JP2007225533A - 振動板の張力測定装置 - Google Patents

振動板の張力測定装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2007225533A
JP2007225533A JP2006049509A JP2006049509A JP2007225533A JP 2007225533 A JP2007225533 A JP 2007225533A JP 2006049509 A JP2006049509 A JP 2006049509A JP 2006049509 A JP2006049509 A JP 2006049509A JP 2007225533 A JP2007225533 A JP 2007225533A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diaphragm
tension
displacement
optical fiber
frequency
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006049509A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4977379B2 (ja
Inventor
Yutaka Akino
裕 秋野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Audio Technica KK
Original Assignee
Audio Technica KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Audio Technica KK filed Critical Audio Technica KK
Priority to JP2006049509A priority Critical patent/JP4977379B2/ja
Publication of JP2007225533A publication Critical patent/JP2007225533A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4977379B2 publication Critical patent/JP4977379B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Abstract

【課題】測定者の個差が介入する余地がほとんどなく、しかも騒音が存在する環境下でも、高い信頼性をもって振動板の張力を測定できるようにする。
【解決手段】被測定物である振動板11に対して所定の空隙をもって配置される駆動電極13と、投光側光ファイバー17aと受光側光ファイバー17bとを有するファイバープローブ17を含み振動板11の振動による変位を非接触で検出する光学的変位検出手段15と、光学的変位検出手段15より出力される振動板11の変位信号を所定に増幅して駆動電極13に与えて振動板を静電的に駆動する電圧増幅器14とを含むループにより、振動板11を持続的に発振させ、そのときの発振周波数を周波数カウンター19により計数して振動板11の張力を測定する。
【選択図】図1

Description

本発明は、コンデンサマイクロホンに用いられる振動板の張力を測定する振動板の張力測定装置に関し、さらに詳しく言えば、振動板を持続的に発振させた状態としてその張力を測定する技術に関するものである。
コンデンサマイクロホンは、音波により振動する振動板と固定極とを対向的に配置してなる音響−電気変換器を備えているが、一次音圧傾度型(単一指向性)コンデンサマイクロホンにおける低域限界と固定極に対する吸着安定度は振動板の張力に依存する。そのため、個々のコンデンサマイクロホンにおいて、低域限界と吸着安定度の品質を揃えるには、振動板の張力のバラツキを少なくする必要がある。
通常、振動板は大判サイズのマザーフィルムに所定の張力を加え、その上に複数個の支持リングを接着材を介して配置し、接着材の硬化をまってマザーフィルムから振動板付きの各支持リングを切り出すことにより作製される。本明細書において、支持リングに振動板を張設したものを振動板ユニットということがある。
汎用のコンデンサマイクロホン用途の振動板ユニットについては、一般的に振動板ユニットの状態で個々の張力測定は行われないが、特に音質が重視される例えばスタジオ用コンデンサマイクロホンなどの場合には、高い性能と音質の個差が少ないことが要求される(個差の許容範囲は概ね10%以内に指定される)。
従来において、振動板の張力測定方法には、大別して、音波で振動板を振動させてその振幅を測定する方法と、交番磁界により振動板を振動させてそのとき放射される音波のレベルを検出する方法とが知られているが、いずれの方法においても基本的には振動板を駆動する周波数を調整して、最大の振幅と音の大きさで共振周波数を測定する。
この共振周波数を測定するにあたって、通常、上記駆動周波数の調整にはスイープ発振器が用いられ、スイープ発振器を操作しながらオシロスコープなどでレベルを確認し、レベルが最大を示すときの周波数を読み取るようにしている。
しかしながら、スイープ発振器を操作するとき、周波数を低い方から高い方にスイープすると読み取り値が真値より高めになり、反対に周波数を高い方から低い方にスイープする場合には読み取り値が真値よりも低めになることがある。また、この操作による誤差はスイープする速度にも依存するため、概して測定の信頼性が低いという問題がある。
そこで、この問題を解決するため、本出願人は、支持リングに張設されている振動板(被測定物)に対して所定の空隙をもって配置される駆動電極と、上記振動板から放射される音波を収音する測定用マイクロホンと、上記測定用マイクロホンから出力されるマイク出力信号を増幅して上記駆動電極に与えて上記振動板を静電的に駆動する電圧増幅器と、上記マイク出力信号の周波数を計測する周波数カウンターとを備えた振動板の張力測定装置を特願2004−286152として出願している。
この特願2004−286152による先願発明によれば、振動板から放射される音波による測定用マイクロホンのマイク出力信号が電圧増幅器を介して駆動電極に与えられるループが形成され、これによりマイクロホンとスピーカがハウリングを起こす状態に似た方法で振動板が持続的に発振する。
このとき、振動板の張力が高い場合には高い周波数で発振し、振動板の張力が低い場合には低い周波数で発振するため、その発振周波数を周波数カウンターで読むことにより振動板の張力を測定することができる。したがって、従来例のようにスイープ発振器を人手によって操作する必要がないため、測定値に測定者の個差が介入する余地がほとんどなく、信頼性の高い測定を行うことができる。
上記先願発明では、振動板から放射される音波をマイクロホンにて収音するため、周囲がきわめて静かな環境であれば特に問題はない。しかしながら、騒音が多い環境下で測定を行う場合には、その騒音によって振動板から放射される音波がかき消されてしまうことがあるため、測定が困難になる。
振動板から放射される音波を大きくすれば、騒音が多い環境下でも振動板の張力を測定することができる。しかしながら、この場合には駆動電極から振動板により大きな交番磁界を与える必要があるため、その交番磁界の大きさによっては、駆動電極と振動板との間で火花放電が発生し、振動板を焼損させてしまうことがあるので、好ましい解決策とは言えない。
したがって、本発明の課題は、測定者の個差が介入する余地がほとんどなく、しかも騒音が存在する環境下でも、高い信頼性をもって振動板の張力を測定できるようにすることにある。
上記課題を解決するため、請求項1に記載の発明は、支持リングに張設された状態で固定極と対向的に配置されるコンデンサマイクロホン用の振動板の張力を測定する振動板の張力測定装置において、被測定物である上記振動板に対して所定の空隙をもって配置される駆動電極と、投光側光ファイバーと受光側光ファイバーとを有するファイバープローブを含み上記振動板の振動による変位を非接触で検出する光学的変位検出手段と、上記光学的変位検出手段より出力される上記振動板の変位信号を所定に増幅して上記駆動電極に与えて上記振動板を静電的に駆動する電圧増幅器と、上記振動信号の周波数を計測する周波数カウンターとを備えいることを特徴としている。
請求項2に記載の発明は、上記請求項1において、上記駆動電極に単一指向性コンデンサマイクロホンユニット用の音孔を有する固定極が用いられ、上記ファイバープローブが上記固定極の音孔に挿通されていることを特徴としている。
請求項3に記載の発明は、上記請求項1または2において、上記電圧増幅器の入力前段に上記振動板の変位信号の振幅を所定範囲内に抑えるコンプレッサー回路が接続されていることを特徴としている。
請求項1に記載の発明によれば、駆動電極からの交番磁界により振動板が振動し、その機械的変位が投光側光ファイバーと受光側光ファイバーとを有するファイバープローブを含む光学的変位検出手段にて電気信号として検出され、その電気信号(変位信号)が電圧増幅器を介して駆動電極に与えられるループが形成され、これにより振動板が持続的に発振することになる。このとき、振動板の張力が高い場合には高い周波数で発振し、振動板の張力が低い場合には低い周波数で発振するため、その発振周波数を周波数カウンターで読むことにより振動板の張力を測定することができる。したがって、従来例のようにスイープ発振器を人手によって操作する必要がないため、測定値に測定者の個差が介入する余地がほとんどなく、しかも騒音が存在する環境下でも、信頼性の高い測定を行うことができる。
駆動電極に単一指向性コンデンサマイクロホンユニット用の音孔を有する固定極を用い、ファイバープローブを固定極の音孔に挿通するようにした請求項2に記載の発明によれば、実使用状態とほぼ同じ状態で振動板の張力を測定することができる。
電圧増幅器の入力前段に振動板の変位信号の振幅を所定範囲内に抑えるコンプレッサー回路を接続するようにした請求項3に記載の発明によれば、駆動電極に駆動電極と振動板との間で火花放電が発生するような過大な信号が加えられることがないため、振動板の焼損を防止することができる。
次に、図1,図2により本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。図1は本発明による振動板の張力測定装置の構成を示す模式的なブロック図で,図2は本発明の好ましい別の実施形態の要部を示す模式的な断面図である。
図1に示すように、この張力測定装置において、振動板11は支持リング12に張設された振動板ユニット10の状態でその張力が測定される。振動板11には、通常、金属蒸着膜を有する合成樹脂フィルムや金属箔が用いられるが、張力測定にあたっては支持リング12を介して当該装置のアースに接続される。
この張力測定装置は、基本的な構成として、振動板11と所定の空隙をもって対向的に配置される駆動電極13と、駆動電極13に振動板駆動電圧を与える電圧増幅器(パワーアンプ)14と、振動板11の振動に伴う機械的変位を非接触で検出する光学的変位検出手段15と、光学的変位検出手段15から出力される電気信号(振動板11の変位信号)の周波数を計数する周波数カウンター18とを備えている。
なお、駆動電極13にコンデンサマイクロホンに組み込まれる図示しない固定極を用いることもできる。すなわち、振動板11と固定極とを組み合わせたコンデンサマイクロホンユニットの状態でも振動板11の張力を測定することができる。
光学的変位検出手段15は、測定器本体16とファイバープローブ17とを備える。測定器本体16には、発光ダイオードなどからなる投光器16aと、フォトダイオードなどからなる受光器16bとが含まれており、受光器16bから図示しない所定の信号処理回路を介して電気信号が出力される。
なお、この種の光学的変位検出手段15には、市販されているものとして例えば株式会社サンテクノ社製の光ファイバー式非接触変位計「オプトメトリックOM−10型(商品名)」を挙げることができる。
ファイバープローブ17には、投光器16aに光学的に接続される投光側光ファイバー17aと、受光器16bに光学的に接続される受光側光ファイバー17bとが含まれ、この例では、それの各先端部が振動板11の反駆動電極側で振動板11と非接触で対向的に配置される。
なお、作図の都合上、投光側光ファイバー17aと受光側光ファイバー17bは、それぞれ1本として描かれているが、実際には多数本のファイバー束からなる。また、多数本のファイバー束からなる投光側光ファイバー17aと受光側光ファイバー17bとを同一のシース内に混在させてもよい。
振動板11は、金属蒸着膜を有する合成樹脂フィルムや金属箔で光反射性を有しているため、投光器16aより投光側光ファイバー17aを介して照射された光は振動板11にて反射され、その反射光が受光側光ファイバー17bを介して受光器16bに入射される。
受光器16bでの受光量は、受光側光ファイバー17bの先端部と振動板11との距離,すなわち振動板11の変位に比例する。したがって、振動板11が振動すると、受光器16bから振動板11の変位信号(振動信号)が出力される。
この例において、受光器16bから出力される振動板11の変位信号は、コンプレッサー回路18を介して電圧増幅器14に入力される。電圧増幅器14は、振動板11の変位信号を所定に増幅した電圧として駆動電極13に印加し、交番磁界を発生させて振動板11を駆動する。
このループにより、振動板11が持続的に発振するが、その際の振幅条件は電圧増幅器14の増幅度に依存し、位相条件は振動板ユニット10の音響機械系に依存するが中でも振動板11の張力に大きく依存するため、振動板11の張力が高い場合には高い周波数で発振し、振動板11の張力が低い場合には低い周波数で発振する。
受光器16bから出力される振動板11の変位信号は、上記発振周波数をもつことから振動板11の変位信号の周波数を周波数カウンター19で計数することにより、振動板11の張力を測定者の個差を介入することなく正確に測定することができる。
この場合、振動板11の変位信号は、振動板11の変位のみに反応し、周囲の騒音には反応しないため、周囲の騒音に干渉されることなく測定することができる。また、ファイバープローブ17は非導電性であるため、振動板11との間で放電が発生することもない。さらには、振動板11を低い交番電圧で駆動すればよいため、作業者の感電事故も防止することができる。
図1の例において、周波数カウンター19は電圧増幅器14の入力側に接続されているが、例えば電圧増幅器14の出力側もしくは測定器本体16の出力側(コンプレッサー回路18の入力側)などに接続されてもよい。
なお、コンプレッサー回路18は、振動板11の変位信号の振幅を所定範囲内に抑える回路で、振動板11が大振幅によって駆動され駆動電極13に接触して火花放電により焼損することを防止するために設けられている。
次に、図2により本発明の別の実施形態について説明する。この実施形態では、上記駆動電極13として、単一指向性コンデンサマイクロホン用の固定極13aを用いる。
この固定極13aには、図示しない後部音響端子からの音波を振動板11の背面側に作用させるための音孔13bが穿設されているため、その音孔13bに投光側光ファイバー17aと受光側光ファイバー17bとを含むファイバープローブ17の先端を挿通する。
この別の実施形態においても、振動板11の張力測定は図1の実施形態と同様にして行われるが、駆動電極13側で振動板11の張力を測定するため、実使用状態,すなわち振動板ユニット10と固定極13aとを組み立てた場合とほぼ同じ状態で振動板の張力を測定することができる。
本発明による振動板の張力測定装置の構成を示す模式的なブロック図。 本発明の好ましい別の実施形態の要部を示す模式的な断面図。
符号の説明
10 振動板ユニット
11 振動板
12 支持リング
13 駆動電極
13a 固定極
13b 音孔
14 電圧増幅器
15 光学的変位検出手段
16 測定器本体
16a 投光器
16b 受光器
17 ファイバープローブ
17a 投光側光ファイバー
17b 受光側光ファイバー
18 コンプレッサー回路
19 周波数カウンター

Claims (3)

  1. 支持リングに張設された状態で固定極と対向的に配置されるコンデンサマイクロホン用の振動板の張力を測定する振動板の張力測定装置において、
    被測定物である上記振動板に対して所定の空隙をもって配置される駆動電極と、投光側光ファイバーと受光側光ファイバーとを有するファイバープローブを含み上記振動板の振動による変位を非接触で検出する光学的変位検出手段と、上記光学的変位検出手段より出力される上記振動板の変位信号を所定に増幅して上記駆動電極に与えて上記振動板を静電的に駆動する電圧増幅器と、上記振動信号の周波数を計測する周波数カウンターとを備えいることを特徴とする振動板の張力測定装置。
  2. 上記駆動電極に単一指向性コンデンサマイクロホンユニット用の音孔を有する固定極が用いられ、上記ファイバープローブが上記固定極の音孔に挿通されていることを特徴とする請求項1に記載の振動板の張力測定装置。
  3. 上記電圧増幅器の入力前段に上記振動板の変位信号の振幅を所定範囲内に抑えるコンプレッサー回路が接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載の振動板の張力測定装置。
JP2006049509A 2006-02-27 2006-02-27 振動板の張力測定装置 Expired - Fee Related JP4977379B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006049509A JP4977379B2 (ja) 2006-02-27 2006-02-27 振動板の張力測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006049509A JP4977379B2 (ja) 2006-02-27 2006-02-27 振動板の張力測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007225533A true JP2007225533A (ja) 2007-09-06
JP4977379B2 JP4977379B2 (ja) 2012-07-18

Family

ID=38547479

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006049509A Expired - Fee Related JP4977379B2 (ja) 2006-02-27 2006-02-27 振動板の張力測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4977379B2 (ja)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62159004A (ja) * 1986-01-08 1987-07-15 Isuzu Motors Ltd 光フアイバ−による変位測定装置
JPS6311826A (ja) * 1986-03-14 1988-01-19 Nippon Soken Inc ベルト張力測定装置
JPS6410103A (en) * 1987-07-03 1989-01-13 Mitsubishi Cable Ind Ltd Optical displacement sensor
JPH01167624A (ja) * 1987-12-24 1989-07-03 Canon Inc 張力測定装置及び張力測定方法
JPH0226891U (ja) * 1988-08-08 1990-02-21
JPH02131638U (ja) * 1989-04-05 1990-11-01
JP2004343377A (ja) * 2003-05-15 2004-12-02 Audio Technica Corp コンデンサマイクロホン用振動板の張力調整方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62159004A (ja) * 1986-01-08 1987-07-15 Isuzu Motors Ltd 光フアイバ−による変位測定装置
JPS6311826A (ja) * 1986-03-14 1988-01-19 Nippon Soken Inc ベルト張力測定装置
JPS6410103A (en) * 1987-07-03 1989-01-13 Mitsubishi Cable Ind Ltd Optical displacement sensor
JPH01167624A (ja) * 1987-12-24 1989-07-03 Canon Inc 張力測定装置及び張力測定方法
JPH0226891U (ja) * 1988-08-08 1990-02-21
JPH02131638U (ja) * 1989-04-05 1990-11-01
JP2004343377A (ja) * 2003-05-15 2004-12-02 Audio Technica Corp コンデンサマイクロホン用振動板の張力調整方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP4977379B2 (ja) 2012-07-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101825363B1 (ko) 진동막의 고유 주파수 획득 방법 및 시스템
CN101480068A (zh) 电声换能器
JPS5847026B2 (ja) 音響放射変換器の較正方法
Katalin Studying noise measurement and analysis
TWI548283B (zh) 密封驗證方法、密封偵測裝置以及密封品質測量系統
CN103813258B (zh) 获取振膜顺性的方法及系统
JP2011237198A (ja) 異常音検出器及び異常音検出器を用いた電源ユニット検査装置
JP4977379B2 (ja) 振動板の張力測定装置
JP2012185096A (ja) 状態判定装置
WO2001014825A1 (en) Method and apparatus for remote measurement of vibration and properties of objects
JP2008283564A (ja) ヘッドホンユニットの検査方法
RU2593444C1 (ru) Способ и устройство для измерения параметров вибрации наконечника ультразвукового волновода
CN211656387U (zh) 一种mems结构的测量系统
US20200404430A1 (en) Device for Sensing a Motion of a Deflective Surface
JP2007329739A (ja) 膜スチフネス測定装置及び測定方法
JP2006098277A (ja) 振動板の張力測定装置
Tveten et al. A high frequency fiber optic hydrophone
JP2012251826A (ja) 水中送波器の検査装置及び検査方法
US11239825B1 (en) Micromechanical device and related methods
JP2009192413A (ja) 振動板の張力測定方法およびその装置
FR3125330A1 (fr) Dispositif d'émission et/ou détection d'ondes acoustiques à fréquence de résonnance variable
KR101692255B1 (ko) 간섭계를 이용한 마이크로폰
KR101388601B1 (ko) 음향 측정 장치
JP2009069043A (ja) 振動板の張力測定方法
RU2101722C1 (ru) Устройство для определения уровня собственной помехи параметрической приемной антенны

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090226

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111116

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120112

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120321

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120416

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150420

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees