JP2007234317A - 平面型画像表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】平面型画像表示装置の蛍光面の混色を防止して高輝度化と長寿命化を図る。
【解決手段】蛍光面を備えた前面基板2と、電子源10をマトリクス状に備えた背面基板1とを支持枠3を介して対向配置し、両基板1,2と支持枠3とを気密封着した平面型画像表示装置で、前記電子源10の前記前面基板2に対向する表面形状を三角形状とした。
【選択図】 図4
【解決手段】蛍光面を備えた前面基板2と、電子源10をマトリクス状に備えた背面基板1とを支持枠3を介して対向配置し、両基板1,2と支持枠3とを気密封着した平面型画像表示装置で、前記電子源10の前記前面基板2に対向する表面形状を三角形状とした。
【選択図】 図4
Description
本発明は、前面基板と背面基板の間に形成される真空中への電子放出を利用した平面型の画像表示装置に関する。
高輝度、高精細に優れたディスプレイデバイスとして、従来からカラー陰極線管が広く用いられている。しかし、近年の情報処理装置やテレビ放送の高画質化に伴い、高輝度、高精細の特性をもつと共に軽量、省スペースの平面型画像表示装置(フラット・パネル・ディスプレイ、FPD)の要求が高まっている。
その典型例として液晶表示装置、プラズマ表示装置などが実用化されている。又、特に、高輝度化が可能なものとして、電子源から真空への電子放出を利用した自発光型表示装置、例えば電子放出型平面型画像表示装置、又は電界放出型平面型画像表示装置と呼ばれるものや、低消費電力を特徴とする有機ELディスプレイなど、種々の平面型画像表示装置の実用化も図られている。
平面型画像表示装置の中、自発光型のフラット・パネル・ディスプレイでは、電子源をマトリクス状に配置した構成が知られており、その一つとして、微少で集積可能な冷陰極を利用する前述した電子放出型平面型画像表示装置も知られている。
又、自発光型のフラット・パネル・ディスプレイでは、その冷陰極に、スピント型、表面伝導型、カーボンナノチューブ型、金属―絶縁体―金属を積層したMIM(Metal-Insulator-Metal)型、金属―絶縁体―半導体を積層したMIS(Metal-Insulator-Semiconductor)型、あるいは金属―絶縁体―半導体−金属型等の薄膜型電子源などが用いられる。
電子放出型FPDは、上記のような電子源を備えた背面基板と、蛍光体層とこの蛍光体層に電子源から放出される電子を射突させるための加速電圧を形成する陽極を備えた前面基板とを対向させ、両基板の対向する内部空間を所定の真空状態に封止する封止枠となる支持枠とで構成される表示パネルが知られている。この表示パネルに駆動回路を組み合わせて動作させる。
電子放出型の平面型画像表示装置では、第1の方向に延在して第1の方向と交差する第2の方向に並設された多数の第1配線(例えば、カソード配線、画像信号配線)と、この第1配線を覆って形成された絶縁膜と、この絶縁膜上で前記第2の方向に延在して前記第1の方向に並設された多数の第2配線(例えば、ゲート配線、走査信号配線)と、前記第1配線と前記第2配線との交叉部近傍に設けられた多数の電子源とを有する背面基板を備え、この背面基板は絶縁材からなる基板を有し、この基板上に前記配線が形成されている。
この構成で前記走査信号配線には走査信号が順次印加される。又、この基板上には走査信号配線と画像信号配線を前記電子源とそれぞれ接続する接続配線が設けられ、電子源に電流が供給される。この背面基板は、複数色の蛍光体層と陽極とを備えた前面基板と対向している。前面基板は、ガラスを好適とする光透過性の材料で形成される。そして、両基板の間に封止枠となる支持枠を介挿して封止し、当該背面基板と前面基板及び支持枠で形成される内部空間を真空にして構成される。
電子源は第1配線と第2配線の交差部近傍に位置し、第1電極と第2電極との間の電位差で電子源からの電子の放出量(放出のオン・オフを含む)を制御する。放出された電子は、前面基板に位置する陽極に印加される高電圧で加速されて前面基板に有する蛍光体層に射突する。蛍光体は電子により励起することで当該蛍光体層の発光特性に応じた色光で発色する。蛍光体層の形状は一般的には矩形形状であり、特殊な形状としては菱形が特許文献1に開示されている。
個々の電子源は対応する蛍光体層と対になって単位画素を構成する。通常は、赤(R)、緑(G)、青(B)の3色の単位画素で一つの画素(カラー画素、ピクセル)が構成される。なお、カラー画素の場合、単位画素は副画素(サブピクセル)とも呼ばれる。この電子源の配置に関しては、垂直型の電子源を持つ表示装置で、行方向に並列に、且つ、列方向で隣り合うもの同士が半分ずれて配置された構成が特許文献2に開示されている。
前述したような平面型画像表示装置では、一般的に背面基板と前面基板間の前記支持枠で囲繞された表示領域内に複数の間隔保持部材(以下スペーサと言う)が配置固定され、前記両基板間の間隔を前記支持枠と協働して所定間隔に保持している。このスペーサは、一般にはガラスやセラミックスなどの絶縁材で形成した板状体からなり、通常、複数の画素ごとに画素の動作を妨げない位置に設置される。
又、封止枠となる支持枠は背面基板と前面基板との内周縁にフリットガラスなどの封着部材で固着され、この固着部が気密封着されている。両基板と支持枠とで形成される表示領域内部の真空度は、例えば10-5〜10-7Torrである。
支持枠と基板との封止領域には、背面基板に形成された第1配線や第2配線が貫通し、これら第1及び第2配線の先端部には第1配線引出端子や第2配線引出端子を有する。
特許文献3に開示されたような構成の平面型画像表示装置では、前面基板の蛍光体層に、背面基板側に配置された電子源から発射された電子ビームを加速して射突させ、励起することで当該蛍光体層の発光特性に応じた色光で発色する。
ところが、前記特許文献3に開示されたような構成の平面型画像表示装置では、前記電子源からの電子の一部が広がり、対向する所望の蛍光体層とこれに隣接する異色発光の蛍光体層を同時に励起して混色を発生させる問題があった。
この混色の発生は、表示装置の色純度の低下及び輝度低下を招き、表示品位を損なう問題があった。
ところが、前記特許文献3に開示されたような構成の平面型画像表示装置では、前記電子源からの電子の一部が広がり、対向する所望の蛍光体層とこれに隣接する異色発光の蛍光体層を同時に励起して混色を発生させる問題があった。
この混色の発生は、表示装置の色純度の低下及び輝度低下を招き、表示品位を損なう問題があった。
本発明の目的は、混色の発生を防止し、色純度の確保と高輝度化を可能とし、表示品位の優れた信頼性の高い長寿命の平面型画像表示装置を提供することにある。
上記目的を達成するため本発明では、平面型の複数の電子源を備えた背面基板と、複数の開口を有するブラックマトリクス膜を備えた前面基板とを対向配置したカラー表示が可能な平面型画像表示装置で、前記電子源の重心位置を隣接する異色発光用電子源の重心位置と異色配列方向で異なる配置構成とした。
これらの構成とした平面型画像表示装置に、画像信号駆動回路、走査信号駆動回路、その他の周辺回路を組み込んで自発光平面表示装置を構成する。
これらの構成とした平面型画像表示装置に、画像信号駆動回路、走査信号駆動回路、その他の周辺回路を組み込んで自発光平面表示装置を構成する。
混色の発生を防止し、色純度の確保と高輝度化を可能とし、表示品位の優れた信頼性の高い長寿命の平面型画像表示装置を得ることが出来る。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図1乃至図5は本発明の平面型画像表示装置の一実施例を説明するための図で、図1(a)は前面基板側から見た模式平面図、図1(b)は図1(a)の模式側面図、図2は図1(b)のA−A線に沿った模式平面図、図3は本発明の平面型画像表示装置の画素を構成する電子源の一例を説明する模式図で、図3(a)は平面図、図3(b)は図3(a)のC−C線に沿う断面図、図3(c)は図3(a)のD−D線に沿う断面図、図4は電子源と開口の相対関係を示す模式平面図、図5は図2のB−B線に沿った背面基板の模式断面図とその背面基板と対応する部分の前面基板の模式断面図である。
これら図1乃至図5において、参照符号1は背面基板、2は前面基板で、これら両基板1、2は厚さ数mm、例えば1〜10mm程度のガラス板から構成され、両基板共に略矩形状を呈し、所定の間隔を隔てて積層されている。
3は枠状を呈する支持枠で、この支持枠3は例えばフリットガラスの燒結体或いはガラス板等から構成され、単体で若しくは複数部材の組み合わせで略矩形状とされ、前記両基板1、2間に介挿されている。
この支持枠3は、前記両基板1、2間の周縁部に介挿され、両端面を両基板1、2と気密接合されている。この支持枠3の厚さは数mm〜数十mm、その高さは両基板1、2間の前記間隔に略等しい寸法に設定されている。
4は排気管で、この排気管4は前記背面基板1に固着されている。
5は封着部材で、この封着部材5は例えばフリットガラスから構成され、前記支持枠3と両基板1、2間を接合して気密封着している。
3は枠状を呈する支持枠で、この支持枠3は例えばフリットガラスの燒結体或いはガラス板等から構成され、単体で若しくは複数部材の組み合わせで略矩形状とされ、前記両基板1、2間に介挿されている。
この支持枠3は、前記両基板1、2間の周縁部に介挿され、両端面を両基板1、2と気密接合されている。この支持枠3の厚さは数mm〜数十mm、その高さは両基板1、2間の前記間隔に略等しい寸法に設定されている。
4は排気管で、この排気管4は前記背面基板1に固着されている。
5は封着部材で、この封着部材5は例えばフリットガラスから構成され、前記支持枠3と両基板1、2間を接合して気密封着している。
前記支持枠3と両基板1、2及び封着部材5で囲まれた空間の表示領域6は前記排気管4を介して排気され例えば10-5〜10-7Torrの真空度を保持している。又、前記排気管4は前述のように前記背面基板1の外表面に取り付けられ、この背面基板1を貫通して穿設された貫通孔7に連通しており、排気完了後前記排気管4は封止される。
参照符号8は映像信号配線で、この映像信号配線8は前記背面基板1の内面に一方向(Y方向)に延在し他方向(X方向)に並設されている。この映像信号配線8は表示領域6から支持枠3と背面基板1との接合領域を気密に貫通し、背面基板1の端部まで延在し、その先端部を映像信号配線引出端子81としている。
参照符号9は走査信号配線で、この走査信号配線9は前記映像信号配線8上でこれと交差する前記他方向(X方向)に延在し前記一方向(Y方向)に並設されている。この走査信号配線9は表示領域6から支持枠3と背面基板1との接合領域を気密に貫通し、背面基板1の端部まで延在し、その先端部を走査信号配線引出端子91としている。
参照符号10は平面型の電子源で、その詳細は後述するが、この電子源10は前面基板2と対向する表面形状が略三角形状を呈して前記走査信号配線9と映像信号配線8の各交差部近傍に設けられている。又、この電子源10は前記走査信号配線9及び前記映像信号配線8と接続配線11、11Aでそれぞれ接続されている。又、前記映像信号配線8と、電子源10及び前記走査信号配線9間には層間絶縁膜INSが配置されている。
ここで、前記映像信号配線8は例えばAl(アルミニウム)膜、走査信号配線9は例えばCr/Al/Cr膜、Cr/Cu/Cr膜等が用いられる。又、前記配線引出端子81、91は電極の両端に設けられているが、何れか一端のみに設けても良い。
次に、参照符号12はスペーサで、このスペーサ12はセラミックス材等の絶縁材料から構成されており、一般には抵抗値の偏在が少なく、かつ長方形の薄板形状に整形された絶縁性基体と、この絶縁性基体の表面を覆い、かつ抵抗値の偏在の少ない被膜層から構成されている。
このスペーサ12は108〜109Ω・cm程度の抵抗値を有し、全体として抵抗値の偏在の少ない構成となっている。
このスペーサ12は前記支持枠3と略平行で走査信号配線9上に1本おきに直立配置され、接着部材13で両基板1、2と接着固定している。
このスペーサ12の基板との接着固定は一端側のみでも良く、更にその配置は通常、複数の画素毎に画素の動作を妨げない位置に設置される。
このスペーサ12は108〜109Ω・cm程度の抵抗値を有し、全体として抵抗値の偏在の少ない構成となっている。
このスペーサ12は前記支持枠3と略平行で走査信号配線9上に1本おきに直立配置され、接着部材13で両基板1、2と接着固定している。
このスペーサ12の基板との接着固定は一端側のみでも良く、更にその配置は通常、複数の画素毎に画素の動作を妨げない位置に設置される。
このスペーサ12の寸法は基板寸法、支持枠3の高さ、基板素材、スペーサの配置間隔、スペーサ素材等により設定されるが、一般的には高さは前述した支持枠3と略同一寸法、厚さは数十μm〜数mm以下、長さは20mm乃至1000mm程度、好ましくは80mm乃至120mm程度が実用的な値となる。
このスペーサ12の一端側が固定された前面基板2の内面には、赤色、緑色、青色用の蛍光体層15が遮光用のBM(ブラックマトリクス)膜16で区画されて配置され、これらを覆うように金属薄膜からなるメタルバック(陽極電極)17が例えば蒸着方法で設けられて蛍光面を形成している。
このメタルバック17は前面基板2と反対側、つまり背面基板1側への発光を前面基板2側へ向け反射させ、発光の取り出し効率を上げる為の光反射膜であると共に蛍光体粒子の表面の帯電を防ぐ機能も合わせ持っている。
又、このメタルバック17は面電極として示してあるが、走査信号配線9と交差して画素列ごとに分割されたストライプ状電極とすることもできる。
このメタルバック17は前面基板2と反対側、つまり背面基板1側への発光を前面基板2側へ向け反射させ、発光の取り出し効率を上げる為の光反射膜であると共に蛍光体粒子の表面の帯電を防ぐ機能も合わせ持っている。
又、このメタルバック17は面電極として示してあるが、走査信号配線9と交差して画素列ごとに分割されたストライプ状電極とすることもできる。
前記蛍光体としては、例えば赤色用としてY2O3:Eu、Y2O2S:Euを、又、緑色用としてZnS:Cu,Al、Y2SiO5:Tb、更に、青色用としてZnS:Ag,Cl、ZnS:Ag,Al等を用いることができる。この蛍光体層15は蛍光体粒子の平均粒径は例えば4μm〜9μm、膜厚は例えば10μm〜20μm程度となっている。
この蛍光面構成を図4で更に詳細に説明すると、前面基板2の内面にブラックマトリクス膜16が複数の開口161を備えて被着形成されている。
このブラックマトリクス膜16の開口161は、前記映像信号配線8の延在方向(垂直方向)に長辺、前記走査信号配線9の延在方向(水平方向)に短辺を持つ略矩形状に形成されており、この矩形状を呈する青蛍光体用開口161B、緑蛍光体用開口161G及び赤蛍光体用開口161Rが前記走査信号配線9の延在方向に重心位置を揃えている。又、開口の配置範囲WBは前記走査信号配線9の延在方向の隣接相互では開口16の長辺長BMLHと同一範囲内に順次配置されている。
このブラックマトリクス膜16の開口161を塞ぎ、かつ背面の一部まで延在して緑蛍光体層、青蛍光体層及び赤蛍光体層がそれぞれ前記所定の開口に配置されている。
この開口161に対向して背面基板1側に配置された電子源10は、前記対向する表面形状が前記映像信号配線8の延在方向に頂点と底辺を持つ略三角形状である。三角形の頂点の向きが前記走査信号配線9の延在方向で隣接する電子源相互で異なる配置としている。しかも、電子源10の×印で示す重心位置も前記走査信号配線9の延在方向(水平方向)の隣接する電子源相互で垂直方向で異なっている。電子源の配置範囲WEは前記走査信号配線9の延在方向の隣接する電子源相互では電子源10の三角形の高さEELHと同一範囲内となっている。
ここで、前記重心は平面図形の重心位置で規定される。なお、参照符号EEIWは電子源の水平方向の最小幅、EEAWは電子源の水平方向の最大幅である。
この電子源10の三角形状と配置位置と、前記開口161との組み合わせで蛍光面上に照射される電子ビームのスポットSPは略台形となり、隣接する異色の蛍光体層を合わせて照射することは防止できる。これにより、該蛍光体層15が所定の色光で発光し、他画素の蛍光体の発光色と合成されて所定の色のカラー画素を構成する。
ここで、前記電子源10の表面形状としては、三角形に代えて例えば開口161と相似形状の略台形とすることも可能である。
この蛍光面構成を図4で更に詳細に説明すると、前面基板2の内面にブラックマトリクス膜16が複数の開口161を備えて被着形成されている。
このブラックマトリクス膜16の開口161は、前記映像信号配線8の延在方向(垂直方向)に長辺、前記走査信号配線9の延在方向(水平方向)に短辺を持つ略矩形状に形成されており、この矩形状を呈する青蛍光体用開口161B、緑蛍光体用開口161G及び赤蛍光体用開口161Rが前記走査信号配線9の延在方向に重心位置を揃えている。又、開口の配置範囲WBは前記走査信号配線9の延在方向の隣接相互では開口16の長辺長BMLHと同一範囲内に順次配置されている。
このブラックマトリクス膜16の開口161を塞ぎ、かつ背面の一部まで延在して緑蛍光体層、青蛍光体層及び赤蛍光体層がそれぞれ前記所定の開口に配置されている。
この開口161に対向して背面基板1側に配置された電子源10は、前記対向する表面形状が前記映像信号配線8の延在方向に頂点と底辺を持つ略三角形状である。三角形の頂点の向きが前記走査信号配線9の延在方向で隣接する電子源相互で異なる配置としている。しかも、電子源10の×印で示す重心位置も前記走査信号配線9の延在方向(水平方向)の隣接する電子源相互で垂直方向で異なっている。電子源の配置範囲WEは前記走査信号配線9の延在方向の隣接する電子源相互では電子源10の三角形の高さEELHと同一範囲内となっている。
ここで、前記重心は平面図形の重心位置で規定される。なお、参照符号EEIWは電子源の水平方向の最小幅、EEAWは電子源の水平方向の最大幅である。
この電子源10の三角形状と配置位置と、前記開口161との組み合わせで蛍光面上に照射される電子ビームのスポットSPは略台形となり、隣接する異色の蛍光体層を合わせて照射することは防止できる。これにより、該蛍光体層15が所定の色光で発光し、他画素の蛍光体の発光色と合成されて所定の色のカラー画素を構成する。
ここで、前記電子源10の表面形状としては、三角形に代えて例えば開口161と相似形状の略台形とすることも可能である。
次に、本実施例の電子源10としては図3にその詳細を示す。
この種の電子源の製造工程を、図3を基に概要を説明する。
図3に示す本実施例の電子源10は、先ず、背面基板SUB1上に下部電極DED(前記の映像信号配線8)、保護絶縁層INS1、絶縁層INS2を形成する。次に、層間膜INS3と、上部電極AEDへの給電線となる上部バス電極(前記走査信号配線9)とを、例えばスパッタリング方法等で成膜する。下部電極や上部電極にはアルミニウムを用いることができるが、後述する他の金属も用いることができる。
この種の電子源の製造工程を、図3を基に概要を説明する。
図3に示す本実施例の電子源10は、先ず、背面基板SUB1上に下部電極DED(前記の映像信号配線8)、保護絶縁層INS1、絶縁層INS2を形成する。次に、層間膜INS3と、上部電極AEDへの給電線となる上部バス電極(前記走査信号配線9)とを、例えばスパッタリング方法等で成膜する。下部電極や上部電極にはアルミニウムを用いることができるが、後述する他の金属も用いることができる。
層間膜INS3としては、例えばシリコン酸化物やシリコン窒化膜、シリコンなどを用いることができる。この層間膜INS3は、陽極酸化で形成する保護絶縁層INS1にピンホールがあった場合、その欠陥を埋め、下部電極DEDと走査信号電極となる上部バス電極(金属膜下層MDLと金属膜上層MALの間に金属膜中間層MMLとしてCuを挟んだ3層の積層膜)間の絶縁を保つ役割を果たす。
なお、上部バス電極は、上記の3層積層膜は限らず、それ以上とすることもできる。例えば、金属膜下層MDL、金属膜上層MALとしてAlやクロム(Cr)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)などの耐酸化性の高い金属材料、またはそれらを含む合金やそれらの積層膜を用いることができる。この他に、金属膜下層MDLとしてAl合金とCr、W、Moなどの積層膜を用い、金属膜上層MALとしてCr、W、MoなどとAl合金の積層膜を用いて、金属膜中間層MMLのCuに接する膜を高融点金属とした5層膜を用いることで、画像表示装置の製造プロセスにおける加熱工程の際に、高融点金属がバリア膜となってAlとCuの合金化を抑制できるので、低抵抗化に特に有効である。
Al−Nd合金のみ用いる場合の、当該Al−Nd合金の膜厚は、金属膜下層MDLより金属膜上層MALを厚くし、金属膜中間層MMLのCuは配線抵抗を低減するため、できるだけ厚くしておく。なお、金属膜中間層MMLのCuはスパッタ以外に電気めっきなどにより形成することも可能である。
高融点金属を用いる上記5層膜の場合は、Cuと同様に、特に燐酸、酢酸、硝酸の混合水溶液でのウェットエッチングが可能なMoでCuを挟んだ積層膜を金属膜中間層MMLとして用いるのが特に有効である。
続いて、レジストのパターニングとエッチング加工により金属膜上層MALを、下部電極DEDと交差するストライプ形状に加工する。このエッチング加工では、例えば燐酸、酢酸の混合水溶液でのウェットエッチングを用いる。エッチング液に硝酸を加えないこと
によりCuをエッチングせずにAl−Nd合金のみを選択的にエッチングすることが可能となる。
によりCuをエッチングせずにAl−Nd合金のみを選択的にエッチングすることが可能となる。
Moを用いた5層膜の場合も、エッチング液に硝酸を加えないことによりMoとCuをエッチングせずに、Al−Nd合金のみのみ選択的にエッチング加工することが可能である。ここでは、金属膜上層MALを1画素あたり1本形成したが、2本形成することも可能である。
続いて、同じレジスト膜をそのまま用いるか、金属膜上層MALのAl−Nd合金をマスクとして金属膜中間層MMLのCuを例えば燐酸、酢酸、硝酸の混合水溶液でウェットエッチングする。燐酸、酢酸、硝酸の混合水溶液のエッチング液中でのCuのエッチング速度はAl−Nd合金に比べて十分に速いため、金属膜中間層MMLのCuのみを選択的にエッチングすることが可能である。Moを用いた5層膜の場合もMoとCuのエッチング速度はAl−Nd合金に比べて十分に速くMoとCuの3層の積層膜のみを選択的にエッチングすることが可能である。Cuのエッチングにはその他過硫酸アンモニウム水溶液や過硫酸ナトリウム水溶液も有効である。
続いて、レジストのパターニングとエッチング加工により金属膜下層MDLを下部電極DEDと交差するストライプ形状に加工する。このエッチング加工は燐酸、酢酸の混合水溶液でのウェットエッチングで行う。その際、印刷するレジスト膜を金属膜上層MALのストライプ電極とは平行な方向に位置をずらすことにより、金属膜下層MDLの片側EG1は金属膜上層MALより張り出させて、後の工程で上部電極AEDとの接続を確保するコンタクト部とし、金属膜下層MDLの反対側EG2では金属膜上層MALと金属膜中間層MLをマスクとしてオーバーエッチング加工がなされ、金属膜中間層MMLに庇を形成する如く後退した部分が形成される。
この金属膜中間層MMLの庇により、後の工程で成膜される上部電極AEDが分離される。この際、金属膜上層MALは金属膜下層MDLの膜厚より厚くしてあるので、金属膜下層MDLのエッチングが終了しても、金属膜上層MALは金属膜中間層MMLのCu上に残すことができる。これによりCuの表面を保護することが可能となるので、Cuを用いても耐酸化性があり、かつ上部電極AEDを自己整合的に分離し、かつ給電を行う走査信号配線となる上部バス電極を形成することができる。また、CuをMoで挟んだ5層膜の金属膜中間層MMLとした場合には、金属膜上層MALのAl合金が薄くても、MoがCuの酸化を抑制してくれるので、金属膜上層MALを金属膜下層MDLの膜厚より厚くする必要は必ずしもない。
続いて、層間膜INS3を加工して電子放出部を開口する。電子放出部は画素内の1本の下部電極DEDと、下部電極DEDと交差する2本の上部バス電極に挟まれた空間の交差部の一部に形成する。このエッチング加工は、例えばCF4やSF6を主成分とするエッチングガスを用いたドライエッチングによって行うことができる。
最後に、上部電極AEDの成膜を行う。この成膜にはスパッタ法を用いる。上部電極AEDとしては、アルミニウムでも良く、あるいはIr、Pt、Auの積層膜を用いることもできる。この時、上部電極AEDは、電子放出部を挟む2本の上部バス電極の一方(図3(c)の右側)では、金属膜中間層MMLと金属膜上層MALの庇構造による金属膜下層MDLの後退部(EG2)により切断され素子分離される。そして、他方(図3(c)の左側)では、上部バス電極とは金属膜下層MDLのコンタクト部(EG1)により断線を起こさずに成膜接続されて、電子放出部への給電が可能とされる構造となる。
このような積層構造を持つ電子源10は、この実施例では前面基板2側の開口161に対向する表面形状が略三角形状を呈している。
この略三角形状の電子源10は図3(a)で示すように、例えば緑色蛍光体層用電子源10Gと隣接する赤色蛍光体層用電子源10Rとは三角形の向きが逆方向の配置となっている。勿論、前記赤色蛍光体層用電子源10Rと隣接する青色蛍光体層用電子源10Bも三角形の向きは逆方向の配置となっている。換言すると異色発光用電子源の向きは互いに逆方向配置となっている。
一方、同色発光では、図2にその一例を示すように単位の映像信号配線8上では同一方向を向いた配列となっている。
又、三角形の向きは隣接相互で逆方向の配置となっているが、電子源の配置範囲WEは前記走査信号配線9の延在方向の隣接相互では電子源10の三角形の高さEELHと同一範囲内になっている。
この略三角形状の電子源10は図3(a)で示すように、例えば緑色蛍光体層用電子源10Gと隣接する赤色蛍光体層用電子源10Rとは三角形の向きが逆方向の配置となっている。勿論、前記赤色蛍光体層用電子源10Rと隣接する青色蛍光体層用電子源10Bも三角形の向きは逆方向の配置となっている。換言すると異色発光用電子源の向きは互いに逆方向配置となっている。
一方、同色発光では、図2にその一例を示すように単位の映像信号配線8上では同一方向を向いた配列となっている。
又、三角形の向きは隣接相互で逆方向の配置となっているが、電子源の配置範囲WEは前記走査信号配線9の延在方向の隣接相互では電子源10の三角形の高さEELHと同一範囲内になっている。
図6及び図7は本発明の平面型画像表示装置の他の実施例を説明するための図で、図6は前面基板側から見た模式平面図、図7は電子源と開口の相対関係を示す模式平面図で、前述の図1(a)、図4にそれぞれ対応し、かつ前述した各図と同じ部分には同一記号を付してある。
図6及び図7に示す実施例2は、開口161の形状を一端に最大幅BMAWを、又、他端に最小幅BMIWを有する略台形形状とし、この台形の向きと前記電子源10の三角形の向きとを一致させる構成とし、更に電子源10と開口161との重心位置を同軸とした構成としている。その他は前述の実施例1と同一である。
図6に示す実施例2の蛍光面構成と、実施例1の図2に示す電子源配列とを組み合わせることにより、図7に示す電子源と開口の相対関係が得られる。
図6及び図7に示す実施例2は、開口161の形状を一端に最大幅BMAWを、又、他端に最小幅BMIWを有する略台形形状とし、この台形の向きと前記電子源10の三角形の向きとを一致させる構成とし、更に電子源10と開口161との重心位置を同軸とした構成としている。その他は前述の実施例1と同一である。
図6に示す実施例2の蛍光面構成と、実施例1の図2に示す電子源配列とを組み合わせることにより、図7に示す電子源と開口の相対関係が得られる。
又、電子源の三角形の向きは隣接相互で逆方向の配置となっているが、電子源の配置範囲WEは前記走査信号配線9の延在方向の隣接相互では電子源10の三角形の高さEELHと同一範囲内になっている。これは開口161の配置範囲WBも台形の高さBMLHと同一範囲内になっている。
この実施例2の構成は、実施例1に比較して混色を更に減少できる。
この実施例2の構成は、実施例1に比較して混色を更に減少できる。
図8乃至図11は本発明の平面型画像表示装置の更に他の実施例を説明するための図で、図8は前面基板側から見た模式平面図、図9は図8の前面基板を取り除いた図2に対応する模式平面図、図10は本発明の平面型画像表示装置の画素を構成する電子源の他の例を説明する模式図で、図10(a)は平面図、図10(b)は図10(a)のC−C線に沿う断面図、図10(c)は図10(a)のD−D線に沿う断面図、図11は電子源と開口の相対関係を示す模式平面図で、前述した各図と同じ部分には同一記号を付してある。
図8乃至図11に示す実施例3は、電子源10の配置範囲WE及び開口161の配置範囲WBが、それぞれ電子源10の三角形の高さEELH及び開口161の台形の高さBMLHより大きな範囲に存在している。
一方、電子源と開口の重心が同軸関係に有り、重心から最大幅までの寸法が、最小幅までの寸法に比べて小さい値に設定されている。
図8乃至図11に示す実施例3は、電子源10の配置範囲WE及び開口161の配置範囲WBが、それぞれ電子源10の三角形の高さEELH及び開口161の台形の高さBMLHより大きな範囲に存在している。
一方、電子源と開口の重心が同軸関係に有り、重心から最大幅までの寸法が、最小幅までの寸法に比べて小さい値に設定されている。
この実施例3の構成は、実施例1、2に比較して混色を増加させる事無く実装密度を上げることができる。
図12は本発明の平面型画像表示装置の更に他の実施例を説明する模式平面図で、前述した各図と同じ部分には同一記号を付してある。
図12(a)〜(c)は開口161の形状を示し、開口161の縦方向の中央長BMCHが端部長BMSHに比べて大となる構成が共通している。又、BMAWは最大幅を示し、BMCH>BMAWの関係を備えている。
図12(a)は略多角形状、図12(b)は略楕円形状、図12(c)は円弧と直線の組み合わせ形状を呈している。
この構成の開口161を持つ蛍光面では、中央長BMCH方向が前記映像信号配線8の延在方向に一致する構成となっている。
図12(a)〜(c)は開口161の形状を示し、開口161の縦方向の中央長BMCHが端部長BMSHに比べて大となる構成が共通している。又、BMAWは最大幅を示し、BMCH>BMAWの関係を備えている。
図12(a)は略多角形状、図12(b)は略楕円形状、図12(c)は円弧と直線の組み合わせ形状を呈している。
この構成の開口161を持つ蛍光面では、中央長BMCH方向が前記映像信号配線8の延在方向に一致する構成となっている。
この実施例4の構成は、蛍光体層15の形状を開口161の形状に一致させ易い特徴を備えている。
図13は本発明の平面型画像表示装置の更に他の実施例を説明する模式平面図で、前述した各図と同じ部分には同一記号を付してある。
図13は開口161の形状を示し、この開口161はそれぞれ台形部161Xと矩形部161Yの組み合わせ結合構造とし、最小幅BMIWを矩形部161Yに、又、最大幅BMAWを台形部161Xに夫々配置した構成である。重心は台形部161X内にある。
この台形と矩形の組み合わせ結合構造の開口161を、この開口161の最大幅BMAW方向が隣接相互で逆転する配置で前記走査信号配線9の延在方向に配列した構成を図13に示している。
図13は開口161の形状を示し、この開口161はそれぞれ台形部161Xと矩形部161Yの組み合わせ結合構造とし、最小幅BMIWを矩形部161Yに、又、最大幅BMAWを台形部161Xに夫々配置した構成である。重心は台形部161X内にある。
この台形と矩形の組み合わせ結合構造の開口161を、この開口161の最大幅BMAW方向が隣接相互で逆転する配置で前記走査信号配線9の延在方向に配列した構成を図13に示している。
この実施例5の構成では、前記走査信号配線9の延在方向の配列間隔Pを小さくすることができ、又、台形部161Xを備えたことによる蛍光体層の所望形状の確保及び混色裕度の向上が図れる。
図14は本発明の平面型画像表示装置の更に他の実施例を説明する模式平面図で、前述した各図と同じ部分には同一記号を付してある。
図14(a)〜(d)は、開口161の更に他の形状を示し、何れも最大幅BMAW、最小幅BMIWを備えた構成である。
又、点線で示す矩形形状は、前述した実施例1の開口161を示し、一点鎖線で示すこの矩形形状の開口161の重心位置に対し、上記図14(a)〜(d)で実線で示す開口161の重心位置を異なる配置とした構成を合わせて示したものである。
図14(a)〜(d)は、開口161の更に他の形状を示し、何れも最大幅BMAW、最小幅BMIWを備えた構成である。
又、点線で示す矩形形状は、前述した実施例1の開口161を示し、一点鎖線で示すこの矩形形状の開口161の重心位置に対し、上記図14(a)〜(d)で実線で示す開口161の重心位置を異なる配置とした構成を合わせて示したものである。
この実施例6の構成では、実施例4、5と略同様な特徴を備えている。
図15は、本発明の構成を適用した平面型画像表示装置の等価回路例の説明図である。図15中に破線で示した領域は表示領域6であり、この表示領域6にn本の映像信号配線8とm本の走査信号配線9が互いに交差して配置されてn×mのマトリクスが形成されている。マトリクスの各交差部は副画素を構成し、図中の3つの単位画素(あるいは、副画素)"R","G","B"の1グループでカラー1画素を構成する。なお、電子源の構成は図示を省いた。映像信号配線(カソード配線)8は、映像信号配線引出端子81で映像信号駆動回路DDRに接続され、走査信号配線(ゲート配線)9は走査信号配線引出端子91で走査信号駆動回路SDRに接続されている。映像信号駆動回路DDRには外部信号源から映像信号NSが入力され、走査信号駆動回路SDRには同様に走査信号SSが入力される。
これにより、順次選択される走査信号配線9に交差する映像信号配線8に映像信号を供給することで、二次元のフルカラー画像を表示することができる。
1・・・背面基板、2・・・前面基板、3・・・支持枠、4・・・排気管、5・・・封着部材、6・・・表示領域、7・・・貫通孔、8・・・画像信号配線、81・・・画像信号配線引出端子、9・・・走査信号配線、91・・・走査信号配線引出端子 10・・・電子源、11,11A・・・接続配線、12・・・スペーサ、13・・・接着部材、15・・・蛍光体層、16・・・BM膜、161・・・開口、17・・・メタルバック(陽極電極)、SUB1・・・背面基板、INS・・・絶縁膜(層間絶縁膜)、SP・・・ビームスポット。
Claims (18)
- 第1の方向に延在してこの第1の方向と交差する第2の方向に並設された複数の第1配線と、
前記第2の方向に延在して前記第1の方向に並設された複数の第2配線と、
前記第1配線と第2配線間に介挿された絶縁膜と、
前記第1配線と前記第2配線に接続した複数の電子源とを有する背面基板と、
この背面基板と所定の間隔を隔てて対向配置された前面基板を備え、
この前面基板は前記背面基板と対向する面に複数の開口を有するブラックマトリクス膜と、
前記開口を覆う蛍光膜と、この蛍光膜を覆うメタルバック層を有し、
前記背面基板と前記前面基板との間に介挿され、画像表示領域を囲繞して配置された支持枠とを具備する平面型画像表示装置であって、
前記電子源はこの電子源の上部と下部で異なる幅を有することを特徴とする平面型画像表示装置。 - 前記電子源の前記開口に対向する面の重心位置が、隣接する電子源相互で異なることを特徴とする請求項1に記載の平面型画像表示装置。
- 前記開口の前記第2の方向の最大幅が、同方向の最小幅より前記重心位置に近いことを特徴とする請求項1又は2に記載の平面型画像表示装置。
- 前記開口は前記第2の方向に沿った幅が、異なる部位を有することを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の平面型画像表示装置。
- 前記開口面の重心位置が、前記第2の方向で隣接する開口相互で異なること特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の平面型画像表示装置。
- 前記開口の前記第2の方向に沿った最大幅が、同方向の最小幅より前記重心位置に近いことを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載の平面型画像表示装置。
- 前記電子源の前記開口に対向する面の重心位置が、対向する前記開口の重心位置と略同軸であることを特徴とする請求項1乃至6の何れかに記載の平面型画像表示装置。
- 前記開口及び電子源は、それぞれの重心から前記最大幅方向が同一方向であることを特徴とする請求項1乃至7の何れかに記載の平面型画像表示装置。
- 前記電子源は、前記開口に対向する面が略三角形状であることを特徴とする請求項1乃至8の何れかに記載の平面型画像表示装置。
- 前記開口は、略台形形状であることを特徴とする請求項1乃至9の何れかに記載の平面型画像表示装置。
- 前記開口は、台形と矩形の組み合わせ形状であることを特徴とする請求項1乃至9の何れかに記載の平面型画像表示装置。
- 前記電子源が、下部電極と上部電極及びこれら下部電極と上部電極との間に挟持される電子加速層を有し、前記下部電極と上部電極間に電圧を印加することで前記上部電極より電子を放出する薄膜型電子源アレイであることを特徴とする請求項1乃至11の何れかに記載の平面型画像表示装置。
- 前記電子源が、電子放出部を有する導電性膜を備えた電子放出素子であることを特徴とする請求項1乃至11の何れかに記載の平面型画像表示装置。
- 前記電子源が、少なくともカーボンナノチューブからなることを特徴とする請求項1乃至11の何れかに記載の平面型画像表示装置。
- 垂直方向に延在して水平方向に並設された複数の第1配線と、
前記水平方向に延在して前記垂直方向に並設された複数の第2配線と、
前記第1配線と第2配線間に介挿された絶縁膜と、
前記第1配線と前記第2配線との交叉部近傍に設けられ前記第1配線と前記第2配線に接続した複数の電子源とを有する背面基板と、
複数の開口を有するブラックマトリクス膜と、
前記開口を覆う蛍光膜を備える前面基板と、
前記背面基板と前記前面基板との間で表示領域を囲繞して介挿され、前記所定の間隔を保持する支持枠とを具備する平面型画像表示装置であって、
前記ブラックマトリクス膜の前記開口は、水平方向の中央部における垂直方向の長さが、前記水平方向の両端部における前記垂直方向の長さより大であることを特徴とする平面型画像表示装置。 - 前記開口は略多角形であることを特徴とする請求項15に記載の平面型画像表示装置。
- 前記開口は略楕円形であることを特徴とする請求項15に記載の平面型画像表示装置。
- 前記開口は円弧と直線との組み合わせ形状であることを特徴とする請求項15に記載の平面型画像表示装置。
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