JP2007212170A - 蛍光検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 試料スポットの微細化に対応して蛍光検出のスキャンを高速に且つ高精度に行うことの出来る蛍光検出装置を提供する。
【解決手段】 検査チップに励起光を集束させるとともに前記蛍光を受光する対物レンズ１６と、該対物レンズ１６をフォーカス方向と該フォーカス方向と交差するＸ方向およびＹ方向の３軸方向へ変位させるレンズアクチュエータ３０とを備えた蛍光検出装置である。そして、レンズアクチュエータ３０は、前記対物レンズを保持するレンズホルダ３１と、レンズホルダ３１の上下四隅をそれぞれ支持する８本の線状バネ３２…と、レンズホルダ３１の側面に設けられた電磁コイル３５，３６…と、レンズホルダ３１の側面と対向配置された磁石３８とを備え、前記８本の線状バネ３２…の各々は、機枠に固定される部位と前記レンズホルダ３１に固着される部位との間で一部が曲げられた形状をしている構成とした。
【選択図】 図３

Description

この発明は、試料が付着された検査チップに励起光を照射して蛍光を検出することで試料の検査を行う蛍光検出装置に関する。

以前より、チップ上に試薬と反応させたＤＮＡ（デオキシリボ核酸）をスポットし、このＤＮＡに励起光を照射して蛍光を検出することで、ＤＮＡの検査を行う蛍光検出装置がある。このようなＤＮＡ検査によれば、癌など遺伝子に起因すると考えられる病気の検査に威力を発揮すると考えられている。

従来の一般的なＤＮＡスキャナでは、ＤＮＡチップに多数のＤＮＡをスポットし、各スポットを順次スキャンしながら全てのＤＮＡについて検査を行う。走査方式としては、励起光をガルバノミラーでＸ方向に走査し、ＤＮＡチップをステージのＹ方向に移動させることで、二次元の走査を行う方式を適用するのが一般的であった。

また、本願発明に関連する従来技術として、次のようなものがあった。例えば、特許文献１には、走査型顕微鏡においてボイスコイルを用いて被測定物を移動させる技術が開示されている。特許文献２には、手術用顕微鏡において鏡体を３次元的に移動可能にした発明が開示されている。特許文献３には、原子間力顕微鏡においてプローブの上方に光学顕微鏡の対物レンズは配置してその走査位置を光学顕微鏡で確認できるようにした発明が開示されている。特許文献４には、３次元に移動可能に設けた光プローブにより被測定物の外形を測定することのできる３次元形状測定機について開示されている。特許文献５には、コンフォーカル顕微鏡において対物レンズの移動距離をエンコーダを用いて検出する構成が開示されている。
特表２００３−５０７７７７号公報 特開平０８−１３１４５７号公報 特開平０８−２２６９２８号公報 特開２００１−３２４３１１号公報 特開平１０−１０４５２３号公報

上述のようにガルバノミラーとステージ移動によりスキャンを行う従来のＤＮＡスキャナでは、走査速度が遅く多数の検体を測定するのにとても時間がかかるという課題があった。

また、近年では、検査チップにＤＮＡをスポットする技術の微細化が進み、検査チップの非常に小さな領域に多数のＤＮＡをスポットすることが可能になっている。しかしながら、上記従来のＤＮＡスキャナで測定を行う場合、小さな領域に多数のＤＮＡをスポットできたとしても、直ちに測定時間が短縮されることもなく、また、微細スポットに対応して走査精度をより高める必要があることからかえって測定時間に悪影響を及ぼすと考えられた。

この発明の目的は、試料スポットの微細化に対応して蛍光検出のスキャンを高速に且つ高精度に行うことの出来る蛍光検出装置を提供することにある。

本発明は、上記目的を達成するため、試料が付着された検査チップに励起光を集束させ、そこから発光される蛍光を検出することで試料の検査を行う蛍光検出装置であって、前記検査チップに励起光を集束させるとともに前記蛍光を受光する対物レンズと、該対物レンズをフォーカス方向と該フォーカス方向と交差するＸ方向およびＹ方向の３軸方向へ変位させるレンズアクチュエータとを備え、前記レンズアクチュエータは、前記対物レンズを保持するレンズホルダと、該レンズホルダを上下の各四方からそれぞれ支持する８本の線状バネと、前記レンズホルダの側面に設けられた電磁コイルと、前記レンズホルダの周囲で前記電磁コイルと対向配置された磁石とを備え、前記８本の線状バネの各々は、機枠に固定される側と前記レンズホルダに固着される側との間で一部が曲げられた形状をしている構成とした。

具体的には、前記８本の線状バネの各々は、途中でほぼ直角に曲げられた形状に構成すると良い。また、前記８本の線状バネは、それぞれを同一形状とし、さらに、上側４本と下側４本とが互いに平行に配置し、上下の各４本ずつが前記Ｘ方向および前記Ｙ方向にそれぞれ対称的に配置すると良い。

このように構成することで、対物レンズをフォーカス方向とＸ−Ｙ方向の３軸方向に電磁力により変位させることが可能となる。そして、これらにより、微小な領域に多数の試料がスポットされた検査チップを対象に、これら多数のスポットを高速に走査して測定を行うことが可能となる。

望ましくは、前記レンズホルダの前記Ｘ方向と前記Ｙ方向の変位量を検出するリニアエンコーダを備えると良い。具体的には、前記リニアエンコーダは、前記レンズホルダの側面に前記Ｘ方向と前記Ｙ方向とにそれぞれ沿って固着された２つのスケールと、これらスケールに対向するように固定された２つの反射型光センサとから構成することが出来る。

このような構成により、対物レンズの変位量をフィードバックさせることで、Ｘ−Ｙ方向の走査を高精度に行うことが可能となる。

以上説明したように、本発明に従うと、微小領域に多数の試料がスポットされている検査チップに対応して、蛍光検出のスキャンを高速に且つ高精度に行うことが出来るという効果がある。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

図１は、本発明の実施の形態の蛍光検出装置１００の光学構成を示した斜視図である。図２は、この蛍光検出装置１００で測定対象となるＤＮＡがスポットされたＤＮＡチップの一部分を示す平面図である。

この実施の形態の蛍光検出装置１００は、試薬と反応させたＤＮＡに励起光を照射してそこから発生する蛍光を測定することで、検体であるＤＮＡが正常なものか或いは癌化等の異常なものかを判別する装置である。また、この蛍光検出装置１００は、第１波長（例えば５３２ｎｍ）と第２波長（例えば６５８ｎｍ）との２波長の励起光を別々に用いて、各励起光により発生される２波長（例えば５７０ｎｍと６７０ｎｍ）の蛍光検出が可能なものである。

検体であるＤＮＡは、図２に示すように、検査チップとしてのスライドガラス３に縦横複数に配列されて形成された各スポットＰ…内に投入されている。各スポットＰ…は、例えば、直径が１００μｍ程度の大きさであり、１ｍｍ×１ｍｍ程度の微小領域に８個×８個程度のスポットＰ…が形成されている。

この蛍光検出装置１００の光学系は、図１に示すように、第１波長の励起光を出力する第１発光器１１と、第１発光器１１の出射光を平行光にするコリメータレンズ１２と、第１発光器１１の出射光から第１波長以外の光を除去するエキサイタフィルタ１３と、第１波長帯域の光を反射させ第２波長帯域の光を透過させるフィルタミラー１４と、光の波長帯に応じて励起光を反射して立上げるとともに蛍光を透過させるダイクロイックミラー１５と、励起光をスライドガラス３の各スポットＰへ集束させるとともに蛍光の受光を行う対物レンズ１６と、ダイクロイックミラー１５を透過した光から蛍光波長以外を除去する２枚のエミッタフィルタ１７Ａ，１７Ｂと、これらの何れかを光軸上に配置させるアクチュエータ１８と、蛍光の光量検出を行う光センサとしてのフォトマルチプライア２０と、第２波長の励起光を出力する第２発光器２１と、進行波と反射波とを分離する偏光ビームスプリッタ２２および１／４波長板２４と、第２発光器２１の出射光を平行光にするコリメータレンズ２３と、偏光ビームスプリッタ２２で分離された反射光を受光して励起光の焦点位置の変位量を検出するフォーカス誤差検出ユニット２５等を備えている。

また、この蛍光検出装置１００には、スライドガラス３を一定箇所に載置するステージ（図示略）や、対物レンズ１６を上下（Ｚ方向）・左右（Ｘ方向）・前後（Ｙ方向）の３軸方向に電気的に駆動するレンズ駆動装置３０が設けられている。このレンズ駆動装置３０のＺ方向の駆動により励起光のフォーカスの調整が行われ、左右前後（Ｘ−Ｙ方向）の駆動により測定点の走査が行われるようになっている。

上記の第１発光器は例えばＬＥＤ（発光ダイオード）であり、第２発光器２１は例えばレーザーダイオードである。

フォーカス誤差検出ユニット２５には、内部にフォーカス誤差検出用の光学部品２５Ａと光センサ２５Ｂとが組み込まれており、スライドガラス３からのレーザ光の反射ビームをこれらで受光することにより、励起光のフォーカスのズレが検出されるようになっている。フォーカス誤差の検出方式としては、共焦点法、ダブルナイフエッジ法、非点収差法などを適用することが出来る。

図３には、レンズ駆動装置３０の詳細な斜視図を、図４にはその平面図を示す。

レンズ駆動装置３０は、対物レンズ１６を保持する直方体形状のレンズホルダ３１と、このレンズホルダ３１を上下四方から可動な状態に支持する８本のワイヤ３２…と、ワイヤ３２…の基部でワイヤ３２…の振動を緩衝するゲル材が注入されたゲルボックス３３…と、レンズホルダ３１の全側面に沿って横方向に巻回される第１コイル３５と、レンズホルダ３１の側面に固着された偏平型の第２コイル３６，３６…と、これらレンズホルダ３１の４つの側面にそれぞれ対向配置される４つの磁石３８…と、レンズホルダ３１の隣接する２つの側面の上部に貼着されたスケールテープ４１，４１と、これらスケールテープ４１，４１に対向する位置で機枠に固定される反射型光センサ４２，４２等を備えている。

レンズホルダ３１は、その中央に上下に貫通した導光孔が形成され、この導光孔の上部に対物レンズ１６が嵌合されている。

８本のワイヤ３２…は、弾性を有する金属製の線状バネであり、図４にも示すように、一端がゲルボックス３３…を介して機枠に固着され、他端がレンズホルダ３１に固着されている。そして、機枠に固着される側ではＸ方向に沿って伸び、途中でほぼ直角に曲がってレンズホルダ３１に固着される側ではＹ方向に沿って伸びる形状にされている。また、８本のワイヤ３２…は、上側４本と下側４本とがほぼ平行に配置され、また、上側４本および下側４本は、左右と前後にそれぞれ対称的な配置で固着されている。

このようなワイヤ３２…によれば、各ワイヤ３２の機枠側から折曲部までの範囲が横方向にしなることでレンズホルダ３１がＹ方向に変位し、折曲部からレンズホルダ３１側の固着部までの範囲が横方向にしなることでレンズホルダ３１がＸ方向に変位するようになっている。また、ワイヤ３２…の全体が上下方向にしなることでレンズホルダ３１がＺ方向に変位する。

このような形状のワイヤ３２は、例えば、薄い金属板をエッチングして形成することが出来る。例えば、隣接する２本のワイヤを１本につなげてコの字形状に形成し、それをレンズホルダ３１の側面或いは上面の縁部や下面の縁部に固着させて構成することも出来る。この場合、各ワイヤ３２…の間に電磁コイルを接続するため各ワイヤを絶縁する必要がある場合には、コの字形状のワイヤ３２，３２をレンズホルダ３１に固着した後、その中央部分を切断することで、各ワイヤを絶縁させて、その間に電磁コイルを接続させることが出来る。

なお、ワイヤ３２…の形状は様々な変更が可能である。例えば、途中で直角に曲げられた形状でなく、なだらかに９０度曲がる形状としたり、或いは、折曲げ角度も９０度でなく、３０度や６０度の折り曲げを組み合わせたり、１本のワイヤ３２を２箇所以上で折り曲げた形状としても良い。また、各ワイヤ３２の向きや配置についても、上下、左右、前後に対称的なものとせず、例えば、卍形のようにレンズホルダ３１を中心に回転対称な向きで配置しても良いし、或いは、全く非対称の向きに配置しても良い。このような種々の形状、向きおよび配置によっても、レンズホルダ３１を３軸方向に変位させることが可能である。

スケールテープ４１，４１と反射型光センサ４２は、レンズホルダ３１のＸ−Ｙ方向の変位量を検出するためのリニアエンコーダ装置である。スケールテープ４１には、横方向に微小な目盛が刻まれており、この目盛を反射型光センサ４２により読み取って変位量を検出する。また、このスケールテープ４１の目盛には左右で反射光の位相を変化させる機能を有し、これにより変位量だけでなく変位方向も検出できるようになっている。

レンズホルダ３１に対して３軸方向に駆動力を与える電磁コイル３５，３６…と磁石３８…の磁化の態様は、次のごとくである。すなわち、電磁コイルは、図３に示すように、レンズホルダ３１の側面周囲を横方向に巻回してなる電磁コイル３５と、レンズホルダ３１の各側面にそれぞれ左右２個配置された偏平型の電磁コイル３６，３６とから構成される。

また、磁石３８…は、レンズホルダ３１に対向する面において、下側１／３の範囲がＮ極に、上側２／３の範囲が左右でＮ極とＳ極とに分かれた磁化態様となっている。そして、このように磁化された磁石３８がレンズホルダ３１の一側面に固着された２つの電磁コイル３６に、それぞれ半分ずつ重なるように対向配置されている。

このような態様によれば、レンズホルダ３１の側面周囲を横方向に巻回された電磁コイル３５と、磁石３８の下側１／３のＮ極の部分との電磁作用によりＺ方向に駆動力を与えることが出来る。また、レンズホルダ３１のＹ方向に沿った２側面に固着された２個×２組の偏平コイル３６…と、それらに対向配置された磁石３８，３８の上側２／３の範囲との電磁作用によりＹ方向に駆動力を与えることが出来る。また、レンズホルダ３１のＸ方向に沿った２側面に固着された２個×２組の偏平コイル３６…と、それらに対向配置された磁石３８，３８の上側２／３の範囲との電磁作用によりＸ方向に駆動力を与えることが出来る。

これら電磁コイル３５，３６…は８本のワイヤ３２…にそれぞれ接続され、これら８本のワイヤ３２…を介して３軸の各方向に駆動力を及ぼす電磁コイルごとにそれぞれ独立して電流を流すことが可能になっている。

なお、レンズホルダ３１に対して３軸方向に駆動力を与える電磁コイル３５，３６…と磁石３８…の磁化の態様は、様々なバリエーションが適用可能である。

図５と図６には、電磁コイルと磁石の磁化態様のバリエーション例を説明する斜視図を示す。これらの図においては、磁石の磁化の態様を分かりやすくするために、磁石３８…とレンズホルダ３１とを実際のものよりも離した状態で描いている。

図５の例では、電磁コイルは、レンズホルダ３１の全側面に沿って横方向に巻回された電磁コイル３５と、レンズホルダ３１の各側面においてそれぞれ片側に寄せて配置された１個×４面分の偏平型の電磁コイル３６…とから構成されている。

磁石３８…は、レンズホルダ３１に対向する面において、右側１／４の範囲がＳ極に左側３／４の範囲がＮ極に分かれた磁化態様にされている。そして、このＮ極とＳ極との境界線がレンズホルダ３１の一側面に固着された１つの電磁コイル３６の中央線に重なるように対向配置されている。

このような態様によれば、レンズホルダ３１の側面周囲を横方向に巻回された電磁コイル３５と、磁石３８のＮ極の部分との電磁作用によりＺ方向に駆動力を与えることが出来る。また、レンズホルダ３１のＹ方向に沿った２側面に固着された１個×２面分の偏平コイル３６，３６と、それらに対向配置された磁石３８，３８の片側１／２範囲のＳ極Ｎ極の部分との電磁作用によりＹ方向に駆動力を与えることが出来る。また、レンズホルダ３１のＸ方向に沿った２側面に固着された１個×２面分の偏平コイル３６，３６と、それらに対向配置された磁石３８，３８の片側１／２範囲のＳ極Ｎ極の部分との電磁作用によりＸ方向に駆動力を与えることが出来る。

また、図６の例では、電磁コイルは、レンズホルダ３１の各側面にそれぞれ３個ずつ固着された偏平型の電磁コイル３７ａ…，３７ｂ…により構成されている。各側面の３個の偏平コイル３７ａ，３７ｂ，３７ｂは、１個を中央上部に、２個を下側左右に配置する。

磁石３８…は、レンズホルダ３１に対向する面において、左右上下に４分割され交互にＳ極とＮ極とが来るように磁化させている。そして、左右の磁極の境界線が中央の偏平コイル３７ａの縦方向の中央線と重なるように、上下の磁極の境界線が下側２個の偏平コイル３７ｂ，３７ｂの横方向の中央線と重なるように対向配置されている。

このような態様によれば、レンズホルダ３１の各側面の下側に配置された電磁コイル３７ｂ…とそれに対向配置された磁石のＮ極Ｓ極の部分との電磁作用により、Ｚ方向に駆動力を与えることができる。また、レンズホルダ３１のＸ方向を沿った２側面の上側に固着された１個×２面分の偏平コイル３７ａ，３７ａと、それらに対向配置された磁石３８，３８のＮ極Ｓ極の部分との電磁作用によりＸ方向に駆動力を与えることが出来る。また、レンズホルダ３１のＹ方向に沿った２側面に固着された１個×２面分の偏平コイル３７ａ，３７ａと、それらに対向配置された磁石３８，３８のＮ極Ｓ極の部分との電磁作用によりＹ方向に駆動力を与えることが出来る。

図７には、磁石３８からの磁力線を効率よく電磁コイルに及ぼすようにした構成例の断面図を示す。

その他、図７に示すように、レンズホルダ３１の側面の内側に空洞部分を設け、そこに磁石３８の磁力線を吸収するヨーク３８ｂ，３８ｂを挿入するようにしても良い。これにより、磁石３８の磁力線を効率よく電磁コイルに及ぼして、小さな電流で大きな駆動力を得るようにすることが出来る。

以上のように構成された蛍光検出装置１００によれば、スライドガラス３をステージに載置した後、先ず、第２発光器２１からレーザ光を照射させた状態で、レンズ駆動装置３０により対物レンズ１６をＺ方向に駆動してその焦点をスライドガラス３のスポット面に合わせる。この焦点の合わせは、検出ユニット２５からの信号に基づいて制御回路により自動的に行われる。

焦点が合ったら、検出ユニット２５からの信号に基づき焦点がずれないように制御をかけながら、レンズ駆動装置３０により対物レンズ１６をＸ方向とＹ方向とに移動させ、励起光をスライドガラス３のＤＮＡスポットＰ…に順次合わせて蛍光測定を行っていく。ここで、変位量はリニアエンコーダ装置の出力に基づいて制御される。

そして、励起光が各ＤＮＡスポットＰ…に走査されていく過程で、検体のＤＮＡが特定の蛍光標識と結合されていれば励起光により蛍光が発っせられ、この蛍光がダイクロイックミラー１５とエミッタフィルタ１７Ａ（又は１７Ｂ）を透過してフォトマルチプライア２０で検出される。そして、この検出により検体のＤＮＡが正常か異常かなどの種々の判定を行うことが出来る。

このように励起光の走査を、レンズ駆動装置３０により対物レンズ１６をＸ方向とＹ方向とに移動させて行うことで、ＤＮＡスポットＰの微細化に対応して、蛍光検出測定を高速に且つ高精度に実現することが出来る。

なお、本発明は、上記実施の形態に限られるものではなく、様々な変更が可能である。例えば、上記実施の形態では、リニアエンコーダをレンズホルダの上部に配置しているが、下方や中央部に配置することもできる。また、レンズホルダの底面側に配置しても良い。また、電磁コイルや磁石の磁化の態様も図３，図５，図６のものは一例に過ぎず様々な態様が可能である。

その他、この実施の形態で具体的に示した光学構成、測定対象や測定手順などは、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

本発明の実施の形態の蛍光検出装置の光学系の構成を示す斜視図である。 測定対象となるＤＮＡチップの一例を示す平面図である。 レンズ駆動装置の詳細を示す斜視図である。 図３のレンズ駆動装置の平面図である。 レンズ駆動装置の電磁コイルと磁石の磁化態様の第１のバリエーションを示す斜視図である。 レンズ駆動装置の電磁コイルと磁石の磁化態様の第２のバリエーションを示す斜視図である。 レンズ駆動装置の磁石の磁力線を効率よく電磁コイルに及ぼすようにした構成例を示す断面図である。

符号の説明

３ スライドガラス
１１ 第１発光器
１２ コリメータレンズ
１３ エクサイタフィルタ
１４ フィルタミラー
１５ ダイクロイックミラー
１６ 対物レンズ
１７Ａ，１７Ｂ エミッタフィルタ
１８ アクチュエータ
２０ フォトマルチプライア
２１ 第２発光器
２２ 偏光ビームスプリッタ
２３ コリメータレンズ
２４ １／４波長板
２５ フォーカス誤差検出ユニット
２５Ａ フォーカス誤差検出用の光学部品
２５Ｂ フォーカス誤差検出用の光センサ
３０ レンズ駆動装置
３１ レンズホルダ
３２ ワイヤ
３３ ゲルボックス
３５ 電磁コイル
３６，３７ａ，３７ｂ 偏平型の電磁コイル
３８ 磁石
４１ スケールテープ
４２ 反射型光センサ
１００ 蛍光検出装置

Claims (8)

1. 試料が付着された検査チップに励起光を集束させ、そこから発光される蛍光を検出することで試料の検査を行う蛍光検出装置であって、
   前記検査チップに励起光を集束させるとともに前記蛍光を受光する対物レンズと、
   該対物レンズをフォーカス方向と該フォーカス方向と交差するＸ方向およびＹ方向の３軸方向へ変位させるレンズアクチュエータとを備え、
   前記レンズアクチュエータは、
   前記対物レンズを保持するレンズホルダと、
   該レンズホルダの上下四隅をそれぞれ支持する８本の線状バネと、
   前記レンズホルダの側面に設けられた電磁コイルと、
   前記レンズホルダの周囲で前記電磁コイルと対向配置された磁石と、
   前記レンズホルダの前記Ｘ方向と前記Ｙ方向の変位量を検出するリニアエンコーダと、
   を備え、
   前記８本の線状バネの各々は、機枠に固定される側と前記レンズホルダに固着される側との間で一部がほぼ直角に曲げられた形状をしており、それぞれが同一形状で、上側４本と下側４本とが互いに平行に配置され、上下の各４本ずつが前記Ｘ方向および前記Ｙ方向にそれぞれ対称的に配置されていることを特徴とする蛍光検出装置。
2. 試料が付着された検査チップに励起光を集束させ、そこから発光される蛍光を検出することで試料の検査を行う蛍光検出装置であって、
   前記検査チップに励起光を集束させるとともに前記蛍光を受光する対物レンズと、
   該対物レンズをフォーカス方向と該フォーカス方向と交差するＸ方向およびＹ方向の３軸方向へ変位させるレンズアクチュエータとを備え、
   前記レンズアクチュエータは、
   前記対物レンズを保持するレンズホルダと、
   該レンズホルダの上下各四方をそれぞれ支持する８本の線状バネと、
   前記レンズホルダの側面に設けられた電磁コイルと、
   前記レンズホルダの周囲で前記電磁コイルと対向配置された磁石と、
   を備え、
   前記８本の線状バネの各々は、機枠に固定される側と前記レンズホルダに固着される側との間で一部が曲げられた形状をしていることを特徴とする蛍光検出装置。
3. 前記８本の線状バネの各々は、途中でほぼ直角に曲げられた形状をしていることを特徴とする請求項２記載の蛍光検出装置。
4. 前記８本の線状バネは、上側４本と下側４本とが互いに平行に配置されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の蛍光検出装置。
5. 前記８本の線状バネは、それぞれ同一形状であり、上下の各４本ずつが前記Ｘ方向および前記Ｙ方向にそれぞれ対称的に配置されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の蛍光検出装置。
6. 前記レンズホルダの前記Ｘ方向と前記Ｙ方向の変位量を検出するリニアエンコーダを備えたことを特徴とする請求項２〜５の何れかに記載の蛍光検出装置。
7. 前記リニアエンコーダは、
   前記レンズホルダの側面に前記Ｘ方向と前記Ｙ方向とにそれぞれ沿って固着された２つのスケールと、
   これらスケールに対向するように固定された２つの反射型光センサと、
   から構成されることを特徴とする請求項６記載の蛍光検出装置。
8. 前記８本の線状バネは金属であり、これらの線状バネを介して前記電磁コイルに電流が流されるように構成されていることを特徴とする請求項２〜７の何れかに記載の蛍光検出装置。
   

Images