JP2007214196A - 多層構造体およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡潔な工程で安定して製造することができる多層構造体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】金属基板1上に、基板表面の金属原子をアルカリ金属原子で一原子層以上置換した埋込み層2を介して、前記アルカリ金属原子が1原子層以上積層された表面層3を備えて、仕事関数φを3eV以下とした多層構造体。アルカリ金属原子として、Rbを用いることができ、金属基板1として、Cu、Niまたはそれらの合金を用いることができる。当該多層構造体は、金属基板1上に、アルカリ金属原子の化合物粒子を微細分散させた付着層を形成した後、この付着層に高エネルギービームを照射することにより製造することができる。
【選択図】図3
Description
本発明は、仕事関数を低めて熱電子放出性能を高めた多層構造体およびその製造方法に関するものである。
近年は、CO2ガスなどによる地球温暖化の問題が重要視されている。この問題をできるだけ抑止するために、自動車産業においては、エンジン性能向上や車体軽量化などによる燃費向上に加え、特許文献1に開示されているように、車載燃焼器からの排熱を電気エネルギーに変換して利用することが試みられている。この車載燃焼器は、高温側系統と低温側系統との間に発電装置を備えている。
熱エネルギーを電気エネルギーに変換する発電装置として熱電子発電装置(TEC)が知られている。この装置は、内部に熱電気変換素子が直列、並列などに配列されている。熱電子変換素子は、金属中の自由電子が仕事関数φ以上の熱エネルギーを付与されると熱電子として金属の外部に放出される現象を利用して、熱エネルギーを電気エネルギーに変換するものである。したがって、熱電子発電装置に要求される高い仕事放出効率を確保するためには、熱電子変換素子の仕事関数φが低いことが重要である。
仕事関数を低めた熱電子変換素子として、特許文献2に開示されたものがある。この熱電子変換素子は、基板表面にB、C、Nなどからなる中間層を介して、この上にLiまたはNaの1原子層または2原子層からなる表層を備えた多層構造体である。LiやNaは潮解性などの活性が高いので空気中で取り扱いにくく、金属単体では安定して多層構造体を製造することができない。さらに、中間層を形成してLi、NaをB、C、Nなどと化学結合させる必要があったので、多層構造体の製造工程が複雑で安全対策を講じる必要があるなど煩わしいものとなるという問題があった。
特開2004−314904号公報 (図1)
特開2005−228935号公報 (図1)
本発明は、上記した従来の問題点に鑑み、簡潔な工程で安定して製造することができる多層構造体およびその製造方法を提供することを課題とする。
上記の課題を解決するためになされた本発明の多層構造体は、金属基板上に、基板表面の金属原子をアルカリ金属原子で一原子層以上置換した埋込み層を介して、前記アルカリ金属原子が1原子層以上積層された表面層を備えて、仕事関数を3eV以下としたことを特徴とするものである。
上記した発明において、アルカリ金属原子として、Rbを用いるのが望ましい。また、金属基板として、Cuまたはその合金、あるいはNiまたはその合金を用いることができる。
また、本発明の多層構造体の製造方法は、金属基板上に、アルカリ金属原子の化合物粒子を微細分散させた付着層を形成した後、この付着層に高エネルギービームを照射することにより、請求項1に記載の多層構造体を製造することを特徴とするものである。
本発明に係る多層構造体は、アルカリ金属としてRb化合物を用いるので、安定して製造することができる。即ち、当該多層構造体の製造方法は、転写原料として炭酸ルビジウムなどのRb化合物を用いるので、Rbの潮解を防止して熱電子放出性能に優れた多層構造体を安定して製造できるという大きな利点がある。
以下に、本発明の実施形態について詳細に説明する。
図1は、本発明に係る多層構造体の開発プロセスを説明する開発フロー図である。
先ず、アルカリ金属の多層原子層を形成するのに適した金属基板を設定したうえに、この基板に対応させて多層原子層を形成するための原子種を選定する。そして、これらを組み合わせて第1原理分子動力学計算法によるバンド計算を行って、仕事関数φを求める。その結果、低い計算値が得られた組み合わせのものについて候補元素の化合物を表面に分散塗布させ、イオン転写法、イオン注入法などにより試料を作成する。作成した試料を光電子法、熱電子法などの方法により仕事関数φを求めて確認する。以上の一連の工程を繰り返すことによって、より低い仕事関数φを有する多層構造体を開発することができる。
図1は、本発明に係る多層構造体の開発プロセスを説明する開発フロー図である。
先ず、アルカリ金属の多層原子層を形成するのに適した金属基板を設定したうえに、この基板に対応させて多層原子層を形成するための原子種を選定する。そして、これらを組み合わせて第1原理分子動力学計算法によるバンド計算を行って、仕事関数φを求める。その結果、低い計算値が得られた組み合わせのものについて候補元素の化合物を表面に分散塗布させ、イオン転写法、イオン注入法などにより試料を作成する。作成した試料を光電子法、熱電子法などの方法により仕事関数φを求めて確認する。以上の一連の工程を繰り返すことによって、より低い仕事関数φを有する多層構造体を開発することができる。
本発明においては、金属基板として多結晶の金属CuまたはCu合金を用いることができるし、金属基板として多結晶の金属NiまたはNi合金を用いることができる。これらの金属または合金を使用した場合には、機械加工しやすく低コストにして安定して仕事関数φの低い多層構造体を得ることができる。
また、本発明においては、多層原子層を形成するアルカリ金属原子として、Rbを用いることができる。Rbは、金属単体で仕事関数φが2.0eVと低いので、仕事関数φが低い多層構造体を得るのに適しているからである。Rbを提供する転写原料として、炭酸ルビジウム、塩化ルビジウム、酢酸ルビジウム、臭化ルビジウム、水酸化ルビジウム−水和物、塩素酸ルビジウム、硫酸ルビジウムなどのRb化合物を1種または2種以上用いることができるが、特に炭酸ルビジウムを用いるのが好ましい。Rb化合物を用いることによって、金属Rbが有する空気との高い活性を回避することが可能となる。
本発明に係る多層構造体の製造方法を、図2に示す製造フロー図により説明する。
初めに、金属基板を準備する。次いで、炭酸ルビジウムをアセトン、トリクレンなどのH2Oを溶かしにくい有機溶媒中に混合して、超音波振動発生器などにより微細分散させた懸濁液を準備する。有機溶媒と炭酸ルビジウムとの混合割合は、例えば、アセトン20mlに対して炭酸ルビジウム1.0gとすることができる。超音波振動発生器による微細分散は、周波数45kHz、時間15分として行うことができる。そして、この懸濁液を金属基板の表面に滴下した後に、乾燥する。
初めに、金属基板を準備する。次いで、炭酸ルビジウムをアセトン、トリクレンなどのH2Oを溶かしにくい有機溶媒中に混合して、超音波振動発生器などにより微細分散させた懸濁液を準備する。有機溶媒と炭酸ルビジウムとの混合割合は、例えば、アセトン20mlに対して炭酸ルビジウム1.0gとすることができる。超音波振動発生器による微細分散は、周波数45kHz、時間15分として行うことができる。そして、この懸濁液を金属基板の表面に滴下した後に、乾燥する。
乾燥後は、表面に高エネルギービームを照射して、炭酸ルビジウムを金属Rbとして基板表面に注入する。高エネルギービームとして、アルゴンイオンビームを用いることができる。照射条件は、ガン電圧;5kV、ガン電流;0.5mA、照射時間;15分、試料回転速度:2rpm、イオン照射角度;10°として行うことができる。
以上のような方法により、図3に模式的に示す構造の多層構造体を製造することができた。当該多層構造体は、Cu製の金属基板1の上に、表面のCu原子をRb原子で一原子層以上置換した埋込み層2が形成され、さらにこの埋込み層2の上にRb原子が1原子層以上積層された表面層3が形成された、多層原子層を有するものである。金属基板1と埋込み層2と表面層3とはミキシング等で強固に結合しているので、多層原子層は、脱離、剥落することはない。
以上のような条件、方法で製造した多層構造体の仕事関数φを光励起法により測定した。その結果、この多層構造体は仕事関数φが2.80eVと低いことを確認した。なお、Cu製の金属基板1の仕事関数φは、4.17eVであり、アルゴンイオン照射前の懸濁液を滴下、乾燥した状態の試料においては、仕事関数φは2.98eVであった。
以上のように本発明の多層構造体およびその製造方法は、優れた熱電子放出性能を有する多層構造体およびその製造方法を提供するものとして、工業的価値が大きいものである。
以上のように本発明の多層構造体およびその製造方法は、優れた熱電子放出性能を有する多層構造体およびその製造方法を提供するものとして、工業的価値が大きいものである。
1 金属基板、2 埋込み層、3 表面層
Claims (5)
- 金属基板上に、基板表面の金属原子をアルカリ金属原子で一原子層以上置換した埋込み層を介して、前記アルカリ金属原子が1原子層以上積層された表面層を備えて、仕事関数を3eV以下としたことを特徴とする多層構造体。
- アルカリ金属原子は、Rbであることを特徴とする請求項1に記載の多層構造体。
- 金属基板は、Cuまたはその合金からなることを特徴とする請求項1または2に記載の多層構造体。
- 金属基板は、Niまたはその合金からなることを特徴とする請求項1または2に記載の多層構造体。
- 金属基板上に、アルカリ金属原子の化合物粒子を微細分散させた付着層を形成した後、この付着層に高エネルギービームを照射することにより、請求項1に記載の多層構造体を製造することを特徴とする多層構造体の製造方法。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004134229A (ja) * | 2002-10-10 | 2004-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子放射素子およびそれを用いた蛍光体発光素子および画像描画装置および冷却素子および発電素子 |
WO2005001871A2 (en) * | 2003-06-11 | 2005-01-06 | Chien-Min Sung | Amorphous diamond materials and associated methods for the use and manufacture thereof |
JP2005228933A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Nagoya Institute Of Technology | 多層構造体 |
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