JP2007220700A5 - - Google Patents
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- 210000002381 Plasma Anatomy 0.000 claims 2
Claims (1)
- 請求項５記載のプラズマ発生装置を備え、
前記生成された前記プラズマによって被処理物のプラズマ処理を実施可能としたことを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006036026A JP4883556B2 (ja) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | マイクロ波透過窓、マイクロ波プラズマ発生装置及びマイクロ波プラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006036026A JP4883556B2 (ja) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | マイクロ波透過窓、マイクロ波プラズマ発生装置及びマイクロ波プラズマ処理装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007220700A JP2007220700A (ja) | 2007-08-30 |
| JP2007220700A5 true JP2007220700A5 (ja) | 2009-04-02 |
| JP4883556B2 JP4883556B2 (ja) | 2012-02-22 |
Family
ID=38497693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006036026A Expired - Fee Related JP4883556B2 (ja) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | マイクロ波透過窓、マイクロ波プラズマ発生装置及びマイクロ波プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4883556B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP3155199B2 (ja) * | 1996-04-12 | 2001-04-09 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
| JP2000012291A (ja) * | 1998-06-22 | 2000-01-14 | Sumitomo Metal Ind Ltd | プラズマ処理装置 |
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-
2006
- 2006-02-14 JP JP2006036026A patent/JP4883556B2/ja not_active Expired - Fee Related
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