JP2007227906A - Conductive substrate and its manufacturing method - Google Patents

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正太郎 田中
Junpei Ohashi
純平 大橋
Hagumu Takada
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a conductive transparent substrate that does not cause Moire phenomena and excels in magnetic field shielding properties in a low frequency region particularly required by a plasma display panel. <P>SOLUTION: This conductive substrate has a random mesh net layer, where micro metallic particle layers are laminated in a random mesh net shape on at least one side of the substrate and plated metallic layers are laminated on the micro metallic particle layers. The thickness of at least one side surface of the plated metallic layer of this conductive substrate is no less than 1.5 μm. The total light transmission rate of the conductive substrate is larger than 65%. Furthermore, the surface resistivity of at least one side surface of the conductive substrate is smaller than 0.5 Ω/SQARE. The foregoing are the main features of this invention. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、モアレ現象が発生せず、透明性、電磁波シールド性に優れ、特にプラズマディスプレイパネルで特徴的に求められる低周波領域での磁界シールド性に優れた導電性基板およびその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a conductive substrate that does not cause moire phenomenon, has excellent transparency and electromagnetic wave shielding properties, and particularly has excellent magnetic field shielding properties in a low frequency region that is characteristically required for plasma display panels, and a method for manufacturing the same. It is.

導電性基板は回路材料として様々な機器に用いられており、電磁波シールド基板や太陽電池用途として用いられている。   Conductive substrates are used in various devices as circuit materials, and are used as electromagnetic shielding substrates and solar cell applications.

電磁波シールド基板は家電用品、携帯電話、パソコン、テレビをはじめとした電子機器から放射された多種多様な電磁波を抑制する目的に用いられている。特に伸長著しいデジタル家電の中で、プラズマディスプレイパネルからは、ブラウン管や液晶など他のディスプレイパネルと比較すると、より強力な電磁波が放出されており、人体への影響も懸念されている。プラズマディスプレイは、比較的近い距離で、かつ場合によっては長時間にわたり画像を観察するため、これら電磁波を抑制する電磁波シールド基板が必要とされ、鋭意検討されている。また、ディスプレイから放出される低周波領域、特に30MHz以下の電磁波により生じる磁場は磁気記録媒体であるビデオテープの録画、再生に悪影響を及ぼすことが知られている。ビデオテープの録画、再生機であるビデオデッキは、一般にディスプレイに近い距離に置いて使用するものであるため、低周波領域での磁界シールド性に優れた基板が必要とされている。他のディスプレイパネルと比較して、より強力な電磁波が放出されるプラズマディスプレイパネルにおいては、特に、この低周波領域での磁界シールド性に優れた基板が強く求められている。   The electromagnetic shielding substrate is used for the purpose of suppressing various electromagnetic waves radiated from electronic devices such as home appliances, mobile phones, personal computers, and televisions. Among digital home appliances, which are particularly growing, plasma display panels emit stronger electromagnetic waves than other display panels such as cathode ray tubes and liquid crystals, and there are concerns about the effects on the human body. Since a plasma display observes an image at a relatively close distance and in some cases for a long time, an electromagnetic wave shielding substrate that suppresses these electromagnetic waves is required, and has been intensively studied. Further, it is known that a magnetic field generated by a low frequency region emitted from a display, particularly an electromagnetic wave of 30 MHz or less, adversely affects recording and reproduction of a video tape that is a magnetic recording medium. A video deck, which is a video tape recording / reproducing device, is generally used at a distance close to a display, and therefore a substrate excellent in magnetic field shielding in a low frequency region is required. In plasma display panels that emit stronger electromagnetic waves compared to other display panels, there is a strong demand for substrates having excellent magnetic field shielding properties particularly in this low frequency region.

このような電磁波シールド性基板として、現在、プラスチックフィルム状に銅箔を積層した後、フォトリソグラフィー、エッチングの手法を用いて、銅箔を格子状に積層した基板が用いられているが、この基板の格子状の銅箔層は規則的な構造を有しているため、モアレ現象が発生するという問題を有している。   As such an electromagnetic wave shielding substrate, a substrate in which a copper foil is laminated in a plastic film shape, and then a copper foil is laminated in a lattice shape by using photolithography and etching techniques is used. Since the grid-like copper foil layer has a regular structure, it has a problem that a moire phenomenon occurs.

モアレ現象とは、「点または線が幾何学的に規則正しく分布したものを重ね合せた時に生ずる縞状の斑紋」であり、また広辞苑によれば、「点または線が幾何学的に規制正しく分布したものを重ね合わせた時に生ずる縞模様の斑紋。網版印刷物を原稿として網版を複製する時などに起こりやすい」との記載があり、プラズマディスプレイで言えば、画面上に縞模様状の模様が発生する。これは、ディスプレイの前面に設けられる電磁波シールド基板に格子状などの規則的なパターンが設けられている場合、ディスプレイ背面版の、RGB各色の画素を仕切る規則正しい格子状の隔壁などとの相互作用により、該モアレ現象が生じるものである。また、電磁波シールド基板に格子状などの規則的なパターンが設けられている場合、この格子の線幅が太いほど、このモアレ現象が発生しやすいという問題がある。   Moiré phenomenon is "a striped pattern that occurs when dots or lines are distributed in a geometrically regular manner", and according to Hiroshige, "the points or lines are distributed in a geometrically regulated manner. Stripe pattern mottles that occur when images are overlapped. This is likely to occur when a halftone print is reproduced using a halftone print as a manuscript. ”In the case of a plasma display, a striped pattern appears on the screen. Will occur. This is because, when a regular pattern such as a grid pattern is provided on the electromagnetic shielding substrate provided on the front surface of the display, it interacts with a regular grid-shaped partition wall that partitions the pixels of each RGB color on the back side of the display. This moire phenomenon occurs. Further, when a regular pattern such as a grid pattern is provided on the electromagnetic wave shield substrate, there is a problem that the moire phenomenon is more likely to occur as the line width of the grid increases.

一方、上述した格子状の銅箔を積層した基板とは異なった形態を有する電磁波シールド基板として、銀微粒子を用いて網目を形成し、さらにその網目にめっき金属層を積層した電磁波シールド基板が提案されている(特許文献1〜4)。   On the other hand, as an electromagnetic wave shielding substrate having a different form from the above-mentioned substrate laminated with a grid-like copper foil, an electromagnetic wave shielding substrate in which a mesh is formed using silver fine particles and a plated metal layer is laminated on the mesh is proposed. (Patent Documents 1 to 4).

しかし、特許文献1〜4に記載の技術でも、モアレ現象をなくし、透明性、低周波領域での磁界シールド性を両立させることは困難であった。   However, even with the techniques described in Patent Documents 1 to 4, it has been difficult to eliminate the moire phenomenon and achieve both transparency and magnetic field shielding performance in a low frequency region.

特許文献1に記載の技術は、スプレー噴霧などを用いて銀などの微細網目構造を形成させるものであり、その網目構造は規則性が強くならず、モアレ現象を低減できる可能性がある。しかし、スプレー噴霧などの製造方法による網目の開口部径は50μm程度と小さいものしかできないため、その網目にめっき金属層を厚く積層した場合には開口部の大部分が遮断され、透明性に劣るものしか製造できなかった。また、透明性を向上させた際には、めっき厚みが薄くなったり、表面比抵抗が劣ったりするため、低周波領域での磁界シールド性と透明性の両立をすることができなかった。   The technique described in Patent Document 1 is to form a fine network structure such as silver using spray spraying, and the network structure is not regular and may reduce the moire phenomenon. However, since the opening diameter of the mesh by a manufacturing method such as spraying can only be as small as about 50 μm, when the plating metal layer is laminated thickly, most of the opening is blocked and the transparency is poor. Only things could be manufactured. Further, when the transparency is improved, the plating thickness is reduced and the surface specific resistance is inferior, so that it is impossible to achieve both magnetic field shielding and transparency in the low frequency region.

特許文献2に記載の技術は、銀などの金属超微粒子触媒層をアルミナ微粒子などに担持させてからバインダーと混練させてペーストにしたものを印刷し、その印刷層に無電解めっき金属層を設ける技術である。しかし、この技術では、印刷層の線幅が60μm程度と太い格子状構造であるため、モアレが発生しやすいものであった。この技術における印刷層中の銀微粒子含有量は数重量%以下と非常に少なく、印刷層の含有成分のほとんどがアルミナ微粒子やバインダーから形成されているものであり、ペーストの粘度が高くなることなどから、こういった材料を印刷することで得られるパターンの線幅を細いものとすることは非常に困難であった。   In the technique described in Patent Document 2, a metal ultrafine catalyst layer made of silver or the like is supported on alumina fine particles, and then kneaded with a binder to make a paste, and an electroless plating metal layer is provided on the printed layer. Technology. However, with this technique, since the line width of the printed layer is a thick grid structure of about 60 μm, moire is likely to occur. In this technology, the silver fine particle content in the printing layer is very low, such as several weight percent or less, and most of the components contained in the printing layer are formed from alumina fine particles and a binder, and the viscosity of the paste becomes high. Therefore, it has been very difficult to reduce the line width of a pattern obtained by printing such a material.

特許文献3に記載の技術は、粒径が1μmよりも大きな粒子と樹脂成分を混合して得たペーストを規則的なパターンに印刷してから電解めっき金属層を設けるものである。しかし、この技術では、印刷したパターンが規則的であり、線幅が20μm程度と太いため、モアレが発生しやすいものであった。また、粒径が1μmよりも大きな粒子を用いることから、その会合体である印刷パターンを細くすることには限界が生じるという問題があった。   In the technique described in Patent Document 3, a paste obtained by mixing particles having a particle size larger than 1 μm and a resin component is printed in a regular pattern, and then an electrolytic plating metal layer is provided. However, with this technique, the printed pattern is regular and the line width is as thick as about 20 μm, so that moire is likely to occur. In addition, since particles having a particle size larger than 1 μm are used, there is a problem in that there is a limit to making the print pattern, which is an aggregate, thin.

特許文献4には、銀塩含有層を露光、現像し、金属銀による網目を形成させた後、めっき金属層を設ける技術が記載されている。しかし、この技術では、決められた形状を組み合わせて作成したメッシュ状のパターンを作成するものであることから、パターンに規則性が生まれ、モアレ現象が発現する可能性を有しているものであった。この手法では比較的細いパターンが得られやすいことから、めっき厚みを薄く設けた場合にはモアレ現象を見えにくくできるものの、十分ではない上、めっき厚みが薄いことに起因して低周波領域での磁界シールド性に劣るものしか得られなかった。また、低周波領域での磁界シールド性を発現させるためにめっき厚みを大きくした場合には、めっきにより線幅が太くなってしまうため、モアレ現象が強く現れるという問題を有していた。
:特開平10−340629号公報(第1頁、請求項など) :特開平11−170420号公報(第1頁、請求項など) :特開2000−196286号公報(第1頁、請求項など) :特開2004−221564号公報(第1頁、請求項など)
Patent Document 4 describes a technique in which a silver salt-containing layer is exposed and developed to form a metallic silver network, and then a plated metal layer is provided. However, since this technique creates a mesh pattern created by combining predetermined shapes, the pattern has regularity and the possibility of the occurrence of moire phenomenon. It was. Since this method can easily obtain a relatively thin pattern, it is difficult to see the moire phenomenon when the plating thickness is thin. However, it is not sufficient, and in the low frequency region due to the thin plating thickness. Only inferior magnetic field shielding properties were obtained. Further, when the plating thickness is increased in order to develop magnetic field shielding properties in the low frequency region, the line width becomes thicker due to the plating, so that the moire phenomenon appears strongly.
: JP-A-10-340629 (first page, claims, etc.) : JP-A-11-170420 (first page, claims, etc.) : JP 2000-196286 A (first page, claims, etc.) : JP-A-2004-221564 (first page, claims, etc.)

本発明の目的は、上記した欠点を解消し、従来技術では解決が困難であった、透明で、モアレ現象が発生せず、特にプラズマディスプレイパネルで特徴的に求められる低周波領域での磁界シールド性にも優れるという、3つの特性を満足した導電性基板を提供することにある。   The object of the present invention is to eliminate the above-mentioned drawbacks and to be transparent, and not to cause moire phenomenon, which is difficult to solve with the prior art, and particularly to shield magnetic fields in a low frequency region that is characteristically required for plasma display panels. An object of the present invention is to provide a conductive substrate that satisfies the three characteristics of excellent performance.

本発明は、基板の少なくとも片面に、金属微粒子層がランダムな網目状に積層され、該金属微粒子層上にめっき金属層が積層されたランダム網目層を有する導電性基板であって、該電磁波シールド基板の少なくとも片面の該めっき金属層の厚みが1.5μm以上であり、該電磁波シールド基板の全光線透過率が65%よりも大きく、かつ該電磁波シールド基板の少なくとも片面の表面比抵抗が0.5Ω/□よりも小さい導電性基板である。   The present invention is a conductive substrate having a random network layer in which a metal fine particle layer is laminated in a random network shape on at least one surface of a substrate, and a plated metal layer is laminated on the metal fine particle layer, the electromagnetic wave shield The thickness of the plated metal layer on at least one side of the substrate is 1.5 μm or more, the total light transmittance of the electromagnetic wave shielding substrate is greater than 65%, and the surface specific resistance of at least one side of the electromagnetic wave shielding substrate is 0. The conductive substrate is smaller than 5Ω / □.

本発明によれば、以下に説明する通り、透明で、モアレ現象が発生せず、特にプラズマディスプレイパネルで特徴的に求められる低周波領域での磁界シールド性にも優れるという、3つの特性を満足した導電性基板を得ることができる。   According to the present invention, as described below, it is transparent, does not cause moire phenomenon, and particularly satisfies the three characteristics of being excellent in magnetic field shielding properties in a low frequency region which is characteristically required for a plasma display panel. An electrically conductive substrate can be obtained.

本発明においては、金属微粒子層をランダムな網目状に積層し、その上にめっき金属層を積層してランダム網目層を形成させることによって、モアレがなく、低周波領域、特に30MHz以下の領域での磁界シールド性にも優れた透明基板を得ることができる。   In the present invention, a metal fine particle layer is laminated in a random network shape, and a plated metal layer is laminated thereon to form a random network layer, so that there is no moire and in a low frequency region, particularly a region of 30 MHz or less. A transparent substrate having excellent magnetic field shielding properties can be obtained.

本発明における導電性基板の全光線透過率は65%より大きい必要があり、より好ましくは70%以上であり、さらに好ましくは75%以上である。全光線透過率が65%以下であると、透明性の点で問題が生じる。   The total light transmittance of the conductive substrate in the present invention needs to be larger than 65%, more preferably 70% or more, and further preferably 75% or more. If the total light transmittance is 65% or less, a problem arises in terms of transparency.

本発明において、導電性基板の全光線透過率を65%より大きくするためには、金属微粒子層による網目の線を細くし、開口部を大きくすることが必要である。   In the present invention, in order to make the total light transmittance of the conductive substrate larger than 65%, it is necessary to make the mesh line of the metal fine particle layer thinner and to enlarge the opening.

金属微粒子層を基板に積層する方法は特に限定されず、基板の少なくとも片面に金属微粒子層が網目状につながった構造を形成させればよい。   The method for laminating the metal fine particle layer on the substrate is not particularly limited, and a structure in which the metal fine particle layer is connected in a network shape may be formed on at least one surface of the substrate.

例えば、金属微粒子のペーストや溶液を網目状に印刷する方法、金属微粒子のペーストや溶液を網目状に塗布する方法、金属微粒子を基板全面に積層した後、金属微粒子層が網目状になるように物理的に削ったり、化学的にエッチング処理を行ったりする方法、基板を掘ったり、型押ししたりして、あらかじめ基板の少なくとも片面に網目状の溝を作成しておき、そこに金属微粒子の溶液を充填させる方法など種々の方法を選択できる。   For example, a method of printing a metal fine particle paste or solution in a mesh pattern, a method of applying a metal fine particle paste or solution in a mesh pattern, or after laminating metal fine particles on the entire surface of a substrate, so that the metal particle layer becomes a mesh pattern. A method of physically cutting or chemically etching, digging or embossing a substrate to create a mesh-like groove on at least one side of the substrate in advance, and there are metal fine particles there Various methods such as a method of filling a solution can be selected.

ただし、これら印刷、エッチング、溝を形成させる手法では、本発明の要件を満たすランダムな網目構造を形成させることが困難である。具体的には、印刷では線幅の太いものとなるため、透明性が低下する場合がある。エッチング、および溝を形成させる手法では直線的な線が得られやすいためランダム性に劣り、モアレが強く出る場合がある。   However, it is difficult to form a random network structure that satisfies the requirements of the present invention by these printing, etching, and groove forming methods. Specifically, since printing has a large line width, transparency may be reduced. Etching and the method of forming a groove tend to provide a straight line, so that the randomness is inferior and moire may appear strongly.

また、金属微粒子を基板全面に積層した後、金属微粒子層が網目状になるように物理的に削ったり、化学的にエッチング処理を行ったりする方法の場合、金属微粒子層を削ったり、エッチングしたりすることで現れる開口部分の基板、もしくは表面処理層や接着剤層が間に積層されている場合には、それらの層に、金属微粒子の凹凸が転写されてしまう場合がある。その結果、開口部分に存在する層の表面粗さが大きくなってしまい、ヘイズが高く、透明性が不十分なものしか得られない場合がある。ヘイズが上昇すると、本発明の基板をディスプレイ用途として用いた場合、基板を通して観察されるディスプレイの画像がぼやけてしまい、画像の視認性が低下する場合がある。本発明においては、導電性基板のヘイズは20%以下が好ましく、より好ましくは15%以下であり、さらに好ましくは10%以下である。   In addition, in the case of a method in which metal fine particles are laminated on the entire surface of the substrate and then the metal fine particle layer is physically cut so as to form a network or chemically etched, the metal fine particle layer is cut or etched. In the case where the substrate of the opening portion that appears or the surface treatment layer or the adhesive layer is laminated therebetween, the unevenness of the metal fine particles may be transferred to those layers. As a result, the surface roughness of the layer present in the opening is increased, and there may be a case where only the haze is high and the transparency is insufficient. When the haze increases, when the substrate of the present invention is used as a display application, the image of the display observed through the substrate is blurred, and the visibility of the image may be lowered. In the present invention, the haze of the conductive substrate is preferably 20% or less, more preferably 15% or less, and further preferably 10% or less.

従って、上記のような、印刷、エッチング、溝を形成させる手法ではなく、本発明においては、例えば、特開平10−340629に記載されているように、基板に金属微粒子層形成用の溶液を塗布することで、微粒子が部分的により集まって網目線を形成するような現象、いわゆる自己組織化現象を利用して微粒子の網目を形成させる手法が好ましい。このような手法を用いると、網目がランダムになりやすく、またヘイズの低い基板が得られやすい。すなわち、「自己組織化する溶液」を用いることが好ましい。ここで、「自己組織化する溶液」とは、基板上の一面に塗布して放置しておくと、自然に基板上に網目状の構造を形成する溶液である。このような金属微粒子層形成用の溶液としては、例えばCima NanoTech社製CE103−7を用いることができる。   Therefore, instead of the above-described technique for forming printing, etching, and grooves, in the present invention, for example, as described in JP-A-10-340629, a solution for forming a metal fine particle layer is applied to a substrate. Thus, a method of forming a fine particle network using a phenomenon in which fine particles partially gather to form a mesh line, that is, a so-called self-organization phenomenon is preferable. When such a method is used, the mesh is likely to be random, and a substrate having a low haze is easily obtained. That is, it is preferable to use a “self-organizing solution”. Here, the “self-organizing solution” is a solution that spontaneously forms a network structure on a substrate when applied to one surface of the substrate and left to stand. As such a solution for forming the metal fine particle layer, for example, CE103-7 manufactured by Cima NanoTech can be used.

金属微粒子の溶液を用いて網目状の構造を形成させる場合、例えば、金属微粒子と分散剤などの有機成分とからなる粒子を主成分とする固形分の溶液(金属コロイド溶液)を用いて、印刷や塗布を行う方法を好適に用いることができる。金属コロイド溶液の溶媒としては、水、各種の有機溶媒を用いることができる。   When forming a network structure using a solution of metal fine particles, for example, printing using a solid solution (metal colloid solution) mainly composed of particles composed of metal fine particles and organic components such as a dispersant. And a method of coating can be suitably used. As a solvent for the metal colloid solution, water and various organic solvents can be used.

金属微粒子の調整法としては、例えば、液層中で金属イオンを還元して金属原子とし、原子クラスターを経てナノ粒子へ成長させる化学的方法や、バルク金属を不活性ガス中で蒸発させて微粒子となった金属をコールドトラップで捕捉する手法や、ポリマー薄膜上に真空蒸着させて得られた金属薄膜を加熱して金属薄膜を壊し、固相状態でポリマー中に金属ナノ粒子を分散させる物理的手法などを用いることができる。   Examples of the method for adjusting the metal fine particles include a chemical method in which metal ions are reduced to metal atoms in a liquid layer to grow into nanoparticles through atomic clusters, or bulk metal is evaporated in an inert gas to form fine particles. A method of trapping the resulting metal with a cold trap, or a method in which a metal thin film obtained by vacuum deposition on a polymer thin film is heated to break the metal thin film, and the metal nanoparticles are dispersed in the polymer in a solid state. A technique or the like can be used.

金属微粒子層を形成する化合物として、金属微粒子を形成しうる化合物である金属酸化物微粒子、または有機金属化合物、またはこれらを2種以上混合した化合物などを用いて、最終的に金属微粒子に化学変化させ、金属微粒子層を形成してもよい。   As the compound that forms the metal fine particle layer, metal oxide fine particles that are compounds capable of forming metal fine particles, organometallic compounds, or a compound in which two or more of these are mixed are used to finally chemically change to metal fine particles. And a metal fine particle layer may be formed.

本発明においては、金属微粒子を形成しうる化合物、例えば、金属微粒子、金属酸化物微粒子、及び有機金属化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種を溶媒に分散または溶解させた溶液を用いて金属微粒子層を形成させることが好ましい。これらの溶液を作成した後、その溶液に樹脂成分や、その他各種添加剤、例えば、酸化防止剤、耐熱安定剤、耐候安定剤、紫外線吸収剤、有機の易滑剤、顔料、染料、有機または無機の微粒子、充填剤、帯電防止剤、核剤などを、特性を悪化させない程度に添加した溶液も好適に用いることができる。   In the present invention, a metal fine particle is prepared by using a compound in which at least one selected from the group consisting of a metal fine particle, a metal oxide fine particle, and an organometallic compound is dispersed or dissolved in a solvent. It is preferable to form a layer. After preparing these solutions, the resin components and other various additives such as antioxidants, heat stabilizers, weathering stabilizers, UV absorbers, organic lubricants, pigments, dyes, organic or inorganic A solution to which fine particles, a filler, an antistatic agent, a nucleating agent and the like are added to such an extent that the properties are not deteriorated can also be suitably used.

一方、前述の金属微粒子を形成しうる化合物を樹脂成分中に練り込んだりして、樹脂成分中に分散させたものを用いた場合には、後述する有機溶媒処理、酸処理による導電性を高める効果が十分に発現せず、優れた導電性が得られない場合があるため、好ましくない。また、金属微粒子を形成しうる化合物を樹脂成分中に分散させたのち、溶媒を加えて粘度調整したものや、金属微粒子を形成しうる化合物を、樹脂成分および溶媒と共に樹脂成分中に練り込んだものでも、後述する有機溶媒処理、酸処理による効果が十分に発現せず、優れた導電性が得られない場合があるため、好ましくない。   On the other hand, when a compound that can form the above-mentioned metal fine particles is kneaded into the resin component and dispersed in the resin component, the conductivity by organic solvent treatment and acid treatment described later is increased. Since the effect is not sufficiently exhibited and excellent conductivity may not be obtained, it is not preferable. In addition, after dispersing a compound capable of forming metal fine particles in the resin component, the viscosity was adjusted by adding a solvent, or a compound capable of forming metal fine particles was kneaded into the resin component together with the resin component and the solvent. Even if it is a thing, since the effect by the organic solvent process mentioned later and an acid process does not fully express, and the outstanding electroconductivity may not be obtained, it is unpreferable.

金属微粒子、金属酸化物微粒子、及び有機金属化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種を溶媒に分散または溶解させた溶液を用いた場合、後述するように、低濃度の酸の溶液により、酸による処理の効果が得られやすくなり、好適に金属微粒子層の導電性を向上させることが可能となる。高濃度の酸を用いる場合には、作業性が低下し、生産性が悪化する場合があり好ましくない。金属微粒子を樹脂成分中に練り込んだりして、樹脂成分中に分散させたものを用いた場合には、低い濃度の酸の溶液を用いても優れた導電性が得られない場合がある。   When a solution in which at least one selected from the group consisting of metal fine particles, metal oxide fine particles, and organometallic compounds is dispersed or dissolved in a solvent is used, as described later, a low-concentration acid solution causes The effect of the treatment can be easily obtained, and the conductivity of the metal fine particle layer can be preferably improved. When using a high concentration acid, workability | operativity falls and productivity may deteriorate, and it is unpreferable. When the metal fine particles are kneaded into the resin component and dispersed in the resin component, excellent conductivity may not be obtained even if a low concentration acid solution is used.

本発明における網目状の構造はランダムな構造である必要がある。本発明品をディスプレイに貼り合わせて使用した場合、網目状の構造をランダムな構造にすることでモアレ現象が発生しないものを得ることができる。   The network structure in the present invention needs to be a random structure. When the product of the present invention is used by being attached to a display, it is possible to obtain one that does not cause a moire phenomenon by making the network structure random.

ランダムな網目状の構造は、走査電子顕微鏡の観察像で特定し、該網目状の構造が、その形状において、空隙部分の形状や大きさが不揃いである状態、すなわちランダムな状態として観察されるものであり、従って、網目を構成する部分、すなわち線状の部分の形状も直線ではなく線太さが不揃いである状態、すなわちランダムな状態として観察されるものである。ランダムな網目状の構造の一例を図1、図4に示すが、これに限定されない。   The random network structure is identified by an observation image of a scanning electron microscope, and the network structure is observed in a state where the shape and size of the void portion are not uniform in the shape, that is, a random state. Therefore, the portion of the mesh, that is, the shape of the linear portion is not a straight line but is not uniform in line thickness, that is, is observed as a random state. An example of a random network structure is shown in FIGS. 1 and 4, but is not limited thereto.

本発明における金属微粒子とは、数平均粒子径0.001〜0.3μmの金属粒子であり、粒子径は最大でも1.0μm未満となるようなものである。金属微粒子の数平均粒子径、最大粒子径がこの範囲を超えると金属微粒子層をランダムな網目状に形成させ、かつ透明性、電磁波シールド性に優れた基板を得ることが困難となる場合がある。金属微粒子の数平均粒子径は、好ましくは0.001〜0.2μmであり、より好ましくは0.002〜0.15μmである。金属微粒子の粒径分布は大きくても、小さくてもよく、粒径が不揃いであっても、均一であってもよいが、粒径が均一であり、粒径分布が小さい場合には、金属微粒子層をランダムな網目状に形成させやすいため、好ましい。   The metal fine particles in the present invention are metal particles having a number average particle diameter of 0.001 to 0.3 μm, and the particle diameter is at most less than 1.0 μm. If the number average particle size and the maximum particle size of the metal fine particles exceed this range, it may be difficult to form a metal fine particle layer in a random network and to obtain a substrate having excellent transparency and electromagnetic shielding properties. . The number average particle diameter of the metal fine particles is preferably 0.001 to 0.2 μm, more preferably 0.002 to 0.15 μm. The particle size distribution of the metal fine particles may be large or small, and the particle size may be irregular or uniform, but if the particle size is uniform and the particle size distribution is small, the metal This is preferable because the fine particle layer can be easily formed into a random network.

金属微粒子に用いられる金属としては特に限定されず、白金、金、銀、銅、ニッケル、パラジウム、ロジウム、ルテニウム、ビスマス、コバルト、鉄、アルミニウム、亜鉛、錫などが挙げられる。金属は1種で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   The metal used for the metal fine particles is not particularly limited, and examples thereof include platinum, gold, silver, copper, nickel, palladium, rhodium, ruthenium, bismuth, cobalt, iron, aluminum, zinc, and tin. A metal may be used by 1 type and may be used in combination of 2 or more type.

本発明においては、金属微粒子層が分断せずに連続して繋がっていることが重要である。金属微粒子層が連続して繋がっているため、金属微粒子層上のある一点から導通を取れば、金属微粒子層全面にわたって電気を流すことが可能となり、良好な導電性を発現するものとなる。さらに、連続して繋がっている金属微粒子層にめっき金属層が積層されるため、めっき金属層も連続して繋がることが可能となる。これらの結果、本発明の導電性基板は、基板全面にわたって導通を持つ良好な導電性を有するものとなり、電磁波シールド性に優れた基板とすることが可能となる。  In the present invention, it is important that the metal fine particle layers are continuously connected without being divided. Since the metal fine particle layers are connected continuously, if conduction is obtained from a certain point on the metal fine particle layer, it becomes possible to flow electricity over the entire surface of the metal fine particle layer, and good conductivity is exhibited. Furthermore, since the plated metal layer is laminated on the metal fine particle layers that are continuously connected, the plated metal layer can also be continuously connected. As a result, the conductive substrate of the present invention has good conductivity with conduction over the entire surface of the substrate, and can be a substrate excellent in electromagnetic wave shielding properties.

金属微粒子層の厚みが厚いと金属微粒子層の表面比抵抗が小さくなるので、後述する電解めっきを行いやすい点で好ましい。本発明における金属微粒子層の厚みは0.2μm〜7.0μmであることが好ましく、より好ましくは0.6〜4.0μmである。厚みが小さ過ぎると表面比抵抗が低下し、大き過ぎると透明性が低下する場合がある。   When the thickness of the metal fine particle layer is thick, the surface specific resistance of the metal fine particle layer becomes small, which is preferable in that the electroplating described later is easily performed. The thickness of the metal fine particle layer in the present invention is preferably 0.2 μm to 7.0 μm, more preferably 0.6 to 4.0 μm. If the thickness is too small, the surface specific resistance may decrease, and if it is too large, the transparency may decrease.

金属微粒子層の表面比抵抗は40Ω/□以下であることが好ましい。より好ましくは30Ω/□以下であり、さらに好ましくは10Ω/□以下である。表面比抵抗の測定は、例えば、常態(23℃、相対湿度65%)において24時間放置後、その雰囲気下で、JIS−K−7194に準拠した形で、ロレスタ−EP(三菱化学株式会社製、型番:MCP−T360)を用いて測定することができる。表面比抵抗が40Ω/□以下である場合には、後述する電解めっきを行いやすい点で好ましい。   The surface specific resistance of the metal fine particle layer is preferably 40Ω / □ or less. More preferably, it is 30 ohms / square or less, More preferably, it is 10 ohms / square or less. The surface resistivity is measured, for example, after standing in a normal state (23 ° C., relative humidity 65%) for 24 hours, and in that atmosphere, in accordance with JIS-K-7194, in the form of Loresta-EP (Mitsubishi Chemical Corporation). , Model No .: MCP-T360). When the surface specific resistance is 40Ω / □ or less, it is preferable in that it is easy to perform electrolytic plating described later.

本発明における金属微粒子層には金属微粒子以外に、他の各種添加剤、例えば、分散剤、界面活性剤、保護樹脂、酸化防止剤、耐熱安定剤、耐候安定剤、紫外線吸収剤、顔料、染料、有機または無機の微粒子、充填剤、帯電防止剤、などの無機成分、有機成分を含有することもできる。しかし、金属微粒子層中のこれら添加剤の含有量は50重量%未満、つまり金属微粒子の含有量が50重量%以上であることが好ましい。金属微粒子層中の金属微粒子の含有量が50重量%以上であると、金属微粒子層の表面比抵抗が小さくなりやすいため、後述する電解めっきを行いやすい点で好ましい。   In the metal fine particle layer in the present invention, in addition to the metal fine particles, various other additives such as a dispersant, a surfactant, a protective resin, an antioxidant, a heat stabilizer, a weather stabilizer, an ultraviolet absorber, a pigment, and a dye. Inorganic components such as organic or inorganic fine particles, fillers and antistatic agents, and organic components can also be contained. However, the content of these additives in the metal fine particle layer is preferably less than 50% by weight, that is, the content of the metal fine particles is preferably 50% by weight or more. When the content of the metal fine particles in the metal fine particle layer is 50% by weight or more, the surface specific resistance of the metal fine particle layer tends to be small, which is preferable in terms of easy electroplating described later.

本発明では、金属微粒子層にめっき金属層を積層する必要がある。ランダムな網目状に形成された金属微粒子層上にめっき金属層を積層することで、本発明におけるランダム網目層が形成される。めっき金属層とは、電解めっき、または無電解めっきにより積層した金属層のことである。めっき金属層を積層することで、導電性基板の導電性が良好となり、電磁波シールド性が良好となる。また、めっき金属層を金属微粒子層による網目の開口部分には積層せず、金属微粒子層上のみに積層することにより、透明な基板とすることができる。   In the present invention, it is necessary to laminate a plated metal layer on the metal fine particle layer. By laminating the plated metal layer on the metal fine particle layer formed in a random network shape, the random network layer in the present invention is formed. The plated metal layer is a metal layer laminated by electrolytic plating or electroless plating. By laminating the plated metal layer, the conductivity of the conductive substrate becomes good and the electromagnetic wave shielding property becomes good. Moreover, a transparent substrate can be obtained by laminating the plated metal layer only on the metal fine particle layer without laminating the plated metal layer on the opening portion of the mesh formed by the metal fine particle layer.

めっき金属層を構成する金属は特に限定されないが、Cu、Ni、Cr、Zn、Au、Ag、Al、Sn、Pt、Pd、Co、Fe、Inなどを用いることができ、1種または2種以上の金属を組み合わせて用いることができる。これらの中でも、導電性、電解めっき性などの点で、Cuを用いることが好ましい。   Although the metal which comprises a plating metal layer is not specifically limited, Cu, Ni, Cr, Zn, Au, Ag, Al, Sn, Pt, Pd, Co, Fe, In etc. can be used, 1 type or 2 types A combination of the above metals can be used. Among these, it is preferable to use Cu in terms of conductivity, electrolytic plating properties, and the like.

本発明の金属微粒子層は優れた導電性を持っているため、電解めっきを行うことが可能となる。本発明ではめっき金属層を金属微粒子層による網目の開口部分には積層せず、金属微粒子層上のみに積層することによって透明な基板とするために、金属微粒子層による網目の開口部分にあたる基板はガラスや電気絶縁性の樹脂など電気絶縁性の材料で形成されていることが好ましい。   Since the metal fine particle layer of the present invention has excellent conductivity, it is possible to perform electroplating. In the present invention, the plated metal layer is not laminated on the opening portion of the mesh formed by the metal fine particle layer, but is formed only on the metal fine particle layer to form a transparent substrate. It is preferably formed of an electrically insulating material such as glass or electrically insulating resin.

前述したように、金属微粒子層を積層した基板の表面比抵抗は、40Ω/□以下であることが好ましい。より好ましくは30Ω/□以下であり、さらに好ましくは10Ω/□以下である。40Ω/□より大きいと、電解めっきを行う際に抵抗による負荷が大きくなるため、高い電圧をかけて通電させる必要が生じ、その結果、発熱により基板などにダメージが生じる場合がある。   As described above, the surface specific resistance of the substrate on which the metal fine particle layer is laminated is preferably 40Ω / □ or less. More preferably, it is 30 ohms / square or less, More preferably, it is 10 ohms / square or less. If it is larger than 40Ω / □, a load due to resistance increases when electrolytic plating is performed, so that it is necessary to apply a high voltage, and as a result, the substrate may be damaged due to heat generation.

前述したように、金属微粒子層に含まれる金属微粒子の含有量は、50重量%以上であることが好ましい。より好ましくは70重量%以上であり、さらに好ましくは90重量%以上である。金属微粒子の含有量が50重量%以上であると、銀微粒子層を導電性に優れたものにしやすい。   As described above, the content of the metal fine particles contained in the metal fine particle layer is preferably 50% by weight or more. More preferably, it is 70 weight% or more, More preferably, it is 90 weight% or more. When the content of the metal fine particles is 50% by weight or more, the silver fine particle layer tends to have excellent conductivity.

本発明においては、金属微粒子層に電解めっきを行う前に、熱処理、光線処理、通電処理など、金属微粒子の導電性を高めるための公知の方法を用いて金属微粒子層の導電性を高め、表面比抵抗を小さくする処理を行ってもよく、特に、金属微粒子を酸で処理する方法により、表面比抵抗を小さくすることが好ましい。酸で処理する方法は、穏和な処理条件で金属微粒子の導電性を高めることができるため、熱可塑性樹脂など、耐熱性や耐光性に劣る材料を基板として用いた場合でも、好適に採用できる。また、複雑な装置や工程を必要としない方法であるため、生産性の点でも好ましい。   In the present invention, before performing electroplating on the metal fine particle layer, the conductivity of the metal fine particle layer is increased by using a known method for increasing the conductivity of the metal fine particles, such as heat treatment, light treatment, and current treatment. A treatment for reducing the specific resistance may be performed, and it is particularly preferable to reduce the surface specific resistance by a method of treating metal fine particles with an acid. The method of treating with an acid can be suitably employed even when a material having poor heat resistance and light resistance, such as a thermoplastic resin, is used as the substrate because the conductivity of the metal fine particles can be increased under mild processing conditions. Moreover, since it is a method which does not require a complicated apparatus and process, it is preferable also in terms of productivity.

酸の処理温度は、常温で十分である。高温で処理を行うと、酸の蒸気が発生して周辺の金属装置を劣化させる原因となるため好ましくない。好ましい処理温度は40℃以下であり、より好ましくは30℃以下であり、さらに好ましくは25℃以下である。   A normal temperature is sufficient for the treatment temperature of the acid. When the treatment is performed at a high temperature, acid vapor is generated and the surrounding metal device is deteriorated, which is not preferable. A preferable treatment temperature is 40 ° C. or lower, more preferably 30 ° C. or lower, and further preferably 25 ° C. or lower.

金属微粒子を処理する酸とは、特に限定されず、種々の有機酸、無機酸から選択することができる。有機酸としては、酢酸、シュウ酸、プロピオン酸、乳酸、ベンゼンスルホン酸などが挙げられる。無機酸としては、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸などが挙げられる。これらは、強酸であっても、弱酸であってもよい。好ましくは酢酸、塩酸、硫酸、およびその水溶液であり、より好ましくは塩酸、硫酸、およびその水溶液である。   The acid for treating the metal fine particles is not particularly limited, and can be selected from various organic acids and inorganic acids. Examples of the organic acid include acetic acid, oxalic acid, propionic acid, lactic acid, and benzenesulfonic acid. Examples of inorganic acids include hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, phosphoric acid and the like. These may be strong acids or weak acids. Acetic acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, and an aqueous solution thereof are preferred, and hydrochloric acid, sulfuric acid, and an aqueous solution thereof are more preferred.

酸で処理する方法は特に限定されず、例えば、酸や、酸の溶液の中に金属微粒子層を積層した基板を浸したり、酸や、酸の溶液を銀微粒子層上に塗布したり、酸や、酸の溶液の蒸気を金属微粒子層にあてたりする方法が用いられる。これらの中でも、酸の溶液の中に金属微粒子層を積層した基板を浸したり、酸や、酸の溶液を銀微粒子層上に塗布したりするなど、直接基板と酸の液体を接触させる方法が、導電性向上効果に優れるため好ましい。すなわち、酸の処理条件としては、40℃以下の温度で、酸の溶液の中に金属微粒子層を積層した基板を浸したり、酸や、酸の溶液を銀微粒子層上に塗布したりすることが好ましい。   The method of treating with an acid is not particularly limited. For example, a substrate in which a metal fine particle layer is laminated in an acid or an acid solution is dipped, an acid or an acid solution is applied on a silver fine particle layer, Alternatively, a method of applying a vapor of an acid solution to the metal fine particle layer is used. Among these, there is a method of directly contacting the substrate and the acid liquid, such as immersing a substrate in which a metal fine particle layer is laminated in an acid solution, or applying an acid or acid solution on the silver fine particle layer. It is preferable because of its excellent conductivity improving effect. In other words, the acid treatment conditions include immersing a substrate in which a metal fine particle layer is laminated in an acid solution at a temperature of 40 ° C. or less, or applying an acid or an acid solution on the silver fine particle layer. Is preferred.

導電性基板の製造工程内において、酸で処理を行う段階については、金属微粒子層にめっき金属層を積層する前であれば、いずれの段階で処理してもよい。例えば、基板上に金属微粒子層を網目状に積層した後、酸で処理してもよく、基板上の全面に金属属微粒子層を積層した後、酸で処理し、その後、エッチングなどにより、金属微粒子層を網目状にしてもよい。特に、基板上に金属微粒子層を網目状に積層しておいてから酸で処理する方法が、導電性を高める効果に優れ、生産性の点で効率がよいため好適に用いられる。   In the process for producing a conductive substrate, the stage of treatment with acid may be carried out at any stage as long as it is before the plating metal layer is laminated on the metal fine particle layer. For example, a metal fine particle layer may be formed in a network on a substrate and then treated with an acid. A metal group fine particle layer may be laminated on the entire surface of a substrate, then treated with an acid, and then etched to form a metal. The fine particle layer may have a mesh shape. In particular, a method of laminating a metal fine particle layer on a substrate and then treating with an acid is preferably used because it is excellent in the effect of increasing conductivity and is efficient in terms of productivity.

酸による処理時間は数分以下で十分であり、処理時間をより長くしても、導電性の向上効果が高まらない場合や、導電性の向上効果が悪化する場合がある。酸による処理時間は、15秒〜60分であることが好ましく、より好ましくは15秒〜30分であり、さらに好ましくは15秒から2分であり、特に好ましくは15秒〜1分である。   The treatment time with the acid is sufficient for several minutes or less, and even if the treatment time is made longer, the effect of improving the conductivity may not be increased or the effect of improving the conductivity may be deteriorated. The treatment time with the acid is preferably 15 seconds to 60 minutes, more preferably 15 seconds to 30 minutes, still more preferably 15 seconds to 2 minutes, and particularly preferably 15 seconds to 1 minute.

酸の溶液を用いる場合、酸の濃度は、好ましくは10mol/L以下であり、より好ましくは5mol/L以下であり、さらに好ましくは1mol/L以下である。酸の溶液の濃度が高いと、作業性が低下し、生産性が悪化する場合があったり、基材として熱可塑性樹脂フィルムを用いた場合には、基材を白化させ、透明性を損ねる場合があったりするため、好ましくない。また、酸の濃度が低すぎる場合にも、酸による処理の効果が得られないため、好ましくは0.05mol/L以上、より好ましくは0.1mol/L以上であることが好ましい。   When an acid solution is used, the acid concentration is preferably 10 mol / L or less, more preferably 5 mol / L or less, and further preferably 1 mol / L or less. When the concentration of the acid solution is high, workability may deteriorate and productivity may deteriorate, or when a thermoplastic resin film is used as the base material, the base material may be whitened and transparency may be impaired. This is not preferable. In addition, even when the acid concentration is too low, the effect of the treatment with the acid cannot be obtained, so that it is preferably 0.05 mol / L or more, more preferably 0.1 mol / L or more.

また、前述したように、金属微粒子、金属酸化物微粒子、有機金属化合物など、金属微粒子を形成しうる化合物を樹脂成分中に練り込んだりして、樹脂成分中に分散させたものを用いた場合には、上記のような低い濃度の酸の溶液では優れた導電性が得られない場合がある。   In addition, as described above, when a compound capable of forming metal fine particles, such as metal fine particles, metal oxide fine particles, and organometallic compounds, is kneaded into the resin component and dispersed in the resin component. In some cases, excellent conductivity may not be obtained with a low concentration acid solution as described above.

一方、金属微粒子、金属酸化物微粒子、有機金属化合物から選ばれる少なくとも1種を溶媒に分散または溶解させた溶液を用いた場合、低濃度の酸の溶液でも優れた導電性が得られる。   On the other hand, when a solution in which at least one selected from metal fine particles, metal oxide fine particles, and organometallic compounds is dispersed or dissolved in a solvent is used, excellent conductivity can be obtained even with a low concentration acid solution.

金属微粒子を形成しうる化合物を樹脂成分中に分散させたものを用いた場合には、上記のような低い濃度の酸の溶液を用いても優れた導電性が得られない場合があるのに対し、金属微粒子、金属酸化物微粒子、有機金属化合物から選ばれる少なくとも1種を溶媒に分散または溶解させた溶液を用いた場合に、低濃度の酸の溶液により、導電性が向上する効果が発現するメカニズムは明確ではないが、以下のように推測される。   If a compound in which a compound capable of forming metal fine particles is dispersed in a resin component is used, excellent conductivity may not be obtained even if a low concentration acid solution as described above is used. On the other hand, when a solution in which at least one selected from metal fine particles, metal oxide fine particles, and organometallic compounds is dispersed or dissolved in a solvent is used, the effect of improving conductivity is exhibited by a low-concentration acid solution. The mechanism to do this is not clear, but is presumed as follows.

すなわち、樹脂成分中での分散状態は、金属微粒子を形成しうる化合物の濃度が高い部分、低い部分が生じやすくなり、金属微粒子を形成しうる化合物の分散状態が不均一であるため、形成された金属微粒子層は、樹脂成分の添加量が少ない場合においても、金属微粒子間を埋める樹脂成分の量が極端に多い場所が生じ、その樹脂を取り除くために、高濃度の酸で、樹脂成分をエッチングするような処理が必要となる場合がある。それに対し、金属微粒子、金属酸化物微粒子、有機金属化合物から選ばれる少なくとも1種を溶媒に分散または溶解させた溶液中においては、それらの金属微粒子を形成しうる化合物が、場所による濃度むらのない均一な分散状態となりやすいため、形成された金属微粒子層は、金属微粒子間を埋める他の絶縁成分の量が極端に多い場所が生じにくくなる。そのため、高濃度の酸で、他の絶縁成分をエッチングするような処理は必要とせず、低濃度の酸の溶液でも十分な処理効果が発現するものと推測される。   In other words, the dispersion state in the resin component is formed because the portion where the concentration of the compound capable of forming the metal fine particles is high or low is likely to be generated, and the dispersion state of the compound capable of forming the metal fine particles is uneven. In addition, even when the amount of the resin component added is small, the metal fine particle layer has a place where the amount of the resin component that fills the space between the metal fine particles is extremely large, and in order to remove the resin, the resin component is removed with a high concentration of acid. An etching process may be required. On the other hand, in a solution in which at least one selected from metal fine particles, metal oxide fine particles, and organometallic compounds is dispersed or dissolved in a solvent, the compounds capable of forming the metal fine particles have no uneven concentration depending on the location. Since a uniform dispersed state is likely to occur, the formed metal fine particle layer is less likely to have a place where the amount of other insulating components filling the space between the metal fine particles is extremely large. Therefore, it is presumed that a treatment that etches other insulating components with a high concentration of acid is not required, and a sufficient treatment effect is exhibited even with a low concentration acid solution.

また、金属微粒子層を酸で処理する前に、有機溶媒で処理することが好ましい。金属微粒子層を酸で処理する前に、有機溶媒で処理を行うと、より優れた導電性が得られやすくなる。   Moreover, it is preferable to treat the metal fine particle layer with an organic solvent before treating with the acid. If the metal fine particle layer is treated with an organic solvent before being treated with an acid, more excellent conductivity can be easily obtained.

金属微粒子層を有機溶媒で処理する段階としては、基板上に金属微粒子層を網目状に積層した後、有機溶媒で処理してもよく、基板上の全面に金属微粒子を積層した後、有機溶媒で処理し、その後、エッチングなどにより、金属微粒子層を網目状にしてもよい。この中でも、基板上に金属微粒子を網目状に積層しておいてから有機溶媒で処理する方法が、導電性を高める効果に優れ、生産性の点で効率がよいため好適に用いられる。 有機溶媒で処理する前や後に、金属微粒子層を積層した基板に別の層を印刷したり、塗布したりして積層してもよい。また、有機溶媒で処理する前や後に、金属微粒子層を積層した基板を乾燥したり、熱処理したり、紫外線照射処理などをしてもよい。   The step of treating the metal fine particle layer with the organic solvent may be performed by laminating the metal fine particle layer on the substrate in a network and then treating with the organic solvent. After laminating the metal fine particles on the entire surface of the substrate, the organic solvent Then, the metal fine particle layer may be formed into a network by etching or the like. Among these, a method of laminating metal fine particles on a substrate in a network and then treating with an organic solvent is preferably used because it is excellent in the effect of increasing conductivity and is efficient in terms of productivity. Before or after the treatment with the organic solvent, another layer may be printed on or coated on the substrate on which the metal fine particle layer is laminated. Further, before or after the treatment with the organic solvent, the substrate on which the metal fine particle layer is laminated may be dried, heat-treated, or subjected to an ultraviolet irradiation treatment.

有機溶媒の処理温度は、常温で十分である。高温で処理を行うと、基材として熱可塑性樹脂フィルムを用いた場合には、基材を白化させ、透明性を損ねる場合があるため、好ましくない。好ましい処理温度は40℃以下であり、より好ましくは30℃以下であり、さらに好ましくは25℃以下である。   The treatment temperature of the organic solvent is sufficient at room temperature. When the treatment is performed at a high temperature, when a thermoplastic resin film is used as the base material, the base material may be whitened and transparency may be impaired. A preferable treatment temperature is 40 ° C. or lower, more preferably 30 ° C. or lower, and further preferably 25 ° C. or lower.

有機溶媒で処理する方法は特に限定されず、例えば、有機溶媒の溶液の中に金属微粒子層を積層した基板を浸したり、有機溶媒を金属微粒子層上に塗布したり、有機溶媒の蒸気を金属微粒子層にあてたりする方法が用いられる。これらの中でも、有機溶媒の中に金属微粒子層を積層した基板を浸したり、有機溶媒を金属微粒子層上に塗布したりする方法が、導電性向上効果に優れるため好ましい。   The method of treating with an organic solvent is not particularly limited. For example, the substrate on which the metal fine particle layer is laminated is immersed in a solution of the organic solvent, the organic solvent is applied on the metal fine particle layer, or the vapor of the organic solvent is applied to the metal. A method of hitting the fine particle layer is used. Among these, a method of immersing a substrate in which a metal fine particle layer is laminated in an organic solvent or coating an organic solvent on the metal fine particle layer is preferable because of its excellent conductivity improving effect.

有機溶媒の一例を挙げると、メチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、n-ブタノール、イソブタノール、3-メトキシ-3-メチル-1-ブタノール、1,3ブタンジオール、3-メチル-1,3-ブタンジオールなどのアルコール類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノンなどのケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル類、ヘキサン、ヘプタン、デカン、シクロヘキサンなどのアルカン類、N-メチル-2-ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホオキシドなどの双極性非プロトン溶媒、トルエン、キシレン、アニリン、エチレングリコールブチルエーテル、エチレングリコール、エチルエーテル、エチレングリコールメチルエーテル、クロロホルム等、およびこれらの混合溶媒を使用できる。これらの中でも、ケトン類、エステル類、トルエンが含まれていると、導電性向上効果に優れるため、好ましく、特に好ましくはケトン類である。   Examples of organic solvents include methyl alcohol, ethyl alcohol, isopropyl alcohol, n-butanol, isobutanol, 3-methoxy-3-methyl-1-butanol, 1,3-butanediol, 3-methyl-1,3- Alcohols such as butanediol, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone and cyclopentanone, esters such as ethyl acetate and butyl acetate, alkanes such as hexane, heptane, decane and cyclohexane, N-methyl Dipolar aprotic solvents such as -2-pyrrolidone, dimethylformamide, dimethylacetamide, dimethylsulfoxide, toluene, xylene, aniline, ethylene glycol butyl ether, ethylene glycol, ethyl ether, ethylene glycol Ether, chloroform and the like, and mixed solvents thereof can be used. Among these, when ketones, esters, and toluene are contained, the conductivity improving effect is excellent, which is preferable, and ketones are particularly preferable.

有機溶媒は水で希釈したものを用いても良い。有機溶媒と水の混合比は、重量比で5/95以上が好ましく、より好ましくは50/50以上であり、さらに好ましくは70/30以上であり、最も好ましくは100/0である。   An organic solvent diluted with water may be used. The mixing ratio of the organic solvent and water is preferably 5/95 or more by weight, more preferably 50/50 or more, still more preferably 70/30 or more, and most preferably 100/0.

また、金属微粒子層が貴金属微粒子により形成されている場合は無電解めっきの触媒として作用することから、無電解めっきを行うことも可能となる。貴金属の例としては、Au、Ag、Pt、Pd、Rh、Os、Ru、Irなどが挙げられる。   In addition, when the metal fine particle layer is formed of noble metal fine particles, it acts as a catalyst for electroless plating, so that electroless plating can be performed. Examples of the noble metal include Au, Ag, Pt, Pd, Rh, Os, Ru, and Ir.

本発明ではめっき金属層を金属微粒子層による網目の開口部分には積層せず、金属微粒子層上のみに積層することによって透明な基板とするために、金属微粒子層による網目の開口部分にあたる基板表面には無電解めっきの触媒となるような化合物、例えばAu、Ag、Pt、Pd等の金属が存在していないことが好ましい。  In the present invention, the plated metal layer is not laminated on the opening portion of the mesh formed by the metal fine particle layer, but is formed only on the metal fine particle layer to form a transparent substrate. It is preferable that no compound such as Au, Ag, Pt, Pd, or the like that can serve as a catalyst for electroless plating is not present in.

無電解めっきでは、めっき金属層の厚みを厚くするためにはめっき時間を長くする必要があり、この場合、開口部分に付着していた異物などにめっき核が形成されて、開口部分にめっきが発生することがある。開口部分にもめっきが発生した場合には、透明性が低下するという問題が発生するため、めっき金属層の厚みを厚くしたい場合には、電解めっきによりめっき金属層を積層することが、より好ましい。   In electroless plating, it is necessary to lengthen the plating time in order to increase the thickness of the plated metal layer. In this case, plating nuclei are formed on the foreign matter adhering to the opening, and plating is formed on the opening. May occur. When plating occurs also in the opening portion, the problem that transparency is lowered occurs. Therefore, when it is desired to increase the thickness of the plating metal layer, it is more preferable to laminate the plating metal layer by electrolytic plating. .

少なくとも片面のめっき金属層の厚みは1.5μm以上である必要がある。好ましくは2.0μm以上であり、より好ましくは3.0μm以上である。上限は特に限定されないが、めっき金属層の厚みを厚くすると、同時にめっき金属層の線幅が広がりやすくなり、その結果、基板の透明性が低下するため、15μm以下とすることが好ましい。より好ましくは10μm以下である。本発明ではめっき金属層の厚みを1.5μm以上とすることにより、低周波領域での磁界シールド性に優れたものとすることができる。   At least the thickness of the plated metal layer on one side needs to be 1.5 μm or more. Preferably it is 2.0 micrometers or more, More preferably, it is 3.0 micrometers or more. The upper limit is not particularly limited. However, if the thickness of the plated metal layer is increased, the line width of the plated metal layer is likely to be increased at the same time. As a result, the transparency of the substrate is lowered. More preferably, it is 10 μm or less. In the present invention, by setting the thickness of the plated metal layer to 1.5 μm or more, the magnetic field shielding property in the low frequency region can be excellent.

めっき金属層の厚みを1.5μm以上とすると、必然的にめっき金属層の幅方向の拡がりも大きくなる。そのため、規則性のあるパターンを用いた場合にはモアレ現象が発生しやすくなが、本発明ではランダムな層を形成させるため、めっき金属層厚みを大きくしてもモアレが発生しない。その結果、低周波領域での磁界シールド性との両立が可能となるものである。   When the thickness of the plated metal layer is 1.5 μm or more, the spread in the width direction of the plated metal layer inevitably increases. Therefore, when a regular pattern is used, a moire phenomenon is likely to occur. However, since a random layer is formed in the present invention, no moire occurs even if the plating metal layer thickness is increased. As a result, it is possible to achieve both magnetic field shielding properties in a low frequency region.

上記のように本発明ではめっき金属層の厚みを1.5μm以上とするため、必然的にめっき金属層の幅方向の拡がりも大きくなり、ランダム網目層の線幅が大きいものとなりやすい。しかし、低周波領域での磁界シールド性の向上効果を考慮すると、めっき金属層の厚みが厚く、ランダム網目層の線幅が大きいものの方が好ましい。本発明においては網目層がランダムであるため、ランダム網目層の線幅が大きくてもモアレ現象が発生しないことから、このような形態がとれるものである。   As described above, in the present invention, since the thickness of the plated metal layer is 1.5 μm or more, the spread of the plated metal layer in the width direction inevitably increases, and the line width of the random network layer tends to be large. However, considering the effect of improving the magnetic field shielding property in the low frequency region, it is preferable that the plated metal layer is thick and the random mesh layer has a large line width. In the present invention, since the mesh layer is random, the moire phenomenon does not occur even if the line width of the random mesh layer is large, and thus such a form can be taken.

ランダム網目層の線幅は、良好な電磁波シールド性を得るためには15μmよりも大きいことが好ましい。より好ましくは15μmよりも大きく50μm以下であり、さらに好ましくは20μmよりも大きく45μm以下であり、特に好ましくは25μmよりも大きく40μm以下である。線幅が50μmよりも大きいと透明性が低下することがある。   The line width of the random network layer is preferably larger than 15 μm in order to obtain good electromagnetic shielding properties. More preferably, it is larger than 15 μm and not larger than 50 μm, more preferably larger than 20 μm and not larger than 45 μm, particularly preferably larger than 25 μm and not larger than 40 μm. When the line width is larger than 50 μm, the transparency may be lowered.

本発明における導電性基板の少なくとも片面の表面比抵抗は0.5Ω/□よりも小さい必要がある。好ましくは0.2Ω/□以下であり、より好ましくは0.1Ω/□以下であり、さらに好ましくは0.05Ω/□以下である。表面比抵抗が0.5Ω/□以上であると低周波領域での磁界シールド性を良好に発現させることができなくなる。   The surface specific resistance of at least one surface of the conductive substrate in the present invention needs to be smaller than 0.5Ω / □. Preferably it is 0.2 ohm / square or less, More preferably, it is 0.1 ohm / square or less, More preferably, it is 0.05 ohm / square or less. When the surface specific resistance is 0.5Ω / □ or more, the magnetic field shielding property in the low frequency region cannot be exhibited well.

導電性基板の表面比抵抗を0.5Ω/□以下とするには、特に限定されないが、めっき金属層を構成する金属としてCu、Ni、Cr、Zn、Au、Ag、Al、Sn、Pt、Pd、Co、Fe、Inから選ばれる金属を、1種または2種以上組み合わせて用いることが好ましく、これらの中でも、Cuを用いることが好ましい。上記金属を用いて、めっき金属層の厚みを1.5μm以上とすることで、好適に表面比抵抗を0.5Ω/□以下とすることができる。  Although it does not specifically limit in order to make the surface specific resistance of an electroconductive board | substrate 0.5 ohm / square or less, As a metal which comprises a plating metal layer, Cu, Ni, Cr, Zn, Au, Ag, Al, Sn, Pt, It is preferable to use one or a combination of two or more metals selected from Pd, Co, Fe, and In, and among these, Cu is preferably used. By using the above metal, the surface specific resistance can be suitably 0.5 Ω / □ or less by setting the thickness of the plated metal layer to 1.5 μm or more.

本発明における基板とは、特に限定されず、ガラスや樹脂など種々の基板を用いることができる。また、ガラスや樹脂などの基板を2種以上貼り合わせるなどして組み合わせて用いてもよい。   The substrate in the present invention is not particularly limited, and various substrates such as glass and resin can be used. Further, a combination of two or more substrates such as glass and resin may be used.

基板が熱可塑性樹脂フィルムである場合、透明性、柔軟性、加工性などの点で好ましい。基板として熱可塑性樹脂フィルムを用いた場合に銀微粒子層の導電性を高める処理が必要となった際は、前述の酸による処理を好適に用いることができる。酸による処理を行えば、熱可塑性樹脂フィルムが溶融、変形するような高温、長時間の熱処理をする必要なく銀微粒子層の導電性を高めることが可能となる。   When a board | substrate is a thermoplastic resin film, it is preferable at points, such as transparency, a softness | flexibility, and workability. When a process for increasing the conductivity of the silver fine particle layer is required when a thermoplastic resin film is used as the substrate, the above-described treatment with an acid can be suitably used. If the treatment with an acid is performed, the conductivity of the silver fine particle layer can be increased without the need for heat treatment for a long time at such a high temperature that the thermoplastic resin film melts and deforms.

本発明でいう熱可塑性樹脂フィルムとは、熱によって溶融もしくは軟化するフィルムの総称であって、特に限定されるものではないが、代表的なものとして、ポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルムやポリエチレンフィルムなどのポリオレフィンフィルム、ポリ乳酸フィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリメチルメタクリレートフィルムやポリスチレンフィルムなどのアクリル系フィルム、ナイロンなどのポリアミドフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリウレタンフィルム、フッ素系フィルム、ポリフェニレンスルフィドフィルムなどを用いることができる。   The thermoplastic resin film as used in the present invention is a general term for films that are melted or softened by heat, and is not particularly limited, but representative examples include polyolefins such as polyester films, polypropylene films, and polyethylene films. Films, polylactic acid films, polycarbonate films, acrylic films such as polymethyl methacrylate films and polystyrene films, polyamide films such as nylon, polyvinyl chloride films, polyurethane films, fluorine films, polyphenylene sulfide films, and the like can be used.

これらは、ホモポリマーでも共重合ポリマーであってもよい。これらのうち、機械的特性、寸法安定性、透明性などの点で、ポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリアミドフィルムなどが好ましく、更に、機械的強度、汎用性などの点で、ポリエステルフィルムが特に好ましい。   These may be homopolymers or copolymerized polymers. Of these, polyester films, polypropylene films, polyamide films and the like are preferable in terms of mechanical properties, dimensional stability, transparency, and polyester films are particularly preferable in terms of mechanical strength and versatility.

ポリエステルフィルムにおいて、ポリエステルとは、エステル結合を主鎖の主要な結合鎖とする高分子の総称であって、エチレンテレフタレート、プロピレンテレフタレート、エチレン−2,6−ナフタレート、ブチレンテレフタレート、プロピレン−2,6−ナフタレート、エチレン−α,β−ビス(2−クロロフェノキシ)エタン−4,4’−ジカルボキシレートなどから選ばれた少なくとも1種の構成成分を主要構成成分とするものを好ましく用いることができる。これら構成成分は、1種のみ用いても、2種以上併用してもよいが、中でも品質、経済性などを総合的に判断すると、エチレンテレフタレートを主要構成成分とするポリエステル、すなわち、ポリエチレンテレフタレートを用いることが特に好ましい。また、基材に熱や収縮応力などが作用する場合には、耐熱性や剛性に優れたポリエチレン−2,6−ナフタレートが更に好ましい。これらポリエステルには、更に他のジカルボン酸成分やジオール成分が一部、好ましくは20モル%以下共重合されていてもよい。   In the polyester film, polyester is a general term for polymers having an ester bond as a main bond chain, and includes ethylene terephthalate, propylene terephthalate, ethylene-2,6-naphthalate, butylene terephthalate, propylene-2,6. -What uses as a main structural component at least 1 sort (s) chosen from naphthalate, ethylene-alpha, beta-bis (2-chlorophenoxy) ethane-4,4'-dicarboxylate etc. can be used preferably. . These constituent components may be used alone or in combination of two or more. However, when quality, economy and the like are comprehensively judged, polyester having ethylene terephthalate as a main constituent, that is, polyethylene terephthalate is used. It is particularly preferable to use it. In addition, when heat or shrinkage stress acts on the substrate, polyethylene-2,6-naphthalate having excellent heat resistance and rigidity is more preferable. These polyesters may further be partially copolymerized with other dicarboxylic acid components and diol components, preferably 20 mol% or less.

また、このポリエステル中には、各種添加剤、例えば、酸化防止剤、耐熱安定剤、耐候安定剤、紫外線吸収剤、有機の易滑剤、顔料、染料、有機または無機の微粒子、充填剤、帯電防止剤、核剤などがその特性を悪化させない程度に添加されていてもよい。   The polyester also contains various additives such as antioxidants, heat stabilizers, weathering stabilizers, UV absorbers, organic lubricants, pigments, dyes, organic or inorganic fine particles, fillers, antistatic agents. An agent, a nucleating agent, etc. may be added to such an extent that the properties are not deteriorated.

上述したポリエステルの極限粘度(25℃のo−クロロフェノール中で測定)は、0.4〜1.2dl/gが好ましく、より好ましくは0.5〜0.8dl/gの範囲にあるものが本発明を実施する上で好適である。   The intrinsic viscosity (measured in o-chlorophenol at 25 ° C.) of the above polyester is preferably 0.4 to 1.2 dl / g, more preferably 0.5 to 0.8 dl / g. This is suitable for carrying out the present invention.

上記ポリエステルを使用したポリエステルフィルムは、二軸配向されたものであるのが好ましい。二軸配向ポリエステルフィルムとは、一般に、未延伸状態のポリエステルシートまたはフィルムを長手方向および幅方向に各々2.5〜5倍程度延伸され、その後、熱処理が施されて、結晶配向が完了されたものであり、広角X線回折で二軸配向のパターンを示すものをいう。   The polyester film using the polyester is preferably biaxially oriented. A biaxially oriented polyester film is generally an unstretched polyester sheet or film that is stretched about 2.5 to 5 times in the longitudinal direction and in the width direction, and then subjected to heat treatment to complete crystal orientation. It is a thing which shows a biaxially oriented pattern by wide-angle X-ray diffraction.

ポリエステルフィルムの厚みは、特に限定されるものではなく、用途や種類に応じて適宜選択されるが、機械的強度、ハンドリング性などの点から、通常は好ましくは10〜500μm、より好ましくは38〜250μm、最も好ましくは75〜150μmである。また、ポリエステルフィルム基材は、共押出による複合フィルムであってもよい。一方、得られたフィルムを各種の方法で貼り合わせて用いることもできる。   The thickness of the polyester film is not particularly limited and is appropriately selected depending on the application and type, but from the viewpoint of mechanical strength, handling properties, etc., it is usually preferably 10 to 500 μm, more preferably 38 to 250 μm, most preferably 75 to 150 μm. Further, the polyester film substrate may be a composite film by coextrusion. On the other hand, the obtained film can also be used by bonding by various methods.

本発明の導電性基板には、基板、金属微粒子層、めっき金属層の他に各種の層が積層されていてもよい。例えば、特に限定されるものではないが、基板と金属微粒子層の間に密着性改善のための下塗り層などが設けられていてもよく、めっき金属層の上に保護層が設けられていてもよく、基板の片面、または両面に粘着層や、離型層や、保護層や、接着性付与層や、耐候性層などが設けられていてもよい。   Various layers may be laminated on the conductive substrate of the present invention in addition to the substrate, the metal fine particle layer, and the plated metal layer. For example, although not particularly limited, an undercoat layer for improving adhesion may be provided between the substrate and the metal fine particle layer, or a protective layer may be provided on the plated metal layer. In addition, an adhesive layer, a release layer, a protective layer, an adhesion-imparting layer, a weather-resistant layer, or the like may be provided on one side or both sides of the substrate.

また、金属微粒子層やめっき金属層に防眩処理を行ったり、防眩層を設けたりしてもよい。例えば、金属の酸化による黒色化処理や、クロム合金、ニッケル合金等の黒色めっきや、黒又は暗色系のインキの塗布を行うことができる。   Further, the metal fine particle layer or the plated metal layer may be subjected to an antiglare treatment or may be provided with an antiglare layer. For example, blackening treatment by metal oxidation, black plating such as chromium alloy and nickel alloy, and application of black or dark ink can be performed.

本発明では、めっき金属層に防眩処理を行うか、防眩層を積層することで、ランダム網目層が積層された面の、少なくとも片面における可視光領域の最大反射率を20%以下とすることが好ましい。このような防眩性を付与すると、例えば、ディスプレイ用電磁波シールド基板としてディスプレイの前面に設けて使用する場合、基板の反射によって画像や文字が見えにくくなるという問題が改善されるため好ましい。可視光領域の最大反射率が20%よりも大きいと、基板の反射により、画像や文字が見えにくくなる場合がある。可視光領域の最大反射率は、好ましくは15%以下であり、より好ましくは10%以下であり、さらに好ましくは5%以下である。   In the present invention, an antiglare treatment is performed on the plated metal layer or the antiglare layer is laminated, so that the maximum reflectance of the visible light region on at least one surface of the surface on which the random network layer is laminated is 20% or less. It is preferable. When such an anti-glare property is imparted, for example, when it is used as a display electromagnetic wave shielding substrate provided on the front surface of the display, it is preferable because the problem that it becomes difficult to see images and characters due to the reflection of the substrate is improved. If the maximum reflectance in the visible light region is greater than 20%, images and characters may be difficult to see due to the reflection of the substrate. The maximum reflectance in the visible light region is preferably 15% or less, more preferably 10% or less, and further preferably 5% or less.

本発明の導電性基板の製造方法をより具体的に例示して説明するが、これに限定されるものではない。  Although the manufacturing method of the electroconductive board | substrate of this invention is illustrated and demonstrated more concretely, it is not limited to this.

二軸延伸ポリエステルフィルムに銀微粒子のペーストをスクリーン印刷によりランダム網目状に印刷し、銀微粒子層をランダム網目構造に積層する。   A silver fine particle paste is printed on a biaxially stretched polyester film in a random network by screen printing, and a silver fine particle layer is laminated in a random network structure.

その後、銀微粒子層を酸で処理するために、二軸延伸ポリエステルフィルムごと1Nの塩酸に入れ、数秒〜60分程度放置する。その後、二軸延伸ポリエステルフィルムを取り出してから、水洗し、乾燥を行う。   Thereafter, in order to treat the silver fine particle layer with an acid, the biaxially stretched polyester film is placed in 1N hydrochloric acid and allowed to stand for several seconds to 60 minutes. Thereafter, the biaxially stretched polyester film is taken out, washed with water and dried.

次に、二軸延伸ポリエステルフィルムごと硫酸銅溶液からなる電解めっき浴に浸漬させて通電し、銀微粒子層上にめっき金属層を積層することで本発明の導電性基板を作成できる。   Next, the conductive substrate of the present invention can be prepared by immersing the biaxially stretched polyester film in an electrolytic plating bath made of a copper sulfate solution and energizing it, and laminating a plated metal layer on the silver fine particle layer.

本発明の導電性基板は、透明で、モアレ現象が発生せず、低周波領域での優れた磁界シールド性を有するという、3つの特性を満足した導電性基板である。   The conductive substrate of the present invention is a conductive substrate that satisfies the three characteristics of being transparent, free of moire phenomenon, and having excellent magnetic field shielding properties in a low frequency region.

[特性の測定方法および効果の評価方法]
各実施例・比較例で作成した導電性基板の特性の測定方法および効果の評価方法は次のとおりである。
[Characteristic measurement method and effect evaluation method]
The method for measuring the characteristics of the conductive substrates prepared in each of the examples and comparative examples and the method for evaluating the effects are as follows.

(1)金属微粒子の数平均粒子径、最大粒子径
金属微粒子を分散させた溶液を銅メッシュ上に塗布したものを、透過型電子顕微鏡(H−7100FA型 (株)日立製作所製)で観察することにより金属微粒子の数平均粒子径、最大粒子系を求めた。100個の金属微粒子の粒径を測定し、数平均粒子径はその100個の粒径の平均値とした。最大粒子径はその100個の粒径の最大値とした。
(1) Number average particle diameter and maximum particle diameter of metal fine particles A solution in which metal fine particles are dispersed is applied on a copper mesh and observed with a transmission electron microscope (H-7100FA type, manufactured by Hitachi, Ltd.). Thus, the number average particle diameter and the maximum particle system of the metal fine particles were obtained. The particle diameter of 100 metal fine particles was measured, and the number average particle diameter was an average value of the 100 particle diameters. The maximum particle size was the maximum of the 100 particle sizes.

(2)表面観察
導電性基板の表面を電子顕微鏡(LEICA DMLM ライカマイクロシステムズ(株)製)にて倍率100倍で観察し、網目の形状を観察した。
(2) Surface observation The surface of the conductive substrate was observed with an electron microscope (LEICA DMLM manufactured by Leica Microsystems) at a magnification of 100 to observe the shape of the mesh.

(3)ランダム網目層の線幅
導電性基板の表面を電子顕微鏡(LEICA DMLM ライカマイクロシステムズ(株)製)にて倍率100倍で観察し、観察した画像を画像処理ソフト(Inspector matrox社製)を用いて以下の方法で処理し、ランダム網目層の線幅を求めた。
(3) Line width of random network layer The surface of the conductive substrate was observed with an electron microscope (LEICA DMLM manufactured by Leica Microsystems) at a magnification of 100 times, and the observed image was image processing software (manufactured by Inspector Matrox). Was used to determine the line width of the random network layer.

顕微鏡観察した画像を、画素が正方形であるディスプレイに映しだす(このディスプレイの画像を原画像とする。図1参照)。そして、上述の処理ソフトを用いて、ランダム網目層部が黒、その他の部分(網目の開口部)が白となるよう、白黒に二値化した(この二値化した画像を二値化画像とする。図2参照)。このとき、原画像中心部分のランダム網目層部の線幅と、二値化画像中心部分のランダム網目層部分の線幅とが同じになるように、二値化処理の閾値を選ぶ。次に、二値化画像の白黒反転処理を行った後、白黒反転画像のランダム網目層部(白部)を描いている画素数を求めた。求めた画素数に画素1つあたりの面積を掛けて、これをランダム網目層部の面積(S)とした。   The image observed with a microscope is displayed on a display having pixels that are square (this display image is used as an original image, see FIG. 1). Then, using the above processing software, the random mesh layer portion was binarized to black and white so that the other portion (mesh opening portion) was white (this binarized image was binarized image) (See FIG. 2). At this time, the threshold value for the binarization process is selected so that the line width of the random mesh layer portion in the central portion of the original image and the line width of the random mesh layer portion in the central portion of the binarized image are the same. Next, after performing the black and white reversal processing of the binarized image, the number of pixels in which the random mesh layer portion (white portion) of the black and white reversal image was drawn was obtained. The obtained number of pixels was multiplied by the area per pixel to obtain the area (S) of the random mesh layer.

次に、上述の処理ソフトを用いて、白黒反転処理を行った二値化画像のランダム網目層部(白部)の細線化処理を行い、ランダム網目層部(白部)が画素1つ分になるまで細線化した。そして、細線化画像の細線化されたランダム網目層部(白部)を描いている画素数を求めた。求めた画素数に画素1つあたりの長さを掛けて、これをランダム網目層の長さ(L)とした(図3として、ランダム網目層部が黒、その他の部分(網目の開口部)が白になるように、上記細線化画像を、さらに白黒反転処理した画像を示す)。  Next, using the above-described processing software, thinning processing is performed on the random mesh layer portion (white portion) of the binarized image subjected to the black and white inversion processing, and the random mesh layer portion (white portion) corresponds to one pixel. Thinned until. Then, the number of pixels depicting the thinned random mesh layer portion (white portion) of the thinned image was obtained. The obtained number of pixels is multiplied by the length per pixel, and this is used as the length (L) of the random mesh layer (in FIG. 3, the random mesh layer is black, and other portions (mesh openings) The thinned image is further subjected to black-and-white reversal processing so that becomes white.

なお、細線化処理とは、新実験画像処理((株)リンクス出版事業部発行)に記載がある通り、図形をその幅が1(本発明では画素1つ分)になるまで、連結成分の周辺の1画素を消去可能なものから順に削っていく操作である(ある1画素が消去可能であるとは、その画素を消去しても画像内の連結成分の個数、および穴の個数が変化しないことをいう。)。   As described in the new experimental image processing (published by Links Publishing Division), the thinning process is a process of connecting components until the width becomes 1 (one pixel in the present invention). This is an operation to remove one peripheral pixel in order from the one that can be erased (one pixel can be erased means that the number of connected components and the number of holes in the image change even if that pixel is erased) It means not.)

上記で求めたSとLの値を用い、下記式(1)によりランダム網目層の線幅を求めた。
・ランダム網目層の線幅=S/L (1)。
Using the values of S and L determined above, the line width of the random network layer was determined by the following formula (1).
-Line width of random network layer = S / L (1).

なお、上記した、画素1つあたりの長さ、面積は以下のようにして求めた。   The length and area per pixel described above were obtained as follows.

電子顕微鏡(LEICA DMLM ライカマイクロシステムズ(株)製)にて1目盛り10μmのスケールを倍率100倍にて観察した。その観察した画像から100μmの長さを図り取って、画像上で、その長さに相当する長さの線を引いた。次に、その線のみが写し出された画像を作成し、その画像を、上述の処理ソフトを用いて、線が白、それ以外の部分が黒となるように白黒に二値化した後、線部(白部)の太さが画素1つ分の太さになるまで細線化処理を行った。そして、細線化した線部(白部)の画素数を求め、線の長さである100μmを求めた画素数で割ることにより、画素1つあたりの長さを求めた。   A scale with a scale of 10 μm was observed at a magnification of 100 times with an electron microscope (LEICA DMLM manufactured by Leica Microsystems). A length of 100 μm was taken from the observed image, and a line having a length corresponding to the length was drawn on the image. Next, an image in which only the line is projected is created, and the image is binarized into black and white using the above-described processing software so that the line is white and the other part is black. Thinning processing was performed until the thickness of the portion (white portion) became the thickness of one pixel. Then, the number of pixels of the thinned line portion (white portion) was obtained, and the length per pixel was obtained by dividing the line length of 100 μm by the obtained number of pixels.

さらに、画素が正方形であるディスプレイを用いて測定を行っているため、画素1つあたりの面積は、画素1つあたりの長さの2乗とした。   Furthermore, since the measurement was performed using a display having a square pixel, the area per pixel was the square of the length per pixel.

(4)銀微粒子層、めっき金属層の厚み
導電性基板の断面を切り出してから、その断面を(2)表面観察と同様に電界放射走査電子顕微鏡にて観察し、金属微粒子層、めっき金属層の厚み、を観察した。
(4) Thickness of silver fine particle layer and plated metal layer After cutting out the cross section of the conductive substrate, the cross section is observed with a field emission scanning electron microscope in the same manner as (2) surface observation. The thickness of was observed.

1つの断面内において、金属微粒子層とめっき金属層とを合わせた厚みが最大となる部分の厚みをTとし、金属微粒子層の厚みが最大となる部分の厚みをTとする。そして、(T−T)をこの断面でのめっき金属層の厚みとし、Tをこの断面での金属微粒子層の厚みとする。これを10ヶ所の断面で行い、10ヶ所の平均値をこの導電性基板の金属粒子層の厚み、めっき金属層の厚みとした。 In one cross section, the thickness of the portion where the total thickness of the metal fine particle layer and the plated metal layer is maximum is Tt, and the thickness of the portion where the thickness of the metal fine particle layer is maximum is Tm . Then, (T t −T m ) is the thickness of the plated metal layer in this section, and T m is the thickness of the metal fine particle layer in this section. This was performed at 10 cross-sections, and the average value at 10 locations was defined as the thickness of the metal particle layer of the conductive substrate and the thickness of the plated metal layer.

ここで、ランダム網目層が基板の両面に積層してある場合は、一方の面の平均と、他方の面の平均をそれぞれ求め、片面ごとの厚みを求めた。   Here, when the random network layer was laminated on both surfaces of the substrate, the average of one surface and the average of the other surface were determined, and the thickness of each surface was determined.

(5)全光線透過率
全光線透過率は、常態(23℃、相対湿度65%)において、導電性基板を2時間放置した後、スガ試験機(株)製全自動直読ヘイズコンピューター「HGM−2DP」を用いて測定した。3回測定した平均値を導電性基板の全光線透過率とした。なお、基板の片面のみにランダム網目層を積層している場合、ランダム網目層を積層した面側より光が入るように導電性基板を設置した。
(5) Total light transmittance The total light transmittance was measured under the normal condition (23 ° C., relative humidity 65%) after leaving the conductive substrate for 2 hours, and then fully automatic direct reading haze computer “HGM-” manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd. 2DP ". The average value measured three times was defined as the total light transmittance of the conductive substrate. In addition, when the random network layer was laminated | stacked only on the single side | surface of the board | substrate, the electroconductive board | substrate was installed so that light may enter from the surface side which laminated | stacked the random network layer.

(6)表面比抵抗
表面比抵抗の測定は、導電性基板を常態(23℃、相対湿度65%)において24時間放置後、その雰囲気下で、JIS−K−7194に準拠した形で、ロレスタ−EP(三菱化学株式会社製、型番:MCP−T360)を用いて測定することができる。ただし、本願では測定するサンプルは1つとし、1つのサンプルにつき5点測定を行い、その5点の平均を表面比抵抗とした。また、ランダム網目層が基板の両面に積層してある場合は、一方の面の5点測定の平均と、他方の面の5点測定の平均をそれぞれ求め、片面ごとの表面比抵抗を求めた。
(6) Surface specific resistance The surface specific resistance was measured by leaving the conductive substrate in a normal state (23 ° C., relative humidity 65%) for 24 hours and then in the atmosphere in accordance with JIS-K-7194. -EP (Mitsubishi Chemical Corporation make, model number: MCP-T360) can be used for measurement. However, in this application, the number of samples to be measured was one, five points were measured for each sample, and the average of the five points was defined as the surface specific resistance. Moreover, when the random network layer is laminated on both surfaces of the substrate, the average of the five points measurement on one side and the average of the five points measurement on the other side were obtained, respectively, and the surface specific resistance for each side was obtained. .

(7)耐モアレ現象
耐モアレ現象は、プラズマディスプレイとして、松下電器産業株式会社製 ハイビジョンプラズマディスプレイ TH−42PHD7を用いて、画像が映し出されている画面の前で、画面と導電性基板が概ね平行になるようにして基板を持ち、画面と基板面が概ね平行の状態を保ちながら基板を360°回転させ、回転中にモアレ現象が発現するか否かを目視で観察することで評価した。モアレが観察されないものを○、モアレが観察されるものを×とした。なお、基板の片面のみにランダム網目層を積層している場合、ランダム網目層を積層していない面側がディスプレイ画面に対向するように導電性基板を持った。
(7) Moire-resistant phenomenon The anti-moire phenomenon is caused by using a high-definition plasma display TH-42PHD7 manufactured by Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. as a plasma display, and the screen and the conductive substrate are almost parallel in front of the screen on which the image is projected. The substrate was held in such a manner that the substrate was rotated 360 ° while keeping the screen and the substrate surface substantially parallel, and it was evaluated by visually observing whether the moire phenomenon occurred during the rotation. The case where moiré was not observed was marked with ◯, and the case where moire was observed was marked with x. In addition, when the random network layer was laminated | stacked only on the single side | surface of the board | substrate, the electroconductive board | substrate was held so that the surface side which has not laminated | stacked the random network layer may oppose a display screen.

(8)電磁波シールド性
導電性基板を20cm×20cmにカットし、(社)関西電子工業振興センターのKEC法にて、電磁波シールド性を測定した。測定は0.1〜1000MHzまでの周波数範囲で行った。電界シールド性に関しては300MHzでの電界シールド性を評価し、磁界シールド性に関しては低周波領域での磁界シールド性を評価するため、10MHzでの磁界シールド性を評価した。KEC法の評価にて、300MHzで40dB以上の電解シールド効果、および10MHzで5dB以上の磁界シールド効果が発現したものを合格とした。なお、電解シールド性、磁界シールド性の測定共に、1つのサンプルについて3回測定を行い、その平均を求めた。
(8) Electromagnetic wave shielding property The conductive substrate was cut into 20 cm × 20 cm, and the electromagnetic wave shielding property was measured by the KEC method of Kansai Electronics Industry Promotion Center. The measurement was performed in a frequency range from 0.1 to 1000 MHz. Regarding the electric field shielding property, the electric field shielding property at 300 MHz was evaluated. Regarding the magnetic field shielding property, the magnetic field shielding property at 10 MHz was evaluated in order to evaluate the magnetic field shielding property in the low frequency region. In the evaluation of the KEC method, an electrode having an electrolytic shielding effect of 40 dB or more at 300 MHz and a magnetic field shielding effect of 5 dB or more at 10 MHz was regarded as acceptable. In addition, both the electrolytic shielding property and the magnetic field shielding property were measured three times for one sample, and the average was obtained.

(9)可視光領域の最大反射率
可視光領域の最大反射率は、日立製作所株式会社製U−3410形 自記分光光度計を用い、導電性基板のランダム網目層側を測定することで求めた。可視光領域である380nm〜780nmの範囲で測定し、その測定範囲で最も大きかった反射率を可視光領域での最大反射率とした。1つのサンプルにつき3回測定を行い、その平均を求めた。
(9) Maximum reflectance in the visible light region The maximum reflectance in the visible light region was determined by measuring the random mesh layer side of the conductive substrate using a U-3410 type self-recording spectrophotometer manufactured by Hitachi, Ltd. . Measurement was performed in the visible light range of 380 nm to 780 nm, and the highest reflectance in the measurement range was defined as the maximum reflectance in the visible light region. Measurement was performed three times for each sample, and the average was obtained.

なお、測定用の試験片は、裏面反射をなくすために、測定面の裏面を黒色マジックインキ(登録商標)にて着色した。  The test specimen for measurement was colored with black magic ink (registered trademark) on the back surface of the measurement surface in order to eliminate back surface reflection.

また、両面にランダム網目層が積層されている場合にも測定は片面ずつ行うため、別々の試験片を用意して、それぞれ片面ずつ測定を行った。   In addition, when random mesh layers were laminated on both sides, the measurement was performed on each side, so separate test pieces were prepared and measured on each side.

(10)防眩性
松下電器産業株式会社製ハイビジョンプラズマディスプレイ TH−42PHD7にノート型パソコンを接続し、画面の背景が白色で、そこに黒色でゴシック体のフォントでサイズ40ポイントの「あ」の文字を1つ描いた画像を、プラズマディスプレイ画面全体に画像が表示されるように映し出した。映し出された「あ」の文字の大きさは、横幅が約4cm、縦幅が約3.5cmであった。
(10) Anti-glare A high-definition plasma display manufactured by Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. A TH-42PHD7 is connected to a notebook computer, the screen background is white, and there is a black gothic font with a size of 40 points. An image depicting one character was projected so that the image was displayed on the entire plasma display screen. The size of the letters “A” projected was about 4 cm in width and about 3.5 cm in length.

続いて、5cm×5cmにカットした導電性基板をディスプレイの文字と重なり合うようにしてディスプレイに貼り合わせた。  Subsequently, the conductive substrate cut to 5 cm × 5 cm was bonded to the display so as to overlap the characters on the display.

次に、ディスプレイに貼り合わせた導電性基板を、正面から、10cmの距離をおいて、ハイトップマメキュウ(0.72V、0.7A)使用の懐中電灯にて照らした。   Next, the conductive substrate bonded to the display was illuminated with a flashlight using a high-top bean cucumber (0.72 V, 0.7 A) at a distance of 10 cm from the front.

この時、基板から50cm離れた位置にて、基板面に対し45°上方から基板裏の文字を目視観察し、文字の認識可否を判定し、防眩性の評価とした。   At this time, at a position 50 cm away from the substrate, characters on the back of the substrate were visually observed from above 45 ° with respect to the substrate surface to determine whether or not the characters could be recognized, and the antiglare property was evaluated.

なお、導電性基板をディスプレイの文字と重なり合うようにしてディスプレイに貼り合わせる際には、ランダム網目層が積層された面が観察者側になるようにして貼り合わせた。   When the conductive substrate was bonded to the display so as to overlap the characters of the display, the bonding was performed so that the surface on which the random mesh layer was laminated was on the viewer side.

また、基板の両面にランダム網目層が積層されている場合、可視光領域の最大反射率の小さい方の面が観察者側になるようにして貼り合わせた。  Moreover, when the random network layer was laminated | stacked on both surfaces of the board | substrate, it bonded together so that a surface with the smaller maximum reflectance of a visible light area | region may become an observer side.

次に、実施例に基づいて本発明を説明する。   Next, the present invention will be described based on examples.

(金属微粒子層形成ペースト)
金属微粒子層形成ペーストとして、銀微粒子層形成ペーストである藤倉化成株式会社製XA−9053を用いた。銀微粒子の数平均粒子径は0.04μm、最大粒子径は0.2μm以下であった。

(金属微粒子層形成溶液)
金属微粒子層形成溶液として、銀微粒子層形成溶液であるCima NanoTech社製CE103−7を用いた。 (電解Cuめっき液1)
7Lの水に硫酸銅溶液SG(メルテックス(株)製)を6L入れて撹拌した。次に、97%硫酸(石津製薬(株)製 硫酸97% 試薬特級)を2.1L添加した後、1Nの塩酸(ナカライテスク(株)製 N/1−塩酸)を28mL添加した。さらに、この溶液に硫酸銅めっき光沢剤としてロール・アンド・ハース電子材料(株)製カパーグリームCLX−A、CLX−Cを各100mLずつこの順で添加し、最後に水を加えて溶液全体を20Lにした。
(Metal fine particle layer forming paste)
As the fine metal particle layer forming paste, XA-9053 manufactured by Fujikura Kasei Co., Ltd., which is a fine silver particle layer forming paste, was used. The number average particle size of the silver fine particles was 0.04 μm, and the maximum particle size was 0.2 μm or less.

(Metal fine particle layer forming solution)
As the metal fine particle layer forming solution, CE103-7 manufactured by Cima NanoTech, which is a silver fine particle layer forming solution, was used. (Electrolytic Cu plating solution 1)
6 L of a copper sulfate solution SG (Meltex Co., Ltd.) was added to 7 L of water and stirred. Next, 2.1 L of 97% sulfuric acid (Ishizu Pharmaceutical Co., Ltd., 97% sulfuric acid reagent grade) was added, and then 28 mL of 1N hydrochloric acid (N / 1-hydrochloric acid manufactured by Nacalai Tesque) was added. Further, 100 mL each of Capper Gream CLX-A and CLX-C manufactured by Roll & Haas Electronic Materials Co., Ltd. was added in this order as a copper sulfate plating brightener to this solution, and finally water was added to complete the entire solution. 20L.

(実施例1)
二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ(株)製 ルミラー(登録商標)U94)の片面に金属微粒子層形成ペーストを、スクリーン印刷により、ランダムな網目状に印刷して180℃で1分間乾燥することで、銀微粒子層をランダムな網目状に積層した積層基板を得た。網目の線厚み2μm、線幅35μmであった。
Example 1
A metal fine particle layer-forming paste is printed on one side of a biaxially stretched polyethylene terephthalate film (Lumirror (registered trademark) U94 manufactured by Toray Industries, Inc.) in a random mesh pattern by screen printing and dried at 180 ° C. for 1 minute. Then, a laminated substrate in which silver fine particle layers were laminated in a random network shape was obtained. The mesh had a line thickness of 2 μm and a line width of 35 μm.

続いて、このフィルムの銀微粒子層を酸で処理するために、フィルムごと25℃の1Nの塩酸(ナカライテスク(株)製 N/1−塩酸)に1分間浸け、その後、フィルムを取り出し、水洗した後、水分を飛ばすためにフィルムを150℃で1分間乾燥した。このフィルムの表面比抵抗は1Ω/□であった。   Subsequently, in order to treat the silver fine particle layer of this film with an acid, the film was immersed in 1N hydrochloric acid (N / 1-hydrochloric acid manufactured by Nacalai Tesque) at 25 ° C. for 1 minute, and then the film was taken out and washed with water. After that, the film was dried at 150 ° C. for 1 minute in order to remove moisture. The surface specific resistance of this film was 1Ω / □.

このフィルムの銀微粒子層上にめっき金属層を積層するために、電解Cuめっき液1を使用し、フィルム100cmあたり0.3Aの電流を流し、27分間電解Cuめっきを行った。その後フィルムを取り出し、水洗した後、水分を飛ばすためにフィルムを120℃で1分間乾燥し、本発明の導電性基板とした。 In order to laminate a plated metal layer on the silver fine particle layer of this film, electrolytic Cu plating solution 1 was used, and an electric current of 0.3 A was applied per 100 cm 2 of film to perform electrolytic Cu plating for 27 minutes. Thereafter, the film was taken out and washed with water, and then the film was dried at 120 ° C. for 1 minute in order to remove moisture, thereby obtaining the conductive substrate of the present invention.

この基板の全光線透過率は67%であり、透明性に優れた基板であった。可視光領域の最大反射率は35%であり、防眩性評価の結果、文字の認識不可であった。  The total light transmittance of this substrate was 67%, and it was a substrate with excellent transparency. The maximum reflectance in the visible light region was 35%, and as a result of anti-glare evaluation, characters could not be recognized.

(実施例2)
電解Cuめっき時間を7分間とした以外は実施例1と同様にしてサンプルを作成した。この基板の全光線透過率は73%であり、透明性に優れた基板であった。可視光領域の最大反射率は29%であり、防眩性評価の結果、文字の認識不可であった。
(Example 2)
A sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the electrolytic Cu plating time was 7 minutes. This substrate had a total light transmittance of 73% and was a substrate excellent in transparency. The maximum reflectance in the visible light region was 29%, and as a result of anti-glare evaluation, characters could not be recognized.

(実施例3)
網目の線厚みが0.6μmとなるように金属微粒子層形成ペーストをスクリーン印刷した以外は実施例2と同様にしてサンプルを作成した。この基板の全光線透過率は73%であり、透明性に優れた基板であった。可視光領域の最大反射率は29%であり、防眩性評価の結果、文字の認識不可であった。
(Example 3)
A sample was prepared in the same manner as in Example 2 except that the fine metal particle layer forming paste was screen-printed so that the mesh line thickness was 0.6 μm. This substrate had a total light transmittance of 73% and was a substrate excellent in transparency. The maximum reflectance in the visible light region was 29%, and as a result of anti-glare evaluation, characters could not be recognized.

(実施例4)
実施例2で作成した基板に、さらにめっき金属層を防眩処理するために、基板をメルテックス(株)製エンプレートMB−438に80℃、3分間浸積させ、酸化黒化処理を行った。この基板の全光線透過率は73%であり、透明性に優れた基板であった。可視光領域の最大反射率は5%であり、防眩性評価の結果、文字の認識可であった。
Example 4
In order to further anti-glare the plated metal layer on the substrate prepared in Example 2, the substrate was immersed in Meltex Co., Ltd. Enplate MB-438 at 80 ° C. for 3 minutes to perform an oxidation blackening treatment. It was. This substrate had a total light transmittance of 73% and was a substrate excellent in transparency. The maximum reflectance in the visible light region was 5%, and as a result of evaluating the antiglare property, characters could be recognized.

(実施例5)
防眩処理として、メルテックス(株)製エンプレート電解Niめっき液Z−80を使用して、フィルム100cmあたり0.1Aの電流を流し、28℃で5分間電解黒化Niめっきを行い、暗色の防眩層を積層した以外は実施例4と同様にしてサンプルを作成した。可視光領域の最大反射率は9%であり、防眩性評価の結果、文字の認識可であった。
(Example 5)
As an anti-glare treatment, a current of 0.1 A per 100 cm 2 of film was passed using an enplate electrolytic Ni plating solution Z-80 manufactured by Meltex Co., Ltd., and electrolytic blackening Ni plating was performed at 28 ° C. for 5 minutes. A sample was prepared in the same manner as in Example 4 except that a dark color antiglare layer was laminated. The maximum reflectance in the visible light region was 9%, and as a result of evaluating the antiglare property, characters could be recognized.

(実施例6)
実施例1で作成した基板に、さらにめっき金属層を防眩処理するために、基板をメルテックス(株)製エンプレートMB−438に80℃、3分間浸積させ、酸化黒化処理を行った。この基板の全光線透過率は67%であり、透明性に優れた基板であった。可視光領域の最大反射率は5%であり、防眩性評価の結果、文字の認識可であった。
(Example 6)
In order to further anti-glare the plated metal layer on the substrate prepared in Example 1, the substrate was immersed in Meltex Co., Ltd. Enplate MB-438 at 80 ° C. for 3 minutes to perform an oxidation blackening treatment. It was. The total light transmittance of this substrate was 67%, and it was a substrate with excellent transparency. The maximum reflectance in the visible light region was 5%, and as a result of evaluating the antiglare property, characters could be recognized.

(実施例7)
防眩処理として、メルテックス(株)製エンプレート電解Niめっき液Z−80を使用して、フィルム100cmあたり0.1Aの電流を流し、28℃で5分間電解黒化Niめっきを行い、暗色の防眩層を積層した以外は実施例6と同様にしてサンプルを作成した。可視光領域の最大反射率は9%であり、防眩性評価の結果、文字の認識可であった。
(Example 7)
As an anti-glare treatment, a current of 0.1 A per 100 cm 2 of film was passed using an enplate electrolytic Ni plating solution Z-80 manufactured by Meltex Co., Ltd., and electrolytic blackening Ni plating was performed at 28 ° C. for 5 minutes. A sample was prepared in the same manner as in Example 6 except that a dark antiglare layer was laminated. The maximum reflectance in the visible light region was 9%, and as a result of evaluating the antiglare property, characters could be recognized.

(実施例8)
片面に親水化処理を行った二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ(株)製 ルミラー(登録商標)U46)の親水化処理層上に金属微粒子層形成溶液を塗布してから25℃で1分間経過させ、銀微粒子を網目形状に自己組織化させてランダムな網目状に銀微粒子層を積層し、その後、150℃で1分間処理した。次に、フィルムごと、25℃のアセトン(ナカライテスク(株)製 特級)に30秒間浸け、フィルムを取り出し、25℃で3分間乾燥させた。続いて、フィルムごと25℃の1N(1mol/L)の塩酸(ナカライテスク(株)製 N/10-塩酸)に1分間浸け、フィルムを取り出し、水洗した後、150℃で1分間乾燥した。このフィルムの表面比抵抗は4Ω/□であった。
(Example 8)
One minute elapsed at 25 ° C after applying the metal fine particle layer forming solution on the hydrophilized layer of a biaxially stretched polyethylene terephthalate film (Lumirror (registered trademark) U46 manufactured by Toray Industries, Inc.) that had been hydrophilized on one side Then, the silver fine particles were self-assembled into a mesh shape, and a silver fine particle layer was laminated in a random network shape, and then treated at 150 ° C. for 1 minute. Next, each film was immersed in 25 ° C. acetone (special grade manufactured by Nacalai Tesque Co., Ltd.) for 30 seconds, the film was taken out, and dried at 25 ° C. for 3 minutes. Subsequently, the whole film was immersed in 1N (1 mol / L) hydrochloric acid (N / 10-hydrochloric acid manufactured by Nacalai Tesque Co., Ltd.) at 25 ° C. for 1 minute, taken out, washed with water, and dried at 150 ° C. for 1 minute. The surface specific resistance of this film was 4Ω / □.

このフィルムの銀微粒子層上にめっき金属層を積層するために、電解Cuめっき液1を使用し、フィルム100cmあたり0.3Aの電流を流し、14分間電解Cuめっきを行った。その後フィルムを取り出し、水洗した後、水分を飛ばすためにフィルムを120℃で1分間乾燥し、本発明の導電性基板とした。 In order to laminate a plating metal layer on the silver fine particle layer of this film, electrolytic Cu plating solution 1 was used, and an electric current of 0.3 A was applied per 100 cm 2 of film to perform electrolytic Cu plating for 14 minutes. Thereafter, the film was taken out and washed with water, and then the film was dried at 120 ° C. for 1 minute in order to remove moisture, thereby obtaining the conductive substrate of the present invention.

この基板の全光線透過率は73%であり、透明性に優れた基板であった。可視光領域の最大反射率は31%であり、防眩性評価の結果、文字の認識不可であった。  This substrate had a total light transmittance of 73% and was a substrate excellent in transparency. The maximum reflectance in the visible light region was 31%, and as a result of anti-glare evaluation, characters could not be recognized.

(実施例9)
電解Cuめっき時間を9分間とした以外は実施例8と同様にしてサンプルを作成した。この基板の全光線透過率は75%であり、透明性に優れた基板であった。可視光領域の最大反射率は30%であり、防眩性評価の結果、文字の認識不可であった。
Example 9
A sample was prepared in the same manner as in Example 8 except that the electrolytic Cu plating time was 9 minutes. The total light transmittance of this substrate was 75%, and the substrate was excellent in transparency. The maximum reflectance in the visible light region was 30%, and as a result of anti-glare evaluation, characters could not be recognized.

(実施例10)
アセトンによる処理を実施しない以外は、実施例8と同様にして基板を作成した。めっき金属層を積層する前のフィルムの表面比抵抗が12Ω/□であった。めっき金属層積層後の基板の全光線透過率は73%であり、透明性に優れた基板であった。可視光領域の最大反射率は31%であり、防眩性評価の結果、文字の認識不可であった。
(Example 10)
A substrate was prepared in the same manner as in Example 8 except that the treatment with acetone was not performed. The surface specific resistance of the film before laminating the plating metal layer was 12Ω / □. The total light transmittance of the substrate after the plating metal layer was laminated was 73%, and the substrate was excellent in transparency. The maximum reflectance in the visible light region was 31%, and as a result of anti-glare evaluation, characters could not be recognized.

(実施例11)
実施例8で作成した基板に、さらにめっき金属層を防眩処理するために、基板をメルテックス(株)製エンプレートMB−438に58℃、5分間浸積させ、酸化黒化処理を行った。この基板の全光線透過率は73%であり、透明性に優れた基板であった。可視光領域の最大反射率は5%であり、防眩性評価の結果、文字の認識可であった。
(Example 11)
In order to further anti-glare the plated metal layer on the substrate prepared in Example 8, the substrate was immersed in Meltex Co., Ltd. Enplate MB-438 at 58 ° C. for 5 minutes to perform an oxidation blackening treatment. It was. This substrate had a total light transmittance of 73% and was a substrate excellent in transparency. The maximum reflectance in the visible light region was 5%, and as a result of evaluating the antiglare property, characters could be recognized.

(比較例1)
電解Cuめっき時間を4分間とした以外は実施例1と同様にしてサンプルを作成した。この基板はめっき金属層の厚みが薄く、低周波領域での磁界シールド性が不十分であった。
可視光領域の最大反射率は28%であり、防眩性評価の結果、文字の認識不可であった。
(Comparative Example 1)
A sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the electrolytic Cu plating time was 4 minutes. In this substrate, the thickness of the plated metal layer was thin, and the magnetic field shielding property in the low frequency region was insufficient.
The maximum reflectance in the visible light region was 28%, and as a result of evaluating the antiglare property, characters could not be recognized.

(比較例2)
網目の線幅が40μmとなるように金属微粒子層形成ペーストをスクリーン印刷した以外は実施例1と同様にしてサンプルを作成した。この基板の全光線透過率は65%であり、透明性が不十分であった。可視光領域の最大反射率は35%であり、防眩性評価の結果、文字の認識不可であった。
(Comparative Example 2)
A sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the metal fine particle layer forming paste was screen-printed so that the line width of the mesh was 40 μm. The total light transmittance of this substrate was 65%, and the transparency was insufficient. The maximum reflectance in the visible light region was 35%, and as a result of anti-glare evaluation, characters could not be recognized.

(比較例3)
実施例3で作成した基板に、さらにめっき金属層を黒化するために、基板をメルテックス(株)製エンプレートMB−438に80℃、5分間浸積させ、酸化黒化処理を行った。この基板は表面比抵抗に劣り、低周波領域での磁界シールド性が不十分であった。可視光領域の最大反射率は5%であり、防眩性評価の結果、文字の認識可であった。
(Comparative Example 3)
In order to further blacken the plated metal layer on the substrate prepared in Example 3, the substrate was immersed in Meltex Co., Ltd. Enplate MB-438 at 80 ° C. for 5 minutes to perform an oxidation blackening treatment. . This substrate was inferior in surface resistivity, and the magnetic field shielding property in the low frequency region was insufficient. The maximum reflectance in the visible light region was 5%, and as a result of evaluating the antiglare property, characters could be recognized.

(比較例4)
住友電気工業株式会社製 銀ペースト AGEP−201Xを二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ(株)製 ルミラー(登録商標)U94)上にスクリーン印刷したが、銀ペーストに含まれる銀粉末の最大粒子系が1μm以上であったため、線幅50μmと、太い網目が印刷された。次に、得られた銀粉末の網目層に比較例1と同様にして電解銅めっきを行い、サンプルを作成した。この基板は、全光線透過率が65%となり透明性が不足し、また、めっき金属層の厚みが薄く、低周波領域での磁界シールド性が不十分であるという問題が発生した。可視光領域の最大反射率は28%であり、防眩性評価の結果、文字の認識不可であった。
(Comparative Example 4)
A silver paste AGEP-201X manufactured by Sumitomo Electric Industries, Ltd. was screen-printed on a biaxially stretched polyethylene terephthalate film (Lumirror (registered trademark) U94 manufactured by Toray Industries, Inc.). The maximum particle system of silver powder contained in the silver paste is Since it was 1 μm or more, a line width of 50 μm and a thick mesh were printed. Next, electrolytic copper plating was performed on the obtained silver powder network layer in the same manner as in Comparative Example 1 to prepare a sample. This substrate has a problem that the total light transmittance is 65% and the transparency is insufficient, the thickness of the plated metal layer is thin, and the magnetic field shielding property in the low frequency region is insufficient. The maximum reflectance in the visible light region was 28%, and as a result of evaluating the antiglare property, characters could not be recognized.

(比較例5)
東洋紡績株式会社製 熱硬化型導電性銀ペースト DW−250H−5を二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ(株)製 ルミラー(登録商標)U94)上にスクリーン印刷により、線厚み3μm、線幅50μm、ピッチ300μmの格子状に印刷して150℃で30分間熱処理し、規則的な格子状網目を積層した以外は実施例2と同様にしてサンプルを作成した。この基板はモアレが発生した。
(Comparative Example 5)
A thermosetting conductive silver paste DW-250H-5 manufactured by Toyobo Co., Ltd. was screen-printed on a biaxially stretched polyethylene terephthalate film (Lumirror (registered trademark) U94 manufactured by Toray Industries, Inc.) to obtain a line thickness of 3 μm and a line width of 50 μm. A sample was prepared in the same manner as in Example 2 except that a grid having a pitch of 300 μm was printed, heat-treated at 150 ° C. for 30 minutes, and a regular lattice network was laminated. This substrate was moire.

実施例1〜11、比較例1〜5の評価結果を表1に示す。   The evaluation results of Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 to 5 are shown in Table 1.

また、実施例1〜11、比較例1〜4の可視光領域の最大反射率、防眩性の評価結果を表2に示す。   Table 2 shows the evaluation results of the maximum reflectance and the antiglare property in the visible light region of Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 to 4.

Figure 2007227906
Figure 2007227906

Figure 2007227906
Figure 2007227906

本発明の導電性基板は、透明で、モアレ現象が発生せず、特にプラズマディスプレイパネルで特徴的に求められる低周波領域での磁界シールド性にも優れる。そのため、プラズマディスプレイパネルの電磁波シールド部材として好適に用いることができる他、優れた透明性、導電性を有することから、各種回路基板や太陽電池用途として好適に用いることができる。   The conductive substrate of the present invention is transparent, does not cause a moiré phenomenon, and is excellent in magnetic field shielding properties particularly in a low frequency region that is characteristically required for a plasma display panel. Therefore, it can be suitably used as an electromagnetic shielding member of a plasma display panel, and since it has excellent transparency and conductivity, it can be suitably used for various circuit boards and solar cell applications.

ランダム網目層部の線幅測定を説明する図である。(原画像。黒色部分がランダム網目層部。)It is a figure explaining the line | wire width measurement of a random mesh layer part. (Original image. The black part is the random mesh layer.) ランダム網目層部の線幅測定を説明する図である。(二値化画像。黒色部分がランダム網目層部。)It is a figure explaining the line | wire width measurement of a random mesh layer part. (Binarized image. Black part is random mesh layer part.) ランダム網目層部の線幅測定を説明する図である。(細線化画像。黒色部分がランダム網目層部。)It is a figure explaining the line | wire width measurement of a random mesh layer part. (Thinned image. Black part is random mesh layer part.) ランダムな網目状の構造の一例である。It is an example of a random network structure.

Claims (12)

基板の少なくとも片面に、金属微粒子層がランダムな網目状に積層され、該金属微粒子層上にめっき金属層が積層されたランダム網目層を有する導電性基板であって、
該導電性基板の少なくとも片面の該めっき金属層の厚みが1.5μm以上であり、
該導電性基板の全光線透過率が65%よりも大きく、かつ該導電性基板の少なくとも片面の表面比抵抗が0.5Ω/□よりも小さい、
導電性基板。
A conductive substrate having a random network layer in which a metal fine particle layer is laminated in a random network shape on at least one surface of the substrate, and a plating metal layer is laminated on the metal fine particle layer,
The thickness of the plated metal layer on at least one side of the conductive substrate is 1.5 μm or more;
The total light transmittance of the conductive substrate is larger than 65%, and the surface specific resistance of at least one surface of the conductive substrate is smaller than 0.5Ω / □,
Conductive substrate.
基板の少なくとも片面に積層した前記ランダム網目層の線幅が15μmよりも大きい請求項1に記載の導電性基板。   The conductive substrate according to claim 1, wherein a line width of the random network layer laminated on at least one surface of the substrate is larger than 15 μm. ランダム網目層が積層された面の、少なくとも片面における可視光領域の最大反射率が、20%以下である請求項1又は2に記載の導電性基板。  The conductive substrate according to claim 1 or 2, wherein a maximum reflectance of a visible light region in at least one surface of the surface on which the random network layer is laminated is 20% or less. 請求項1〜3のいずれかに記載の導電性基板を用いたプラズマディスプレイ用電磁波シールド基板。   The electromagnetic wave shield substrate for plasma displays using the electroconductive board | substrate in any one of Claims 1-3. 基板の少なくとも片面に、金属微粒子層をランダムな網目状に積層した後、該金属微粒子層の酸処理を行い、該金属微粒子層上に、めっきにより金属層を積層してランダム網目層を形成する請求項1〜3のいずれかに記載の導電性基板の製造方法。   After the metal fine particle layer is laminated in a random network shape on at least one surface of the substrate, the metal fine particle layer is subjected to an acid treatment, and the metal layer is laminated on the metal fine particle layer by plating to form a random network layer. The manufacturing method of the electroconductive board | substrate in any one of Claims 1-3. 電解めっきによりめっき金属層を積層する請求項5に記載の導電性基板の製造方法。   The method for producing a conductive substrate according to claim 5, wherein the plated metal layer is laminated by electrolytic plating. 前記金属微粒子層の酸処理が、前記金属微粒子層を積層した基板を酸の溶液に浸す、および/または前記金属微粒子層を積層した基板に酸の溶液を塗布することである請求項5または6に記載の導電性基板の製造方法。   7. The acid treatment of the metal fine particle layer is to immerse a substrate on which the metal fine particle layer is laminated in an acid solution and / or to apply an acid solution to the substrate on which the metal fine particle layer is laminated. The manufacturing method of the electroconductive board | substrate of description. 40℃以下の酸の溶液で処理する請求項5〜7のいずれかに記載の導電性基板の製造方法。   The method for producing a conductive substrate according to claim 5, wherein the treatment is performed with an acid solution at 40 ° C. or lower. 5mol/L以下の酸の溶液で処理することを特徴とする請求項5〜8のいずれかに記載の導電性基板の製造方法。   The method for producing a conductive substrate according to claim 5, wherein the treatment is performed with an acid solution of 5 mol / L or less. 前記金属微粒子層を有機溶媒で処理した後、酸で処理する請求項5〜9のいずれかに記載の導電性基板の製造方法。   The method for producing a conductive substrate according to claim 5, wherein the metal fine particle layer is treated with an organic solvent and then treated with an acid. 金属微粒子、金属酸化物微粒子、および有機金属化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種を溶媒に分散または溶解させた溶液を前記基板に塗布して前記金属微粒子層を積層する請求項5〜10のいずれかに記載の導電性基板の製造方法。   The metal fine particle layer is laminated by applying a solution in which at least one selected from the group consisting of metal fine particles, metal oxide fine particles, and organometallic compounds is dispersed or dissolved in a solvent to the substrate. The manufacturing method of the electroconductive board | substrate in any one. 前記基板に塗布する前記溶液が網目形状に自己組織化する溶液である請求項11に記載の導電性基板の製造方法。   The method for producing a conductive substrate according to claim 11, wherein the solution applied to the substrate is a solution that self-assembles into a mesh shape.
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