JP2007237266A - 陽極接合装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の陽極接合は、ハロゲンヒ−タによる加熱機構を持ち、試料交換チャンバに試料をセットし、サンプル温度が設定温度の±10%以内に到達したことを測定器で確認し、自動でゲートを開け、搬送機構で接合チャンバに試料を保持部にセットし、荷重、温度、電圧を負荷し、接合し、搬送機構で試料交換チャンバにセットし、が窒素、不活性Gasの冷却ブロ−により、酸化が生じないレベルに試料を冷却し、大気開放する。これにより、試料の温度上昇、電圧印加、試料の冷却、チャンバの大気開放の時間に影響されず接合を実施することができるため、全体の接合時間が短く、生産性を向上させることができる。
【選択図】図1
Description
図1(a)は、本発明の実施の形態1における陽極接合の断面図である。図1において、第1試料交換チャンバ1と接合チャンバ2は、ゲート3により開閉自在に接続している。同様に第2試料交換チャンバ4と接合チャンバ2は、ゲート3により開閉自在に接続している。
図2は接合チャンバ内に配置した、電圧負荷手段の一部である電極の動作を示す模式図である。まず、少なくとも2つの試料を重ね合わせた材料の表面に複数の電極20を接触させて図示していない電圧負荷手段により電圧を印加し、重ね合わせた試料の接触面に電圧を作用させ接合を開始する。この時試料の接合状態を、試料に作用する電圧や電流の状態を、モニタ21により監視することにより、その監視した情報にもとづき接合制御部により、試料の接合済みの領域22から未接合の領域23に電極20を移動させることで、効率的かつ高品質な陽極接合を実現することができる。また、電圧や電流の状態をモニタするかわりに、図3に示すように、画像撮像手段により撮像した画像30の情報にもとづいて、試料の接合済みの領域22から未接合の領域23に電極20を移動させてもよい。
2 接合チャンバ
3 ゲート
4 第2試料交換チャンバ
5 複数の試料
6 (ハロゲンヒ−タ等の)加熱手段
8 保持手段
9 載置手段
10 加熱手段
11 電極
12 ゲート
13 冷却手段
Claims (8)
- 少なくとも2つの試料を重ね合わせ電圧を負荷し前記試料を接合する陽極接合装置において、
加減圧手段と、加熱手段と、試料交換手段と、を有する第1試料交換チャンバと、
前記試料を保持する保持手段と、前記試料を載置する載置手段と、前記試料を加熱する加熱手段と、前記試料を加圧する加圧手段と、前記試料に電圧を負荷する電圧負荷手段と、を有し前記第1試料交換チャンバと接続した接合チャンバと、
加減圧手段と、冷却手段と、試料交換手段と、を有し前記接合チャンバと接続した第2試料交換チャンバと、
により構成したことを特徴とする陽極接合装置。 - 前記第1試料交換チャンバの減圧レベルが設定値±10%以内に到達した、加熱手段により前記試料の温度が設定温度の±10%以内に到達するまで加熱し、前記接合チャンバに前記試料を搬送する制御手段を有することを特徴とする請求項1に記載の陽極接合装置。
- 第2試料交換チャンバの前記冷却手段は不活性ガスを放出することを特徴とする請求項1から2に記載の陽極接合装置。
- 第1試料交換チャンバの中に前記試料の接合予定面の表面処理を行う表面処理手段を設けることを特徴とする請求項1から3に記載の陽極接合装置。
- 前記表面処理手段はエネルギー波を前記試料の接合予定面に照射することを特徴とする請求項1から4に記載の陽極接合装置。
- 前記表面処理手段は、溶剤、超臨界水、酸、超音波水のなかの少なくとも1つを前記試料の接合予定面に作用させることを特徴とする請求項1から4に記載の陽極接合装置。
- 前記電圧負荷手段は、電圧印加する複数の電極と、撮像手段を有し、前記試料の接合状態を前記撮像手段からの撮像情報により、電極に印加する電圧と電流を制御するかまたは電極を移動させる、制御部を有することを特徴とする請求項1記載の陽極接合装置。
- 前記撮像手段からの撮像情報により、前記加圧手段の加圧力を調整する制御部を有することを特徴とする請求項7記載の陽極接合装置。
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