JP2007222978A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007222978A JP2007222978A JP2006045538A JP2006045538A JP2007222978A JP 2007222978 A JP2007222978 A JP 2007222978A JP 2006045538 A JP2006045538 A JP 2006045538A JP 2006045538 A JP2006045538 A JP 2006045538A JP 2007222978 A JP2007222978 A JP 2007222978A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- rotating body
- magnetic pole
- support shaft
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】回転ドラム5の内部に、回転ドラム表面に磁気吸引力を作用する一対のヨーク片16、18が回転ドラム5の内周面と近接して対向する位置まで延設された一対の磁極部を備え、該一対の磁極部が軸方向位置を相対的に可変に設けられる。
【選択図】図1
Description
そこで、本件出願人は、磁性流体に影響を及ぼす磁気回路を維持したまま簡易な構成でヨークの位置を変更し得ることを見出して本願発明をするに至った。
基台に支持された支持軸を中心に回転可能に支持された回転体表面に磁性流体に砥粒を混入した磁性スラリーが供給され、磁気吸引力により回転体周面に担持されたままワークが押し当てられる加工領域へ搬送され、加工後の磁性スラリーが回転体表面より分離して回収される研磨装置において、前記回転体の内部に、回転体表面に磁気吸引力を作用する一対のヨーク片が回転体の内周面と近接して対向する位置まで延設された一対の磁極部を備え、前記一対の磁極部が軸方向位置を相対的に可変に設けられることを特徴とする。
また、少なくとも一方の磁極部には磁束を発生するリング状のマグネットと、該マグネットの両側を挟み込む一対のリング状のヨーク片を備え、マグネットから発生した磁束が支持軸を磁束通路として利用して一対のヨーク片を通じて回転体表面に磁気吸引力を作用する磁気回路が形成されることを特徴とする。
また、支持軸はその両端側を、基台に設けられた支持部に組み付けられたスリーブにスライド可能に支持されており、当該支持軸を回転させると一方の磁極部が支持軸と共に軸方向に移動することを特徴とする。
また、前記回転体の内部に、リング状のマグネットが両側を一対のリング状のヨーク片に挟み込まれ一方側のヨーク片の外周面部を回転体の内周面と近接して対向する位置まで各々延設された固定磁極部と可動磁極部が同心状に設けられており、固定磁極部は支持軸に対して軸方向位置が固定されて組み付けられ、可動磁極部は回転体内で軸方向位置を変更可能に設けられていることを特徴とする。
特に、マグネットから発生した磁束が支持軸を磁束通路として利用して一対のヨーク片を通じて回転体表面に磁気吸引力を作用する磁気回路が形成されると、磁気回路を変更せずに少なくともいずれか一方の磁極部の移動だけで回転体周面に担持した磁性スラリーの帯幅を変更できるので、装置の大幅な改変を伴うことなく、加工領域を拡大縮小することができる。
図1及び図2を参照して、研磨装置の概略構成について説明する。
図1において、基台1には両側に支持部2が立設されている。この支持部2には、スリーブ3とスリーブ4が回転可能に支持されている。スリーブ3及びスリーブ4は回転ドラム5の両側に一体に組み付けられている。回転スリーブ3には、駆動プーリ6が一体に嵌め込まれている。駆動プーリ6は図示しない回転ベルトを介してモータ軸に設けられたモータプーリと連繋している。
ヨーク片16は、回転ドラム5の内壁面近傍で対向する外径サイズに形成され、リング状のマグネット15と同径の中心孔を持つように形成されている。このヨーク片16の端面が磁束作用面となる。ヨーク片17は、マグネット15の外径サイズと同等サイズに形成されている。マグネット15には、リング状の永久磁石、例えば希土類磁石(ネオジウム−鉄−ボロン)が用いられる。
図2において、回転ドラム5を回転させると、磁性スラリー9が帯状に連なって搬送ベルト7に担持されてワーク加工領域を通過して搬送されるようになっている。また、図3及び図4に示すように、調整ダイヤル13を回すと、支持軸11が軸方向に移動するので、ヨーク片18も一体となって移動する。よって、磁気回路を変更することなく磁性スラリー9の軸方向の幅を拡大縮小することができる。
また、第2の磁極部であるヨーク片18を軸方向へ移動可能に設けたが、第1の磁極部である磁極部14を移動可能としても、或いは双方移動可能になっていてもよい。
また、可動側であるヨーク片18はねじ軸による移動に限らず、リンク機構を利用した移動機構を採用することも可能である。
次に研磨装置の他例について図5乃至図7を参照して説明する。
第1実施例と同一部材には同一番号を付して説明を援用するものとする。本実施例は、第1、第2の磁極部19、20にリング状のマグネット21、24を用いた構成例を示す。
図5において、スリーブ3、4は回転ドラム5の両側に一体に組み付けられている。スリーブ3には、駆動プーリ6が一体に組み付けられている。駆動プーリ6は図示しない回転ベルトを介してモータ軸に設けられたモータプーリと連繋している。駆動プーリ6が回転するとスリーブ3、4は回転ドラム5と一体となって回転する。このため、搬送ベルト7やガイドローラ8a、8bは省略されている。また、支持部2には、回転ドラム5と支持軸11との干渉を回避するためのスペーサー27が設けられている。支持軸11及びスペーサー27には磁性材料が用いられる。
2 支持部
3、4 スリーブ
5 回転ドラム
6 駆動プーリ
7 搬送ベルト
8a、8b ガイドローラ
9 磁性スラリー
10 スクレイパー
11 支持軸
12 ねじ部
13 調整ダイヤル
14 第1の磁極部
15、21、24 マグネット
16、17、22、23、25、26 ヨーク片
18 第2の磁極部(ヨーク片)
19 固定磁極部
20 可動磁極部
27 スペーサー
Claims (4)
- 基台に支持された支持軸を中心に回転可能に支持された回転体表面に磁性流体に砥粒を混入した磁性スラリーが供給され、磁気吸引力により回転体周面に担持されたままワークが押し当てられる加工領域へ搬送され、加工後の磁性スラリーが回転体表面より分離して回収される研磨装置において、
前記回転体の内部に、回転体表面に磁気吸引力を作用する一対のヨーク片が回転体の内周面と近接して対向する位置まで延設された一対の磁極部を備え、前記一対の磁極部が軸方向位置を相対的に可変に設けられることを特徴とする研磨装置。 - 少なくとも一方の磁極部には磁束を発生するリング状のマグネットと、該マグネットの両側を挟み込む一対のリング状のヨーク片を備え、マグネットから発生した磁束が支持軸を磁束通路として利用して一対のヨーク片を通じて回転体表面に磁気吸引力を作用する磁気回路が形成されることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
- 支持軸はその両端側を、基台に設けられた支持部に組み付けられたスリーブにスライド可能に支持されており、当該支持軸を回転させると一方の磁極部が支持軸と共に軸方向に移動することを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
- 前記回転体の内部に、リング状のマグネットが両側を一対のリング状のヨーク片に挟み込まれ一方側のヨーク片の外周面部を回転体の内周面と近接して対向する位置まで各々延設された固定磁極部と可動磁極部が同心状に設けられており、
固定磁極部は支持軸に対して軸方向位置が固定されて組み付けられ、可動磁極部は回転体内で軸方向位置を変更可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006045538A JP2007222978A (ja) | 2006-02-22 | 2006-02-22 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006045538A JP2007222978A (ja) | 2006-02-22 | 2006-02-22 | 研磨装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007222978A true JP2007222978A (ja) | 2007-09-06 |
Family
ID=38545258
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006045538A Pending JP2007222978A (ja) | 2006-02-22 | 2006-02-22 | 研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007222978A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114434311A (zh) * | 2022-01-19 | 2022-05-06 | 杨康 | 一种生产轴承用轴承圈抛光系统及其使用方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5616066A (en) * | 1995-10-16 | 1997-04-01 | The University Of Rochester | Magnetorheological finishing of edges of optical elements |
JP2000233359A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-08-29 | Qed Technologies Inc | 磁気流体による基板仕上げ装置 |
US20030060020A1 (en) * | 2000-10-12 | 2003-03-27 | Silicon Evolution, Inc. | Method and apparatus for finishing substrates for wafer to wafer bonding |
-
2006
- 2006-02-22 JP JP2006045538A patent/JP2007222978A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5616066A (en) * | 1995-10-16 | 1997-04-01 | The University Of Rochester | Magnetorheological finishing of edges of optical elements |
JP2000233359A (ja) * | 1999-01-06 | 2000-08-29 | Qed Technologies Inc | 磁気流体による基板仕上げ装置 |
US20030060020A1 (en) * | 2000-10-12 | 2003-03-27 | Silicon Evolution, Inc. | Method and apparatus for finishing substrates for wafer to wafer bonding |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114434311A (zh) * | 2022-01-19 | 2022-05-06 | 杨康 | 一种生产轴承用轴承圈抛光系统及其使用方法 |
CN114434311B (zh) * | 2022-01-19 | 2022-12-30 | 揭阳市恒成粉末冶金有限公司 | 一种生产轴承用轴承圈抛光系统及其使用方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2017211082A1 (zh) | 一种集群动态磁场控制抛光垫刚度的双面抛光装置及方法 | |
KR970008393A (ko) | 반도체 웨이퍼 제조방법, 그 방법에 사용되는 연삭방법 및 이에 사용되는 장치 | |
JPH09213772A (ja) | 基板保持装置 | |
CN108311961B (zh) | 一种环流静压式磁流变抛光装置 | |
JP2009045679A (ja) | 研磨装置 | |
WO2017028824A1 (zh) | 磁流变抛光设备的磁场发生装置 | |
KR20090009605A (ko) | 다중 휠 타입 자기유변유체 연마장치 | |
JP2004358627A (ja) | 3軸制御型の平面加工装置 | |
JP3761791B2 (ja) | 曲がり管内面の磁気援用研磨方法およびその装置 | |
JP2007222978A (ja) | 研磨装置 | |
TW200301179A (en) | Grooved rollers for a linear chemical mechanical planarization system | |
US20080051008A1 (en) | Apparatus and method for chemical mechanical polishing with improved uniformity | |
JP5663733B2 (ja) | 平面両面仕上げ方法及び平面両面仕上げ装置 | |
CN105729250B (zh) | 一种自修整磁流变柔性抛光砂轮及其磨抛方法 | |
JP2007216326A (ja) | 研磨装置 | |
JP5275788B2 (ja) | 湿式研削装置およびそのための研削砥石セグメント | |
JP3434003B2 (ja) | 磁力による表面処理装置 | |
JP2006224267A (ja) | 管内研削装置、管内研削方法 | |
JPH07136925A (ja) | 研磨方法および研磨装置 | |
JPH05329766A (ja) | 容器内面を磁気研磨する方法及び装置 | |
KR102031145B1 (ko) | 연마 장치 | |
JP2512364B2 (ja) | 筒状の被加工物の内面研磨方法および装置 | |
JP2022162416A (ja) | 表面処理装置 | |
JP2648675B2 (ja) | 非磁性管の内面研磨方法及び内面研磨装置 | |
JP2002025951A (ja) | 両面加工装置及びその研磨手段のツルーイング方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110421 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110426 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110622 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111004 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120214 |