JP2007244001A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 音叉腕と音叉基部とを備えて構成され、屈曲モードで振動する音叉形状の音叉形屈曲水晶振動子を備えて構成される水晶ユニットの製造方法で、
   研磨加工あるいはポリッシュ加工された水晶ウエハの上下面の各面に金属膜をスパッタリング法又は蒸着法により形成する工程と、
   前記金属膜の上にレジストを塗布する工程と、
   前記レジストと前記金属膜が少なくとも第１音叉腕と第２音叉腕と音叉基部とを備えた音叉形状を残して除去された後に、化学的エッチング法により前記音叉形状を形成する工程と、
   前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各音叉腕の上面と下面の各々に又は前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の各音叉腕の上面と下面の各々と前記音叉基部に溝を形成する工程と、
   前記各音叉腕に電極となる金属膜とレジストを塗布する工程と、
   ２電極端子の電極を形成するために、前記第１音叉腕の側面の電極と前記第２音叉腕の溝の電極が接続された一方の電極端子である電極を形成し、かつ、前記第１音叉腕の溝の電極と前記第２音叉腕の側面の電極が接続された他方の電極端子である電極を形成する工程と、
   前記各音叉腕に前記溝と前記２電極端子の電極を有する前記音叉形状の音叉形屈曲水晶振動子を収納するケース内に収納する工程と、
   収納された前記音叉形屈曲水晶振動子の周波数を調整する工程とを備えていることを特徴とする水晶ユニットの製造方法。
2. 前記音叉形屈曲水晶振動子の周波数を少なくとも２回別々の工程で調整し、その１回目の周波数調整は前記２電極端子の電極を形成した後に、かつ、前記音叉形屈曲水晶振動子を収納するケース内に収納する前になされ、その２回目の周波数調整は前記音叉形屈曲水晶振動子を収納するケース内に収納した後になされることを特徴とする請求項１に記載の水晶ユニットの製造方法。
3. 水晶ウエハに形成された前記音叉形屈曲水晶振動子は１０ｋＨｚ〜２００ｋＨｚの範囲内にある規準周波数を有し、前記１回目の周波数調整は水晶ウエハの状態で行われ、かつ、前記基準周波数に対して、周波数偏差が−９０００ＰＰＭ〜＋５０００ＰＰＭの範囲内にあるように周波数調整がなされ、前記２回目の周波数調整では前記基準周波数に対して、周波数偏差が−１００ＰＰＭ〜＋１００ＰＰＭの範囲内にあるように周波数調整がなされることを特徴とする請求項２に記載の水晶ユニットの製造方法。
4. 請求項１〜請求項３のいずれかに記載の水晶ユニットの製造方法と増幅器と抵抗とコンデンサーとを備えた水晶発振器の製造方法で、前記音叉形屈曲水晶振動子は基本波モード振動と２次高調波モード振動を備えていて、前記音叉形屈曲水晶振動子の前記基本波モード振動の容量比が、前記２次高調波モード振動の容量比より小さくなるように、前記音叉形状と前記溝と前記電極の寸法を決定する工程を備えていることを特徴とする水晶発振器の製造方法。