JP2010093239A - Method for manufacturing board with metal particle laminated thereon like mesh and transparent conductive board - Google Patents

Method for manufacturing board with metal particle laminated thereon like mesh and transparent conductive board Download PDF

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Junpei Ohashi
純平 大橋
Junji Michizoe
純二 道添
Hagumu Takada
育 高田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a board with metal particle laminated thereon like a mesh, which can manufacture the board with the metal particle laminated thereon like the mesh with excellent transparency and moire resistance at high productivity by a continuous application process, to provide the board with the metal particle laminated thereon like the mesh, and to provide a transparent conductive board using the board with the metal particle laminated thereon like the mesh. <P>SOLUTION: The method for manufacturing the board with the metal particle laminated thereon like the mesh, laminates a metal particle layer on a substrate like the mesh by applying a metal particle solution onto at least one surface of the substrate. In the method, after applying the metal particle solution, the substrate is placed under an airflow in a direction of within ±45° when defining a direction parallel to a substrate surface as 0° and the mesh like metal particle layer is formed by setting a wind velocity of the airflow to 1.0 to 10 m/sec to manufacture the board with the metal particle laminated thereon like the mesh with total light transmittance of 50% or more. The board with the metal particle laminated thereon like the mesh is manufactured by the manufacturing method and the transparent conductive board uses the board with the metal particle laminated thereon like the mesh. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、透明性および耐モアレ性に優れ網目状金属微粒子積層基板の製造方法および網目状金属微粒子積層基板、ならびに、それを用いた透明導電性基板に関するものである。   The present invention relates to a method for producing a reticulated metal fine particle laminate substrate having excellent transparency and moiré resistance, a reticulated metal fine particle laminate substrate, and a transparent conductive substrate using the same.

透明導電性基板は回路材料として様々な機器に用いられており、電磁波シールド基板や太陽電池用途として用いられている。   Transparent conductive substrates are used in various devices as circuit materials, and are used as electromagnetic shielding substrates and solar cell applications.

電磁波シールド基板は家電用品、携帯電話、パソコン、テレビをはじめとした電子機器から放射された多種多様な電磁波を抑制する目的に用いられている。特に伸長著しいデジタル家電の中で、プラズマディスプレイパネルや液晶テレビなどのフラットパネルディスプレイからも、強力な電磁波が放出されており、人体への影響も懸念されている。これらディスプレイは、比較的近い距離で、かつ場合によっては長時間にわたり画像を観察するため、これら電磁波を抑制する電磁波シールド基板が必要とされ、鋭意検討されている。   The electromagnetic shielding substrate is used for the purpose of suppressing various electromagnetic waves radiated from electronic devices such as home appliances, mobile phones, personal computers, and televisions. Among digital home appliances that are growing rapidly, strong electromagnetic waves are emitted from flat panel displays such as plasma display panels and liquid crystal televisions, and there is concern about the effects on the human body. Since these displays observe images at a relatively short distance and in some cases for a long time, an electromagnetic wave shielding substrate that suppresses these electromagnetic waves is required and has been intensively studied.

一般に、ディスプレイパネルに用いられる電磁波シールド基板には、透明な導電性基板が用いられており、現行用いられている電磁波シールド基板用の導電性基板の製造方法には、各種の方法が採用されている。例えば、銅箔をポリエステルフィルムに貼り合わせ、フォトリソグラフィーで規則正しいメッシュ形状をパターン化し、該銅箔をメッシュ状にエッチングすることで、導電性部分が銅であるメッシュ状導電性フィルムを作成している(特許文献1参照)。   In general, a transparent conductive substrate is used for an electromagnetic wave shielding substrate used in a display panel, and various methods are employed for manufacturing a conductive substrate for an electromagnetic wave shielding substrate that is currently used. Yes. For example, a copper foil is bonded to a polyester film, a regular mesh shape is patterned by photolithography, and the copper foil is etched into a mesh shape, thereby creating a mesh-like conductive film whose conductive portion is copper. (See Patent Document 1).

しかし、前述した従来の技術には次のような問題点がある。   However, the above-described conventional technique has the following problems.

特許文献1に記載の銅箔をエッチングする方法は、非常に精度の高いメッシュ形状を得るには優れた方法であるが、銅箔を貼り合わせる工程、フォトリソグラフィー工程、エッチング工程などにおいては、一般的に収率が悪く、各工程の製品ロスが発生しやすいという問題があった。特に、エッチング工程では有害な廃液が発生するなど環境面での課題も多い。更に、素材として銅箔を用い、かつその後、銅箔をエッチングして透過性を上げようとすると、エッチングによって該銅箔の多くの部分を溶かし出して廃液にする必要があり、素材リサイクルの面でも課題が多いものであった。   The method of etching a copper foil described in Patent Document 1 is an excellent method for obtaining a highly accurate mesh shape. However, in the process of laminating a copper foil, a photolithography process, an etching process, etc. In particular, the yield was poor, and there was a problem that product loss in each process was likely to occur. In particular, there are many environmental issues such as the generation of harmful waste liquid in the etching process. Furthermore, if copper foil is used as a material and then the copper foil is etched to increase permeability, it is necessary to dissolve a large part of the copper foil by etching to make a waste liquid, which is an aspect of material recycling. But there were many issues.

また、この基板の格子状の銅箔層は規則的な構造を有しているため、モアレ現象が発生するという問題を有しているものでもあった。   Moreover, since the lattice-like copper foil layer of this board | substrate has a regular structure, it also had the problem that a moire phenomenon generate | occur | produces.

ここで、モアレ現象とは、「点または線が幾何学的に規則正しく分布したものを重ね合せた時に生ずる縞状の斑紋」であり、また広辞苑によれば、「点または線が幾何学的に規制正しく分布したものを重ね合わせた時に生ずる縞模様の斑紋。網版印刷物を原稿として網版を複製する時などに起こりやすい」との記載があり、プラズマディスプレイで言えば、画面上に縞模様状の模様が発生する。これは、ディスプレイの前面に設けられる電磁波シールド基板に格子状などの規則的なパターンが設けられている場合、ディスプレイ背面版の、RGB各色の画素を仕切る規則正しい格子状の隔壁などとの相互作用により、該モアレ現象が生じるものである。また、電磁波シールド基板に格子状などの規則的なパターンが設けられている場合、この格子の線幅が太いほど、このモアレ現象が発生しやすいという問題があったものである。   Here, the moire phenomenon is “a striped pattern generated when overlapping regularly distributed points or lines geometrically”, and according to Kojien, “a point or line is geometrically Stripe pattern that occurs when superposed distributions are superposed. This is likely to occur when a halftone is reproduced using a halftone print as a manuscript. " Pattern occurs. This is because, when a regular pattern such as a grid pattern is provided on the electromagnetic shielding substrate provided on the front surface of the display, it interacts with a regular grid-shaped partition wall that partitions the pixels of each RGB color on the back side of the display. This moire phenomenon occurs. Further, when a regular pattern such as a grid pattern is provided on the electromagnetic wave shield substrate, there is a problem that the moire phenomenon is more likely to occur as the line width of the grid increases.

そこで、かかる従来技術の背景に鑑み、金属微粒子溶液、例えば、Cima NanoTech社製CE103−7を用いて、網目状金属微粒子積層基板を作成したところ、透明性および耐モアレ性に優れた網目状金属微粒子積層基板を生産性よく製造することができる網目状金属微粒子積層基板の製造方法および網目状金属微粒子積層基板が得られた。   Then, in view of the background of such a prior art, when a reticulated metal fine particle laminated substrate was prepared using a metal fine particle solution, for example, CE103-7 manufactured by Cima NanoTech, a reticulated metal excellent in transparency and moire resistance. A method for producing a reticulated metal fine particle laminated substrate and a reticulated metal fine particle laminated substrate capable of producing a fine particle laminated substrate with high productivity were obtained.

特開2001−210988号公報JP 2001-210988 A

しかし、前記した該金属微粒子溶液を用いた場合、該網目状金属微粒子層を形成するまでに、長時間要するため、連続で塗工するプロセスに適用することが困難である。また、もし連続で塗工するプロセスに適用できたとしても、該網目状金属微粒子層を形成するまでに、長時間要するため、コストアップにもなってしまい生産性の点でも問題が起こる可能性がある。   However, when the metal fine particle solution described above is used, it takes a long time to form the network metal fine particle layer, and therefore it is difficult to apply it to a continuous coating process. Also, even if it can be applied to a continuous coating process, it takes a long time to form the mesh metal fine particle layer, which increases costs and may cause problems in terms of productivity. There is.

本発明は、かかる従来技術の背景に鑑み、透明性および耐モアレ性に優れた網目状金属微粒子積層基板を生産性よく製造し、連続で塗工するプロセスに適用することができる網目状金属微粒子積層基板の製造方法および網目状金属微粒子積層基板、ならびに、それを用いた透明導電性基板を提供せんとするものである。   In view of the background of the prior art, the present invention is a mesh metal fine particle that can be applied to a process of producing a mesh metal fine particle laminated substrate excellent in transparency and moire resistance with high productivity and continuously coating it. It is an object of the present invention to provide a method for producing a laminated substrate, a reticulated metal fine particle laminated substrate, and a transparent conductive substrate using the same.

本発明は、かかる課題を解決するために、次のような手段を採用するものである。
1) 基板の少なくとも片面に金属微粒子溶液を塗布することによって、基板上に金属微粒子層を網目状に積層する網目状金属微粒子積層基板の製造方法であって、
塗布後、基板面と平行な方向を0度として±45度以内の方向の気流下に基板を置き、さらに、該気流の風速を1.0m/秒以上10m/秒以下にすることを特徴とする、全光線透過率50%以上の網目状金属微粒子積層基板の製造方法。
2) 金属微粒子溶液の塗布から気流下に基板を置いている間の温度が、10℃以上50℃以下であることを特徴とする前記1)に記載の網目状金属微粒子積層基板の製造方法。
3) 基板面と平行な方向を0度として±45度以内の方向の気流下に基板を置く時間を、30秒以下とすることを特徴とする、前記1)又は2)に記載の網目状金属微粒子積層基板の製造方法。
4) 基板の幅方向における気流の風速のバラツキが、風速の最大値と最小値の差で2m/秒以内であることを特徴とする前記1)〜3)のいずれかに記載の網目状金属微粒子積層基板の製造方法。
5) 前記1)〜4)のいずれかに記載の方法により製造される網目状金属微粒子積層基板の金属微粒子層を、熱処理後、有機溶媒で処理し、酸で処理することを特徴とする、透明導電性基板の製造方法。
6) 前記5)に記載の製造方法により得られうる透明導電性基板。
7) 表面比抵抗が30Ω/□以下であることを特徴とする、前記6)に記載の透明導電性基板。
8) 前記6)又は7)に記載の透明導電性基板を、電磁波シールド基板としてパネル表面に設けたことを特徴とする、プラズマディスプレイパネル。
The present invention employs the following means in order to solve such problems.
1) A method for producing a reticulated metal fine particle laminated substrate in which a metal fine particle layer is laminated on a substrate in a reticulated manner by applying a metal fine particle solution on at least one side of the substrate,
After coating, the substrate is placed in an airflow in a direction within ± 45 degrees with the direction parallel to the substrate surface being 0 degree, and the air velocity of the airflow is 1.0 m / second or more and 10 m / second or less. A method for producing a reticulated metal fine particle multilayer substrate having a total light transmittance of 50% or more.
2) The method for producing a reticulated metal fine particle laminated substrate as described in 1) above, wherein the temperature during application of the metal fine particle solution to the substrate in an air stream is 10 ° C. or higher and 50 ° C. or lower.
3) A mesh shape as described in 1) or 2) above, wherein the time for placing the substrate under an air flow in a direction within ± 45 degrees with the direction parallel to the substrate surface being 0 degrees is 30 seconds or less. Manufacturing method of metal fine particle laminated substrate.
4) The net-like metal according to any one of 1) to 3) above, wherein the variation in the wind speed of the airflow in the width direction of the substrate is within 2 m / second in difference between the maximum value and the minimum value of the wind speed. Manufacturing method of fine particle laminated substrate.
5) The metal fine particle layer of the network metal fine particle multilayer substrate produced by the method according to any one of 1) to 4) is treated with an organic solvent after heat treatment, and treated with an acid. A method for producing a transparent conductive substrate.
6) A transparent conductive substrate obtainable by the production method described in 5) above.
7) The transparent conductive substrate according to 6) above, having a surface specific resistance of 30Ω / □ or less.
8) A plasma display panel, wherein the transparent conductive substrate according to 6) or 7) is provided on the panel surface as an electromagnetic shielding substrate.

本発明によれば、該金属微粒子溶液を塗布後、基板面と平行な方向を0度として±45度以内の方向の気流下に基板を置き、さらに、気流の風速を1.0m/秒以上10m/秒以下にし、網目状金属微粒子層を形成することで、透明性および耐モアレ性のいずれにも優れ、生産性に優れた網目状金属微粒子積層基板を連続で塗工するプロセスに適用することができる。また、本発明のより好ましい態様の製造方法によれば、さらに金属微粒子層の膜厚等のムラを抑制する効果をえることができる。本発明の網目状金属微粒子積層基板を用いた透明導電性基板は、透明性と高いレベルの導電性を有し、耐モアレ性にも優れるので、例えば、プラズマディスプレイパネルや液晶テレビなどのフラットパネルディスプレイに好適に用いることができる。   According to the present invention, after the metal fine particle solution is applied, the substrate is placed under an airflow in a direction within ± 45 degrees with the direction parallel to the substrate surface being 0 degree, and the airflow velocity is 1.0 m / second or more. By forming a mesh metal fine particle layer at a speed of 10 m / second or less, it is applied to a process for continuously coating a mesh metal fine particle multilayer substrate having both excellent transparency and moire resistance and excellent productivity. be able to. Moreover, according to the manufacturing method of the more preferable aspect of this invention, the effect which suppresses further nonuniformity, such as the film thickness of a metal fine particle layer, can be acquired. The transparent conductive substrate using the network metal fine particle multilayer substrate of the present invention has transparency and a high level of conductivity, and also has excellent moire resistance. For example, flat panels such as plasma display panels and liquid crystal televisions It can be suitably used for a display.

本発明の網目状金属微粒子積層基板における網目状の構造の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the network structure in the network metal fine particle laminated substrate of this invention. 基板上の気流方向を測定する方法を説明する模式的に示す概略図である。It is the schematic which shows typically the method to measure the airflow direction on a board | substrate. 基板上の気流の風速を測定する方法を説明する模式的に示す概略図である。It is the schematic shown typically explaining the method to measure the wind speed of the airflow on a board | substrate. 風速測定方法において、図3をA方向から見た図。The figure which looked at FIG. 3 from the A direction in the wind speed measuring method.

本発明は、前記課題、つまり透明性および耐モアレ性のいずれにも優れ、網目状金属微粒子積層基板を連続で塗工するプロセスで、生産性よく製造することができる網目状金属微粒子積層基板の製造方法について、鋭意検討し、基板の少なくとも片面に金属微粒子溶液を塗布して積層基板を製造する際に、基板に該金属微粒子溶液を塗布後、特定な条件を満たす形成方法を用いて、短時間で積層してみたところ、前記課題を一挙に解決することを究明したものである。   The present invention is excellent in both of the above-mentioned problems, that is, transparency and moire resistance, and is a process for continuously applying a network metal fine particle multilayer substrate, which can be manufactured with high productivity. When manufacturing a laminated substrate by applying a metal fine particle solution to at least one surface of the substrate and studying the manufacturing method, a short-formation method using a forming method that satisfies a specific condition is applied after the metal fine particle solution is applied to the substrate. As a result of laminating with time, it has been found that the above problems can be solved at once.

本発明では、短時間で該網目状金属微粒子層を形成させる方法として、ある特定な条件を満たす形成方法で、形成させることによって、初めて、透明性に優れた基板を短時間で製造することができたものである。   In the present invention, as a method for forming the network metal fine particle layer in a short time, a substrate having excellent transparency can be produced in a short time for the first time by forming it with a forming method that satisfies a specific condition. It was made.

本発明においては、金属微粒子溶液を塗布後、基板面と平行な方向を0度として±45度以内の方向の気流下に基板を置くことが特徴であるが、本発明において、気流角度は、以下のようにして測定した。すなわち、基板上に金属微粒子層を積層する製造工程において、図2のように、積層する基板上2cmの場所で先端に2cmの糸を付けた棒を基板と平行に置き測定した。   In the present invention, after the metal fine particle solution is applied, the substrate is placed under an airflow in a direction within ± 45 degrees with the direction parallel to the substrate surface being 0 degree, but in the present invention, the airflow angle is Measurement was performed as follows. That is, in the manufacturing process of laminating a metal fine particle layer on a substrate, as shown in FIG. 2, a bar with a 2 cm thread at the tip was placed parallel to the substrate at a location of 2 cm on the substrate to be laminated.

棒の先端に付けた糸が、基板面と平行になびいていれば気流角度0度、上方垂直になびいていれば気流角度90度、下方垂直になびいていれば気流角度は−90度とした。気流角度は、0度以上±45度以内であることが重要であり、より好ましくは、0度以上±30度以内であり、さらに好ましくは0度以上±15度以内であり、特に好ましくは±5度以内である。該気流角度が±45度から外れると、気流の風速を大きくしたときに、網目状につながった構造がはなれてしまい、そのために、網目状金属微粒子積層基板を用いて透明導電性基板とした際の導電性の点で問題が生じる場合がある。気流角度を0度以上±45度以内とし、さらに気流の風速を後述のように制御することにより、30秒以下という非常に短時間で、基板上に網目状の金属微粒子層を形成することが可能である。また、基板上に網目状の金属微粒子層を形成する時間が30秒を超えると、連続で塗工するプロセスに適用できない可能性があり、生産性およびコストの点で問題が生じる可能性がある。30秒以下という非常に短時間で、基板上に網目状の金属微粒子層を形成することで、連続で塗工するプロセスに適用することができ、生産性を向上させることが可能となる。   If the thread attached to the tip of the rod is fluttering parallel to the substrate surface, the airflow angle is 0 degree, if it is vertically fluttering, the airflow angle is 90 degrees, and if it is vertically fluttering, the airflow angle is -90 degrees. . It is important that the airflow angle is 0 ° or more and within ± 45 °, more preferably 0 ° or more and within ± 30 °, still more preferably 0 ° or more and within ± 15 °, and particularly preferably ± Within 5 degrees. If the airflow angle deviates from ± 45 degrees, the structure connected in a mesh shape will be removed when the wind speed of the airflow is increased. Therefore, when a transparent conductive substrate is formed using a mesh metal fine particle multilayer substrate. There may be a problem in terms of conductivity. By setting the airflow angle between 0 ° and ± 45 ° and controlling the air velocity of the airflow as described later, a network-like metal fine particle layer can be formed on the substrate in a very short time of 30 seconds or less. Is possible. In addition, if the time for forming the mesh-like metal fine particle layer on the substrate exceeds 30 seconds, it may not be applicable to a continuous coating process, which may cause problems in terms of productivity and cost. . By forming a network-like fine metal particle layer on a substrate in a very short time of 30 seconds or less, it can be applied to a continuous coating process, and productivity can be improved.

また、網目状金属微粒子積層基板を連続で塗工するプロセスに適用した場合、気流の方向は、基板の長手方向と平行であることが好ましい。長手方向と平行であれば、基板の流れ方向と同じ方向の気流であっても、もしくは、基板の流れ方向と逆方向の気流であっても特に問題はない。基板の幅方向からの気流の場合は、網目状金属微粒子積層基板としたときに、塗膜にムラが発生する問題が生じる場合がある。   In addition, when applied to a process of continuously applying a network metal fine particle laminated substrate, the direction of the airflow is preferably parallel to the longitudinal direction of the substrate. As long as it is parallel to the longitudinal direction, there is no particular problem even if the airflow is in the same direction as the flow direction of the substrate, or even in the direction opposite to the flow direction of the substrate. In the case of an airflow from the width direction of the substrate, there may be a problem that unevenness occurs in the coating film when a mesh-like metal fine particle laminated substrate is used.

なお本発明において、基板面と平行な方向を0度として±45度以内の方向の気流下に基板を置くとは、基板を気流下に置いている時間は常に±45度以内の方向の気流下に基板を置くことを意味する。基板を気流下に置いている間に、基板面と平行な方向を0度として±45度以内の範囲から外れる気流となる場合が少しでもあると、塗膜(網目状金属微粒子層)にムラが生じることとなる。よって気流が乱流の場合には、気流下に基板を置いている間に、基板面と平行な方向を0度として±45度以内の気流となる場合とそこから外れる気流となる場合とが頻繁に入れ替わることとなり、塗膜(網目状金属微粒子層)にムラが生じることとなる。より好ましくは、気流の角度は、常に、一定の角度を保つ場合である。   In the present invention, when the substrate is placed under an airflow within ± 45 degrees with the direction parallel to the substrate surface being 0 degree, the time when the substrate is placed under the airflow is always within ± 45 degrees. This means placing the substrate underneath. While the substrate is placed under an air current, the coating film (network metal fine particle layer) may be uneven if there is a slight air flow that deviates from the range of ± 45 ° with the direction parallel to the substrate surface being 0 °. Will occur. Therefore, when the airflow is turbulent, while the substrate is placed under the airflow, there are cases where the airflow is within ± 45 degrees with the direction parallel to the substrate surface being 0 degrees and where the airflow is deviating from that. It will change frequently, and a nonuniformity will arise in a coating film (mesh-like metal fine particle layer). More preferably, the airflow angle is always kept constant.

本発明においては、金属微粒子溶液を塗布後、基板面と平行な方向を0度として±45度以内の方向の気流下に基板を置く事になるが、この際の気流の風速を1.0m/秒以上10m/秒以下にすることが特徴である。そして本発明において、気流の風速の測定は、風速計を用いて以下のようにして測定する。すなわち、基板上に網目状金属微粒子層を積層する製造工程において、風速計を用い、基板の金属微粒子溶液を塗布する面の1cm上で、上記で説明した気流角度の測定法で測定した角度の気流のみの風速を測定する。基板のある一点でプローブの測定面を上記で測定した角度で、気流の風速を受けるように置いたときの風速を静止状態で30秒間測定する(図3、図4参照)。30秒間測定した測定値の最大値を気流の風速とする。   In the present invention, after the metal fine particle solution is applied, the substrate is placed in an air flow in a direction within ± 45 degrees, with the direction parallel to the substrate surface being 0 degree, and the air velocity at this time is 1.0 m. It is the feature that it makes it to 10 m / second or more / second. And in this invention, the measurement of the wind speed of airflow is measured as follows using an anemometer. That is, in the manufacturing process of laminating a network metal fine particle layer on a substrate, an anemometer is used to measure the angle measured by the air flow angle measurement method described above on 1 cm above the surface of the substrate on which the metal fine particle solution is applied. Measure the speed of the airflow only. At a certain point on the substrate, the wind speed when the probe is placed to receive the wind speed of the airflow at the angle measured above is measured for 30 seconds in a stationary state (see FIGS. 3 and 4). The maximum value measured for 30 seconds is taken as the wind speed of the airflow.

気流の風速は、1.0m/秒以上10m/秒以下であることが重要であり、好ましくは2.0m/秒以上8.0m/秒以下であり、さらに好ましくは4.0m/秒以上8.0m/秒以下であり、特に好ましくは6.0m/秒以上7.5m/秒以下である。該気流の風速が10m/秒より大きいと、気流角度に関係なく、網目状につながった構造がはなれてしまい、そのために、網目状金属微粒子積層基板を用いて透明導電性基板とした際の導電性の点で問題が生じる場合がある。また、1.0m/秒より小さいと網目状金属微粒子基板を得ることは可能であるが、連続プロセスに適用することを考えたときに、形成に長時間要するため、コストアップなど、生産性に問題が起きてしまう可能性がある。気流角度を0度以上±45度以内とし、さらに気流の風速を1.0m/秒以上10m/秒以下に制御することにより、30秒以下という非常に短時間で、基板上に網目状の金属微粒子層を形成することが可能である。   It is important that the wind speed of the air current is 1.0 m / second or more and 10 m / second or less, preferably 2.0 m / second or more and 8.0 m / second or less, more preferably 4.0 m / second or more and 8 or less. 0.0 m / sec or less, particularly preferably 6.0 m / sec or more and 7.5 m / sec or less. When the air velocity of the air flow is higher than 10 m / sec, the structure connected in a mesh shape is removed regardless of the air flow angle. For this reason, the conductivity when a transparent conductive substrate is formed using a mesh metal fine particle multilayer substrate is used. There may be problems in terms of sex. In addition, although it is possible to obtain a reticulated metal fine particle substrate if it is less than 1.0 m / sec, it takes a long time to form when considering application to a continuous process, which increases productivity such as cost increase. Problems can occur. By controlling the air flow angle between 0 ° and ± 45 ° and the air velocity of the air flow between 1.0 m / sec and 10 m / sec, the mesh-like metal is formed on the substrate in a very short time of 30 seconds or less. It is possible to form a fine particle layer.

かかる気流の風速は、基板の幅方向でバラツキのないことが特性の安定した網目状金属微粒子積層基板を得るために重要であり、基板の幅方向における気流の風速のバラツキは、幅方向における風速の最大値と最小値の差が2m/秒以内であることが好ましく、より好ましくは、1.5m/秒以内であり、さらに好ましくは、1.0m/秒以内である。基板の幅方向における気流の風速のバラツキが、風速の最大値と最小値の差で2m/秒以内であれば、透明性のバラツキを抑えることができ、該風速の最大値と最小値の差が2m/秒より大きければ、網目状金属微粒子積層基板にするための時間に基板の幅方向でバラツキが生じ、網目状金属微粒子積層基板にしたときに、基板の幅方向に全光線透過率のバラツキが生じてしまい、塗膜のムラが発生する可能性がある。そのため、該網目状金属微粒子積層基板を用いて透明導電性基板とした際、透明性の点で問題が生じる可能性がある。   It is important for the air velocity of the air flow that there is no variation in the width direction of the substrate in order to obtain a network metal fine particle laminated substrate with stable characteristics, and the variation in the air velocity of the air flow in the width direction of the substrate is the wind velocity in the width direction. The difference between the maximum value and the minimum value is preferably within 2 m / second, more preferably within 1.5 m / second, and even more preferably within 1.0 m / second. If the variation in the wind speed of the airflow in the width direction of the substrate is within 2 m / sec between the maximum value and the minimum value of the wind speed, the variation in transparency can be suppressed, and the difference between the maximum value and the minimum value of the wind speed can be suppressed. Is larger than 2 m / sec, the time required for forming the mesh metal fine particle multilayer substrate varies in the width direction of the substrate, and when the mesh metal fine particle multilayer substrate is formed, the total light transmittance in the width direction of the substrate is Variations may occur and unevenness of the coating film may occur. For this reason, when a transparent conductive substrate is formed using the network metal fine particle multilayer substrate, there may be a problem in terms of transparency.

かかる気流の温度は、特に限定されないが、好ましくは10℃以上50℃以下であり、より好ましくは15℃以上40℃以下であり、より好ましくは15℃以上30℃以下である。すなわち、気流の該温度が10℃未満もしくは、50℃より大きいと、全光線透過率が落ち、網目状金属微粒子積層基板の透明性の点で問題が生じる場合がある。また、網目状につながった構造がはなれてしまい、そのために、網目状金属微粒子積層基板を用いて透明導電性基板とした際の導電性の点で問題が生じる場合がある。後述するように、基板上の温度が10℃以上50℃以下の条件を満たすことが大切であり、これを満たすように気流自体の温度を調整することが好ましい。   Although the temperature of this airflow is not specifically limited, Preferably it is 10 to 50 degreeC, More preferably, it is 15 to 40 degreeC, More preferably, it is 15 to 30 degreeC. That is, when the temperature of the airflow is less than 10 ° C. or greater than 50 ° C., the total light transmittance is lowered, and there may be a problem in terms of transparency of the network metal fine particle laminated substrate. In addition, the structure connected in a mesh shape may be removed, which may cause a problem in terms of conductivity when the mesh-like metal fine particle laminated substrate is used as a transparent conductive substrate. As will be described later, it is important that the temperature on the substrate satisfies the condition of 10 ° C. or more and 50 ° C. or less, and it is preferable to adjust the temperature of the airflow itself so as to satisfy this condition.

本発明において、基板の少なくとも片面に金属微粒子溶液を塗布する際の、少なくとも金属微粒子溶液の塗布開始から塗布完了までの間の温度、さらに塗布後基板面と平行から±45度以内の方向の気流下に基板を置いている間の温度は(つまり、金属微粒子溶液の塗布から気流下に基板を置いている間の温度は)、特に限定されず、金属微粒子溶液中の溶媒によって適宜選択すればよいが、基板上の温度が10℃以上50℃以下の条件を満たすように制御されていることが好ましい。かかる基板上の温度は、より好ましくは15℃以上40℃以下であり、さらに好ましくは15℃以上30℃以下である。すなわち、塗布された金属微粒子溶液の溶媒を熱によって除去することとなるような高い温度、例えば50℃よりも高い温度の場合、急激に溶媒が除去されるために金属微粒子層を網目状に積層する工程に不具合が生じ、全光線透過率が低下し、網目状金属微粒子積層基板の透明性の点で問題が生じる場合がある。さらに気流の温度が50℃を超える場合、急激に溶媒が除去されることで網目状につながった構造がはなれてしまい、そのために、網目状金属微粒子積層基板を用いて透明導電性基板とした際の導電性の点で問題が生じる場合がある。また、基板上の温度が10℃未満である場合、溶媒の除去速度が遅れ、網目状金属微粒子層を形成するまでに、長時間要し、連続で塗工するプロセスに適用できない可能性があり、生産性およびコストの点で問題が生じる可能性がある。そのため、金属微粒子溶液の塗布から気流下に基板を置いている間の温度は、基板上の温度で10℃以上50℃以下であることが好ましく、このような条件となるように気流の温度を調整することが好ましい。   In the present invention, when applying the metal fine particle solution to at least one surface of the substrate, at least the temperature between the start of application of the metal fine particle solution and the completion of application, and the airflow in a direction within ± 45 degrees from the parallel to the substrate surface after application The temperature during the placement of the substrate underneath (that is, the temperature during the placement of the substrate under the airflow from the application of the metal fine particle solution) is not particularly limited, and can be appropriately selected depending on the solvent in the metal fine particle solution. However, it is preferable that the temperature on the substrate is controlled so as to satisfy the condition of 10 ° C. or more and 50 ° C. or less. The temperature on the substrate is more preferably 15 ° C. or higher and 40 ° C. or lower, and further preferably 15 ° C. or higher and 30 ° C. or lower. That is, when the solvent of the applied metal fine particle solution is removed at a high temperature, for example, at a temperature higher than 50 ° C., the solvent is rapidly removed, so that the metal fine particle layer is laminated in a network. In some cases, a problem occurs in the process, the total light transmittance is lowered, and there is a problem in terms of transparency of the network metal fine particle multilayer substrate. Further, when the temperature of the airflow exceeds 50 ° C., the structure connected to the network shape is removed by the rapid removal of the solvent. For this reason, when a transparent conductive substrate is formed using the network metal fine particle multilayer substrate There may be a problem in terms of conductivity. In addition, when the temperature on the substrate is lower than 10 ° C., the removal rate of the solvent is delayed, and it may take a long time to form the reticulated metal fine particle layer, which may not be applicable to a continuous coating process. Problems can arise in terms of productivity and cost. Therefore, it is preferable that the temperature during the placement of the substrate under the airflow after the application of the metal fine particle solution is 10 ° C. or more and 50 ° C. or less as the temperature on the substrate. It is preferable to adjust.

かかる基板上の温度の測定は、温度計を用いて以下のようにして測定する。すなわち、基板上に網目状金属微粒子層を積層する製造工程において、温度計を用い、基板の金属微粒子溶液を塗布する面の中心から1cm上の温度を測定したものである。   The temperature on the substrate is measured using a thermometer as follows. That is, in the manufacturing process of laminating the mesh metal fine particle layer on the substrate, the temperature 1 cm above the center of the surface on which the metal fine particle solution is applied is measured using a thermometer.

また、かかる気流自体の湿度は、特に限定されないが、好ましくは10〜70%RHであり、より好ましくは20〜60%RHであり、特に好ましくは30〜50%RHである。すなわち、気流の湿度が1%未満では、全光線透過率が落ち、網目状金属微粒子積層基板の透明性の点で問題が生じる場合がある。また、基板上の湿度が85%RHより大きいと、網目状につながった構造がはなれてしまい、そのために、網目状金属微粒子積層基板を用いて透明導電性基板とした際の導電性の点で問題が生じる場合がある。後述するように、基板上の湿度が1〜85%RHの条件を満たすことが大切であり、これを満たすように気流自体の湿度を調整することが好ましい。   Moreover, although the humidity of this airflow itself is not specifically limited, Preferably it is 10-70% RH, More preferably, it is 20-60% RH, Most preferably, it is 30-50% RH. That is, if the humidity of the airflow is less than 1%, the total light transmittance is lowered, and there may be a problem in terms of transparency of the network metal fine particle multilayer substrate. Further, when the humidity on the substrate is higher than 85% RH, the structure connected in a mesh shape is removed, and therefore, in terms of conductivity when a transparent conductive substrate is formed using a mesh metal fine particle laminated substrate. Problems may arise. As will be described later, it is important that the humidity on the substrate satisfies the condition of 1 to 85% RH, and it is preferable to adjust the humidity of the airflow itself so as to satisfy this condition.

本発明の網目状金属微粒子積層基板の製造方法において、基板の少なくとも片面に金属微粒子溶液を塗布する際の、少なくとも金属微粒子溶液の塗布開始から塗布完了までの間、さらに塗布後基板面と平行な方向を0度として±45度以内の方向の気流下に基板を置く間は、基板上の湿度を1〜85%RHの条件を満たす雰囲気に制御することが好ましい。かかる基板上の湿度は、好ましくは、10〜70%RHであり、より好ましくは20〜60%RHであり、特に好ましくは30〜50%RHである。すなわち、基板上の湿度が1%未満では、全光線透過率が落ち、網目状金属微粒子積層基板の透明性の点で問題が生じる場合がある。また、基板上の湿度が85%RHより大きいと、網目状につながった構造がはなれてしまい、そのために、網目状金属微粒子積層基板を用いて透明導電性基板とした際の導電性の点で問題が生じる場合がある。   In the method for producing a reticulated metal fine particle laminated substrate of the present invention, when applying the metal fine particle solution to at least one surface of the substrate, at least from the start of application of the metal fine particle solution to the completion of application, and further parallel to the substrate surface after application It is preferable to control the humidity on the substrate to an atmosphere satisfying the condition of 1 to 85% RH while the substrate is placed in an airflow in a direction within ± 45 degrees with the direction being 0 degrees. The humidity on the substrate is preferably 10 to 70% RH, more preferably 20 to 60% RH, and particularly preferably 30 to 50% RH. That is, when the humidity on the substrate is less than 1%, the total light transmittance is lowered, and there may be a problem in terms of transparency of the network metal fine particle laminated substrate. Further, when the humidity on the substrate is higher than 85% RH, the structure connected in a mesh shape is removed, and therefore, in terms of conductivity when a transparent conductive substrate is formed using a mesh metal fine particle laminated substrate. Problems may arise.

かかる基板上の湿度の測定は、湿度計を用いて以下のようにして測定する。すなわち、基板上に網目状金属微粒子層を積層する製造工程において、湿度計を用い、基板の金属微粒子溶液を塗布する面の中心から1cm上の湿度を測定したものである。   The humidity on the substrate is measured using a hygrometer as follows. That is, in the manufacturing process of laminating a network metal fine particle layer on a substrate, the humidity above 1 cm from the center of the surface of the substrate on which the metal fine particle solution is applied is measured using a hygrometer.

本発明において、金属微粒子溶液として網目形状に自己組織化する金属微粒子溶液を用いる場合、さらに、少なくとも金属微粒子溶液の塗布開始から金属微粒子溶液が網目形状になるまでの間において、上述したように基板上の湿度を特定な条件に維持することが好ましい。   In the present invention, when a metal fine particle solution that self-assembles into a mesh shape is used as the metal fine particle solution, the substrate as described above at least from the start of application of the metal fine particle solution until the metal fine particle solution becomes a mesh shape. It is preferable to maintain the above humidity at specific conditions.

かかる気流の発生方法は、基板上の空気を排気もしくは、基板上に空気を給気することによって、気流の流れを発生することができる。   In this airflow generation method, airflow can be generated by exhausting air on the substrate or supplying air onto the substrate.

排気もしくは給気する方法については、特に限定はないが、該方法により、基板面と平行な方向を0度として±45度以内の方向の気流を作ることが重要である。   A method for exhausting or supplying air is not particularly limited, but it is important to create an air flow in a direction within ± 45 degrees by setting the direction parallel to the substrate surface as 0 degrees.

例えば、排気する方法は、排気ファンや、ドラフトなどを使用して、排気することができる。また、給気する方法は、クーラーや、ドライヤーなのを使用することで、給気することができる。   For example, as a method of exhausting, exhaust can be performed using an exhaust fan or a draft. In addition, the air can be supplied by using a cooler or a dryer.

基板に該金属微粒子溶液を塗布後、基板面と平行な方向を0度として±45度以内の方向の気流下に基板を置く時間は、30秒以下であることが好ましく、より好ましくは25秒以下であり、さらに好ましくは20秒以下である。形成時間が30秒より長くなると、連続で塗工するプロセスへの適用を考えたとき、生産設備がない、コストアップになるなど生産性的に困難である。また、基板に該金属微粒子溶液を塗布後、基板面と平行な方向を0度として±45度以内の方向の気流下に該基板を置く時間は、短い程好ましいものの、塗布した塗膜が網目状になる時間があるため、現実的には5秒未満とすることは困難であり、また5秒程度であれば実用的にも十分である。   After the metal fine particle solution is applied to the substrate, the time for placing the substrate under an air flow in a direction within ± 45 degrees with the direction parallel to the substrate surface being 0 degree is preferably 30 seconds or less, more preferably 25 seconds. Or less, more preferably 20 seconds or less. When the formation time is longer than 30 seconds, it is difficult to improve productivity because there is no production facility and the cost increases when considering application to a continuous coating process. In addition, after the metal fine particle solution is applied to the substrate, the time during which the substrate is placed in an air flow in a direction within ± 45 degrees with the direction parallel to the substrate surface being 0 degree is preferable, but the applied coating film has a mesh. In reality, it is difficult to make the time less than 5 seconds, and if it is about 5 seconds, it is practically sufficient.

基板に該金属微粒子溶液を塗布後、気流下に基板を置く時間を30秒以下として、好適に金属微粒子層を網目状に積層するためには、前述の基板に金属微粒子溶液を塗布後、基板面と平行な方向を0度として±45度以内の方向の気流下に基板を置き、さらに、該気流の風速を1.0m/秒以上10m/秒以下にすることにより達成可能である。   After applying the metal fine particle solution to the substrate, the time for placing the substrate in an air current is set to 30 seconds or less, and in order to suitably stack the metal fine particle layer in a network shape, after applying the metal fine particle solution to the substrate, the substrate This can be achieved by placing the substrate under an air flow in a direction within ± 45 ° with the direction parallel to the surface being 0 °, and further setting the air velocity of the air flow to 1.0 m / second or more and 10 m / second or less.

本発明では、網目状金属微粒子積層基板の製造方法において、かかる基板の該金属微粒子溶液が塗布される面の表面ぬれ張力を、45mN/m以上73mN/m以下にすることが好ましく、より好ましくは50〜73mN/mであり、さらに好ましくは55〜73mN/mである。表面ぬれ張力は、73mN/mが測定限界値であり、45mN/m未満であると、基板の該面に該金属微粒子溶液を塗布したときに、金属微粒子溶液が網目状にならず、全体に均一な塗膜ができてしまい、金属微粒子積層基板の透明性が劣る問題が生じる場合がある。   In the present invention, in the method for producing a reticulated metal fine particle laminated substrate, the surface wet tension of the surface of the substrate on which the metal fine particle solution is applied is preferably 45 mN / m or more and 73 mN / m or less, more preferably. It is 50-73 mN / m, More preferably, it is 55-73 mN / m. The surface wetting tension of 73 mN / m is a measurement limit value, and when it is less than 45 mN / m, when the metal fine particle solution is applied to the surface of the substrate, the metal fine particle solution does not form a network, A uniform coating film is formed, and there may be a problem that the transparency of the metal fine particle laminated substrate is inferior.

基板の該金属微粒子溶液が塗布される面の表面ぬれ張力を45mN/m以上73mN/m以下とするためには、コロナ放電処理、プラズマ処理などの公知の方法が使用できる。   In order to adjust the surface wetting tension of the surface of the substrate to which the metal fine particle solution is applied to 45 mN / m to 73 mN / m, known methods such as corona discharge treatment and plasma treatment can be used.

なお本発明では、基板の表面をアンカーコート剤やプライマーなどのコーティングにより親水性処理を行うなどして、少なくとも片面に親水性処理層を有する基板とすることで、金属微粒子溶液が塗布される側の面の表面ぬれ張力を、45mN/m以上73mN/m以下とすることも、好ましい実施態様である。   In the present invention, the surface of the substrate is subjected to a hydrophilic treatment by coating with an anchor coat agent or a primer, and the substrate is provided with a hydrophilic treatment layer on at least one side. It is also a preferred embodiment that the surface wetting tension of the surface is set to 45 mN / m or more and 73 mN / m or less.

かかる網目状金属微粒子積層基板の全光線透過率は好ましくは50%以上であり、より好ましくは65%以上であり、さらに好ましくは75%以上である。全光線透過率が50%より小さいと、網目状金属微粒子積層基板の透明性の点で問題が生じる場合がある。網目状金属微粒子積層基板の全光線透過率は、高いほうが好ましいものの、導電性との兼ね合いなどにより、90%程度が上限と考えられる。   The total light transmittance of the network metal fine particle multilayer substrate is preferably 50% or more, more preferably 65% or more, and further preferably 75% or more. If the total light transmittance is less than 50%, there may be a problem in terms of transparency of the network metal fine particle multilayer substrate. Although it is preferable that the total light transmittance of the network-like fine metal particle multilayer substrate is high, the upper limit is considered to be about 90% due to the balance with conductivity.

かかる全光線透過率は、下記測定方法により測定されたものである。すなわち、常態(23℃、相対湿度65%)において、網目状金属微粒子積層基板を2時間放置した後、スガ試験機(株)製全自動直読ヘイズコンピューター「HGM−2DP」を用いて測定した。3回測定した平均値を該網目状金属微粒子積層基板の全光線透過率とした。全光線透過率が50%以上であれば透明性は良好である。なお、基板の片面のみに金属微粒子層を積層している網目状金属微粒子積層基板の場合、金属微粒子層を積層した面側より光が入るように基板を設置して測定したものである。   Such total light transmittance is measured by the following measuring method. That is, in a normal state (23 ° C., relative humidity 65%), the mesh metal fine particle multilayer substrate was allowed to stand for 2 hours, and then measured using a fully automatic direct reading haze computer “HGM-2DP” manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd. The average value measured three times was taken as the total light transmittance of the network metal fine particle laminated substrate. If the total light transmittance is 50% or more, the transparency is good. In the case of a network-like metal fine particle laminated substrate in which a metal fine particle layer is laminated only on one side of the substrate, the measurement is performed by placing the substrate so that light enters from the side on which the metal fine particle layer is laminated.

本発明において、金属微粒子溶液を用いて網目状の構造を形成させる場合、例えば、金属微粒子と分散剤などの有機成分とからなる粒子を含む固形分の溶液(金属コロイド溶液)を用いて、塗布を行う方法を好適に用いることができる。かかる金属コロイド溶液の溶媒としては、水、各種の有機溶媒を用いることができる。   In the present invention, when a network structure is formed using a metal fine particle solution, for example, a solid content solution (metal colloid solution) containing particles composed of metal fine particles and an organic component such as a dispersant is used. The method of performing can be used suitably. As the solvent for the metal colloid solution, water and various organic solvents can be used.

かかる金属微粒子の調整法としては、例えば、液層中で金属イオンを還元して金属原子とし、原子クラスターを経てナノ粒子へ成長させる化学的方法や、バルク金属を不活性ガス中で蒸発させて微粒子となった金属をコールドトラップで捕捉する手法や、ポリマー薄膜上に真空蒸着させて得られた金属薄膜を加熱して金属薄膜を壊し、固相状態でポリマー中に金属ナノ粒子を分散させる物理的手法などを用いることができる。   Examples of the method for adjusting the metal fine particles include a chemical method in which metal ions are reduced to metal atoms in a liquid layer and grown into nanoparticles through atomic clusters, or bulk metal is evaporated in an inert gas. Physics of trapping metal in fine particles with a cold trap, physics of breaking metal thin film by heating metal thin film obtained by vacuum deposition on polymer thin film, and dispersing metal nanoparticles in polymer in solid state Or the like can be used.

本発明においては、金属微粒子溶液として自己組織化する金属微粒子溶液を好ましく用いることができる。ここで、「自己組織化する金属微粒子溶液」とは、基板上に一面に塗布して放置しておくと、自然に基板上に網目状の構造を形成する溶液を意味するものである。このような金属微粒子溶液としては、例えばCima NanoTech社製CE103−7を用いることができる。   In the present invention, a metal fine particle solution that self-assembles can be preferably used as the metal fine particle solution. Here, the “self-organizing metal fine particle solution” means a solution that spontaneously forms a network structure on a substrate when it is applied to one surface of the substrate and left to stand. As such a metal fine particle solution, for example, CE103-7 manufactured by Cima NanoTech can be used.

本発明の網目状金属微粒子積層基板における網目状の構造は、不規則であることが好ましい。すなわち、本発明の網目状金属微粒子積層基板をプラズマディスプレイに貼り合わせて使用した場合、網目状の構造を不規則な構造にすることでモアレ現象が発生しないものを得ることができるからである。   The network structure in the network metal fine particle multilayer substrate of the present invention is preferably irregular. That is, when the reticulated metal fine particle multilayer substrate of the present invention is used by being bonded to a plasma display, it is possible to obtain a structure in which the moire phenomenon does not occur by making the reticulated structure irregular.

かかる不規則な網目状の構造は、微分干渉顕微鏡の観察像で特定し、該網目状の構造が、その形状において、空隙部分の形状や大きさが不揃いである状態、すなわち不規則な状態として観察されるものであり、従って、網目を構成する部分、すなわち線状の部分の形状も直線ではなく線太さが不揃いである状態、すなわち不規則な状態として観察されるものである。不規則な網目状の構造の一例を図1に示すが、これに限定されるものではない。   Such an irregular network structure is specified by an observation image of a differential interference microscope, and the network structure is in a state where the shape and size of the void portion are irregular in its shape, that is, as an irregular state. Therefore, the portion of the mesh, that is, the shape of the linear portion is not a straight line, but the line thickness is not uniform, that is, an irregular state. An example of an irregular mesh-like structure is shown in FIG. 1, but is not limited to this.

本発明の網目状金属微粒子積層基板の製造方法においては、基板の少なくとも片面に金属微粒子溶液を塗布する際に、基板に接触しない非接触式塗布方法によって金属微粒子溶液を積層するという特定の条件を満たすことが重要である。該非接触式塗布方法は基板に接触しなければ限定はなく、公知の塗布方法、例えば、ダイコート法、アプリケーター法、コンマコート法、スプレー法、ディッピング法などを用いることができる。該金属微粒子溶液を塗布する際に、基板と接触する接触式の塗布方法を用いた場合、基板と接触した部分がキズになったり、金属微粒子溶液を塗布した際に、基板と接触した部分にスジが発生するなどの問題が生じる場合があり好ましくない。   In the method for producing a reticulated metal fine particle laminated substrate of the present invention, when applying the metal fine particle solution to at least one surface of the substrate, the specific condition that the metal fine particle solution is laminated by a non-contact coating method that does not contact the substrate is set. It is important to meet. The non-contact coating method is not limited as long as it does not contact the substrate, and a known coating method such as a die coating method, an applicator method, a comma coating method, a spray method, a dipping method and the like can be used. When a contact type coating method that contacts the substrate is used when applying the metal fine particle solution, the portion in contact with the substrate is scratched, or the portion in contact with the substrate when the metal fine particle solution is applied Problems such as streaking may occur, which is not preferable.

また、基板の該表面ぬれ張力が45mN/m以上の表面をさらに親水化処理を行った基板上に基板と接触する接触式の塗布方法を用いた場合、基板と接触した部分の親水性処理層が削り取られ、網目状にならない場合があり好ましくない。例えば、金属微粒子溶液の塗布を基板と接触する接触式であるワイヤーバーを用いて積層した網目状金属微粒子積層基板は、ワイヤーバーのワイヤーピッチに沿って、ワイヤバーと接触した部分と接触しない部分で網目状の構造の空隙部分の大きさが異なり、接触した部分は空隙が大きくなり、接触しない部分は空隙が小さくなる。その異なる大小空隙がスジ状に交互に配列され、規則的なパターンになってしまい、モアレ現象が生じてしまうことがある。また、金属微粒子溶液の塗布を基板と接触する接触式であるグラビアコーターを用いて積層した網目状金属微粒子積層基板は、グラビアが基板と接触したことにより、金属微粒子溶液がグラビアの版目状に塗布されてしまい、グラビア版目が生じてしまうことがある。そのため、金属微粒子溶液の塗布は、基板と接触しない非接触式塗布方法で行う必要がある。   Further, when a contact-type coating method is used in which a surface of the substrate having a surface wetting tension of 45 mN / m or more is further subjected to a hydrophilic treatment, the substrate is contacted with the substrate. Is not preferred because it may be scraped off and not reticulated. For example, a mesh-like metal fine particle laminated substrate obtained by laminating a metal fine particle solution using a wire bar that is in contact with the substrate is a portion that does not come into contact with the wire bar along the wire pitch of the wire bar. The size of the gap portion of the network structure is different, the gap is larger at the contacted portion, and the gap is smaller at the non-contact portion. The different large and small voids are alternately arranged in a streak pattern, resulting in a regular pattern, which may cause a moire phenomenon. In addition, a network-like metal fine particle multilayer substrate laminated using a gravure coater that is a contact type for contacting the substrate with the metal fine particle solution is in contact with the substrate so that the metal fine particle solution has a gravure plate shape. It may be applied and a gravure plate may be formed. Therefore, it is necessary to apply the metal fine particle solution by a non-contact application method that does not contact the substrate.

本発明における金属微粒子に用いられる金属としては、特に限定されず、白金、金、銀、銅、ニッケル、パラジウム、ロジウム、ルテニウム、ビスマス、コバルト、鉄、アルミニウム、亜鉛、錫などが挙げられる。金属は1種で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   The metal used for the metal fine particles in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include platinum, gold, silver, copper, nickel, palladium, rhodium, ruthenium, bismuth, cobalt, iron, aluminum, zinc, and tin. A metal may be used by 1 type and may be used in combination of 2 or more type.

本発明における金属微粒子層とは、上記のような金属微粒子によって構成された層であり、金属微粒子以外に、他の各種添加剤、例えば、分散剤、界面活性剤、保護樹脂、酸化防止剤、耐熱安定剤、耐候安定剤、紫外線吸収剤、顔料、染料、有機または無機の微粒子、充填剤、帯電防止剤などの無機成分、有機成分を含有することができる。   The metal fine particle layer in the present invention is a layer composed of the metal fine particles as described above, and in addition to the metal fine particles, various other additives such as a dispersant, a surfactant, a protective resin, an antioxidant, It can contain an inorganic component such as a heat stabilizer, a weather stabilizer, an ultraviolet absorber, a pigment, a dye, organic or inorganic fine particles, a filler, an antistatic agent, and an organic component.

本発明においては、積層した金属微粒子層を熱処理など金属微粒子層の導電性を高めるための公知の方法を用いて、金属微粒子層の導電性を高めることにより、網目状金属微粒子積層基板から好適に透明導電性基板を得ることができる。   In the present invention, by using a known method for enhancing the conductivity of the metal fine particle layer, such as heat treatment, the laminated metal fine particle layer is preferably used from the network metal fine particle laminated substrate by increasing the conductivity of the metal fine particle layer. A transparent conductive substrate can be obtained.

そして、上述した基板の少なくとも片面に金属微粒子溶液を塗布後、基板面と平行な方向を0度としてから±45度以内の方向の気流下に基板を置き、さらに、該気流の風速を1.0m/秒以上10m/秒以下にすることを特徴とする製造方法により得られた網目状金属微粒子積層基板は、さらに該網目状金属微粒子積層基板の金属微粒子層を、熱処理後、有機溶媒で処理し、酸で処理することにより、導電性に優れた透明導電性基板を製造することができる。   And after apply | coating a metal fine particle solution to at least one surface of the board | substrate mentioned above, a board | substrate is set | placed on the airflow of the direction within ± 45 degree | times after setting the direction parallel to a substrate surface to 0 degree | times, and also the wind speed of this airflow is 1. The reticulated metal fine particle multilayer substrate obtained by the production method characterized in that the flow rate is 0 m / second or more and 10 m / second or less, and the metal fine particle layer of the reticulated metal particle multilayer substrate is further treated with an organic solvent after heat treatment. And the transparent conductive substrate excellent in electroconductivity can be manufactured by processing with an acid.

本発明において、透明導電性基板を得るための網目状金属微粒子積層基板の金属微粒子層の熱処理の温度は、好ましくは、100℃以上200℃未満、より好ましくは、130℃以上180℃以下、さらに好ましくは140℃以上160℃以下である。すなわち、200℃以上の高温で長時間行うと、基板の変形などの問題が生じる場合があり好ましくない。また、熱処理温度が100℃未満であると、網目状金属微粒子積層基板を用いて透明導電性基板とした際の導電性の点で問題が生じる場合がある。   In the present invention, the temperature of the heat treatment of the metal fine particle layer of the network metal fine particle laminated substrate for obtaining the transparent conductive substrate is preferably 100 ° C. or higher and lower than 200 ° C., more preferably 130 ° C. or higher and 180 ° C. or lower, Preferably they are 140 degreeC or more and 160 degrees C or less. That is, if it is performed at a high temperature of 200 ° C. or higher for a long time, problems such as substrate deformation may occur, which is not preferable. Further, if the heat treatment temperature is less than 100 ° C., there may be a problem in terms of conductivity when a network-like fine metal particle multilayer substrate is used to form a transparent conductive substrate.

かかる熱処理の時間は、好ましくは、30秒以上3分以下であり、より好ましくは、1分以上3分以下、さらに好ましくは、2分以上3分以下である。すなわち、30秒より短時間の熱処理では、網目状金属微粒子積層基板を用いて、透明導電性基板とした際の導電性の点で問題が生じる場合がある。また、3分より長く熱処理を行うと、連続プロセスに適用することを考えたときに、熱処理工程を、長時間必要とし、コストアップなど、生産性に問題が起きてしまう可能性がある。   The heat treatment time is preferably 30 seconds or longer and 3 minutes or shorter, more preferably 1 minute or longer and 3 minutes or shorter, and further preferably 2 minutes or longer and 3 minutes or shorter. That is, in the heat treatment for a time shorter than 30 seconds, there may be a problem in terms of conductivity when a mesh-like fine metal particle multilayer substrate is used to form a transparent conductive substrate. Further, if the heat treatment is performed for longer than 3 minutes, considering the application to a continuous process, a heat treatment step is required for a long time, which may cause problems in productivity such as cost increase.

また、上述のように網目状金属微粒子積層基板の金属微粒子層を熱処理後、続いて網目状金属微粒子積層基板の金属微粒子層を酸で処理する方法により、導電性を高めることで透明導電性基板を得ることが好ましい。かかる酸で処理する方法は、穏和な処理条件で金属微粒子の導電性を高めることができるため、かかる緩和な処理条件を選択すれば、熱可塑性樹脂など、耐熱性や耐光性に劣る材料を基板として用いた場合でも、好適に酸処理することができる。また、複雑な装置や工程を必要としない方法のため、生産性の点でも好ましい。   In addition, after the heat treatment is performed on the metal fine particle layer of the network metal fine particle laminated substrate as described above, the transparent fine conductive substrate can be obtained by increasing the conductivity by subsequently treating the metal fine particle layer of the network metal fine particle laminated substrate with an acid. It is preferable to obtain Since the method of treating with an acid can increase the conductivity of the metal fine particles under mild processing conditions, if such mild processing conditions are selected, a material having poor heat resistance and light resistance, such as a thermoplastic resin, can be used as a substrate. Even when used as, it can be suitably acid-treated. In addition, this method is preferable in terms of productivity because it does not require complicated apparatuses or processes.

かかる酸とは、特に限定されず、種々の有機酸、無機酸から選択することができる。有機酸としては、酢酸、シュウ酸、プロピオン酸、乳酸、ベンゼンスルホン酸などが挙げられる。無機酸としては、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸などが挙げられる。これらは、強酸であっても、弱酸であってもよい。好ましくは酢酸、塩酸、硫酸、およびその水溶液であり、より好ましくは塩酸、硫酸、およびその水溶液を用いることができる。   Such an acid is not particularly limited, and can be selected from various organic acids and inorganic acids. Examples of the organic acid include acetic acid, oxalic acid, propionic acid, lactic acid, and benzenesulfonic acid. Examples of inorganic acids include hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, phosphoric acid and the like. These may be strong acids or weak acids. Preferred are acetic acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, and aqueous solutions thereof, and more preferred are hydrochloric acid, sulfuric acid, and aqueous solutions thereof.

かかる酸で処理する具体的な方法としては、特に限定されず、例えば、酸や、酸の溶液の中に金属微粒子層を積層した基板を浸したり、酸や、酸の溶液を金属微粒子層の上に塗布したり、酸や、酸の溶液の蒸気を銀微粒子層にあてたりする方法が用いられる。   A specific method of treating with such an acid is not particularly limited. For example, the substrate on which the metal fine particle layer is laminated in an acid or an acid solution is immersed, or an acid or an acid solution is immersed in the metal fine particle layer. For example, a method of applying to the top or applying a vapor of an acid or an acid solution to the silver fine particle layer is used.

また、上述のように網目状金属微粒子積層基板の金属微粒子層の熱処理後であり、さらに網目状金属微粒子積層基板の金属微粒子層を酸で処理する前に、金属微粒子層を有機溶媒で処理することで、導電性を高めて透明導電性基板を得る方法が好ましい。このように網目状金属微粒子積層基板の金属微粒子層の熱処理後であり、網目状金属微粒子積層基板の金属微粒子層を酸で処理する前に、有機溶媒で処理を行うと、より優れた導電性を有する透明導電性基板が得られやすくなる。   Further, as described above, the metal fine particle layer is treated with an organic solvent after the heat treatment of the metal fine particle layer of the network metal fine particle laminated substrate and before the metal fine particle layer of the mesh metal fine particle laminated substrate is treated with an acid. Therefore, a method of increasing the conductivity and obtaining a transparent conductive substrate is preferable. Thus, after the heat treatment of the metal fine particle layer of the reticulated metal fine particle laminated substrate and before the metal fine particle layer of the reticulated metal fine particle laminated substrate is treated with an acid, the treatment with an organic solvent provides better conductivity. It becomes easy to obtain a transparent conductive substrate having

かかる金属微粒子層を有機溶媒で処理する段階としては、基板上に金属微粒子を網目状に積層して網目状金属微粒子積層基板としておいてから有機溶媒で処理する方法が、導電性を高める効果に優れ、生産性の点で効率がよいため好適に用いられる。 また、かかる有機溶媒で処理する前や後に、金属微粒子層を積層した基板に別の層を印刷したり、塗布したりして積層してもよい。また、かかる有機溶媒で処理する前や後に、金属微粒子層を積層した基板を乾燥したり、熱処理したり、紫外線照射処理などをしてもよい。   As a step of treating such a metal fine particle layer with an organic solvent, a method of laminating metal fine particles in a network form on a substrate to form a network-like metal fine particle laminated substrate, and then treating with an organic solvent has an effect of increasing conductivity. Since it is excellent and efficient in terms of productivity, it is preferably used. In addition, before or after the treatment with the organic solvent, another layer may be printed on or applied to the substrate on which the metal fine particle layer is laminated. Further, before or after the treatment with the organic solvent, the substrate on which the metal fine particle layer is laminated may be dried, heat-treated, or subjected to an ultraviolet irradiation treatment.

かかる金属微粒子層を有機溶媒で処理する際に該有機溶媒の処理温度は、常温で十分である。高温で処理を行うと、基板として熱可塑性樹脂フィルムを用いた場合には、基板を白化させ、透明性を損ねる場合があるため、好ましくない。かかる処理温度は、好ましくは40℃以下であり、より好ましくは30℃以下であり、特に好ましくは25℃以下である。   When the metal fine particle layer is treated with an organic solvent, the treatment temperature of the organic solvent is sufficient at room temperature. When the treatment is performed at a high temperature, when a thermoplastic resin film is used as the substrate, the substrate may be whitened and transparency may be impaired, which is not preferable. Such treatment temperature is preferably 40 ° C. or less, more preferably 30 ° C. or less, and particularly preferably 25 ° C. or less.

かかる金属微粒子層を有機溶媒で処理する方法は特に限定されず、例えば、有機溶媒の溶液の中に金属微粒子層を積層した基板を浸したり、有機溶媒を金属微粒子層上に塗布したり、有機溶媒の蒸気を金属微粒子層にあてたりする方法が用いられる。これらの中でも、有機溶媒の中に金属微粒子層を積層した基板を浸したり、有機溶媒を金属微粒子層上に塗布したりする方法が、導電性向上効果に優れるため好ましい。   The method for treating the metal fine particle layer with an organic solvent is not particularly limited. For example, the substrate on which the metal fine particle layer is laminated in a solution of the organic solvent, the organic solvent is applied on the metal fine particle layer, A method of applying a vapor of the solvent to the metal fine particle layer is used. Among these, a method of immersing a substrate in which a metal fine particle layer is laminated in an organic solvent or coating an organic solvent on the metal fine particle layer is preferable because of its excellent conductivity improving effect.

かかる有機溶媒の一例を挙げると、メチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、n-ブタノール、イソブタノール、3-メトキシ-3-メチル-1-ブタノール、1,3ブタンジオール、3-メチル-1,3-ブタンジオールなどのアルコール類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノンなどのケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル類、ヘキサン、ヘプタン、デカン、シクロヘキサンなどのアルカン類、N-メチル-2-ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホオキシドなどの双極性非プロトン溶媒、トルエン、キシレン、アニリン、エチレングリコールブチルエーテル、エチレングリコール、エチルエーテル、エチレングリコールメチルエーテル、クロロホルム等、およびこれらの混合溶媒を使用することができる。これらの中でも、ケトン類、エステル類、トルエンが含まれていると、導電性向上効果に優れるため好ましく、特に好ましくはケトン類である。   Examples of such organic solvents include methyl alcohol, ethyl alcohol, isopropyl alcohol, n-butanol, isobutanol, 3-methoxy-3-methyl-1-butanol, 1,3-butanediol, 3-methyl-1,3 Alcohols such as butanediol, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone and cyclopentanone, esters such as ethyl acetate and butyl acetate, alkanes such as hexane, heptane, decane and cyclohexane, N- Dipolar aprotic solvents such as methyl-2-pyrrolidone, dimethylformamide, dimethylacetamide, dimethylsulfoxide, toluene, xylene, aniline, ethylene glycol butyl ether, ethylene glycol, ethyl ether, ethylene glyco Methyl ether, chloroform, and may be used a mixture of these solvents. Among these, it is preferable that ketones, esters, and toluene are contained because the effect of improving conductivity is excellent, and ketones are particularly preferable.

本発明における透明導電性基板の導電性に関しては、表面比抵抗が30Ω/□以下であることが好ましい。かかる表面比抵抗は、より好ましくは20Ω/□以下であり、さらに好ましくは10Ω/□以下であり、特に好ましくは4Ω/□以下である。かかる表面比抵抗が30Ω/□以下であると、導電性基板として通電して用いる際に、抵抗による負荷が小さくなるため、発熱が抑えられることや、低電圧で用いることができるので好ましい。また、例えば、プラズマディスプレイパネルや液晶テレビなど、フラットパネルディスプレイの電磁波シールド基板用の透明導電性基板として用いた場合には、電磁波シールド性が良好となるため、好ましい。透明導電性基板の表面比抵抗は、低い方が好ましいものの、現実的に達成可能な下限は、1Ω/□程度と考えられ、そのため1Ω/□程度が下限と考えられる。   Regarding the conductivity of the transparent conductive substrate in the present invention, the surface specific resistance is preferably 30 Ω / □ or less. The surface specific resistance is more preferably 20Ω / □ or less, further preferably 10Ω / □ or less, and particularly preferably 4Ω / □ or less. When the surface specific resistance is 30 Ω / □ or less, a load due to resistance is reduced when the conductive substrate is energized, so that heat generation can be suppressed and the device can be used at a low voltage. Further, for example, when used as a transparent conductive substrate for an electromagnetic wave shielding substrate of a flat panel display such as a plasma display panel or a liquid crystal television, the electromagnetic wave shielding property is good, which is preferable. Although the lower surface specific resistance of the transparent conductive substrate is preferable, the lower limit that can be practically achieved is considered to be about 1Ω / □, and therefore about 1Ω / □ is considered the lower limit.

かかる表面比抵抗の測定は、例えば、網目状金属微粒子積層基板を150℃で2分間、熱処理を行い、1Nの塩酸に入れ、1分間放置する。その後、網目状金属微粒子積層基板を取り出して、水洗し、乾燥を行い、常態(23℃、相対湿度65%)において24時間放置後、その雰囲気下で、JIS−K−7194(1994)に準拠し、ロレスタ−EP(三菱化学株式会社製、型番:MCP−T360)を用いて測定することができる。かくして得られた表面比抵抗が30Ω/□以下であれば導電性は良好である。   For the measurement of the surface specific resistance, for example, the reticulated metal fine particle laminated substrate is heat-treated at 150 ° C. for 2 minutes, placed in 1N hydrochloric acid, and left for 1 minute. Thereafter, the network-like fine metal particle multilayer substrate is taken out, washed with water, dried, left in a normal state (23 ° C., relative humidity 65%) for 24 hours, and in that atmosphere, in accordance with JIS-K-7194 (1994). And it can be measured using Loresta-EP (Mitsubishi Chemical Corporation make, model number: MCP-T360). If the surface specific resistance thus obtained is 30 Ω / □ or less, the conductivity is good.

本発明における基板とは、特に限定されず、ガラスや樹脂など種々の基板を用いることができる。また、ガラスや樹脂などの基板を2種以上貼り合わせるなどして組み合わせたものも用いることができる。   The substrate in the present invention is not particularly limited, and various substrates such as glass and resin can be used. In addition, a combination of two or more substrates such as glass and resin can be used.

本発明において、基板の表面に親水性処理層が積層されている場合には、金属微粒子が網目状に積層されやすくなるため好ましい。かかる親水性処理層としては、特に限定されるものではないが、ポリエステル、アクリル変性ポリエステル、ポリウレタン、アクリル系樹脂、メタクリレート系樹脂、ポリアミド、ポリビニルアルコール類、澱粉類、セルロース誘導体、ゼラチン等の天然樹脂、ポリビニルピロリドン、ポリビニルブチラール、ポリアクリルアミド、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、ポリチオフェン、ポリピロール、ポリアセチレン、ポリアニリン、各種シリコーン樹脂や変性シリコーン樹脂などからなる層を用いることができる。   In the present invention, when the hydrophilic treatment layer is laminated on the surface of the substrate, it is preferable because the metal fine particles are easily laminated in a network shape. Such hydrophilic treatment layer is not particularly limited, but natural resins such as polyester, acrylic-modified polyester, polyurethane, acrylic resin, methacrylate resin, polyamide, polyvinyl alcohol, starches, cellulose derivatives, gelatin and the like. Polyvinyl pyrrolidone, polyvinyl butyral, polyacrylamide, epoxy resin, melamine resin, urea resin, polythiophene, polypyrrole, polyacetylene, polyaniline, various silicone resins and modified silicone resins can be used.

本発明において、基板が熱可塑性樹脂フィルムである場合、透明性、柔軟性、加工性に優れるなどの点で好ましい。本発明でいう熱可塑性樹脂フィルムとは、熱によって溶融もしくは軟化するフィルムの総称であって、特に限定されるものではないが、代表的なものとして、ポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルムやポリエチレンフィルムなどのポリオレフィンフィルム、ポリ乳酸フィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリメチルメタクリレートフィルムやポリスチレンフィルムなどのアクリル系フィルム、ナイロンなどのポリアミドフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリウレタンフィルム、フッ素系フィルム、ポリフェニレンスルフィドフィルムなどを用いることができる。   In this invention, when a board | substrate is a thermoplastic resin film, it is preferable at points, such as being excellent in transparency, a softness | flexibility, and workability. The thermoplastic resin film as used in the present invention is a general term for films that are melted or softened by heat, and is not particularly limited, but representative examples include polyolefins such as polyester films, polypropylene films, and polyethylene films. Films, polylactic acid films, polycarbonate films, acrylic films such as polymethyl methacrylate films and polystyrene films, polyamide films such as nylon, polyvinyl chloride films, polyurethane films, fluorine films, polyphenylene sulfide films, and the like can be used.

これら熱可塑性樹脂フィルムとしては、ホモポリマーでも共重合ポリマーで構成されたものあってもよいが、これらのうち、機械的特性、寸法安定性、透明性などの点で、ポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリアミドフィルムなどが好ましく、更に、機械的強度、汎用性などの点で、ポリエステルフィルムが特に好ましい。   These thermoplastic resin films may be composed of homopolymers or copolymer polymers, but among these, in terms of mechanical properties, dimensional stability, transparency, polyester films, polypropylene films, Polyamide films are preferred, and polyester films are particularly preferred from the viewpoints of mechanical strength and versatility.

かかるポリエステルフィルムにおいて、ポリエステルとは、エステル結合を主鎖の主要な結合鎖とする高分子の総称であって、エチレンテレフタレート、プロピレンテレフタレート、エチレン−2,6−ナフタレート、ブチレンテレフタレート、プロピレン−2,6−ナフタレート、エチレン−α,β−ビス(2−クロロフェノキシ)エタン−4,4’−ジカルボキシレートなどから選ばれた少なくとも1種の構成成分を主要構成成分とするものを好ましく用いることができる。これら構成成分は、1種のみ用いても、2種以上併用してもよいが、中でも品質、経済性などを総合的に判断すると、エチレンテレフタレートを主要構成成分とするポリエステル、すなわち、ポリエチレンテレフタレートを用いることが特に好ましい。また、基板に熱や収縮応力などが作用する場合には、耐熱性や剛性に優れたポリエチレン−2,6−ナフタレートが更に好ましい。これらポリエステルには、更に他のジカルボン酸成分やジオール成分が一部、好ましくは20モル%以下共重合されていてもよい。   In such a polyester film, polyester is a general term for polymers having an ester bond as a main bond chain, and includes ethylene terephthalate, propylene terephthalate, ethylene-2,6-naphthalate, butylene terephthalate, propylene-2, It is preferable to use one having at least one component selected from 6-naphthalate, ethylene-α, β-bis (2-chlorophenoxy) ethane-4,4′-dicarboxylate as a main component. it can. These constituent components may be used alone or in combination of two or more. However, when quality, economy and the like are comprehensively judged, polyester having ethylene terephthalate as a main constituent, that is, polyethylene terephthalate is used. It is particularly preferable to use it. In addition, when heat or shrinkage stress acts on the substrate, polyethylene-2,6-naphthalate having excellent heat resistance and rigidity is more preferable. These polyesters may further be partially copolymerized with other dicarboxylic acid components and diol components, preferably 20 mol% or less.

かかるポリエステルの極限粘度(25℃のo−クロロフェノール中で測定)は、0.4〜1.2dl/gが好ましく、より好ましくは0.5〜0.8dl/gの範囲にあるものが本発明を実施する上で好適である。   The intrinsic viscosity (measured in o-chlorophenol at 25 ° C.) of such polyester is preferably 0.4 to 1.2 dl / g, more preferably 0.5 to 0.8 dl / g. It is suitable for carrying out the invention.

また、かかる熱可塑性樹脂、たとえばポリエステル中には、各種添加剤、例えば、酸化防止剤、耐熱安定剤、耐候安定剤、紫外線吸収剤、有機の易滑剤、顔料、染料、有機または無機の微粒子、充填剤、帯電防止剤、核剤などがその特性を悪化させない程度に添加されていてもよい。   Further, in such a thermoplastic resin, for example, polyester, various additives such as an antioxidant, a heat stabilizer, a weather stabilizer, an ultraviolet absorber, an organic lubricant, a pigment, a dye, organic or inorganic fine particles, Fillers, antistatic agents, nucleating agents and the like may be added to such an extent that the properties are not deteriorated.

かかる熱可塑性樹脂フィルム、たとえばポリエステルフィルムは、二軸配向されたものであるのが好ましい。かかる二軸配向ポリエステルフィルムとは、一般に、未延伸状態のポリエステルシートまたはフィルムを長手方向および幅方向に各々2.5〜5倍程度延伸し、その後、熱処理を施し、結晶配向を完了したものであり、広角X線回折で二軸配向のパターンを示すものをいう。   Such a thermoplastic resin film, such as a polyester film, is preferably biaxially oriented. Such a biaxially oriented polyester film is generally obtained by stretching an unstretched polyester sheet or film about 2.5 to 5 times in the longitudinal direction and in the width direction, and then performing heat treatment to complete the crystal orientation. Yes, it indicates a biaxially oriented pattern by wide-angle X-ray diffraction.

かかる熱可塑性樹脂フィルム、たとえばポリエステルフィルムの厚みは、特に限定されるものではなく、用途や種類に応じて適宜選択されるが、機械的強度、ハンドリング性などの点から、好ましくは10〜500μm、より好ましくは38〜250μm、最も好ましくは75〜150μmである。また、たとえば基板としてポリエステルフィルムを用いる場合は、共押出による複合フィルムであってもよい。一方、得られたフィルムを各種の方法で貼り合わせたものも用いることができる。   The thickness of such a thermoplastic resin film, such as a polyester film, is not particularly limited and is appropriately selected depending on the application and type, but from the viewpoint of mechanical strength, handling properties, etc., preferably 10 to 500 μm, More preferably, it is 38-250 micrometers, Most preferably, it is 75-150 micrometers. For example, when a polyester film is used as the substrate, a composite film by coextrusion may be used. On the other hand, a film obtained by bonding the obtained film by various methods can also be used.

本発明の網目状金属微粒子積層基板には、基板、金属微粒子層の他に各種の層が積層されていてもよい。例えば、特に限定されるものではないが、基板と金属微粒子層の間に密着性改善のための下塗り層などが設けられていてもよく、金属微粒子層の上に保護層が設けられていてもよく、基板の片面、または両面に粘着層や、離型層や、保護層や、接着性付与層や、耐候性層などが設けられていてもよい。なお、各種層を金属微粒子層を有さない側の基板面に形成する場合は、特に限定されずに各種層を形成することができるが、基板と金属微粒子層の間に各種層を設ける場合は以下の点に注意が必要である。つまりこのような各種層を、基板と金属微粒子層の間に設ける場合、金属微粒子溶液を塗布する基板上の各種層の表面ぬれ張力が、45mN/m以上73mN/m以下であることが重要であり、これら層が上述の表面ぬれ張力を有する限りは本発明において基板上に各種層を設けることができる。   In addition to the substrate and the metal fine particle layer, various layers may be laminated on the network metal fine particle laminated substrate of the present invention. For example, although not particularly limited, an undercoat layer for improving adhesion may be provided between the substrate and the metal fine particle layer, or a protective layer may be provided on the metal fine particle layer. In addition, an adhesive layer, a release layer, a protective layer, an adhesion-imparting layer, a weather-resistant layer, or the like may be provided on one side or both sides of the substrate. In addition, when various layers are formed on the substrate surface on the side not having the metal fine particle layer, various layers can be formed without any particular limitation, but when various layers are provided between the substrate and the metal fine particle layer Note the following points. That is, when such various layers are provided between the substrate and the metal fine particle layer, it is important that the surface wetting tension of the various layers on the substrate to which the metal fine particle solution is applied is 45 mN / m or more and 73 mN / m or less. As long as these layers have the surface wetting tension described above, various layers can be provided on the substrate in the present invention.

以下、本発明の網目状金属微粒子積層基板の製造方法をより具体的に例示して説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、表面ぬれ張力が47mN/mである二軸延伸ポリエステルフィルムに親水性処理層を積層し、銀微粒子溶液を基板と接触しないダイコート法で塗布し、銀微粒子層を網目状に積層する。本発明の網目状金属微粒子積層基板の製造方法を用いれば、透明性と耐モアレ性に優れ、塗膜にキズやスジをなくした網目状金属微粒子積層基板を、生産性に優れた方法で得ることができる。なお、ここで説明した二軸延伸ポリエステルフィルムは表面ぬれ張力が47mN/mであるので、親水性処理層を設けなくても、比較的優れた網目状金属微粒子積層基板を得ることができる。   Hereinafter, although the manufacturing method of the network metal fine particle laminated substrate of this invention is illustrated and demonstrated more concretely, this invention is not limited to this. That is, a hydrophilic treatment layer is laminated on a biaxially stretched polyester film having a surface wetting tension of 47 mN / m, a silver fine particle solution is applied by a die coating method that does not come into contact with the substrate, and the silver fine particle layer is laminated in a mesh shape. By using the method for producing a reticulated metal fine particle multilayer substrate of the present invention, a reticulated metal fine particle multilayer substrate having excellent transparency and moire resistance and having no scratches or streaks on the coating film is obtained by a method having excellent productivity. be able to. Since the biaxially stretched polyester film described here has a surface wetting tension of 47 mN / m, a relatively excellent network metal fine particle multilayer substrate can be obtained without providing a hydrophilic treatment layer.

また、このようにして得た網目状金属微粒子積層基板から、透明導電性基板を得るためには、例えば、網目状金属微粒子積層基板を150℃で2分間、熱処理を行い、アセトンで30秒処理し、1Nの塩酸に入れ、1分間放置する。その後、網目状金属微粒子積層基板を取り出して、水洗し、乾燥することで好適に得られる。   Further, in order to obtain a transparent conductive substrate from the thus obtained mesh-like metal fine particle laminated substrate, for example, the mesh-like metal fine particle laminated substrate is heat-treated at 150 ° C. for 2 minutes and treated with acetone for 30 seconds. Put in 1N hydrochloric acid and let stand for 1 minute. Thereafter, the network-like fine metal particle multilayer substrate is taken out, washed with water, and dried to be suitably obtained.

本発明の網目状金属微粒子積層基板を用いた透明導電性基板は、透明性と高いレベルの導電性を有しているため、プラズマディスプレイパネルや液晶テレビなどのフラットパネルディスプレイに用いられる電磁波シールドフィルムとして用いることが可能である他、回路材料用途や、太陽電池用途など、各種の導電性基板用途にも好適に用いることができる。
[特性の測定方法および効果の評価方法]
各実施例・比較例で作成した導電性基板の特性の測定方法および効果の評価方法は次のとおりである。
(1)金属微粒子層積層時の気流角度
気流角度は、基板上に金属微粒子層を積層する製造工程において、図2のように、積層する基板上2cmの場所で先端に2cmの糸を付けた棒を基板と平行に置き測定した。ここで、測定には、ポリエステル系繊維のマルチフィラメントで、太さが140dtexの糸を使用した。なおこの測定の際は、マルチフィラメントであれば、これに限定する必要はなく、ポリエステル系繊維の他に、ポリアミド系繊維、ポリウレタン系繊維などを用いてもよい。また、糸の太さは、70dtex以上500dtex以下が好ましく、すなわち、70dtexより細い場合、気流角度が確認しづらく、500dtexより太い場合、気流が発生しても糸がなびかない可能性がある。
The transparent conductive substrate using the reticulated metal fine particle multilayer substrate of the present invention has transparency and a high level of conductivity, and therefore, an electromagnetic wave shielding film used for flat panel displays such as plasma display panels and liquid crystal televisions. In addition, it can be suitably used for various conductive substrate applications such as circuit material applications and solar cell applications.
[Characteristic measurement method and effect evaluation method]
The method for measuring the characteristics of the conductive substrates prepared in each of the examples and comparative examples and the method for evaluating the effects are as follows.
(1) Airflow angle during metal fine particle layer lamination
The airflow angle was measured in a manufacturing process of laminating a metal fine particle layer on a substrate by placing a bar with a 2 cm thread at the tip parallel to the substrate at a location of 2 cm on the substrate to be laminated, as shown in FIG. Here, for the measurement, a polyester filament multifilament having a thickness of 140 dtex was used. In this measurement, it is not necessary to limit to this as long as it is a multifilament, and in addition to the polyester fiber, a polyamide fiber, a polyurethane fiber, or the like may be used. Further, the thickness of the yarn is preferably 70 dtex or more and 500 dtex or less, that is, if it is thinner than 70 dtex, it is difficult to confirm the airflow angle, and if it is thicker than 500 dtex, there is a possibility that the yarn does not flutter even if an airflow occurs.

また、棒の先端に付けた糸が、基板面と平行になびいていれば気流角度0度、上方垂直になびいていれば気流角度90度、下方垂直になびいていれば気流角度は−90度とした。測定した気流角度が基板面と平行から±45度以内の方向であれば良好とした。
(2)金属微粒子層積層時の気流の風速
気流の風速の測定は、基板上に網目状金属微粒子層を積層する製造工程において、風速計CLIMOMASTER(MODEL 6531 日本カノマックス(株)製)を用い、基板の金属微粒子溶液を塗布する面の1cm上で、上記で説明した気流角度の測定法で測定した角度の気流のみの風速を測定した。基板のある一点でプローブの測定面を上記で測定した角度で、気流の風速を受けるように置いたときの風速を静止状態で30秒間測定した(図3、図4参照)。30秒間測定した測定値の最大値を気流の風速とした。
(3)金属微粒子層積層時の基板の幅方向における気流の風速のバラツキ
基板の幅方向における気流の風速のバラツキ測定は、基板上に網目状金属微粒子層を積層する製造工程において、風速計CLIMOMASTER(MODEL 6531 日本カノマックス(株)製)を用い、基板の金属微粒子溶液を塗布する面の1cm上で、基板の幅方向を5cm間隔で、上記(2)で説明した気流の風速の測定法を用いて測定した。得られた気流の風速の最大値と最小値の差の範囲が2m/秒以内であれば、ムラに影響することがなく、良好とした。
(4)表面ぬれ張力
基板の表面ぬれ張力の測定は、各実施例・比較例で用いた基板を常態(23℃、相対湿度50%)において、6時間放置後、その雰囲気下で、JIS−K−6768(1999)に準拠した形で行った。
Also, if the yarn attached to the tip of the rod is fluttering parallel to the substrate surface, the airflow angle is 0 degree, if it is fluttering vertically upward, the airflow angle is 90 degrees, and if it is fluttering vertically downward, the airflow angle is -90 degrees. It was. If the measured airflow angle was within ± 45 degrees from the parallel to the substrate surface, it was considered good.
(2) Wind velocity of the air current when the metal fine particle layer is laminated The wind velocity of the air current is measured using an anemometer CLIMOMASTER (made by MODEL 6531 Nippon Kanomax Co., Ltd.) in the production process of laminating the mesh metal fine particle layer on the substrate. On 1 cm above the surface of the substrate on which the metal fine particle solution was applied, the wind speed of only the airflow at the angle measured by the method for measuring the airflow angle described above was measured. At a certain point on the substrate, the wind speed when the probe was placed to receive the wind speed of the air flow at the angle measured above was measured for 30 seconds in a stationary state (see FIGS. 3 and 4). The maximum value measured for 30 seconds was taken as the wind speed of the airflow.
(3) Variation in the wind speed of the airflow in the width direction of the substrate when the metal fine particle layer is laminated Measurement of the variation in the wind speed of the airflow in the width direction of the substrate is performed by an anemometer CLIMOMASTER. (MODEL 6531 manufactured by Nippon Kanomax Co., Ltd.), the measurement method of the wind velocity of the airflow described in (2) above is performed on the surface of the substrate to which the metal fine particle solution is applied at a distance of 5 cm in the width direction of the substrate. And measured. If the range of the difference between the maximum value and the minimum value of the wind speed of the obtained air current was within 2 m / second, it was considered good without affecting the unevenness.
(4) Surface Wetting Tension The surface wetting tension of the substrate was measured according to JIS- in the atmosphere after leaving the substrate used in each example and comparative example in a normal state (23 ° C., relative humidity 50%) for 6 hours. It carried out in the form based on K-6768 (1999).

まず、基板の測定したい面を上にしてハンドコーターの基盤の上に置き、表面ぬれ張力試験用混合液を数滴滴下して、直ちにWET厚み12μmが塗布できるワイヤーバーを引いて広げる。   First, the surface to be measured of the substrate is placed on the base of the hand coater, a few drops of the surface wetting tension test liquid mixture are dropped, and a wire bar capable of applying a WET thickness of 12 μm is immediately drawn and spread.

表面ぬれ張力の判断は、試験用混合液の液膜を明るいところで観察し、2秒後の液膜の状態で行う。液膜が破れを生じないで、2秒以上、塗布されたときの状態を保っていればぬれていることになる。ぬれが2秒以上保つ場合は、さらに、表面ぬれ張力の高い混合液に進み、また逆に、2秒未満で液膜が破れる場合は、表面ぬれ張力の低い混合液に進む。この操作を繰り返し、基板の表面を正確に2秒以上ぬらすことができる混合液を選び、その基板の表面ぬれ張力とする。この測定法による表面ぬれ張力の最大は、73mN/mである。   The surface wetting tension is judged by observing the liquid film of the test mixed solution in a bright place and in the state of the liquid film after 2 seconds. If the liquid film is not torn and remains in the applied state for 2 seconds or longer, it is wet. When the wetting is maintained for 2 seconds or more, the process further proceeds to a liquid mixture with a high surface wetting tension. Conversely, when the liquid film is broken in less than 2 seconds, the process proceeds to a liquid mixture with a low surface wetting tension. This operation is repeated, and a liquid mixture that can wet the surface of the substrate accurately for 2 seconds or more is selected to obtain the surface wet tension of the substrate. The maximum surface wetting tension by this measurement method is 73 mN / m.

表面ぬれ張力の単位は、mN/mである。   The unit of surface wetting tension is mN / m.

(5)表面観察(形状観察)
網目状金属微粒子積層基板の表面を微分干渉顕微鏡(LEICA DMLM ライカマイクロシステムズ(株)製)にて倍率100倍で観察し、網目の形状を観察した。
(5) Surface observation (shape observation)
The surface of the reticulated metal fine particle multilayer substrate was observed with a differential interference microscope (LEICA DMLM manufactured by Leica Microsystems Co., Ltd.) at a magnification of 100 to observe the shape of the reticulated mesh.

(6)表面比抵抗
表面比抵抗の測定は、各実施例・比較例で得られた金属微粒子積層基板を、150℃で2分間の熱処理を行い、1Nの塩酸に入れ1分間放置する。その後、金属微粒子積層基板を取り出して、水洗し、乾燥を行い、常態(23℃、相対湿度65%)において24時間放置後、その雰囲気下で、JIS−K−7194(1994)に準拠した形で、ロレスタ−EP(三菱化学株式会社製、型番:MCP−T360)を用いて実施した。単位は、Ω/□である。
(6) Surface Specific Resistance For measurement of surface specific resistance, the metal fine particle laminated substrate obtained in each Example / Comparative Example is heat-treated at 150 ° C. for 2 minutes, placed in 1N hydrochloric acid and left for 1 minute. Thereafter, the metal fine particle multilayer substrate is taken out, washed with water, dried, left in a normal state (23 ° C., relative humidity 65%) for 24 hours, and then in that atmosphere, in accordance with JIS-K-7194 (1994). Then, it implemented using Loresta-EP (Mitsubishi Chemical Corporation make, model number: MCP-T360). The unit is Ω / □.

なお、本測定器は1×10Ω/□以下が測定可能である。表面比抵抗が30Ω/□以下であれば導電性は良好である。 In addition, this measuring device can measure below 1 × 10 6 Ω / □. If the surface specific resistance is 30Ω / □ or less, the conductivity is good.

(7)全光線透過率
全光線透過率は、常態(23℃、相対湿度65%)において、網目状金属微粒子積層基板を2時間放置した後、スガ試験機(株)製全自動直読ヘイズコンピューター「HGM−2DP」を用いて測定した。3回測定した平均値を該網目状金属微粒子積層基板の全光線透過率とした。
(7) Total light transmittance The total light transmittance was measured in a normal state (23 ° C., relative humidity 65%). After leaving the mesh-like metal fine particle laminated substrate for 2 hours, a fully automatic direct reading haze computer manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd. It measured using "HGM-2DP". The average value measured three times was taken as the total light transmittance of the network metal fine particle laminated substrate.

全光線透過率が50%以上であれば透明性は良好である。なお、基板の片面のみに金属微粒子層を積層している積層基板の場合、金属微粒子層を積層した面側より光が入るように基板を設置した。   If the total light transmittance is 50% or more, the transparency is good. In addition, in the case of the laminated substrate which laminated | stacked the metal fine particle layer only on the single side | surface of the board | substrate, the board | substrate was installed so that light may enter from the surface side which laminated | stacked the metal fine particle layer.

(8)金属微粒子層形成時の基板上の湿度
湿度は、基板上に網目状金属微粒子層を積層する製造工程において、積層する基板の1cm上をCLIMOMASTER(MODEL 6531 日本カノマックス(株)製)にて測定した。湿度は、該基板の金属微粒子溶液を塗布する面の中心から1cm上で15秒以上測定し、安定したときの値とした。
(8) Humidity on the substrate when forming the metal fine particle layer In the manufacturing process of laminating the network metal fine particle layer on the substrate, the humidity is set to CLIMOMASTER (MODEL 6531 made by Nippon Kanomax Co., Ltd.) 1 cm above the laminated substrate. Measured. Humidity was measured for 15 seconds or more above 1 cm from the center of the surface of the substrate on which the metal fine particle solution was applied, and was taken as a stable value.

(9)金属微粒子層形成時の基板上の温度
温度は、基板上に網目状金属微粒子層を積層する製造工程において、積層する基板の1cm上をCLIMOMASTER(MODEL 6531 日本カノマックス(株)製)にて測定した。温度は、該基板の金属微粒子溶液を塗布する面の中心から1cm上で30秒以上測定し、安定したときの値とした。
(9) Temperature on the substrate when forming the metal fine particle layer In the manufacturing process of laminating the mesh metal fine particle layer on the substrate, 1 cm above the substrate to be laminated is CLIMOMASTER (made by MODEL 6531 Nippon Kanomax Co., Ltd.). Measured. The temperature was measured at 1 cm above the center of the surface of the substrate on which the metal fine particle solution was applied for 30 seconds or more, and was taken as a stable value.

(10)塗膜のムラ
網目状金属微粒子積層基板の全光線透過率を上記(7)の全光線透過率の測定方法を用いて、幅方向5cm間隔で測定した。測定した全光線透過率の最大値と最小値が3%以内であれば、目視で塗膜のムラが見えない。
上記測定方法により、測定した全光線透過率の最大値と最小値が3%以内を「○」、3%を超えるものを「×」とし、「○」であれば塗膜のムラは良好とした。
(11)耐モアレ性
耐モアレ現象は、画像が映し出されているプラズマディスプレイとして、松下電器産業株式会社製VIERA TH−42PX50を用いて、画面の前で、画面と網目状金属微粒子積層基板が概ね平行になるようにして基板を持ち、画面と基板面が概ね平行の状態を保ちながら基板を360°回転させ、回転中にモアレ現象が発現するか否かを目視で観察することで評価した。
(10) Unevenness of coating film The total light transmittance of the reticulated metal fine particle multilayer substrate was measured at intervals of 5 cm in the width direction using the method for measuring the total light transmittance of (7) above. If the maximum value and the minimum value of the measured total light transmittance are within 3%, unevenness of the coating film is not visually observed.
According to the above measurement method, the maximum value and the minimum value of the total light transmittance measured are within 3% as “◯”, and those exceeding 3% as “X”. did.
(11) Moire resistance The anti-moire phenomenon is generally caused by using a VIERA TH-42PX50 manufactured by Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. as a plasma display on which an image is projected. The substrate was held so as to be parallel, and the substrate was rotated 360 ° while the screen and the surface of the substrate were kept substantially parallel, and it was evaluated by visually observing whether the moire phenomenon occurred during the rotation.

モアレが観察されないものを「○」、モアレが観察されるものを「×」とした。部分的にモアレが観察されるものを「△」とした。目視観察が「○」であればモアレ現象は良好とした。   The case where no moiré was observed was indicated by “◯”, and the case where moiré was observed was indicated by “x”. A case where moiré was partially observed was indicated as “Δ”. If the visual observation was “◯”, the moire phenomenon was considered good.

なお、基板の片面のみに金属微粒子層を積層している場合、金属微粒子層を積層していない面側がディスプレイ画面に対向するように網目状金属微粒子積層板を持った。   In addition, when the metal fine particle layer was laminated | stacked only on the single side | surface of the board | substrate, it had the mesh-like metal fine particle laminated board so that the surface side which has not laminated | stacked the metal fine particle layer may oppose a display screen.

(12)網目状金属微粒子層を形成する時間
金属微粒子溶液を基板上の一面に塗布すると、塗布直後の基板は、透明ではなく、時間の経過とともに透明となる。ここで「網目状金属微粒子層を形成する時間」とは、金属微粒子溶液を塗布してから、透明な基板が形成されるまでの時間として評価した。そして、この時間が30秒以下の場合を生産性○、30秒を超える場合を生産性×として評価した。
(12) Time for forming the network metal fine particle layer When the metal fine particle solution is applied to one surface of the substrate, the substrate immediately after the application is not transparent but becomes transparent as time passes. Here, the “time for forming the mesh metal fine particle layer” was evaluated as the time from the application of the metal fine particle solution to the formation of a transparent substrate. The case where this time was 30 seconds or less was evaluated as productivity ○, and the case where it exceeded 30 seconds was evaluated as productivity ×.

次に、実施例に基づいて本発明を説明する。   Next, the present invention will be described based on examples.

(金属微粒子溶液1)
金属微粒子溶液1として、銀微粒子溶液であるCima NanoTech社製CE103−7を用いた。
(実施例1)
二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ(株)製 ルミラー(登録商標)U46、表面ぬれ張力47mN/m)の片面にプライマーを塗布し、親水性処理を行った。親水性処理を行った基板の表面ぬれ張力は、73mN/mであった。続いて、ドラフト内を排気し、基板上を湿度30%RH、温度25℃とし、さらに、前記気流が基板面と平行から0度の方向となるように基板を気流下に置き、さらに、その気流の風速を4m/秒(幅方向における最大値が4.0m/秒、最小値が3.5m/秒)に調整した。このドラフト内で、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの親水性処理層上に金属微粒子溶液1をWET厚み30μmになるように基板に接触しないアプリケーター法を用いて塗布した。
(Metal fine particle solution 1)
As the metal fine particle solution 1, CE103-7 manufactured by Cima NanoTech, which is a silver fine particle solution, was used.
Example 1
A primer was applied to one side of a biaxially stretched polyethylene terephthalate film (Lumirror (registered trademark) U46 manufactured by Toray Industries, Inc., surface wetting tension 47 mN / m), and hydrophilic treatment was performed. The surface wetting tension of the substrate subjected to the hydrophilic treatment was 73 mN / m. Subsequently, the inside of the draft is evacuated, the substrate is set to a humidity of 30% RH, a temperature of 25 ° C., and the substrate is placed under an air flow so that the air flow is in a direction of 0 degrees from parallel to the substrate surface. The wind speed of the airflow was adjusted to 4 m / sec (the maximum value in the width direction was 4.0 m / sec and the minimum value was 3.5 m / sec). In this draft, the metal fine particle solution 1 was applied on the hydrophilic treatment layer of the biaxially stretched polyethylene terephthalate film by using an applicator method not contacting the substrate so as to have a WET thickness of 30 μm.

塗布した金属微粒子層は、塗布後、22秒で銀微粒子層を積層した積層基板(網目状金属微粒子積層基板)を形成した。この積層基板は、網目状であり、全光線透過率は80%で、塗膜のムラが良好で「○」であり、さらに、耐モアレ性も良好であり「○」であった。   The coated metal fine particle layer formed a laminated substrate (network metal fine particle laminated substrate) in which the silver fine particle layer was laminated 22 seconds after the application. This laminated substrate was network-like, had a total light transmittance of 80%, had excellent coating unevenness and “◯”, and also had good moire resistance and “◯”.

次に、この積層基板を150℃の熱風オーブン(タバイエスペック(株)製 PHH−200)で2分間、熱処理を行った。続いて、この積層基板ごと25℃のアセトン(佐々木化学薬品(株)製)に30秒間浸け(アセトン処理)、積層基板を取り出し、25℃で3分間乾燥させた。次に、この積層基板の銀粒子層を酸処理するために、1Nの塩酸(ナカライテスク(株)製 1N−塩酸)に1分間浸けた。その後、積層基板を取り出し、水洗した後、水分を飛ばすために積層基板を150℃の熱風オーブン(タバイエスペック(株)製 PHH−200)で2分間乾燥を行った。   Next, this laminated substrate was heat-treated for 2 minutes in a hot air oven (PHH-200 manufactured by Tabai Espec Co., Ltd.) at 150 ° C. Subsequently, the laminated substrate was immersed in acetone (manufactured by Sasaki Chemical Co., Ltd.) at 25 ° C. for 30 seconds (acetone treatment), and the laminated substrate was taken out and dried at 25 ° C. for 3 minutes. Next, in order to acid-treat the silver particle layer of this laminated substrate, it was immersed in 1N hydrochloric acid (1N hydrochloric acid manufactured by Nacalai Tesque Co., Ltd.) for 1 minute. Thereafter, the multilayer substrate was taken out, washed with water, and then dried for 2 minutes in a hot air oven (PHH-200 manufactured by Tabai Espec Co., Ltd.) at 150 ° C. in order to remove moisture.

この積層基板(透明導電性基板)の表面比抵抗は4Ω/□であった。
(実施例2)
基板上の気流を基板面と平行から30度の気流下に置いた以外は、実施例1と同様に金属微粒子溶液1を塗布した。
The surface specific resistance of this laminated substrate (transparent conductive substrate) was 4Ω / □.
(Example 2)
The metal fine particle solution 1 was applied in the same manner as in Example 1 except that the airflow on the substrate was placed under an airflow of 30 degrees parallel to the substrate surface.

塗布した金属微粒子層は、塗布後、22秒で銀微粒子層を積層した積層基板(網目状金属微粒子積層基板)を形成した。この積層基板は、網目状であり、全光線透過率は80%で、塗膜のムラが良好で「○」であり、さらに、耐モアレ性も良好であり「○」であった。   The coated metal fine particle layer formed a laminated substrate (network metal fine particle laminated substrate) in which the silver fine particle layer was laminated 22 seconds after the application. This laminated substrate was network-like, had a total light transmittance of 80%, had excellent coating unevenness and “◯”, and also had good moire resistance and “◯”.

次に、実施例1と同様に、得られた積層基板を熱処理、アセトン処理、酸処理、水洗、乾燥の順に行った。   Next, similarly to Example 1, the obtained laminated substrate was subjected to heat treatment, acetone treatment, acid treatment, water washing, and drying in this order.

この積層基板(透明導電性基板)の表面比抵抗は4Ω/□であった。
(実施例3)
基板上の気流を基板面と平行から45度の気流下に置いた以外は、実施例1と同様に金属微粒子溶液1を塗布した。
The surface specific resistance of this laminated substrate (transparent conductive substrate) was 4Ω / □.
(Example 3)
The metal fine particle solution 1 was applied in the same manner as in Example 1 except that the airflow on the substrate was placed under a 45 ° airflow parallel to the substrate surface.

塗布した金属微粒子層は、塗布後、22秒で銀微粒子層を積層した積層基板(網目状金属微粒子積層基板)を形成した。この積層基板は、網目状であり、全光線透過率は80%で、塗膜のムラが良好で「○」であり、さらに、耐モアレ性も良好であり「○」であった。   The coated metal fine particle layer formed a laminated substrate (network metal fine particle laminated substrate) in which the silver fine particle layer was laminated 22 seconds after the application. This laminated substrate was network-like, had a total light transmittance of 80%, had excellent coating unevenness and “◯”, and also had good moire resistance and “◯”.

次に、実施例1と同様に、得られた積層基板を熱処理、アセトン処理、酸処理、水洗、乾燥の順に行った。   Next, similarly to Example 1, the obtained laminated substrate was subjected to heat treatment, acetone treatment, acid treatment, water washing, and drying in this order.

この積層基板(透明導電性基板)の表面比抵抗は4Ω/□であった。
(実施例4)
基板上の気流の風速を8m/秒(幅方向における最大値が8.0m/秒、最小値が7.0m/秒)にした以外は、実施例1と同様に金属微粒子溶液1を塗布した。
The surface specific resistance of this laminated substrate (transparent conductive substrate) was 4Ω / □.
Example 4
The metal fine particle solution 1 was applied in the same manner as in Example 1 except that the air velocity of the airflow on the substrate was 8 m / sec (the maximum value in the width direction was 8.0 m / sec and the minimum value was 7.0 m / sec). .

塗布した金属微粒子層は、塗布後、10秒で銀微粒子層を積層した積層基板(網目状金属微粒子積層基板)を形成した。この積層基板は、網目状であり、全光線透過率は78%で、塗膜のムラが良好で「○」であり、さらに、耐モアレ性も良好であり「○」であった。   The coated metal fine particle layer formed a laminated substrate (network metal fine particle laminated substrate) in which the silver fine particle layer was laminated 10 seconds after coating. This laminated substrate was network-like, had a total light transmittance of 78%, good coating unevenness and “◯”, and also had good moire resistance and “◯”.

次に、実施例1と同様に、得られた積層基板を熱処理、アセトン処理、酸処理、水洗、乾燥の順に行った。   Next, similarly to Example 1, the obtained laminated substrate was subjected to heat treatment, acetone treatment, acid treatment, water washing, and drying in this order.

この積層基板(透明導電性基板)の表面比抵抗は4Ω/□であった。
(実施例5)
基板上の気流の風速を1m/秒(幅方向における最大値が1.0m/秒、最小値が0.9m/秒)にした以外は、実施例1と同様に金属微粒子溶液1を塗布した。
The surface specific resistance of this laminated substrate (transparent conductive substrate) was 4Ω / □.
(Example 5)
The metal fine particle solution 1 was applied in the same manner as in Example 1 except that the air velocity of the airflow on the substrate was 1 m / sec (the maximum value in the width direction was 1.0 m / sec and the minimum value was 0.9 m / sec). .

塗布した金属微粒子層は、塗布後、30秒で銀微粒子層を積層した積層基板(網目状金属微粒子積層基板)を形成した。この積層基板は、網目状であり、全光線透過率は80%で、塗膜のムラが良好で「○」であり、さらに、耐モアレ性も良好であり「○」であった。   The applied metal fine particle layer formed a laminated substrate (network metal fine particle laminated substrate) in which the silver fine particle layer was laminated 30 seconds after the application. This laminated substrate was network-like, had a total light transmittance of 80%, had excellent coating unevenness and “◯”, and also had good moire resistance and “◯”.

次に、実施例1と同様に、得られた積層基板を熱処理、アセトン処理、酸処理、水洗、乾燥の順に行った。   Next, similarly to Example 1, the obtained laminated substrate was subjected to heat treatment, acetone treatment, acid treatment, water washing, and drying in this order.

この積層基板(透明導電性基板)の表面比抵抗は4Ω/□であった。
(実施例6)
二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ(株)製 ルミラー(登録商標)U46、表面ぬれ張力47mN/m)の片面にプライマーを塗布し、親水性処理を行った。親水性処理を行ったフィルムの表面ぬれ張力は、73mN/mであった。続いて、基板上の気流を排気ファンを用いて、排気することで、基板面と平行から0度の方向の気流下に置いた(この時の基板上の温度は25℃であり、湿度は40%であった)。さらに、その気流の風速を基板の幅方向で測定したところ風速の最大値が7m/秒、最小値が6m/秒であった。
The surface specific resistance of this laminated substrate (transparent conductive substrate) was 4Ω / □.
(Example 6)
A primer was applied to one side of a biaxially stretched polyethylene terephthalate film (Lumirror (registered trademark) U46 manufactured by Toray Industries, Inc., surface wetting tension 47 mN / m), and hydrophilic treatment was performed. The surface wetting tension of the film subjected to hydrophilic treatment was 73 mN / m. Subsequently, the airflow on the substrate was exhausted using an exhaust fan, and the airflow was placed in a direction of 0 degrees from parallel to the substrate surface (the temperature on the substrate at this time was 25 ° C., and the humidity was 40%). Further, when the wind speed of the air flow was measured in the width direction of the substrate, the maximum value of the wind speed was 7 m / sec and the minimum value was 6 m / sec.

この気流下で、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの親水性処理層上に金属微粒子分散液1をWET厚み30μmになるように基板にダイコート法を用いて塗布した。   Under this air stream, the metal fine particle dispersion 1 was applied on the hydrophilic treatment layer of the biaxially stretched polyethylene terephthalate film to the substrate by a die coating method so as to have a WET thickness of 30 μm.

塗布した金属微粒子層は、塗布後、15秒で銀微粒子層を積層した積層基板(網目状金属微粒子積層基板)を形成した。得られた積層フィルムを、連続して150℃のオーブンで1分間熱処理することで網目状金属微粒子積層フィルムを得た。   The coated metal fine particle layer formed a laminated substrate (network metal fine particle laminated substrate) in which the silver fine particle layer was laminated in 15 seconds after coating. The obtained laminated film was continuously heat-treated in an oven at 150 ° C. for 1 minute to obtain a reticulated metal fine particle laminated film.

この積層基板は、網目状であり、全光線透過率は81%であり、幅方向の塗膜のムラが良好で「○」であり、さらに、耐モアレ性も良好であり「○」であった。   This laminated substrate has a mesh shape, the total light transmittance is 81%, the unevenness of the coating film in the width direction is good and “◯”, and the moire resistance is also good and “◯”. It was.

次に、実施例1と同様に、得られた積層基板をアセトン処理、酸処理、水洗、乾燥の順に行った。   Next, similarly to Example 1, the obtained laminated substrate was subjected to acetone treatment, acid treatment, water washing, and drying in this order.

この積層基板(透明導電性基板)の表面比抵抗は4Ω/□であった。
(実施例7)
基板の幅方向での気流の風速の最大値が7m/秒、最小値が5m/秒であった以外は実施例6と同様に金属微粒子溶液1を塗布した。
The surface specific resistance of this laminated substrate (transparent conductive substrate) was 4Ω / □.
(Example 7)
The metal fine particle solution 1 was applied in the same manner as in Example 6 except that the maximum value of the air velocity in the width direction of the substrate was 7 m / second and the minimum value was 5 m / second.

塗布した金属微粒子層は、塗布後、15秒で銀微粒子層を積層した積層基板(網目状金属微粒子積層基板)を形成した。得られた積層フィルムを、連続して150℃のオーブンで1分間熱処理することで網目状金属微粒子積層フィルムを得た。   The coated metal fine particle layer formed a laminated substrate (network metal fine particle laminated substrate) in which the silver fine particle layer was laminated in 15 seconds after coating. The obtained laminated film was continuously heat-treated in an oven at 150 ° C. for 1 minute to obtain a reticulated metal fine particle laminated film.

この積層基板は、網目状であり、全光線透過率は79%であり、幅方向の塗膜のムラが良好で「○」であり、さらに、耐モアレ性も良好であり「○」であった。   This laminated substrate has a network shape, the total light transmittance is 79%, the unevenness of the coating film in the width direction is good and “◯”, and the moire resistance is also good and “◯”. It was.

次に、実施例1と同様に、得られた積層基板をアセトン処理、酸処理、水洗、乾燥の順に行った。   Next, similarly to Example 1, the obtained laminated substrate was subjected to acetone treatment, acid treatment, water washing, and drying in this order.

この積層基板(透明導電性基板)の表面比抵抗は4Ω/□であった。
(実施例8)
基板の幅方向での気流の風速の最大値が5.5m/秒、最小値が4m/秒であった以外は実施例6と同様に金属微粒子溶液1を塗布した。
The surface specific resistance of this laminated substrate (transparent conductive substrate) was 4Ω / □.
(Example 8)
The metal fine particle solution 1 was applied in the same manner as in Example 6 except that the maximum value of the air velocity in the width direction of the substrate was 5.5 m / sec and the minimum value was 4 m / sec.

塗布した金属微粒子層は、塗布後、20秒で銀微粒子層を積層した積層基板(網目状金属微粒子積層基板)を形成した。得られた積層フィルムを、連続して150℃のオーブンで1分間熱処理することで網目状金属微粒子積層フィルムを得た。   The coated metal fine particle layer formed a laminated substrate (network metal fine particle laminated substrate) in which the silver fine particle layer was laminated 20 seconds after the application. The obtained laminated film was continuously heat-treated in an oven at 150 ° C. for 1 minute to obtain a reticulated metal fine particle laminated film.

この積層基板は、網目状であり、全光線透過率は79%であり、幅方向の塗膜のムラが良好で「○」であり、さらに、耐モアレ性も良好であり「○」であった。   This laminated substrate has a network shape, the total light transmittance is 79%, the unevenness of the coating film in the width direction is good and “◯”, and the moire resistance is also good and “◯”. It was.

次に、実施例6と同様に、得られた積層基板をアセトン処理、酸処理、水洗、乾燥の順に行った。   Next, similarly to Example 6, the obtained laminated substrate was subjected to acetone treatment, acid treatment, water washing, and drying in this order.

この積層基板(透明導電性基板)の表面比抵抗は4Ω/□であった。
(比較例1)
基板上の気流を基板面と平行から60度の気流化にし、気流の風速を8m/秒(幅方向における最大値が8.0m/秒、最小値が7.0m/秒)にした以外は、実施例1と同様に金属微粒子溶液1を塗布した。
The surface specific resistance of this laminated substrate (transparent conductive substrate) was 4Ω / □.
(Comparative Example 1)
The airflow on the substrate was changed to 60 degrees from parallel to the substrate surface, and the airflow velocity was 8 m / sec (maximum value in the width direction was 8.0 m / sec and minimum value was 7.0 m / sec). The metal fine particle solution 1 was applied in the same manner as in Example 1.

塗布した金属微粒子層は、塗布後、10秒で銀微粒子層を積層した積層基板を形成した。この積層基板の全光線透過率は79%であり、耐モアレ性も良好であり「○」であったが、網目状につながった構造がはなれてしまい、次に、得られた積層基板を熱処理、酸処理、水洗、乾燥の順に行ったが、表面比抵抗は1×10Ω/□よりも大きかった。
(比較例2)
基板上の気流の風速を0.1m/秒(幅方向における最大値が0.1m/秒、最小値が0.08m/秒)にした以外は、実施例1と同様に金属微粒子溶液1を塗布した。
The coated metal fine particle layer formed a laminated substrate in which the silver fine particle layer was laminated 10 seconds after coating. The total light transmittance of this laminated substrate was 79%, and the moire resistance was good and “◯”. However, the structure connected to the network was peeled off, and then the obtained laminated substrate was heat treated. However, the surface resistivity was greater than 1 × 10 6 Ω / □.
(Comparative Example 2)
The metal fine particle solution 1 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the air velocity of the airflow on the substrate was 0.1 m / second (the maximum value in the width direction was 0.1 m / second and the minimum value was 0.08 m / second). Applied.

塗布した金属微粒子層は、塗布後、90秒で銀微粒子層を積層した積層基板(網目状金属微粒子積層基板)を形成した。この積層基板は、網目状であり、全光線透過率は79%で、塗膜のムラが良好で「○」でありく、さらに、耐モアレ性も良好であり「○」であった。   The applied metal fine particle layer formed a laminated substrate (network metal fine particle laminated substrate) in which the silver fine particle layer was laminated 90 seconds after the application. This laminated substrate had a mesh shape, had a total light transmittance of 79%, had excellent coating unevenness and “◯”, and also had good moire resistance and “◯”.

次に、実施例1と同様に、得られた積層基板を熱処理、アセトン処理、酸処理、水洗、乾燥の順に行った。   Next, similarly to Example 1, the obtained laminated substrate was subjected to heat treatment, acetone treatment, acid treatment, water washing, and drying in this order.

この積層基板(透明導電性基板)の表面比抵抗は4Ω/□であった。   The surface resistivity of this laminated substrate (transparent conductive substrate) was 4Ω / □.

しかし、網目状金属微粒子層を形成するのに、90秒と長時間要するため、連続プロセスへの適用不可、コストアップなど生産性の点で問題が発生してしまう。
(比較例3)
基板上の気流の風速を12.0m/秒(幅方向における最大値が12.0m/秒、最小値が11.5m/秒)にした以外は、実施例1と同様に金属微粒子溶液1を塗布した。
However, since it takes a long time of 90 seconds to form the network metal fine particle layer, problems such as inapplicability to a continuous process and an increase in cost cause problems.
(Comparative Example 3)
The metal fine particle solution 1 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the air velocity of the airflow on the substrate was 12.0 m / sec (the maximum value in the width direction was 12.0 m / sec and the minimum value was 11.5 m / sec). Applied.

塗布した金属微粒子層は、塗布後、5秒で銀微粒子層を積層した積層基板を形成した。この積層基板の全光線透過率は80%であり、耐モアレ性も良好であり「○」であったが、網目状につながった構造がはなれてしまい、次に、得られた積層基板を熱処理、酸処理、水洗、乾燥の順に行ったが、表面比抵抗は1×10Ω/□よりも大きかった。
(比較例4)
二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ(株)製 ルミラー(登録商標)U46、表面ぬれ張力47mN/m)の片面にプライマーを塗布し、親水性処理を行った。親水性処理を行ったフィルムの表面ぬれ張力は、73mN/mであった。続いて、熱風オーブン(タバイエスペック(株)製 PHH−200)内を25℃、50%RH、さらに風速目盛りを調節し、基板上の風速を5.0m/秒(幅方向における最大値が5.0m/秒、最小値が1.0m/秒)の気流下においた。この時、基板上の気流角度は、一定でなく、あらゆる方向に変化する乱流の気流であり、気流角度が0度以上±45度以内から外れる場合があった。このオーブン内で、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの親水性処理層上に金属微粒子溶液1をWET厚み30μmになるように基板に接触しないアプリケーター法を用いて塗布した。
塗布した金属微粒子層は、塗布後、20秒で銀微粒子層を積層した積層基板(網目状金属微粒子積層基板)を形成した。得られた積層フィルムを、連続して150℃のオーブンで1分間熱処理することで網目状金属微粒子積層フィルムを得た。
The coated metal fine particle layer formed a laminated substrate in which the silver fine particle layer was laminated 5 seconds after coating. The total light transmittance of this multilayer substrate was 80%, the moire resistance was good, and it was “◯”. However, the structure connected to the network was peeled off, and then the resulting multilayer substrate was heat treated. However, the surface resistivity was greater than 1 × 10 6 Ω / □.
(Comparative Example 4)
A primer was applied to one side of a biaxially stretched polyethylene terephthalate film (Lumirror (registered trademark) U46 manufactured by Toray Industries, Inc., surface wetting tension 47 mN / m), and hydrophilic treatment was performed. The surface wetting tension of the film subjected to hydrophilic treatment was 73 mN / m. Subsequently, the inside of the hot air oven (PHH-200 manufactured by Tabai Espec Co., Ltd.) is adjusted to 25 ° C., 50% RH, and the wind speed scale is adjusted to 5.0 m / sec on the substrate (the maximum value in the width direction is 5). 0.0 m / sec, with a minimum value of 1.0 m / sec). At this time, the airflow angle on the substrate is not constant and is a turbulent airflow that changes in all directions, and the airflow angle may deviate from 0 ° to ± 45 °. In this oven, the metal fine particle solution 1 was applied on the hydrophilic treatment layer of the biaxially stretched polyethylene terephthalate film using an applicator method that does not contact the substrate so as to have a WET thickness of 30 μm.
The coated metal fine particle layer formed a laminated substrate (network metal fine particle laminated substrate) in which the silver fine particle layer was laminated 20 seconds after the application. The obtained laminated film was continuously heat-treated in an oven at 150 ° C. for 1 minute to obtain a reticulated metal fine particle laminated film.

この積層基板は、網目状であり、全光線透過率は77%で、耐モアレ性も良好であり「○」であったが、塗膜のムラがあり「×」であった。   This laminated substrate was network-like, had a total light transmittance of 77%, had good moire resistance and was “◯”, but had a coating unevenness and was “x”.

次に、実施例6と同様に、得られた積層基板をアセトン処理、酸処理、水洗、乾燥の順に行った。   Next, similarly to Example 6, the obtained laminated substrate was subjected to acetone treatment, acid treatment, water washing, and drying in this order.

この積層基板(透明導電性基板)の表面比抵抗は4Ω/□であった。   The surface resistivity of this laminated substrate (transparent conductive substrate) was 4Ω / □.

実施例1、2、3、4、5、6、7、8、比較例1、2、3、4の評価を表1に示す。   Table 1 shows the evaluation of Examples 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, and 8, and Comparative Examples 1, 2, 3, and 4.

本発明の網目状金属微粒子積層基板の製造方法によれば、透明性および耐モアレ性のいずれにも優れ、生産性に優れた網目状金属微粒子積層基板を連続で塗工するプロセスに適用することができる。   According to the method for producing a reticulated metal fine particle laminate substrate of the present invention, it is applied to a process of continuously applying a reticulated metal fine particle laminate substrate having both excellent transparency and moire resistance and excellent productivity. Can do.

本発明の網目状金属微粒子積層基板を用いてなる透明導電性基板は、透明性と高いレベルの導電性を有し、耐モアレ性にも優れるので、例えば、プラズマディスプレイパネルや液晶テレビなどのフラットパネルディスプレイに好適に用いることができる。   The transparent conductive substrate using the network-like fine metal particle multilayer substrate of the present invention has transparency and a high level of conductivity, and also has excellent moire resistance. For example, a flat plate such as a plasma display panel or a liquid crystal television is used. It can be suitably used for a panel display.

1 積層基板
2 気流角度
3 糸
4 棒
5 プローブ
6 測定孔
7 気流の風速
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laminated substrate 2 Air flow angle 3 Yarn 4 Bar 5 Probe 6 Measurement hole 7 Air velocity

Claims (8)

基板の少なくとも片面に金属微粒子溶液を塗布することによって、基板上に金属微粒子層を網目状に積層する網目状金属微粒子積層基板の製造方法であって、
塗布後、基板面と平行な方向を0度として±45度以内の方向の気流下に基板を置き、さらに、該気流の風速を1.0m/秒以上10m/秒以下にすることを特徴とする、全光線透過率50%以上の網目状金属微粒子積層基板の製造方法。
A method for producing a network-like metal fine particle laminate substrate in which a metal fine particle layer is laminated in a network form on a substrate by applying a metal fine particle solution on at least one side of the substrate,
After coating, the substrate is placed in an airflow in a direction within ± 45 degrees with the direction parallel to the substrate surface being 0 degree, and the air velocity of the airflow is 1.0 m / second or more and 10 m / second or less. A method for producing a reticulated metal fine particle multilayer substrate having a total light transmittance of 50% or more.
金属微粒子溶液の塗布から気流下に基板を置いている間の温度が、10℃以上50℃以下であることを特徴とする請求項1に記載の網目状金属微粒子積層基板の製造方法。   2. The method for producing a reticulated metal fine particle laminated substrate according to claim 1, wherein the temperature during application of the metal fine particle solution to the substrate in an air stream is 10 ° C. or more and 50 ° C. or less. 基板面と平行な方向を0度として±45度以内の方向の気流下に基板を置く時間を、30秒以下とすることを特徴とする、請求項1又は2に記載の網目状金属微粒子積層基板の製造方法。   3. The network-like fine metal particle laminate according to claim 1, wherein the time for placing the substrate in an air flow in a direction within ± 45 degrees with respect to a direction parallel to the substrate surface is set to 30 seconds or less. A method for manufacturing a substrate. 基板の幅方向における気流の風速のバラツキが、風速の最大値と最小値の差で2m/秒以内であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の網目状金属微粒子積層基板の製造方法。   The mesh-like fine metal particle multilayer substrate according to any one of claims 1 to 3, wherein the variation in the wind speed of the airflow in the width direction of the substrate is within 2 m / sec as a difference between the maximum value and the minimum value of the wind speed. Manufacturing method. 請求項1〜4のいずれかに記載の方法により製造される網目状金属微粒子積層基板の金属微粒子層を、熱処理後、有機溶媒で処理し、酸で処理することを特徴とする、透明導電性基板の製造方法。   A transparent conductive material, characterized in that the metal fine particle layer of the network metal fine particle laminated substrate produced by the method according to any one of claims 1 to 4 is treated with an organic solvent after heat treatment and treated with an acid. A method for manufacturing a substrate. 請求項5に記載の製造方法により得られうる透明導電性基板。   A transparent conductive substrate obtainable by the production method according to claim 5. 表面比抵抗が30Ω/□以下であることを特徴とする、請求項6に記載の透明導電性基板。   The transparent conductive substrate according to claim 6, wherein the surface specific resistance is 30 Ω / □ or less. 請求項6又は7に記載の透明導電性基板を、電磁波シールド基板としてパネル表面に設けたことを特徴とする、プラズマディスプレイパネル。   A plasma display panel, wherein the transparent conductive substrate according to claim 6 or 7 is provided on the panel surface as an electromagnetic wave shielding substrate.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2010090158A1 (en) * 2009-02-03 2010-08-12 戸田工業株式会社 Transparent conductive film-laminated substrate and process for producing same
JP2012220833A (en) * 2011-04-12 2012-11-12 Dainippon Printing Co Ltd Optical member, surface light source device and image display device
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