JP2007242388A - 発光装置の製造方法 - Google Patents
発光装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007242388A JP2007242388A JP2006062333A JP2006062333A JP2007242388A JP 2007242388 A JP2007242388 A JP 2007242388A JP 2006062333 A JP2006062333 A JP 2006062333A JP 2006062333 A JP2006062333 A JP 2006062333A JP 2007242388 A JP2007242388 A JP 2007242388A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- conductive material
- layer
- functional
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
【課題】発光効率の向上或いは発光寿命の向上を図ることが可能な発光装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、一対の電極間に発光層を具備する発光装置の製造方法であって、電極141を形成する工程と、前記電極141上に電荷輸送性を示す機能層140Aを形成する工程と、前記機能層140A上に発光層140Bを形成する工程と、を含み、前記機能層140Aの形成工程は、当該機能層140Aを構成する導電性材料であって架橋基を有する第1導電性材料と、架橋基を有しない第2導電性材料とを混合したプレ機能膜を成膜する工程と、前記プレ機能膜に対して架橋反応を施す工程と、前記第2導電性材料を溶解可能な溶媒で前記プレ機能膜を洗浄する工程と、を含むことを特徴とする。
【選択図】図3
【解決手段】本発明は、一対の電極間に発光層を具備する発光装置の製造方法であって、電極141を形成する工程と、前記電極141上に電荷輸送性を示す機能層140Aを形成する工程と、前記機能層140A上に発光層140Bを形成する工程と、を含み、前記機能層140Aの形成工程は、当該機能層140Aを構成する導電性材料であって架橋基を有する第1導電性材料と、架橋基を有しない第2導電性材料とを混合したプレ機能膜を成膜する工程と、前記プレ機能膜に対して架橋反応を施す工程と、前記第2導電性材料を溶解可能な溶媒で前記プレ機能膜を洗浄する工程と、を含むことを特徴とする。
【選択図】図3
Description
本発明は、発光装置の製造方法に関するものである。
EL装置に代表される自己発光型の発光装置として、電極間に発光層を挟持させた構成のものがある。この場合、電極間に電界を加えると、陽極からは正孔が、陰極からは電子が発光層に注入され、当該発光層内で再結合することにより発光する。そのため、発光層内の注入量が増えれば、再結合確率は増大し、発光が高効率となるとともに、長寿命化を図ることが可能となる。
陰極側からの電子の注入量は、陰極の金属材料を変えることで容易にコントロールすることができるが、陽極からの正孔の注入量については、高分子タイプの発光層の場合は材料種が少ないため、当該注入量を高めることは難しい。
陰極側からの電子の注入量は、陰極の金属材料を変えることで容易にコントロールすることができるが、陽極からの正孔の注入量については、高分子タイプの発光層の場合は材料種が少ないため、当該注入量を高めることは難しい。
そこで、例えば特許文献1では、正孔注入層(陽極バッファー層)の製造工程において、当該正孔注入層を構成するポリアニリンに非導電性のポリマーを混ぜ、溶解選択性により非導電性ポリマーを溶媒で除去することで、当該正孔注入層を多孔質化して正孔の注入量を向上させている。
特開2001−106782号公報
ところが、上記特許文献1では、選択溶解されなかった非導電性ポリマーが正孔注入層に残存すると、発光特性に影響を及ぼす場合があり、具体的には残存非導電性ポリマーが正孔注入を阻害し、発光効率の低下或いは発光寿命の低下等を引き起こす場合がある。そこで、本発明は、電極と発光層との間に配設する電荷の注入ないし輸送層において、電荷の注入ないし輸送効率を一層高め、発光効率の向上或いは発光寿命の向上を図ることが可能な発光装置の製造方法を提供することを目的としている。
上記課題を解決するために、本発明の発光装置は、一対の電極間に発光層を具備する発光装置の製造方法であって、電極を形成する工程と、前記電極上に電荷輸送性を示す機能層を形成する工程と、前記機能層上に発光層を形成する工程と、を含み、前記機能層の形成工程は、当該機能層を構成する導電性材料であって架橋基を有する第1導電性材料と、架橋基を有しない第2導電性材料とを混合したプレ機能膜を成膜する工程と、前記プレ機能膜に対して架橋反応を施す工程と、前記第2導電性材料を溶解可能な溶媒で前記プレ機能膜を洗浄する工程と、を含むことを特徴とする。
このような方法によると、まず、機能層を形成する工程において、第1導電性材料と第2導電性材料との混合膜であるプレ機能膜を形成した後、当該プレ機能膜に対して架橋反応を施すことで、架橋基を有する第1導電性材料が架橋される。そして、架橋反応を施した後、第2導電性材料を溶解可能な溶媒でプレ機能膜を洗浄することで、プレ機能膜中の架橋されていない第2導電性材料が当該プレ機能膜中から洗浄除去され、架橋された第1導電性材料からなる機能層を形成することが可能となる。ここで、第1導電性材料と第2導電性材料とが混合してなるプレ機能膜から第2導電性材料を洗浄除去することで、もともと第2導電性材料が存在していた部分が空孔となって、残存した第1導電性材料からなる機能層は多孔性を示すか、若しくは表面が凹凸を有した粗い形状を示すこととなる。その結果、当該機能層と発光層との間で接触面積が増大して、電荷の輸送性が向上するため、発光特性の向上及び発光寿命の向上が図られることとなる。そして、更に本発明では、架橋が施されない洗浄除去対象を導電性材料としたことで、仮にプレ機能膜から洗浄除去対象が完全に除去されず残存した場合にも、残存物が導電性を示すことで電荷の輸送性を損なう不具合が発生することもない。したがって、本発明の方法によれば、電極と発光層との間に配設される電荷の輸送層において、電荷の輸送効率が一層高まり、発光効率が向上し、さらには発光寿命も向上することとなるのである。
前記プレ機能膜の成膜工程において、前記第2導電性材料を構成する分子の分子量が1000以下であるものとすることができる。第2導電性材料を構成する分子の分子量が1000を超えると、当該材料を溶解する溶媒の選択が困難となる場合があり、洗浄除去工程に手間が掛かるとともに、第2導電性材料が極端に残存して機能層において好適な孔が形成されない場合もあるからである。なお、第2導電性材料を構成する分子の分子量は、好ましくは300以下とするのが良く、これにより溶媒の選択の幅が一層広がり、洗浄除去工程も簡便化されることとなる。
前記プレ機能膜の成膜工程において、当該プレ機能膜における前記第2導電性材料の含有量が75wt%以下であるものとすることができる。第2導電性材料の含有量が75wt%を超えると、形成される機能層が多孔化し過ぎて、電荷の輸送効率が逆に低下する場合があるからである。なお、第2導電性材料の含有量は好ましくは50wt%以下とするのが良く、これにより一層の電荷輸送性向上を図ることが可能となる。
前記プレ機能膜の成膜工程において、前記第1導電性材料と前記第2導電性材料とが相溶性を示すものとすることができる。プレ機能膜中で第1導電性材料と第2導電性材料とが相溶性を示すことで、第2導電性材料を洗浄除去した場合に、残存した第1導電性材料からなる機能層を確実に多孔化することが可能となる。逆に、これら材料がプレ機能膜において相分離すると、洗浄後の機能層は多孔化せず、電荷輸送性の向上が図られないこととなる。
前記プレ機能膜の成膜工程において、前記第1導電性材料は、前記第2導電性材料を構成する分子に対して架橋基を導入した分子からなるものとすることができる。このように第2導電性材料を構成する分子に対して架橋基を導入した分子により第1導電性材料を構成すれば、これら第1導電性材料と第2導電性材料とは好適に相溶し、上述の通り洗浄後の機能層が好適に多孔化されることとなる。
前記機能層上に発光層を形成した後、当該発光層をガラス転移温度以上に加熱する工程を含むものとすることができる。このように発光層をガラス転移温度以上に加熱させることで、多孔化若しくは表面粗化された機能層に対して、当該発光層を確実に接触させることが可能となる。つまり、加熱により、機能層表面の孔内若しくは凹部内に発光層を確実に密入させて、これら機能層と発光層との接触面積を増大させることが可能となるのである。
なお、本発明の方法により製造された発光装置は、上述の通り発光効率が高く発光寿命に優れたものである。そして、このような発光装置は種々の電子機器の表示部に応用可能であり、このような電子機器によれば、明るく信頼性のある表示を長期に渡って提供することが可能となる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
まず、本発明の製造方法により得られる発光装置の一実施形態である有機EL装置について説明し、それに引き続いて本発明に係る製造方法について説明する。図1は、本実施形態の製造方法により得られた有機EL装置の回路構成図、図2は、図1の有機EL装置の画素の平面構造を示す図であって陰極や有機EL層を取り除いた状態の拡大平面図、図3は、複数の画素を含む断面構造を示す図である。
まず、本発明の製造方法により得られる発光装置の一実施形態である有機EL装置について説明し、それに引き続いて本発明に係る製造方法について説明する。図1は、本実施形態の製造方法により得られた有機EL装置の回路構成図、図2は、図1の有機EL装置の画素の平面構造を示す図であって陰極や有機EL層を取り除いた状態の拡大平面図、図3は、複数の画素を含む断面構造を示す図である。
図1に示すように、有機EL装置70は、透明の基板上に、複数の走査線131と、これら走査線131に対して交差する方向に延びる複数の信号線132と、これら信号線132に並列に延びる複数の共通給電線133とがそれぞれ配線されたもので、走査線131及び信号線132の各交点毎に、画素71が設けられて構成されたものである。
信号線132に対しては、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを備えるデータ側駆動回路72が設けられている。
一方、走査線131に対しては、シフトレジスタ及びレベルシフタを備える走査側駆動回路73が設けられている。また、画素71の各々には、走査線131を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング薄膜トランジスタ142と、このスイッチング薄膜トランジスタ142を介して信号線132から供給される画像信号を保持する保持容量capと、保持容量capによって保持された画像信号がゲート電極に供給されるカレント薄膜トランジスタ143と、このカレント薄膜トランジスタ143を介して共通給電線133に電気的に接続したときに共通給電線133から駆動電流が流れ込む画素電極(陽極)141と、この画素電極141と陰極154との間に挟み込まれる発光部(有機EL層)140と、が設けられている。なお、画素電極141と陰極154にはそれぞれ素子制御部(図示略)が接続され、両電極に任意の電圧を印加可能になっている。
一方、走査線131に対しては、シフトレジスタ及びレベルシフタを備える走査側駆動回路73が設けられている。また、画素71の各々には、走査線131を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング薄膜トランジスタ142と、このスイッチング薄膜トランジスタ142を介して信号線132から供給される画像信号を保持する保持容量capと、保持容量capによって保持された画像信号がゲート電極に供給されるカレント薄膜トランジスタ143と、このカレント薄膜トランジスタ143を介して共通給電線133に電気的に接続したときに共通給電線133から駆動電流が流れ込む画素電極(陽極)141と、この画素電極141と陰極154との間に挟み込まれる発光部(有機EL層)140と、が設けられている。なお、画素電極141と陰極154にはそれぞれ素子制御部(図示略)が接続され、両電極に任意の電圧を印加可能になっている。
ここで、図2に示すように、各画素71の平面構造は、平面形状が長方形の画素電極141の四辺が、信号線132、共通給電線133、走査線131及び図示しない他の画素電極用の走査線によって囲まれた配置となっている。
一方、図3に示すように、画素電極141は、概ねバンク(隔壁部)150に囲まれた領域内に設けられており、この画素電極141上に、正孔注入/輸送層140Aと発光層140Bと電子注入層140Cとの積層膜からなる発光部140が設けられ、当該発光部140を覆って陰極154が設けられている。なお、バンク150は、画素電極141の外縁をその4辺に沿って覆うように配設されており、発光部140を画素毎(色毎)に区画するものである。
一方、図3に示すように、画素電極141は、概ねバンク(隔壁部)150に囲まれた領域内に設けられており、この画素電極141上に、正孔注入/輸送層140Aと発光層140Bと電子注入層140Cとの積層膜からなる発光部140が設けられ、当該発光部140を覆って陰極154が設けられている。なお、バンク150は、画素電極141の外縁をその4辺に沿って覆うように配設されており、発光部140を画素毎(色毎)に区画するものである。
有機EL装置70は、発光層140Bからの出力光を、画素電極141が形成された基板P側から装置外部に取り出す形態であり、基板Pは、光を透過可能な透明あるいは半透明材料に少なくとも光を透過可能な透明あるいは半透明な画素電極141を形成したものである。光を透過可能な透明あるいは半透明材料としては、例えば、透明なガラス、石英、サファイア、あるいはポリエステル、ポリアクリレート、ポリカーボネート、ポリエーテルケトンなどの透明な合成樹脂などが挙げられる。特に、基板Pの形成材料としては、安価なソーダガラスが好適に用いられる。
陽極としての画素電極141は、インジウム錫酸化物(Indium Tin Oxide:ITO)等からなる透明電極であって光を透過可能なものである。なお、基板Pと反対側から発光光を取り出す形態の場合には、基板Pを構成する材料は不透明であってもよく、その場合、アルミナ等のセラミック、ステンレス等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などを用いることができ、さらにこの場合、画素電極141は遮光性や光反射性の材料で形成することができる。
正孔注入/輸送層140Aは、バンク150で囲まれた各画素内に配設され、発光層140Bの発光効率、寿命などの素子特性を向上させる機能を有する。つまり、正孔注入/輸送層140Aを設けることで、発光層140B内を移動する電子が効率よくブロッキングされ、発光層140B内での正孔と電子との再結合確率を高める効果が得られる。正孔注入/輸送層140Aを形成するための材料(形成材料)としては、本実施形態ではトリフェニルアミン誘導体を用いているが、その他にも例えばチオフェン系化合物(ポリチオフェン(PEDOT)等)、ピロール系化合物(ポリピロール等)、アニリン系化合物(ポリアニリン等)、アセチレン系化合物(ポリアセチレン等)や、それらの誘導体などを用いることができる。
また、正孔注入/輸送層140Aを構成している材料は、エポキシ基(架橋基)を介して分子間で架橋化されており、溶媒に対して不溶なものとなっている。さらに、当該正孔注入/輸送層140Aは、後述する方法により製造したことで、図4に示すような孔149を具備した多孔体であって、特に発光層140B側の表面が粗く凹凸形状を具備して構成されている。なお、上記架橋基としてエポキシ基を導入しているが、その他にも例えばアクリロイル基、ビニル基などを導入して架橋化することも可能である。
発光層140Bは、正孔注入/輸送層140Aと同様、バンク150で囲まれた各画素71内に配設され、つまり各色の画素71毎にそれぞれ異なる発光材料から構成されてパターニングされており、ここでは、赤色R、緑色G、青色B毎に所定の配列(例えばストライプ配列)でパターニングされている。発光層140Bの形成材料としては、低分子の有機発光色素や高分子発光体、即ち、各種の蛍光物質や燐光物質などの発光物質、Alq3(アルミキレート錯体)などの有機エレクトロルミネッセンス材料が使用可能である。発光物質となる共役系高分子の中ではアリーレンビニレン又はポリフルオレン構造を含むものなどが特に好ましい。低分子発光体では、例えばナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、ペリレン誘導体、ポリメチン系、キサテン系、クマリン系、シアニン系などの色素類、8−ヒドロキノリン及びその誘導体の金属錯体、芳香族アミン、テトラフェニルシクロペンタジエン誘導体等、又は特開昭57−51781、同59−194393号公報等に記載されている公知のものが使用可能である。
電子注入層140Cは、正孔注入/輸送層140A及び発光層140Bと同様、バンク150で囲まれた各画素71内に配設され、つまり画素71毎にパターニングされている。ここでの電子注入層140Cは、発光層140Bへの電子注入を促進する役割を果たすものである。電子注入層140Cを形成する材料としては、オキサジアゾール誘導体、アントラキノジメタン及びその誘導体、ベンゾキノン及びその誘導体、ナフトキノン及びその誘導体、アントラキノン及びその誘導体、テトラシアノアンスラキノジメタン及びその誘導体、フルオレノン誘導体、ジフェニルジシアノエチレン及びその誘導体、ジフェノキノン誘導体、8−ヒドロキシキノリン及びその誘導体の金属錯体などを用いることができる。
陰極154は、マグネシウムと銀から構成されて基板Pの全面にベタ状に配設されている。なお、陰極154を構成する材料としては、その他にもアルミニウム等を採用しても良い。
また、有機EL装置70では、陰極154を覆う封止部材を設けることが好ましく、さらには、陽極141と基板Pとの間に、基板P側から陽極141、陰極154、発光部140に対して大気が侵入するのを遮断するための封止層を設けることもできる。光取り出し側に設ける封止層は、例えばセラミックや窒化珪素、酸化窒化珪素、酸化珪素などの透明な材料により形成し、この中でも酸化窒化珪素が透明性、ガスバリア性の観点から好ましい。
このような構成のもとに、走査線131が駆動されてスイッチング薄膜トランジスタ142がオンとなると、そのときの信号線132の電位が保持容量capに保持され、該保持容量capの状態に応じて、カレント薄膜トランジスタ143のオン・オフ状態が決まる。そして、カレント薄膜トランジスタ143のチャネルを介して共通給電線133から画素電極141に電流が流れ、さらに発光部140を通じて陰極154に電流が流れることにより、発光部140は、これを流れる電流量に応じて発光するようになる。
特に、本実施形態では、図4に示すように正孔注入/輸送層140Aが多孔化され、表面が粗い凹凸状態となっているため、当該正孔注入/輸送層140Aと発光層140Bとの間で接触面積が増大して、平坦な正孔注入/輸送層のものに比べて正孔(電荷)の輸送性が向上するため、発光特性が向上し、また発光寿命も向上した。
(発光装置の製造方法)
次に、本発明に係る有機EL装置70の製造方法について図9及び図10を参照しながら説明する。
まず、図9(a)に示すように、基板Pを用意する。ここで、本発明に係る有機EL装置では発光層による発光光を基板P側から取り出すことも可能であり、また基板Pと反対側から取り出す構成とすることも可能である。発光光を基板P側から取り出す構成とする場合、基板構成材料としてはガラスや石英、樹脂等の透明ないし半透明なものを用いる。なお、基板Pと反対側から発光光を取り出す構成の場合、基板Pは不透明であってもよく、その場合、アルミナ等のセラミックス、ステンレス等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などを用いることができる。
次に、本発明に係る有機EL装置70の製造方法について図9及び図10を参照しながら説明する。
まず、図9(a)に示すように、基板Pを用意する。ここで、本発明に係る有機EL装置では発光層による発光光を基板P側から取り出すことも可能であり、また基板Pと反対側から取り出す構成とすることも可能である。発光光を基板P側から取り出す構成とする場合、基板構成材料としてはガラスや石英、樹脂等の透明ないし半透明なものを用いる。なお、基板Pと反対側から発光光を取り出す構成の場合、基板Pは不透明であってもよく、その場合、アルミナ等のセラミックス、ステンレス等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などを用いることができる。
本実施形態では、基板Pとしてガラス等からなる透明基板が用いられる。そして、これに対し、図1及び図2に示したような各種配線131〜133や薄膜トランジスタ142,143等を公知の方法により形成する。
次に、図9(a)に示すように、画素電極141を画素パターンに対応させて形成する。ここでは、インジウム錫酸化物(ITO)をスパッタリング法により成膜した後、フォトリソグラフィ法を用いたマスクエッチングにより所望パターンの画素電極141を得るものとしている。
続いて、図9(b)に示すように、隣接する画素電極141の隙間部分(つまり非画素部)に対して、バンク150を形成する。このバンク150は画素の仕切部材(隔壁)として機能するものであり、例えばポリイミド等の絶縁性有機材料で形成するのが好ましい。なお、バンク150は、矩形状の画素電極141の外縁を覆うように、当該画素電極141の4辺に沿って形成し、発光部140を当該バンク150内に形成できるように、少なくとも該発光部140の総厚以上の高さをもって形成するものとしており、この場合のパターニングもマスクエッチングにより行うことができる。
次に、正孔注入/輸送層140Aを形成する工程を行う。本実施形態では、正孔注入/輸送層140Aは図9(c)〜図9(e)に示すように、塗布成膜工程、加熱硬化工程、溶媒洗浄工程を経て形成される。
まず、図9(c)に示すように、正孔注入/輸送層形成材料等を含む液状組成物L1を作成し、これをインクジェット装置IJによりバンク150により囲まれた領域内に選択吐出する。液状組成物L1は、正孔注入/輸送層140Aを構成する正孔注入/輸送層形成材料(第1導電性材料)と、同じく導電性を有した第2導電性材料とを含んでおり、溶媒はトルエンであって、第1導電性材料及び第2導電性材料に対して高い溶解性を示すものである。また、第1導電性材料は架橋基を有する一方、第2導電性材料は架橋基を有していないものとされている。このような第1導電性材料と第2導電性材料とを含む液状組成物L1をインクジェット装置IJから選択吐出して、これを乾燥することで、当該第1導電性材料と第2導電性材料とからなるプレ機能膜14aが成膜されることとなる。
具体的に、本実施形態では第1導電性材料として化1にて示される化合物を、第2導電性材料として化2にて示される化合物を用いた。
このように本実施形態で用いた第1導電性材料と第2導電性材料とは、その分子構成が似ており、互いに相溶性を示すもので、具体的には、第1導電性材料は第2導電性材料を構成する化合物(トリフェニルアミン誘導体)に対して架橋基を導入した化合物からなるものとされている。ここで、架橋基としてはエポキシ基が導入されているが、例えばアクリロイル基、ビニル基等を採用することも可能である。
成膜工程を経た後、加熱硬化工程を行う。具体的には、図9(d)に示すように、不活性雰囲気下(窒素雰囲気下)で200℃に加熱することにより、第1導電性材料を架橋させるものとしている。このような加熱工程によって、第1導電性材料は架橋基を基点として分子間で架橋反応を生じ、不溶性のプレ機能膜14bに変化する。なお、加熱温度(架橋温度)は、デバイス特性に影響を与えないために200℃以下とすることが好ましい。
加熱工程を経た後、図9(e)に示すように溶媒洗浄工程を行う。ここでは、液状組成物L1で用いた溶媒と同一の溶媒を用いており、分子間架橋が行われた第1導電性材料に対しては溶解性を示さないが、架橋が行われていない第2導電性材料に対して高い溶解性を示すものである。したがって、当該洗浄工程によりプレ機能膜14b中の第2導電性材料が洗浄除去され、第1導電性材料のみが膜中に残存する正孔注入/輸送層140Aが形成されることとなる。
ここで、プレ機能膜14bにおいて第1導電性材料と第2導電性材料とは上述の通り相溶性を示している。したがって、プレ機能膜14bから洗浄により第2導電性材料を選択除去した場合、もともと第2導電性材料が存在していた部分が空孔149(図4参照)となって、残存した第1導電性材料からなる正孔注入/輸送層140Aは多孔性を示し、しかも表面が微細な凹凸を有した粗い形状を示すこととなる。
続いて、図10(a)に示すように、発光層140Bを形成する。ここでは、発光層形成材料等を含む液状組成物L2を作成し、これをインクジェット装置IJによりバンク150により囲まれた領域内に選択吐出する。このような吐出工程後、乾燥を行うことで、正孔注入/輸送層140A上に発光層140Bが形成される。
ここで、発光層140Bは正孔注入/輸送層140Aの凹凸表面上に形成されるものであるため、当該発光層140Bと正孔注入/輸送層140Aとは接触面積が高く、正孔(電荷)の輸送効率向上が図られている。なお、本実施形態では、発光層140Bをガラス転移温度以上に加熱する工程を行っている。これにより、発光層140Bと正孔注入/輸送層140Aとの密着性が向上し、発光層140Bが正孔注入/輸送層140Aの表面に確実に接触した状態で、当該発光層140Bを形成することが可能となる。
続いて、図10(b)に示すように、電子注入層140Cを形成する。ここでは、電子注入層形成材料等を含む液状組成物L3を作成し、これをインクジェット装置IJによりバンク150により囲まれた領域内に選択吐出する。このような吐出工程後、乾燥を行うことで、発光層140B上に電子注入層140Cが形成される。
さらに、図10(c)に示すように、電子注入層140C上にマグネシウム及び銀を蒸着法若しくはスパッタリング法により全面ベタ状に成膜し、陰極154を形成するとともに、封止工程を行うことで(図示略)、本実施形態に係る有機EL装置70が製造される。
以上のような本実施形態の有機EL装置の製造方法によると、正孔注入/輸送層140Aを多孔化し、表面に微細な凹凸形状を付与しているため、正孔注入/輸送層140Aと発光層140Bとの間で接触面積が増大することとなる。その結果、正孔注入/輸送層140Aと発光層140Bとの間で正孔(電荷)の輸送性が向上し、発光特性の向上及び発光寿命の向上が図られることとなる。
また本実施形態では、架橋が施されない洗浄除去対象を導電性材料(第2導電性材料)としたことで、溶媒洗浄工程において、仮にプレ機能膜14bから洗浄除去対象(第2導電性材料)が完全に除去されず残存した場合にも、残存物が導電性を示すため正孔(電荷)の輸送性が損なわれる不具合が発生することもない。
なお、上記製造方法において、第2導電性材料は分子量が1000以下であることが好ましい。第2導電性材料の分子量が1000を超えると、当該材料を溶解する溶媒の選択が困難となる場合があり、洗浄除去工程に手間が掛かるとともに、最終的に正孔注入/輸送層140Aに第2導電性材料が極端に残存して、当該正孔注入/輸送層140Aにおいて好適な孔が形成されず、若しくは凹凸表面形状が形成されない場合もあるからである。なお、第2導電性材料の分子量は、好ましくは300以下とするのが良く、これにより溶媒の選択の幅が一層広がり、洗浄除去工程も簡便化されることとなる。
また、液状組成物L1において第2導電性材料の含有量は75wt%以下であることが好ましい。第2導電性材料の含有量が75wt%を超えると、形成される正孔注入/輸送層140Aが多孔化し過ぎて、若しくは表面の凹凸が粗くなり過ぎて、正孔(電荷)の輸送効率が逆に低下する場合があるからである。第2導電性材料の含有量は好ましくは50wt%以下とするのが良く、これにより正孔(電荷)の輸送性向上を一層図ることが可能となる。
以上、本発明の発光装置の製造方法に係る有機EL装置の製造方法について説明したが、本発明は上記実施形態の構成の発光装置に限られるものではない。
例えば、図5に示すように、基板P上に陰極154を画素電極として形成し、その上に電子注入層140C、発光層140B、正孔注入/輸送層140Aを順次積層するものであっても良い。この場合、電子注入層140Cを形成する工程において、上述の通り第1導電性材料と第2導電性材料とによりプレ機能膜を形成するとともに、加熱硬化工程、及び溶媒洗浄工程を経ることで、図6に示すように、複数の孔149を具備した多孔質で、微細な凹凸表面を具備した電子注入層140Cを形成することができる。
例えば、図5に示すように、基板P上に陰極154を画素電極として形成し、その上に電子注入層140C、発光層140B、正孔注入/輸送層140Aを順次積層するものであっても良い。この場合、電子注入層140Cを形成する工程において、上述の通り第1導電性材料と第2導電性材料とによりプレ機能膜を形成するとともに、加熱硬化工程、及び溶媒洗浄工程を経ることで、図6に示すように、複数の孔149を具備した多孔質で、微細な凹凸表面を具備した電子注入層140Cを形成することができる。
この場合も、電子注入層140Cと発光層140Bとの接触面積増大が図られるため、電子注入層140Cと発光層140Bとの間における電子(電荷)の輸送効率向上が図られることとなる。
また、上記実施形態では、フルカラー表示が可能なように、画素71をバンク150により区画し、色画素毎にそれぞれ異なるEL材料(発光材料)を成膜するものとしたが、例えば図7に示すように、発光部140を全面ベタ状に形成し、モノクロ表示とすることもできる。つまり、正孔注入/輸送層140Aを形成する際、第1導電性材料と第2導電性材料とを含む液状組成物L1をスピンコート法により成膜してプレ機能膜とするとともに、これを加熱硬化した後、溶媒洗浄することで、基板P上の全面に形成され、多孔質で表面に微細凹凸を有した正孔注入/輸送層140Aが形成されることとなる。なお、発光層140B及び電子注入層140Cについても同様にスピンコート法で成膜を行うことができる。ここで、図7においては、画素71を区画する絶縁層151を形成するものとしているが、例えば図8に示すように絶縁総151を形成せず、画素電極141のパターンによって画素71を構成するものとしてもよい。
続いて、実施例により本発明をさらに詳細に説明する。
まず、図3に示すような構成を具備した有機EL装置を上述した本実施形態の方法により製造し、実施例1とした。具体的には、ガラス基板P上にITOからなる画素電極141を画素毎にパターン形成し、その上に化1で示した架橋基を有するトリフェニルアミン誘導体75wt%と化2で示した架橋基を有しないトリフェニルアミン誘導体25wt%を混合したプレ機能膜14aを形成する。そして、架橋反応を生じさせるために、不活性雰囲気中で200℃、60分間加熱を行い、続いて溶媒トルエンで洗浄した。なお、洗浄後の膜厚が10nmとなるように架橋前の膜厚を調整した。さらに、発光層140Bとしてポリ(2−メトキシ−5−(2’−エチル−ヘキシロキシ)−1,4−フェニレンビニレン)(MEH−PPV)を60nm成膜し、陰極154としてマグネシウムと銀を真空蒸着法により成膜し、封止を行って実施例1の有機EL装置を得た。
まず、図3に示すような構成を具備した有機EL装置を上述した本実施形態の方法により製造し、実施例1とした。具体的には、ガラス基板P上にITOからなる画素電極141を画素毎にパターン形成し、その上に化1で示した架橋基を有するトリフェニルアミン誘導体75wt%と化2で示した架橋基を有しないトリフェニルアミン誘導体25wt%を混合したプレ機能膜14aを形成する。そして、架橋反応を生じさせるために、不活性雰囲気中で200℃、60分間加熱を行い、続いて溶媒トルエンで洗浄した。なお、洗浄後の膜厚が10nmとなるように架橋前の膜厚を調整した。さらに、発光層140Bとしてポリ(2−メトキシ−5−(2’−エチル−ヘキシロキシ)−1,4−フェニレンビニレン)(MEH−PPV)を60nm成膜し、陰極154としてマグネシウムと銀を真空蒸着法により成膜し、封止を行って実施例1の有機EL装置を得た。
また、同じく図3に示すような構成を具備した有機EL装置を上述した本実施形態の方法により製造し、実施例2とした。具体的には、ガラス基板P上にITOからなる画素電極141を画素毎にパターン形成し、その上に化1で示した架橋基を有するトリフェニルアミン誘導体50wt%と化2で示した架橋基を有しないトリフェニルアミン誘導体50wt%を混合したプレ機能膜14aを形成する。そして、架橋反応を生じさせるために、不活性雰囲気中で200℃、60分間加熱を行い、続いて溶媒トルエンで洗浄した。なお、洗浄後の膜厚が10nmとなるように架橋前の膜厚を調整した。さらに、発光層140Bとしてポリ(2−メトキシ−5−(2’−エチル−ヘキシロキシ)−1,4−フェニレンビニレン)(MEH−PPV)を60nm成膜し、陰極154としてマグネシウムと銀を真空蒸着法により成膜し、封止を行って実施例2の有機EL装置を得た。
また、同じく図3に示すような構成を具備した有機EL装置を上述した本実施形態の方法により製造し、実施例3とした。具体的には、ガラス基板P上にITOからなる画素電極141を画素毎にパターン形成し、その上に化1で示した架橋基を有するトリフェニルアミン誘導体25wt%と化2で示した架橋基を有しないトリフェニルアミン誘導体75wt%を混合したプレ機能膜14aを形成する。そして、架橋反応を生じさせるために、不活性雰囲気中で200℃、60分間加熱を行い、続いて溶媒トルエンで洗浄した。なお、洗浄後の膜厚が10nmとなるように架橋前の膜厚を調整した。さらに、発光層140Bとしてポリ(2−メトキシ−5−(2’−エチル−ヘキシロキシ)−1,4−フェニレンビニレン)(MEH−PPV)を60nm成膜し、陰極154としてマグネシウムと銀を真空蒸着法により成膜し、封止を行って実施例3の有機EL装置を得た。
一方、ガラス基板P上にITOからなる画素電極141を画素毎にパターン形成し、その上に化1で示した架橋基を有するトリフェニルアミン誘導体を成膜し、次いで架橋反応を生じさせるために、不活性雰囲気中で200℃、60分間加熱を行い、続いて溶媒トルエンで洗浄した。なお、洗浄前後で膜厚は10nmで不変であった。さらに、発光層140Bとしてポリ(2−メトキシ−5−(2’−エチル−ヘキシロキシ)−1,4−フェニレンビニレン)(MEH−PPV)を60nm成膜し、陰極154としてマグネシウムと銀を真空蒸着法により成膜し、封止を行って比較例の有機EL装置を得た。
以上の実施例1、実施例2、実施例3、及び比較例について、発光層における電流密度、発光効率、正孔注入/輸送層上の平坦度Raについて考察した。結果を表1に示す。なお、電流密度と発光効率については比較例1の値により規格化した値を示し、平坦度RaについてはAFMで算出された値(nm)を示している。
このように、架橋基を有さないトリフェニルアミン誘導体(第2導電性材料)の割合が増加するにつれ、表面形状が粗くなった。デバイス特性は架橋基を有さないトリフェニルアミン誘導体を用いた各実施例が比較例より優れ、発光効率の向上が確認された。なお、架橋基を有さないトリフェニルアミン誘導体(第2導電性材料)の割合が50%のとき、電流注入量及び発光効率が最も優れるものとなった。これは実施例3のように第2導電性材料の割合を多くし過ぎると、形成される正孔注入/輸送層が多孔化し過ぎるため、正孔の輸送効率が低下したものと考えられる。
(電子機器)
本発明の発光装置(有機EL装置)は、表示部を備えた様々な電子機器に適用される。以下、本発明の発光装置を備えた電子機器の適用例について説明する。
本発明の発光装置(有機EL装置)は、表示部を備えた様々な電子機器に適用される。以下、本発明の発光装置を備えた電子機器の適用例について説明する。
図11は、上記実施形態の有機EL装置を携帯電話に適用した例を示す斜視図であり、携帯電話1300は、上記実施形態の有機EL装置を小サイズの表示部1301として備える。携帯電話1300は、複数の操作ボタン1302、受話口1303、及び送話口1304を備えて構成されている。
なお、このような携帯電話の例に加えて、他の例として、腕時計、モバイル型コンピュータ、液晶テレビ、ビューファインダ型やモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた機器等が挙げられる。本発明の発光装置は、こうした電子機器の表示部としても適用できる。
なお、このような携帯電話の例に加えて、他の例として、腕時計、モバイル型コンピュータ、液晶テレビ、ビューファインダ型やモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた機器等が挙げられる。本発明の発光装置は、こうした電子機器の表示部としても適用できる。
70…有機EL装置(発光装置)、140A…正孔注入/輸送層(機能層)、140B…発光層、140C…電子注入層(機能層)、141…画素電極(陽極)、154…陰極、14a,14b…プレ機能膜
Claims (6)
- 一対の電極間に発光層を具備する発光装置の製造方法であって、
電極を形成する工程と、
前記電極上に電荷輸送性を示す機能層を形成する工程と、
前記機能層上に発光層を形成する工程と、を含み、
前記機能層の形成工程は、当該機能層を構成する導電性材料であって架橋基を有する第1導電性材料と、架橋基を有しない第2導電性材料とを混合したプレ機能膜を成膜する工程と、前記プレ機能膜に対して架橋反応を施す工程と、前記第2導電性材料を溶解可能な溶媒で前記プレ機能膜を洗浄する工程と、を含むことを特徴とする発光装置の製造方法。 - 前記プレ機能膜の成膜工程において、前記第2導電性材料を構成する分子の分子量が1000以下であることを特徴とする請求項1に記載の発光装置の製造方法。
- 前記プレ機能膜の成膜工程において、当該プレ機能膜における前記第2導電性材料の含有量が75wt%以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の発光装置の製造方法。
- 前記プレ機能膜の成膜工程において、前記第1導電性材料と前記第2導電性材料とが相溶性を示すことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。
- 前記プレ機能膜の成膜工程において、前記第1導電性材料は、前記第2導電性材料を構成する分子に対して架橋基を導入した分子からなることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。
- 前記機能層上に発光層を形成した後、当該発光層をガラス転移温度以上に加熱する工程を含むことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006062333A JP2007242388A (ja) | 2006-03-08 | 2006-03-08 | 発光装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006062333A JP2007242388A (ja) | 2006-03-08 | 2006-03-08 | 発光装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007242388A true JP2007242388A (ja) | 2007-09-20 |
Family
ID=38587719
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006062333A Withdrawn JP2007242388A (ja) | 2006-03-08 | 2006-03-08 | 発光装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007242388A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009152015A (ja) * | 2007-12-19 | 2009-07-09 | Panasonic Corp | 有機エレクトロルミネッセンス素子および製造方法 |
JP2014192291A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Hitachi Chemical Co Ltd | 重合性塗布液並びにこれを用いて形成した樹脂及び有機エレクトロルミネッセンス素子並びに重合性塗布液及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
JP2019110142A (ja) * | 2011-06-21 | 2019-07-04 | カティーバ, インコーポレイテッド | Oledマイクロキャビティおよび緩衝層のための材料および方法 |
-
2006
- 2006-03-08 JP JP2006062333A patent/JP2007242388A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009152015A (ja) * | 2007-12-19 | 2009-07-09 | Panasonic Corp | 有機エレクトロルミネッセンス素子および製造方法 |
JP2019110142A (ja) * | 2011-06-21 | 2019-07-04 | カティーバ, インコーポレイテッド | Oledマイクロキャビティおよび緩衝層のための材料および方法 |
JP2014192291A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Hitachi Chemical Co Ltd | 重合性塗布液並びにこれを用いて形成した樹脂及び有機エレクトロルミネッセンス素子並びに重合性塗布液及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10770658B2 (en) | Method of manufacturing organic light-emitting device and method of manufacturing display unit | |
US9711723B2 (en) | Display and method of manufacturing the same, unit, transfer printing method, organic electroluminescence unit and method of manufacturing the same, and electronic apparatus | |
US8932889B2 (en) | Display, method of manufacturing the same, and electronic unit | |
JP5417732B2 (ja) | 親液撥液パターンの形成方法および有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 | |
CN102227953B (zh) | 发光装置及其制造方法 | |
JP5192828B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス表示素子及びその製造方法 | |
JP2003092191A (ja) | 発光装置及びその作製方法 | |
JP5678740B2 (ja) | 有機el表示装置および電子機器 | |
CN102386206A (zh) | 有机电致发光显示单元和电子设备 | |
US9099406B2 (en) | Organic electroluminescence display device, and electronic system | |
JP2016115747A (ja) | 表示装置およびその製造方法、ならびに電子機器 | |
KR100706853B1 (ko) | 유기 일렉트로루미네선스 장치 및 이의 제조 방법 | |
JP2007242388A (ja) | 発光装置の製造方法 | |
CN102823326A (zh) | 发光装置 | |
US9048207B2 (en) | Bubble discharging structure, reverse printing block, display device, printing method, and method of manufacturing display device | |
CN104365179A (zh) | 有机电致发光装置、它的制造方法和电子设备 | |
JP4779983B2 (ja) | 電気光学装置および電気光学装置の製造方法 | |
JP4770523B2 (ja) | 発光装置の製造方法 | |
JP2006236649A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法 | |
JP5184938B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 | |
JP4656906B2 (ja) | 発光装置 | |
JP2010277765A (ja) | 有機el素子の製造方法及び有機el素子 | |
JP2012109426A (ja) | 有機el表示装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20090512 |