり、例えば、これら金属とITO等の透明導電層の組み合わせによる透明化が可能となる。   Next, a second electrode is formed. When the second electrode is a cathode, a material having high electron injection efficiency is used as the material. Specifically, a single metal such as Mg, Al, or Yb is used, or a compound such as Li, oxidized Li, or LiF is sandwiched by about 1 nm at the interface in contact with the light emitting medium, and Al or Cu having high stability and conductivity is laminated. And use. Or, in order to achieve both electron injection efficiency and stability, one or more metals such as Li, Mg, Ca, Sr, La, Ce, Er, Eu, Sc, Y, Yb, etc., which have low work function, and stable Ag, Al An alloy system with a metal element such as Cu is used. Specifically, alloys such as MgAg, AlLi, and CuLi can be used. Further, in the case of a top emission type organic EL device, the cathode needs to have transparency, and for example, transparency can be achieved by a combination of these metals and a transparent conductive layer such as ITO.

第二電極の形成方法は、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法等の乾式成膜法を用いることができる。また、第二電極をパターンとする必要がある場合には、マスク等によりパターニングすることができる。第二電極の厚さは10nm〜1000nmが好ましい。なお、本発明では第一の電極を陰極、第二の電極を陽極とすることも可能である。   As a method for forming the second electrode, a dry film formation method such as a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, or a sputtering method can be used. Moreover, when it is necessary to make a 2nd electrode into a pattern, it can pattern by a mask etc. The thickness of the second electrode is preferably 10 nm to 1000 nm. In the present invention, the first electrode can be a cathode and the second electrode can be an anode.

有機EL素子としては電極間に有機発光層を挟み、電流を流すことで発光させることが可能であるが、有機発光材料や発光補助層形成材料、電極形成材料の一部は大気中の水分や酸素によって容易に劣化してしまうため通常は外部と遮断するための封止体を設ける。   As an organic EL element, it is possible to emit light by sandwiching an organic light emitting layer between electrodes and letting an electric current flow. However, some of the organic light emitting material, the light emission auxiliary layer forming material, and the electrode forming material contain moisture in the atmosphere. Since it is easily deteriorated by oxygen, a sealing body is usually provided for shielding from the outside.

封止体は、例えば第一電極、有機発光層、発光補助層、第二電極が形成された基板に対して、凹部を有するガラスキャップ、金属キャップを用いて、第一電極、有機発光媒体層、第二電極上空に凹部があたるようにして、その周辺部についてキャップと基板を接着剤を介して接着させることにより封止がおこなわれる。   For example, the sealing body includes a first electrode, an organic light emitting layer, a light emitting auxiliary layer, and a substrate on which the second electrode is formed. Then, sealing is performed by adhering the cap and the substrate with an adhesive around the peripheral portion so that the concave portion hits the second electrode.

また、封止体は、例えば第一電極、有機発光層、発光補助層、第二電極が形成された基板に対して、封止材上に樹脂層を設け、該樹脂層により封止材と基板を貼りあわせることによりおこなうことも可能である。   In addition, the sealing body is provided with a resin layer on a sealing material with respect to the substrate on which, for example, the first electrode, the organic light emitting layer, the light emission auxiliary layer, and the second electrode are formed. It is also possible to carry out by bonding the substrates.

このとき封止材としては、水分や酸素の透過性が低い基材である必要がある。また、材料の一例として、アルミナ、窒化ケイ素、窒化ホウ素等のセラミックス、無アルカリガラス、アルカリガラス等のガラス、石英、アルミニウムやステンレスなどの金属箔、耐湿性フィルムなどを挙げることができる。耐湿性フィルムの例として、プラスチック基材の両面にSiOxをCVD法で形成したフィルムや、透過性の小さいフィルムと吸水性のあるフィルムまたは吸水剤を塗布した重合体フィルムなどがあり、耐湿性フィルムの水蒸気透過率は、10−6g/m/day以下であることが好ましい。 At this time, the sealing material needs to be a base material having low moisture and oxygen permeability. Examples of the material include ceramics such as alumina, silicon nitride, and boron nitride, glass such as alkali-free glass and alkali glass, metal foil such as quartz, aluminum, and stainless steel, and moisture-resistant film. Examples of moisture-resistant films include films formed by CVD of SiOx on both sides of plastic substrates, films with low permeability and water-absorbing films, or polymer films coated with a water-absorbing agent. The water vapor transmission rate is preferably 10 −6 g / m 2 / day or less.

樹脂層としては、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、シリコーン樹脂などからなる光硬化型接着性樹脂、熱硬化型接着性樹脂、2液硬化型接着性樹脂や、エチレンエチルアクリレート(EEA)ポリマー等のアクリル系樹脂、エチレンビニルアセテート(EVA)等のビニル系樹脂、ポリアミド、合成ゴム等の熱可塑性樹脂や、ポリエチレンやポリプロピレンの酸変性物などの熱可塑性接着性樹脂を挙げることができる。樹脂層を封止材の上に形成する方法の一例として、溶剤溶液法、押出ラミ法、溶融・ホットメルト法、カレンダー法、ノズル塗布法、スクリーン印刷法、真空ラミネート法、熱ロールラミネート法などを挙げることができる。必要に応じて吸湿性や吸酸素性を有する材料を含有させることもできる。封止材上に形成する樹脂層の厚みは、封止する有機EL素子の大きさや形状により任意に決定されるが、5〜500μm程度が望ましい。   Examples of the resin layer include photo-curing adhesive resins made of epoxy resins, acrylic resins, silicone resins, thermosetting adhesive resins, two-component curable adhesive resins, and ethylene ethyl acrylate (EEA) polymers. Examples thereof include acrylic resins, vinyl resins such as ethylene vinyl acetate (EVA), thermoplastic resins such as polyamide and synthetic rubber, and thermoplastic adhesive resins such as acid-modified products of polyethylene and polypropylene. Examples of methods for forming a resin layer on a sealing material include solvent solution method, extrusion lamination method, melting / hot melt method, calendar method, nozzle coating method, screen printing method, vacuum laminating method, hot roll laminating method, etc. Can be mentioned. A material having a hygroscopic property or an oxygen absorbing property may be contained as necessary. Although the thickness of the resin layer formed on a sealing material is arbitrarily determined by the magnitude | size and shape of the organic EL element to seal, about 5-500 micrometers is desirable.

第一電極、有機発光層、発光補助層、第二電極が形成された基板と封止体の貼り合わせは封止室でおこなわれる。封止体を、封止材と樹脂層の2層構造とし、樹脂層に熱可塑性樹脂を使用した場合は、加熱したロールで圧着のみ行うことが好ましい。熱硬化型接着樹脂を使用した場合は、加熱したロールで圧着した後、さらに硬化温度で加熱硬化を行うことが好ましい。光硬化性接着樹脂を使用した場合は、ロールで圧着した後、さらに光を照射することで硬化を行うことができる。なお、ここでは封止材上に樹脂層を形成したが、基板上に樹脂層を形成して封止材と貼りあわせることも可能である。   The substrate on which the first electrode, the organic light emitting layer, the light emission auxiliary layer, and the second electrode are formed and the sealing body are bonded together in a sealing chamber. When the sealing body has a two-layer structure of a sealing material and a resin layer, and a thermoplastic resin is used for the resin layer, it is preferable to perform only pressure bonding with a heated roll. When a thermosetting adhesive resin is used, it is preferable to perform heat curing at a curing temperature after pressure bonding with a heated roll. In the case where a photocurable adhesive resin is used, curing can be performed by further irradiating light after pressure bonding with a roll. Note that although the resin layer is formed over the sealing material here, the resin layer can be formed over the substrate and bonded to the sealing material.

封止体を用いて封止を行う前やその代わりに、例えばパッシベーション膜として、CVD法を用いて、窒化珪素膜を150nm成膜するなど、無機薄膜による封止体とすることも可能であり、また、これらを組み合わせることも可能である。   Before or instead of sealing with a sealing body, for example, as a passivation film, it is also possible to form a sealing body with an inorganic thin film, such as a silicon nitride film having a thickness of 150 nm using a CVD method. It is also possible to combine these.

以下に、実施例について示す。
(被印刷基板の作製)
300mm角のガラス基板上に、スパッタ法を用いてITO膜を形成し、フォトリソ法と酸溶液によるエッチングでITO膜をストライプ状にパターニングした。陽極であるITOのラインパターンは、線幅100μm、スペース50μmで、ラインが192ラインで形成されるパターンとした。その上に、スピンコーターを用いて正孔輸送層としてポリ(3,4)エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルホン酸(PEDOT/PSS)1.5wt%水溶液を100nm膜厚で成膜した。さらにこの成膜されたPEDOT/PSS薄膜を減圧下100℃で1時間乾燥することで、被印刷基板を作製した。
Examples will be described below.
(Preparation of printed substrate)
An ITO film was formed on a 300 mm square glass substrate by sputtering, and the ITO film was patterned in a stripe shape by photolithography and etching with an acid solution. The line pattern of ITO as the anode was a pattern in which the line width was 100 μm, the space was 50 μm, and the line was formed with 192 lines. A 1.5 wt% aqueous solution of poly (3,4) ethylenedioxythiophene / polystyrene sulfonic acid (PEDOT / PSS) was formed to a thickness of 100 nm as a hole transport layer using a spin coater. Further, the PEDOT / PSS thin film thus formed was dried at 100 ° C. for 1 hour under reduced pressure to produce a substrate to be printed.

(有機発光層形成用インキの調製)
赤色、緑色、青色(RGB)の3色からなる以下の有機発光インキを調製した。
赤色発光インク(R):ポリフルオレン系誘導体のトルエン1質量%溶液(住友化学社製赤色発光材料 商品名Red1100)
緑色発光インク(G):ポリフルオレン系誘導体のトルエン1質量%溶液(住友化学社製緑色発光材料 商品名Green1300)
青色発光インク(B):ポリフルオレン系誘導体のトルエン1質量%溶液(住友化学社製青色発光材料 商品名Blue1100)
(Preparation of organic light emitting layer forming ink)
The following organic light-emitting inks comprising three colors of red, green, and blue (RGB) were prepared.
Red light emitting ink (R): 1% by weight toluene solution of polyfluorene derivative (Red light emitting material trade name Red1100 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.)
Green light emitting ink (G): 1% by weight toluene solution of polyfluorene derivative (Green light emitting material, trade name Green 1300, manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.)
Blue luminescent ink (B): 1% by weight toluene solution of polyfluorene derivative (blue luminescent material, trade name Blue 1100 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.)

(印刷用凸版の作製)
ポリアミドを主成分とする耐溶剤性の感光性樹脂を、厚さ200μmのPET基材表面に、総厚が1.4mmとなるように溶融塗工し、凸版のもととなる感光性樹脂材を形成した。その際、表面の十点平均粗さRzが0.005μmのPENフィルムをラミネートし、室温冷却により凝固させた。冷却後、PENフィルムを剥離したところ、表面の十点平均粗さRzが0.005μmの板状感光性樹脂からなる版材を形成することができた。その後、この版材にライン幅が100μm、ピッチが350μmのネガ型のフィルムマスクを重ね、公知の露光、現像、乾燥、後露光の工程を経て、印刷用凸版を得た。
(Preparation of printing letterpress)
A photosensitive resin material which is a base for letterpress by melt-coating a solvent-resistant photosensitive resin mainly composed of polyamide on the surface of a PET substrate having a thickness of 200 μm so that the total thickness becomes 1.4 mm. Formed. At that time, a PEN film having a 10-point average roughness Rz of 0.005 μm on the surface was laminated and solidified by cooling at room temperature. When the PEN film was peeled off after cooling, a plate material made of a plate-like photosensitive resin having a 10-point average roughness Rz of 0.005 μm on the surface could be formed. Thereafter, a negative film mask having a line width of 100 μm and a pitch of 350 μm was superimposed on this plate material, and a relief printing plate for printing was obtained through known exposure, development, drying, and post-exposure steps.

(有機EL素子の製造)
上記高精細印刷用凸版を枚葉式の印刷機のシリンダーに固定した。これと上記の有機発光インキを用いて、被印刷基板に対し印刷を各色についておこなった。有機発光層は、赤色有機発光層、緑色有機発光層、青色有機発光層がストライプ状に並ぶように印刷された。各色について印刷をおこなった後、オーブン内で130℃で1時間乾燥を行った。形成されたパターンの膜厚は102nmであり、また、印刷したパターンの表面の十点平均粗さは検出下限の0.005μm未満であり、また、印刷したパターンの直線性を算術平均粗さにより測定したところ、検出下限の0.007μm未満だった。乾燥の後、印刷により形成した有機発光層上にカルシウムを10nm成膜し、さらにその上に銀を300nm真空蒸着し、最後にガラスキャップを用い封止をおこない本発明の有機EL素子を作製した。この有機EL素子の発光特性を見たところ、パターン箇所内全面において5Vで103cd/mの均一な発光が得られた。
(Manufacture of organic EL elements)
The relief printing plate for high-definition printing was fixed to a cylinder of a sheet-fed printing press. Using this and the above-described organic light emitting ink, printing was performed for each color on the substrate to be printed. The organic light emitting layer was printed so that the red organic light emitting layer, the green organic light emitting layer, and the blue organic light emitting layer were arranged in a stripe pattern. After printing for each color, drying was performed in an oven at 130 ° C. for 1 hour. The film thickness of the formed pattern is 102 nm, the ten-point average roughness of the surface of the printed pattern is less than the detection lower limit of 0.005 μm, and the linearity of the printed pattern is calculated by the arithmetic average roughness. When measured, it was less than the detection lower limit of 0.007 μm. After drying, a 10 nm film of calcium was formed on the organic light emitting layer formed by printing, and then silver was vacuum deposited on the film by 300 nm, and finally sealed using a glass cap to produce the organic EL device of the present invention. . When the light emission characteristics of this organic EL element were observed, uniform light emission of 103 cd / m 2 was obtained at 5 V over the entire surface in the pattern portion.

(比較例)
比較例として、表面が平滑でない印刷用凸版(従来の印刷用凸版)を用いた場合について示す。
(Comparative example)
As a comparative example, a case where a relief printing plate having a smooth surface (conventional printing relief plate) is used will be described.

ダンボール印刷用の印刷用凸版に用いられる版材(表面の十点平均粗さRzが7μm)を用い、ライン幅が100μm、スペース350μmのネガ型のフィルムマスクを重ね、公知の露光、現像工程により製版した。上記印刷用凸版を枚葉式の印刷機のシリンダーに固定し、実施例と同様の被印刷基板、有機発光インキを用い、各色インキについて印刷をおこなった後、130℃で1時間乾燥をおこなった。印刷により形成された有機発光層のパターンの膜厚は、152nmであったが、有機発光層のパターンの表面の十点平均粗さは0.7μm、印刷したパターンの直線性を算術平均粗さにより測定したところ、12μmだった。乾燥の後、実施例1と同様に、形成した有機発光層上にカルシウムと銀を真空蒸着して有機EL素子を作製した。この有機EL素子の発光特性を見たところ、電圧が不均一に印加されたことによる不均一な発光が見られた。   A plate material (ten-point average roughness Rz on the surface is 7 μm) used for a relief printing plate for cardboard printing is overlaid with a negative film mask having a line width of 100 μm and a space of 350 μm, and is exposed by a known exposure and development process. Made a plate. The printing relief plate was fixed to a cylinder of a sheet-fed printing machine, printed on each color ink using the same substrate to be printed and organic light emitting ink as in the example, and then dried at 130 ° C. for 1 hour. . The thickness of the organic light-emitting layer pattern formed by printing was 152 nm, but the 10-point average roughness of the surface of the organic light-emitting layer pattern was 0.7 μm, and the linearity of the printed pattern was the arithmetic average roughness. As a result of measurement, it was 12 μm. After drying, in the same manner as in Example 1, calcium and silver were vacuum deposited on the formed organic light emitting layer to produce an organic EL device. When the light emission characteristics of the organic EL element were observed, nonuniform light emission due to nonuniform voltage application was observed.

なお、本発明の印刷用版材表面の十点平均粗さ、有機発光層パターンの表面の十点平均粗さ、有機発光層のパターンの直線性である算術平均粗さには、非接触式表面形状測定装置(日本ビーコ社製WYKO−NT8000)を用いた。図7に非接触式表面形状測定装置を用いて、実施例及び比較例の版材表面の形状を測定した測定結果を示した。図7(a)は実施例に用いた印刷用凸版の版材表面の表面形状平面図(Rz=0.005μm)であり、図7(b)は比較例に用いた印刷用凸版の版材表面の表面形状平面図(Rz=7μm)である。   Note that the ten-point average roughness of the printing plate surface of the present invention, the ten-point average roughness of the surface of the organic light emitting layer pattern, and the arithmetic average roughness which is the linearity of the pattern of the organic light emitting layer are non-contact type. A surface shape measuring device (WYKO-NT8000, manufactured by Nihon Beco) was used. The measurement result which measured the shape of the plate material surface of an Example and a comparative example using the non-contact-type surface shape measuring apparatus in FIG. 7 was shown. FIG. 7A is a plan view (Rz = 0.005 μm) of the surface shape of the printing plate surface of the printing relief plate used in the examples, and FIG. 7B is the printing relief plate material used in the comparative example. It is a surface shape top view (Rz = 7 micrometer) of the surface.

図1は本発明の印刷用凸版の一例の説明断面図である。FIG. 1 is an explanatory sectional view of an example of a relief printing plate according to the present invention. 図2は本発明の印刷用凸版における凸部パターンと最短辺の説明概略図である。FIG. 2 is an explanatory schematic diagram of the convex pattern and the shortest side in the relief printing plate of the present invention. 図3は本発明の印刷用凸版の製造方法の説明断面図である。FIG. 3 is an explanatory sectional view of the method for producing a relief printing plate of the present invention. 図4は本発明の印刷物の製造に用いられる凸版印刷装置の概略図である。FIG. 4 is a schematic view of a relief printing apparatus used for producing the printed matter of the present invention. 図5は本発明の有機EL素子の説明断面図である。FIG. 5 is an explanatory cross-sectional view of the organic EL device of the present invention. 図6はアクティブマトリクス方式の基板の一例の説明断面図である。FIG. 6 is an explanatory cross-sectional view of an example of an active matrix substrate. 図7(a)は実施例に用いた印刷用凸版の版材表面の表面形状平面図(Rz=0.005μm)であり、図7(b)は比較例に用いた印刷用凸版の版材表面の表面形状平面図(Rz=7μm)である。FIG. 7A is a plan view (Rz = 0.005 μm) of the surface shape of the printing plate surface of the printing relief plate used in the examples, and FIG. 7B is the printing relief plate material used in the comparative example. It is a surface shape top view (Rz = 7 micrometer) of the surface.

符号の説明Explanation of symbols

200:基材
201:凸部パターン
222:凸部パターン
L:最短辺
202a:感光性樹脂(未硬化)
202b:感光性樹脂からなる凸部パターン
204:ガラス
205:遮光部
206:フォトマスク
207:活性エネルギー線
11:インキ補充装置
12:ドクター
13:アニロックスロール
14:印刷用凸版
15:版胴
16:被印刷基板
17:ステージ
18:インキ
18a:インキパターン
1:基板
2:第一電極
3:正孔輸送層
41:赤色(R)有機発光層
42:緑色(G)有機発光層
43:青色(B)有機発光層
5:第二電極
7:隔壁
8:ガラスキャップ
9:接着剤
111:支持体
112:活性層
113:ゲート絶縁膜
114:ゲート電極
115:層間絶縁膜
116:ドレイン電極
117:平坦化層
118:コンタクトホール
119:データ線
120:TFT
200: base material 201: convex pattern 222: convex pattern L: shortest side 202a: photosensitive resin (uncured)
202b: convex pattern 204 made of photosensitive resin 204: glass 205: light shielding portion 206: photomask 207: active energy ray 11: ink replenishing device 12: doctor 13: anilox roll 14: letterpress for printing 15: plate cylinder 16: covered Print substrate 17: Stage 18: Ink 18a: Ink pattern 1: Substrate 2: First electrode 3: Hole transport layer 41: Red (R) organic light emitting layer 42: Green (G) Organic light emitting layer 43: Blue (B) Organic light emitting layer 5: second electrode 7: partition wall 8: glass cap 9: adhesive 111: support 112: active layer 113: gate insulating film 114: gate electrode 115: interlayer insulating film 116: drain electrode 117: planarization layer 118: Contact hole
119: Data line 120: TFT

Claims (7)

インキを凸版の凸部パターンに供給し、凸部パターンにあるインキを被印刷体に転写し、被印刷体表面にインキパターンを形成する際に用いる印刷用凸版において、
該印刷用凸版の凸部パターン表面の十点平均粗さRzが、凸部パターンの最短辺の長さの25%以下であることを特徴とする高精細印刷用凸版。
In the printing relief plate used when supplying the ink to the relief pattern of the relief plate, transferring the ink in the relief pattern to the printing material, and forming the ink pattern on the printing material surface,
The high-definition relief printing plate, wherein the ten-point average roughness Rz of the convex pattern surface of the relief printing plate is 25% or less of the length of the shortest side of the convexity pattern.
前記印刷用凸版の凸部パターンが樹脂からなることを特徴とする請求項1記載の印刷用凸版。   2. The relief printing plate according to claim 1, wherein the projection pattern of the relief printing plate is made of a resin. 前記印刷用凸版の凸部パターンが水溶性ポリマーを含むことを特徴とする請求項1または2記載の印刷用凸版の製造方法。   The method for producing a printing relief plate according to claim 1 or 2, wherein the convex pattern of the printing relief plate contains a water-soluble polymer. 基材上に感光性樹脂層を設けた版材を用い、該版材をフォトマスクを用い露光する工程と、該露光した版材を現像することにより凸部パターンを形成することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の印刷用凸版の製造方法。   Using a plate material provided with a photosensitive resin layer on a substrate, exposing the plate material using a photomask, and developing the exposed plate material to form a convex pattern The manufacturing method of the relief printing plate in any one of Claims 1 thru | or 3. インキ供給体からインキを請求項1乃至3のいずれかに記載の印刷用凸版の凸部パターンに供給する工程と、該印刷用凸版の凸部パターンにあるインキを被印刷体表面に転写し、該被印刷体表面にインキパターンを形成する工程を有することを特徴とする印刷物の製造方法。   Supplying the ink from the ink supply to the convex pattern of the printing relief plate according to any one of claims 1 to 3, and transferring the ink in the convex pattern of the printing relief plate to the surface of the printing medium; A method for producing a printed material, comprising a step of forming an ink pattern on the surface of the printing material. 少なくとも第一電極と第二電極と有機発光層を含む有機EL層からなり、両電極から有機発光層に電流を流すことにより有機発光層を発光させる有機エレクトロルミネッセンス素子において、
有機EL層形成材料を溶剤に溶解または分散させてなるインキを請求項1乃至3のいずれかに記載の印刷用凸版の凸部パターンに供給する工程と、該印刷用凸版の凸部パターンにある該インキを被印刷基板表面に転写し、該被印刷基板表面に有機EL層のうち少なくとも1層を形成する工程を有することを特徴とする有機EL素子の製造方法。
In an organic electroluminescence device comprising an organic EL layer including at least a first electrode, a second electrode, and an organic light emitting layer, and causing the organic light emitting layer to emit light by passing a current from both electrodes to the organic light emitting layer,
The step of supplying an ink obtained by dissolving or dispersing the organic EL layer forming material in a solvent to the convex pattern of the printing relief plate according to any one of claims 1 to 3, and the convex pattern of the printing relief plate A method for producing an organic EL device, comprising: transferring the ink to a surface of a substrate to be printed, and forming at least one layer of the organic EL layer on the surface of the substrate to be printed.
少なくとも第一電極と第二電極と有機発光層を含む有機EL層からなり、両電極から有機発光層に電流を流すことにより有機発光層を発光させる有機エレクトロルミネッセンス素子において、
有機発光材料を溶剤に溶解または分散させてなる有機発光インキを請求項1乃至3のいずれかに記載の印刷用凸版の凸部パターンに供給する工程と、該印刷用凸版の凸部パターンにある有機発光インキを被印刷基板表面に転写し、該被印刷基板表面に有機発光層を形成する工程を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
In an organic electroluminescence device comprising an organic EL layer including at least a first electrode, a second electrode, and an organic light emitting layer, and causing the organic light emitting layer to emit light by passing a current from both electrodes to the organic light emitting layer,
A step of supplying an organic light emitting ink obtained by dissolving or dispersing an organic light emitting material in a solvent to the convex pattern of the printing relief plate according to any one of claims 1 to 3, and the convex pattern of the printing relief plate A method for producing an organic electroluminescence device, comprising: transferring an organic light emitting ink to a surface of a substrate to be printed, and forming an organic light emitting layer on the surface of the substrate to be printed.
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JP2011243459A (en) * 2010-05-19 2011-12-01 Toppan Printing Co Ltd Manufacturing method for printer and organic electroluminescence element, and organic electroluminescence element

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