JP2007216429A5 - - Google Patents
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- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006037136A JP4702553B2 (ja) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | 液体噴射ヘッドの圧電素子部分の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006037136A JP4702553B2 (ja) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | 液体噴射ヘッドの圧電素子部分の形成方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007216429A JP2007216429A (ja) | 2007-08-30 |
| JP2007216429A5 true JP2007216429A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 2009-01-08 |
| JP4702553B2 JP4702553B2 (ja) | 2011-06-15 |
Family
ID=38494212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006037136A Expired - Fee Related JP4702553B2 (ja) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | 液体噴射ヘッドの圧電素子部分の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4702553B2 (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5265163B2 (ja) * | 2007-09-27 | 2013-08-14 | 富士フイルム株式会社 | 圧電デバイスおよび液体吐出ヘッド |
| JP5196184B2 (ja) | 2009-03-11 | 2013-05-15 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター |
| JP5573251B2 (ja) | 2010-03-10 | 2014-08-20 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエーターの製造方法 |
| JP2012166418A (ja) * | 2011-02-14 | 2012-09-06 | Seiko Epson Corp | 圧電素子 |
| JP7559357B2 (ja) * | 2020-05-27 | 2024-10-02 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、吐出ユニット、液体を吐出する装置、貼り合わせ基板 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0736208B2 (ja) * | 1985-09-12 | 1995-04-19 | セイコーエプソン株式会社 | 磁気ヘッドの製造方法 |
| JP3192757B2 (ja) * | 1992-06-26 | 2001-07-30 | キヤノン株式会社 | 記録ヘッド用基体、インクジェット記録ヘッド用基体、インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録装置およびインクジェット記録ヘッド用基体の製造方法 |
| JP4461783B2 (ja) * | 2003-11-21 | 2010-05-12 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドの製造方法 |
| JP2005183509A (ja) * | 2003-12-17 | 2005-07-07 | Nec Corp | 薄膜トランジスタ及びその製造方法 |
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2006
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