JP2007209922A - Exhaust gas treatment method and apparatus - Google Patents

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Shiro Imazu
Kazumi Nakajo
Kazuyuki Sakata
Kazuyuki Yamazaki
数美 中條
史郎 今津
和之 坂田
和幸 山嵜
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シャープ株式会社
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an exhaust gas treatment method and apparatus which reduce an initial cost and running cost, and enable a complete removal of exhaust gas ingredients such as organic compounds in an exhaust gas. <P>SOLUTION: In the exhaust gas treatment apparatus, a micronanobubble generator 9 generates micronanobubbles, and allows washing water to contain micronanobubbles in a lower treatment part 3. The exhaust gas sucked in by a blower 19 discharges from an aeration tube 23 into the washing water containing micronanobubbles. Charcoal 15 is contained in an accommodating basket 12, and the exhaust gas discharged from the aeration tube 23 contacts to the charcoal 15. The exhaust gas components are treated by an organic compound adsorbability which the charcoal 15 has, a microorganism treatment by microorganisms 28 propagated on the surface of the charcoal 15, and an adsorption capability by micronanobubbles. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

この発明は、排ガス処理方法および排ガス処理装置に関し、一例として、半導体工場や液晶工場における揮発性有機化合物などの有機化合物を含有する排ガスに対する排ガス処理方法および排ガス処理装置に関する。   The present invention relates to an exhaust gas treatment method and an exhaust gas treatment device, and as an example, relates to an exhaust gas treatment method and an exhaust gas treatment device for exhaust gas containing an organic compound such as a volatile organic compound in a semiconductor factory or a liquid crystal factory.

従来、半導体工場や液晶工場における排ガス処理方法および排ガス処理装置としては、例えば、(1) 活性炭による吸着法、(2) 排ガスを空気と混合して直接的に燃焼させる直接燃焼法、(3) 水、酸、アルカリ溶液などの液体に対象とするガスを吸収させる方法があった。   Conventionally, as an exhaust gas treatment method and an exhaust gas treatment device in a semiconductor factory or a liquid crystal factory, for example, (1) an adsorption method using activated carbon, (2) a direct combustion method in which exhaust gas is mixed with air and directly burned, (3) There has been a method of absorbing a target gas in a liquid such as water, acid, or alkali solution.

有機系排ガスを処理する場合は、処理効率の点で、(1) 活性炭やゼオライトによる吸着法、(2) 排ガスを空気と混合して直接的に燃焼させる直接燃焼法のどちらかを採用していた。   When treating organic exhaust gas, either the (1) adsorption method using activated carbon or zeolite, or (2) the direct combustion method in which the exhaust gas is mixed directly with air and directly burned is used in terms of treatment efficiency. It was.

しかし、(1) 活性炭による吸着法では、ダストやミストを含む有機系排ガス処理における前処理として、それらの除去装置(バグフィルター、ミストセパレーターなど)が必要で、活性炭の再生費用を含めて、ランニングコストが高い欠点があった。また、(2) 排ガスを空気と混合して直接的に燃焼させる直接燃焼法も、燃料が必要で、ランニングコストが高い欠点があった。   However, (1) the adsorption method using activated carbon requires such removal equipment (bag filter, mist separator, etc.) as a pre-treatment in the treatment of organic exhaust gas containing dust and mist. There was a drawback of high cost. In addition, (2) the direct combustion method in which the exhaust gas is directly mixed with the air and combusted directly has a drawback that a fuel is required and the running cost is high.

したがって、上述の(1),(2)の排ガス処理方法は、省エネルギーを推進する時代では、課題の多い方法であった。   Therefore, the above-described exhaust gas treatment methods (1) and (2) have been problematic in the era of promoting energy saving.

また、特許文献1(特開2005−152701号公報)では、揮発性有機化合物排ガスの処理方法が記載されている。この技術は、被処理ガスを通流する流路と、この流路の上流側に配設された被処理ガスを通流する第1の触媒層と、この第1の触媒層の下流側に離間して設けられて上記第1の触媒層を通過したガスを通流する第2の触媒層と、始動時に上記第1の触媒層を少なくとも触媒活性温度以上に予備加熱するための加熱手段とを備える構成が開示されている。   Moreover, in patent document 1 (Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-152701), the processing method of volatile organic compound waste gas is described. In this technique, a flow path for flowing a gas to be processed, a first catalyst layer for flowing a gas to be processed disposed on the upstream side of the flow path, and a downstream side of the first catalyst layer. A second catalyst layer that is spaced apart and flows through the gas that has passed through the first catalyst layer; and heating means for preheating the first catalyst layer at least above the catalyst activation temperature during startup The structure provided with this is disclosed.

しかし、この排ガス処理方法でも、排ガス中の揮発性有機化合物の濃度が高い場合、充分な除去率の確保ができないことと洗浄水中の揮発性有機化合物の処理が不十分となる課題があった。   However, even in this exhaust gas treatment method, when the concentration of the volatile organic compound in the exhaust gas is high, there is a problem that a sufficient removal rate cannot be secured and the treatment of the volatile organic compound in the washing water becomes insufficient.

したがって、排ガス中の揮発性有機化合物の合理的な処理方法を見出すことが求められている。
特開2005−152701号公報
Therefore, it is required to find a rational method for treating volatile organic compounds in exhaust gas.
JP 2005-152701 A

そこで、この発明の課題は、イニシャルコストやランニングコストが低くて、排ガス中の有機物等の排ガス成分を充分に除去できる排ガス処理方法および排ガス処理装置を提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to provide an exhaust gas treatment method and an exhaust gas treatment apparatus that can sufficiently remove exhaust gas components such as organic substances in the exhaust gas with low initial cost and running cost.

上記課題を解決するため、この発明の排ガス処理方法は、マイクロナノバブルを含有する液体中に排ガスを吐出させる工程を備えることを特徴としている。   In order to solve the above problems, the exhaust gas treatment method of the present invention is characterized by comprising a step of discharging exhaust gas into a liquid containing micro-nano bubbles.

この発明の排ガス処理方法によれば、マイクロナノバブルを含有する液体中に排ガスを吐出させることで、液体中の気体としてのマイクロナノバブルと気体としての排ガスとの接触効率が向上し、マイクロナノバブルによる吸着機能の作用下で、排ガスを効率的に処理できる。   According to the exhaust gas treatment method of the present invention, by discharging exhaust gas into a liquid containing micro-nano bubbles, the contact efficiency between the micro-nano bubbles as the gas in the liquid and the exhaust gas as the gas is improved, and the adsorption by the micro-nano bubbles Under the function, exhaust gas can be treated efficiently.

また、一実施形態の排ガス処理方法では、上記排ガスにマイクロナノバブルを含有する洗浄水を散水する工程を備える。   Moreover, the exhaust gas treatment method of one embodiment includes a step of sprinkling cleaning water containing micro-nano bubbles in the exhaust gas.

この実施形態の排ガス処理方法によれば、マイクロナノバブルを含有する液体中に排ガスを吐出させる工程に加えて、上記排ガスにマイクロナノバブルを含有する洗浄水を散水する工程の2段階の工程で排ガスを処理するので、排ガス中の除去成分に対する除去率を向上できる。また、マイクロナノバブルを含んだ洗浄水は、マイクロナノバブルを含んでいない洗浄水に比べて、より洗浄効果があることが実験により判明した。   According to the exhaust gas treatment method of this embodiment, in addition to the step of discharging the exhaust gas into the liquid containing micro-nano bubbles, the exhaust gas is discharged in a two-stage process of sprinkling cleaning water containing micro-nano bubbles into the exhaust gas. Since it processes, the removal rate with respect to the removal component in waste gas can be improved. In addition, it has been experimentally found that washing water containing micro / nano bubbles has a more washing effect than washing water not containing micro / nano bubbles.

また、一実施形態の排ガス処理方法では、上記液体中に微生物を繁殖させる。   Moreover, in the exhaust gas treatment method of one embodiment, microorganisms are propagated in the liquid.

この実施形態の排ガス処理方法によれば、上記液体中に繁殖させた微生物による排ガス中の成分の分解,除去を図れる。   According to the exhaust gas treatment method of this embodiment, the components in the exhaust gas can be decomposed and removed by the microorganisms propagated in the liquid.

また、一実施形態の排ガス処理方法では、上記液体中に炭を浸漬して生物炭を形成し、マイクロナノバブルにより微生物を活性化して、排ガスを処理する。   Moreover, in the exhaust gas treatment method of one embodiment, charcoal is immersed in the liquid to form biological charcoal, and microorganisms are activated by micro-nano bubbles to treat the exhaust gas.

この実施形態の排ガス処理方法によれば、液体中に炭を浸漬して生物炭を形成し、かつマイクロナノバブルにより微生物を活性化しているので、生物炭によって排ガス成分を吸着できる上に、生物炭が多くの排ガス成分を吸着しても、活性化した微生物による炭の自動再生が可能となり、メインテナンスフリーを図れる。なお、生物炭とは微生物が繁殖した炭を言う。   According to the exhaust gas treatment method of this embodiment, since charcoal is immersed in a liquid to form biological charcoal and microorganisms are activated by micro-nano bubbles, exhaust gas components can be adsorbed by biological charcoal. However, even if many exhaust gas components are adsorbed, charcoal can be automatically regenerated by activated microorganisms and maintenance-free can be achieved. Biochar is charcoal on which microorganisms have propagated.

また、一実施形態の排ガス処理装置では、マイクロナノバブルを含有する液体中に排ガスを吐出させる。   In the exhaust gas treatment apparatus of one embodiment, exhaust gas is discharged into a liquid containing micro / nano bubbles.

この実施形態の排ガス処理装置によれば、マイクロナノバブルを含有する液体中に排ガスを吐出させることで、液体中の気体としてのマイクロナノバブルと気体としての排ガスとの接触効率が向上し、マイクロナノバブルによる吸着機能の作用下で、排ガスを効率的に処理できる。   According to the exhaust gas treatment apparatus of this embodiment, by discharging the exhaust gas into the liquid containing micro-nano bubbles, the contact efficiency between the micro-nano bubbles as the gas in the liquid and the exhaust gas as the gas is improved. The exhaust gas can be treated efficiently under the action of the adsorption function.

また、一実施形態の排ガス処理装置では、マイクロナノバブルを含有する液体が貯留されていると共に排ガスを上記マイクロナノバブルを含有する液体中に吐出させる下部と、
上記下部から上記排ガスが導入されると共に上記下部からの排ガスにマイクロナノバブルを含有する洗浄水を散水する上部とを備える。
Further, in the exhaust gas treatment apparatus of one embodiment, a liquid containing micro-nano bubbles is stored and a lower part that discharges exhaust gas into the liquid containing micro-nano bubbles;
The exhaust gas is introduced from the lower part, and the upper part is sprinkled with washing water containing micro-nano bubbles in the exhaust gas from the lower part.

この実施形態の排ガス処理装置によれば、排ガスを、下部のマイクロナノバブルを含有する液体中に吐出させることによる第1の処理と、下部からの排ガスにマイクロナノバブルを含有する洗浄水を散水する第2の処理とで、排ガスに2段階の処理を行う。よって、従来の1段階の処理に比べて、排ガス中の除去成分に対する除去率を向上できる。   According to the exhaust gas treatment apparatus of this embodiment, the first treatment by discharging the exhaust gas into the liquid containing the lower micro-nano bubbles, and the first treatment for spraying the cleaning water containing the micro-nano bubbles into the exhaust gas from the lower part. In step 2, the exhaust gas is processed in two stages. Therefore, the removal rate with respect to the removal component in exhaust gas can be improved compared with the conventional one-step process.

また、一実施形態の排ガス処理装置では、上記下部の液体中に浸漬された生物炭を有する。   Moreover, in the exhaust gas processing apparatus of one Embodiment, it has the biochar immersed in the said lower liquid.

この実施形態の排ガス処理装置によれば、下部の液体中に浸漬された生物炭では、吸着した成分を微生物で分解するといった微生物による炭の自動再生が可能となって、メインテナンスフリーを図れる。   According to the exhaust gas treatment apparatus of this embodiment, in the case of biological charcoal immersed in the lower liquid, charcoal can be automatically regenerated by decomposing adsorbed components with microorganisms, and maintenance-free can be achieved.

また、一実施形態の排ガス処理装置では、排ガスを吸い込んで上記下部に送出する排ガス吸込部を備える。   In addition, the exhaust gas treatment apparatus of one embodiment includes an exhaust gas suction unit that sucks exhaust gas and sends it to the lower part.

この実施形態の排ガス処理装置によれば、排ガス吸込部でもって、排ガスを下部に強制的に送出することで、排ガスの処理効率向上を図れる。   According to the exhaust gas treatment apparatus of this embodiment, the exhaust gas can be forcibly sent to the lower part by the exhaust gas suction part, so that the exhaust gas treatment efficiency can be improved.

また、一実施形態の排ガス処理装置では、上記下部は、排ガスを上記液体中に吐出する散気管と、充填物としての炭と、
上記液体中にマイクロナノバブルを含有させるためのマイクロナノバブル発生機とを有する。
Further, in the exhaust gas treatment apparatus of one embodiment, the lower part is an air diffuser that discharges exhaust gas into the liquid, charcoal as a filler,
A micro / nano bubble generator for containing micro / nano bubbles in the liquid.

この実施形態の排ガス処理装置によれば、散気管から下部の液体中に排ガスを吐出し、マイクロナノバブル発生機から発生するマイクロナノバブルによって炭に繁殖する微生物を活性化させる。これにより、排ガス成分を炭に吸着させると共に、炭に繁殖した活性化した微生物で排ガス成分を効率良く処理できる。   According to the exhaust gas treatment apparatus of this embodiment, exhaust gas is discharged from the air diffuser into the lower liquid, and the microorganisms that propagate on the charcoal are activated by the micro / nano bubbles generated from the micro / nano bubble generator. As a result, the exhaust gas component is adsorbed on the charcoal, and the exhaust gas component can be efficiently treated with the activated microorganisms propagated on the charcoal.

また、一実施形態の排ガス処理装置では、上記下部のマイクロナノバブルを含有する液体を上記マイクロナノバブルを含有する洗浄水として上記上部に送水する送水部を有し、上記上部を通過した上記洗浄水を上記下部に戻す。   Further, in the exhaust gas treatment apparatus of an embodiment, the exhaust gas treatment apparatus has a water feeding unit that feeds the liquid containing the lower micro-nano bubbles to the upper part as the washing water containing the micro-nano bubbles, and the washing water that has passed through the upper part Return to the bottom.

この実施形態の排ガス処理装置によれば、送水部により、下部のマイクロナノバブルを含有する液体を強制的に上部に送水してマイクロナノバブルを含有する洗浄水とするので、マイクロバブル含有液体を下部と上部に循環させる再利用が可能となる。   According to the exhaust gas treatment apparatus of this embodiment, the liquid containing the micronano bubbles in the lower part is forcibly sent to the upper part by the water feeding unit to obtain the washing water containing the micronano bubbles. Recycling to the top is possible.

また、一実施形態の排ガス処理装置では、上記生物炭は、活性炭、木炭、合成炭のうちの少なくとも1つである。   In one embodiment, the biochar is at least one of activated carbon, charcoal, and synthetic charcoal.

この実施形態の排ガス処理装置によれば、有機化合物の吸着作用があり調達が容易な活性炭、木炭、合成炭のうちから、下部の生物炭として最適な充填材を選択できる。   According to the exhaust gas treatment apparatus of this embodiment, an optimal filler can be selected as the lower biochar from among activated carbon, charcoal, and synthetic charcoal that have an organic compound adsorption action and are easily procured.

また、一実施形態の排ガス処理装置では、上記排ガス吸込部は、排ガスを吸い込んで上記下部に送出するブロワーと、
上記下部の液体のTOC濃度を計測するTOC計と、
上記TOC計が計測したTOC濃度に応じて、上記ブロワーの回転数を制御することで、上記下部に送出する排ガスの量を制御する制御部とを備えた。
Further, in the exhaust gas treatment device of one embodiment, the exhaust gas suction part sucks exhaust gas and sends it to the lower part,
A TOC meter that measures the TOC concentration of the lower liquid;
And a control unit that controls the amount of exhaust gas sent to the lower part by controlling the rotational speed of the blower according to the TOC concentration measured by the TOC meter.

この実施形態の排ガス処理装置によれば、TOC計で計測した下部の液体のTOC(Total Organic Carbon:全有機体炭素)濃度に応じて、制御部がブロワーの回転数を制御するので、下部に送出する排ガス量を下部のTOC濃度に応じた最適量にして、省エネルギーで高効率な運転が可能になる。   According to the exhaust gas treatment apparatus of this embodiment, the control unit controls the rotational speed of the blower in accordance with the TOC (total organic carbon) concentration of the lower liquid measured by the TOC meter. The amount of exhaust gas to be sent is set to an optimum amount according to the TOC concentration in the lower part, and energy-saving and high-efficiency operation becomes possible.

また、一実施形態の排ガス処理装置では、上記排ガスが揮発性有機化合物を含有している。   In one embodiment, the exhaust gas contains a volatile organic compound.

この実施形態の排ガス処理装置によれば、従来の揮発性有機化合物の燃焼法と比較して、排ガス中の揮発性有機化合物を効率的に経済的に処理できる。   According to the exhaust gas treatment apparatus of this embodiment, the volatile organic compound in the exhaust gas can be efficiently and economically treated as compared with the conventional combustion method of volatile organic compounds.

また、一実施形態の排ガス処理装置では、上記TOC計は、上記液体のVOC濃度を計測するVOC計であり、上記制御部は、上記VOC計が計測したVOC濃度に応じて、上記ブロワーの回転数を制御する。   In one embodiment, the TOC meter is a VOC meter that measures the VOC concentration of the liquid, and the control unit rotates the blower according to the VOC concentration measured by the VOC meter. Control the number.

この実施形態の排ガス処理装置によれば、排ガスが揮発性有機化合物(VOC:Volatile Organic Compounds)を含有している場合に、下部の液体が含有するVOC濃度をVOC計で正確に測定できる。よって、制御部がブロワーの回転数をVOC濃度に応じて制御することで、下部に送出する排ガス量を下部のVOC濃度に応じた最適量にして、省エネルギーで高効率な運転が可能になる。   According to the exhaust gas treatment apparatus of this embodiment, when the exhaust gas contains a volatile organic compound (VOC), the VOC concentration contained in the lower liquid can be accurately measured with the VOC meter. Therefore, the control unit controls the number of rotations of the blower according to the VOC concentration, so that the amount of exhaust gas sent to the lower part can be optimized according to the VOC concentration at the lower part, and energy-saving and highly efficient operation can be performed.

また、一実施形態の排ガス処理装置では、上記排ガス吸込部は、上記下部内に配置された水中ブロワーを有し、この水中ブロワーで上記下部外から排ガスを吸い込んで上記下部に送出する。   In the exhaust gas treatment apparatus of one embodiment, the exhaust gas suction unit has an underwater blower disposed in the lower part, and the underwater blower sucks exhaust gas from outside the lower part and sends it to the lower part.

この実施形態の排ガス処理装置によれば、下部をなす水槽等の中に水中ブロワーを設置できるので、省スペース化を図れる。   According to the exhaust gas treatment apparatus of this embodiment, since the underwater blower can be installed in the lower water tank or the like, space saving can be achieved.

この発明の排ガス処理方法によれば、マイクロナノバブルを含有する液体中に排ガスを吐出させることで、液体中の気体としてのマイクロナノバブルと気体としての排ガスとの接触効率が向上し、マイクロナノバブルによる吸着機能の作用下で、排ガスを効率的に処理できる。   According to the exhaust gas treatment method of the present invention, by discharging exhaust gas into a liquid containing micro-nano bubbles, the contact efficiency between the micro-nano bubbles as the gas in the liquid and the exhaust gas as the gas is improved, and the adsorption by the micro-nano bubbles Under the function, exhaust gas can be treated efficiently.

以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the illustrated embodiments.

(第1の実施の形態)
図1は、この発明の第1実施形態である排ガス処理装置を模式的に示す図である。
(First embodiment)
FIG. 1 is a diagram schematically showing an exhaust gas treatment apparatus according to a first embodiment of the present invention.

符号1は、排気入口であり、排気ファン20が設置されている。この排気入口1には、一例として、半導体工場や液晶工場からの有機化合物を含有する排ガスが導入される。この有機化合物としては、例えば、揮発性有機化合物としての、イソプロピールアルコール、アセトン、酢酸ブチルなどがある。   Reference numeral 1 denotes an exhaust inlet, and an exhaust fan 20 is installed. As an example, exhaust gas containing an organic compound from a semiconductor factory or a liquid crystal factory is introduced into the exhaust inlet 1. Examples of the organic compound include isopropyl alcohol, acetone, and butyl acetate as volatile organic compounds.

この排ガス処理装置は、上部の散水部2と、排気入口1,排気ファン20を有する中間部27と、下部の処理部3を備えている。この排ガス処理装置によって処理された排ガスは、排ガス処理装置4の最上部に設けられた排気出口18から排出される。この排ガス処理装置では、下部の処理部3に貯留しているマイクロナノバブルを含有する水を散水ポンプ11で上部の散水部2に移送して、散水ノズル17から洗浄水として散水している。なお、下部の処理部3はマイクロナノバブルを含有する水を貯留する水槽をなし、中間部27および上部の散水部2は下部の処理部3の上方に順に連なっている。そして、下部の処理部3と中間部27と上部の散水部2とは一体の容器形状をなしている。なお、上記マイクロナノバブルを含有する水は、マイクロナノバブルを含有するアルカリ水や酸水であってもよい。   The exhaust gas treatment apparatus includes an upper watering portion 2, an intermediate portion 27 having an exhaust inlet 1 and an exhaust fan 20, and a lower treatment portion 3. The exhaust gas treated by the exhaust gas treatment device is discharged from an exhaust outlet 18 provided at the uppermost part of the exhaust gas treatment device 4. In this exhaust gas treatment apparatus, water containing micro-nano bubbles stored in the lower treatment unit 3 is transferred to the upper watering unit 2 by the watering pump 11 and sprinkled as cleaning water from the watering nozzle 17. In addition, the lower process part 3 comprises the water tank which stores the water containing a micro nano bubble, and the intermediate part 27 and the upper watering part 2 are connected in series above the lower process part 3 in order. And the lower process part 3, the intermediate part 27, and the upper watering part 2 have comprised the integral container shape. The water containing the micro / nano bubbles may be alkaline water or acid water containing micro / nano bubbles.

この排ガス処理装置の上部散水部2は、底付近に設置された多孔板13、その多孔板13上に設置されたプラスチック充填材14を有する。この実施形態では、プラスチック充填材14の一例としてテラレット(商品名)と呼ばれる充填材を採用した。そして、最上部のプラスチック充填材14のさらに上部に所定の距離をおいて散水ノズル17が設置されており、この散水ノズル17からプラスチック充填材14に洗浄水を散水している。この散水部2には、中間部27が有する排気ファン20で排気入口1から吸い込んだ排ガスの一部が導入される。   The upper watering part 2 of this exhaust gas treatment apparatus has a perforated plate 13 installed near the bottom and a plastic filler 14 installed on the perforated plate 13. In this embodiment, as an example of the plastic filler 14, a filler called terralet (trade name) is employed. A watering nozzle 17 is installed at a predetermined distance further above the uppermost plastic filler 14, and cleaning water is sprinkled from the watering nozzle 17 into the plastic filler 14. A part of the exhaust gas sucked from the exhaust inlet 1 by the exhaust fan 20 of the intermediate portion 27 is introduced into the sprinkler 2.

この排ガス処理装置の上部散水部2と下部処理部3とが構成する本体と上記中間部27の排気入口1をなすダクトとの間にこのダクトよりも径が大きなブロワー吸込部5が形成され、このブロワー吸込部5内にブロワー吸い込み口6が設置されている。このブロワー吸込部5は上部散水部2と下部処理部3との間で横方向に突き出している。なお、このブロワー吸込部5は、ブロワー吸い込み口6を収納できるような寸法であればよい。もっとも、排気入口1に吸い込んだ排ガスの大部分をブロワー吸い込み口6から吸い込むことができるようにすることが好ましい。   A blower suction portion 5 having a diameter larger than that of the duct is formed between a main body formed by the upper watering portion 2 and the lower treatment portion 3 of the exhaust gas treatment apparatus and a duct forming the exhaust inlet 1 of the intermediate portion 27. A blower suction port 6 is installed in the blower suction portion 5. The blower suction part 5 protrudes in the lateral direction between the upper watering part 2 and the lower treatment part 3. The blower suction portion 5 may have a size that can accommodate the blower suction port 6. However, it is preferable that most of the exhaust gas sucked into the exhaust inlet 1 can be sucked from the blower suction port 6.

上記ブロワー吸い込み口6は、ブロワー吸込部5から下方に延在するブロワー配管16に接続され、ブロワー配管16はブロワー19に接続されている。ブロワー19の駆動により、ブロワー吸込部5をなすダクト内のブロワー吸い込み口6から排ガスを吸い込み、下部処理部3の底付近に設置された散気管23から排ガスを吐出している。この散気管23は、マイクロナノバブルより、格段に大きいサイズのセンチバブル22を排ガスとして吐出している。なお、好ましい一例では、ブロワー19の吸い込み風量を排気ファン20の吐出風量と略同じ風量とするが、ブロワー19の吸い込み風量が排気ファンの吐出風量より少ない場合は、排気入口1から直接に上部散水部2に導入される排ガスの風量が増加することとなる。上記排気入口1,排気ファン20,ブロワー吸込部5,ブロワー吸い込み口6,ブロワー配管16,ブロワー19および散気管23が排ガス吸込部を構成している。   The blower suction port 6 is connected to a blower pipe 16 extending downward from the blower suction part 5, and the blower pipe 16 is connected to a blower 19. By driving the blower 19, the exhaust gas is sucked from the blower suction port 6 in the duct constituting the blower suction unit 5, and the exhaust gas is discharged from the diffuser pipe 23 installed near the bottom of the lower processing unit 3. This air diffuser 23 discharges centrifugal bubbles 22 that are much larger than micro-nano bubbles as exhaust gas. In a preferred example, the suction air volume of the blower 19 is set to be substantially the same as the discharge air volume of the exhaust fan 20, but if the suction air volume of the blower 19 is smaller than the discharge air volume of the exhaust fan, the upper water spray is directly from the exhaust inlet 1. The air volume of the exhaust gas introduced into the part 2 will increase. The exhaust inlet 1, the exhaust fan 20, the blower suction part 5, the blower suction port 6, the blower pipe 16, the blower 19 and the diffuser pipe 23 constitute an exhaust gas suction part.

下部処理部3には、マイクロナノバブル発生機9が設置されている。このマイクロナノバブル発生機9は、下部処理部3の上下方向の中央よりも上方に配置されている。マイクロナノバブル発生機9は、配管によって循環ポンプ10に接続されている。この循環ポンプ10は、下部処理部3の上下方向の中央よりも下方の洗浄水をマイクロナノバブル発生機9に必要な圧力状態で供給している。また、マイクロナノバブル発生機9は、マイクロナノバブルを発生するために必要となる量の空気をバルブ8と空気吸い込み管7から確保している。この空気吸い込み管7は、下部処理部3と上部散水部2との間の中間部27に設置されていて、排気入口1からブロワー吸い込み口6を通過した排ガスの一部を吸い込んでいる。   A micro-nano bubble generator 9 is installed in the lower processing unit 3. The micro / nano bubble generator 9 is disposed above the center in the vertical direction of the lower processing unit 3. The micro / nano bubble generator 9 is connected to the circulation pump 10 by piping. The circulation pump 10 supplies cleaning water below the center in the vertical direction of the lower processing unit 3 to the micro / nano bubble generator 9 in a necessary pressure state. Further, the micro / nano bubble generator 9 secures an amount of air necessary for generating the micro / nano bubbles from the valve 8 and the air suction pipe 7. The air suction pipe 7 is installed in an intermediate part 27 between the lower processing part 3 and the upper watering part 2 and sucks a part of the exhaust gas that has passed through the blower suction port 6 from the exhaust inlet 1.

これにより、マイクロナノバブル発生機9は水流31の方向にマイクロナノバブルを発生して、下部処理部3で液体である洗浄水にマイクロナノバブルを含有させることになる。そして、マイクロナノバブルを含有している洗浄水中に、ブロワー19に吸い込んだ排ガスを散気管23から吐出する。この散気管23とマイクロナノバブル発生機9との間には収容籠12が配置され、この収容籠12内に炭15が収容されている。したがって、散気管23が吐出する排ガスは炭15に接触し、炭15が持つ有機物吸着力、および炭15の表面に繁殖した微生物28による微生物処理、さらには、マイクロナノバブルによる吸着機能によって、排ガス成分が処理されることとなる。   As a result, the micro / nano bubble generator 9 generates micro / nano bubbles in the direction of the water flow 31, and causes the washing water that is liquid in the lower processing unit 3 to contain the micro / nano bubbles. Then, the exhaust gas sucked into the blower 19 is discharged from the diffuser pipe 23 into the washing water containing micro / nano bubbles. A storage rod 12 is disposed between the air diffuser 23 and the micro / nano bubble generator 9, and charcoal 15 is stored in the storage rod 12. Therefore, the exhaust gas discharged from the air diffuser 23 comes into contact with the charcoal 15, and the exhaust gas component is obtained by the organic matter adsorption power of the charcoal 15, the microbial treatment by the microorganisms 28 propagated on the surface of the charcoal 15, and the adsorption function by the micro / nano bubbles Will be processed.

ここで、3種類のバブルについて説明する。   Here, three types of bubbles will be described.

(i) 通常のバブル(気泡)は水の中を上昇して、ついには表面でパンとはじけて消滅する。   (i) Normal bubbles (bubbles) rise in the water and eventually disappear on the surface by popping bread.

(ii) マイクロバブルは、直径が50ミクロン(μm)以下の微細気泡で、水中で縮小していき、ついには消滅(完全溶解)してしまう。   (ii) Microbubbles are fine bubbles having a diameter of 50 microns (μm) or less, shrink in water, and eventually disappear (completely dissolve).

(iii) ナノバブルは、マイクロバブルよりさらに小さいバブル(直径が1ミクロン以下で代表的には100〜200nm)でいつまでも水の中に存在することが可能なバブルと言われている。そして、マイクロナノバブルとは、マイクロバブルとナノバブルとが混合したバブルと説明できる。   (iii) Nanobubbles are said to be bubbles that are smaller than microbubbles (diameters of 1 micron or less, typically 100 to 200 nm) and can exist in water indefinitely. And a micro nano bubble can be explained as a bubble in which micro bubbles and nano bubbles are mixed.

なお、炭15は、下部処理部3の洗浄水中の有機化合物を吸着処理する。この炭としては、一例として、活性炭、木炭、合成炭などを選定可能であるが、排ガスの性状に合わせて上記炭の種類を選定すればよく、活性炭、木炭、合成炭以外の炭を選定してもよい。   The charcoal 15 adsorbs the organic compound in the wash water of the lower processing unit 3. As this charcoal, activated carbon, charcoal, synthetic charcoal, etc. can be selected as an example, but the type of charcoal described above may be selected according to the properties of the exhaust gas, and charcoal other than activated charcoal, charcoal, synthetic charcoal is selected. May be.

また、炭15には、時間の経過とともに、微生物28が繁殖するが、下部処理部3のマイクロナノバブル発生機9より発生したマイクロナノバブルによって、その微生物は活性化してくる。この活性化した微生物で、炭15が吸着した有機化合物を分解することによって、炭15は自動再生された状態となる。また、この下部処理部3の洗浄水中には、マイクロナノバブルだけでなく、炭15に繁殖した微生物28が一部剥離することで、微生物が含有されている。このマイクロナノバブルと微生物を含有した洗浄水は、下部処理部3の底付近から散水ポンプ11と散水配管L1を経由して、上部散水部2の散水ノズル17から、プラスチック充填材14に散水される。   In addition, the microorganisms 28 propagate on the charcoal 15 over time, but the microorganisms are activated by the micro / nano bubbles generated from the micro / nano bubble generator 9 of the lower processing unit 3. By decomposing the organic compound adsorbed by the charcoal 15 with the activated microorganisms, the charcoal 15 is automatically regenerated. In addition, the washing water of the lower treatment unit 3 contains not only micro / nano bubbles but also microorganisms 28 that have propagated on the charcoal 15, so that microorganisms are contained. The washing water containing micro-nano bubbles and microorganisms is sprinkled from the vicinity of the bottom of the lower processing unit 3 through the watering pump 11 and the watering pipe L1 to the plastic filler 14 from the watering nozzle 17 of the upper watering unit 2. .

この上部散水部2には、中間部27が有する排気ファン20で排気入口1から吸い込んだ排ガスの一部、および、下部処理部3の洗浄水の水面から上昇してきた排ガスが導入される。したがって、この上部散水部2では、マイクロナノバブルと微生物を含有した洗浄水をプラスチック充填材14において排ガスに接触させて、排ガス中の成分を除去できる。そして、この上部散水部2と下部処理部3とによる2段階の処理がなされた排ガスは、排気出口18から排出される。   A part of the exhaust gas sucked from the exhaust inlet 1 by the exhaust fan 20 of the intermediate portion 27 and the exhaust gas rising from the surface of the cleaning water of the lower processing unit 3 are introduced into the upper watering portion 2. Therefore, in this upper watering part 2, the washing water containing micro nano bubble and microorganisms can be made to contact exhaust gas in the plastic filler 14, and the component in exhaust gas can be removed. The exhaust gas that has been subjected to the two-stage treatment by the upper watering part 2 and the lower treatment part 3 is discharged from the exhaust outlet 18.

また、この上部散水部2で散水された洗浄水は、上部散水部2から落下して下部処理部3に戻るので、洗浄水を循環利用でき、ランニングコストを低減できる。   Moreover, since the washing water sprayed by this upper watering part 2 falls from the upper watering part 2, and returns to the lower process part 3, a washing water can be recycled and a running cost can be reduced.

なお、マイクロナノバブル発生機9は、市販されているものならば、メーカーを限定するものではないが、本実施形態では、具体的一例として、株式会社 ナノプラネット研究所と株式会社オーラテックのものを採用した。また、上記実施形態では、揮発性有機化合物の一例として、イソプロピールアルコール、アセトン、酢酸ブチルを挙げたが、他の揮発性有機化合物であっても本発明を適用できる。   The micro / nano bubble generator 9 is not limited to a manufacturer as long as it is commercially available, but in this embodiment, as a specific example, those of Nano Planet Research Laboratories and Auratec Co., Ltd. Adopted. Moreover, in the said embodiment, although isopropyl alcohol, acetone, and butyl acetate were mentioned as an example of a volatile organic compound, this invention is applicable even if it is another volatile organic compound.

(第2の実施の形態)
次に、図2に、この発明の第2実施形態である排ガス処理装置を示す。この第2実施形態の排ガス処理装置は、図1の第1実施形態の上部散水部2に替えて、上部散水部2Uを備えた点だけが、前述の第1実施形態と異なる。よって、この第2実施形態では、前述の第1実施形態と同じ部分については、同じ符号を付けて詳細な説明を省略し、前述の第1実施形態と異なる部分を説明する。
(Second embodiment)
Next, FIG. 2 shows an exhaust gas treatment apparatus according to a second embodiment of the present invention. The exhaust gas treatment apparatus of the second embodiment is different from the first embodiment described above only in that an upper watering part 2U is provided instead of the upper watering part 2 of the first embodiment of FIG. Therefore, in the second embodiment, the same parts as those of the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, detailed description thereof will be omitted, and parts different from those of the first embodiment will be described.

図2に示すように、この第2実施形態が備える上部散水部2Uは、下段5段のプラスチック充填材14と上段3段のポリ塩化ビニリデン充填物21を有する。   As shown in FIG. 2, the upper watering part 2U with which this 2nd Embodiment is provided has the plastic filler 14 of the lower five steps, and the polyvinylidene chloride filling 21 of the upper three steps.

前述の第1実施形態では、上部散水部2の充填材がプラスチック充填材14だけであったので、プラスチック充填材14に多少の微生物が繁殖するものの、このプラスチック充填材14に繁殖する程度の微生物では、排ガスが含有する揮発性有機化合物を微生物処理する能力はあまり期待できなかった。   In the first embodiment described above, since the filler material of the upper water sprinkling part 2 is only the plastic filler material 14, some microorganisms propagate in the plastic filler material 14, but microorganisms to such an extent that they propagate in the plastic filler material 14. Therefore, the ability to treat microorganisms of volatile organic compounds contained in exhaust gas could not be expected so much.

これに対して、第2の実施形態は、プラスチック充填材14の代替として散水部2の上部3段は、ポリ塩化ビニリデン充填物21が充填されている。これにより、上部3段のポリ塩化ビニリデン充填物21には、プラスチック充填材14に比べて、微生物がより繁殖するので、排ガス中の揮発性有機化合物に対する有効な微生物処理が可能になる。   On the other hand, in the second embodiment, the upper three stages of the water sprinkling part 2 are filled with the polyvinylidene chloride filler 21 as an alternative to the plastic filler 14. As a result, microorganisms propagate more in the upper three-stage polyvinylidene chloride filler 21 than in the plastic filler 14, so that effective microbial treatment of volatile organic compounds in the exhaust gas becomes possible.

なお、この第2実施形態では、上部散水部2Uが有する充填材の全部ではなくて一部分をポリ塩化ビニリデン充填物21としている。その理由は、充填材の全部をポリ塩化ビニリデン充填物21とした場合、ポリ塩化ビニリデン充填物21の全体に微生物が繁殖した場合に空気抵抗(圧力損失)が大となり、排ガスが上部散水部2Uを通過し難くなることがあるからである。   In the second embodiment, not all of the filler included in the upper watering part 2U but a part of the filler is the polyvinylidene chloride filler 21. The reason for this is that when all of the filler is made of the polyvinylidene chloride filler 21, the air resistance (pressure loss) becomes large when the microorganisms propagate in the entire polyvinylidene chloride filler 21, and the exhaust gas flows into the upper watering part 2U. It may be difficult to pass through.

(第3の実施の形態)
次に、図3に、この発明の第3実施形態である排ガス処理装置を示す。この第3実施形態は、前述の第1実施形態の下部処理部3に替えて下部処理部3Wを備えた点だけが第1実施形態と異なる。よって、この第3実施形態では、第1実施形態と同じ部分については、同じ符号を付けて詳細説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を説明する。
(Third embodiment)
Next, FIG. 3 shows an exhaust gas treatment apparatus according to a third embodiment of the present invention. The third embodiment is different from the first embodiment only in that a lower processing unit 3W is provided instead of the lower processing unit 3 of the first embodiment. Therefore, in this 3rd Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected about the same part as 1st Embodiment, detailed description is abbreviate | omitted, and a different part from 1st Embodiment is demonstrated.

図3に示すように、この第3実施形態では、下部処理部3Wがなす水槽内に、ブロワー配管16Wと水中ブロワー26を配置した。したがって、この第3実施形態によれば、下部処理部3の外部にブロワー19を設置した第1実施形態に比べて、装置全体としてのスペース削減を図れる。なお、この第3実施形態では、図3に示すように、下部処理部3Wの水槽内の底部に水中ブロワー26を配置したが、下部処理部3Wの水槽内であれば水中ブロワー26の設置場所は限定しない。また、水中ブロワー26の材質は、下部処理部3Wの水槽内の液性に耐え得るならば特に限定しない。また、排ガス中の成分によって、下部処理部3Wの水槽内の液性は変わるが、排ガス中の成分が揮発性有機化合物である場合は、下部処理部3Wの水槽内の液性が中性付近であるので、水中ブロワー26の材質に関する問題は特にない。   As shown in FIG. 3, in this 3rd Embodiment, the blower piping 16W and the submerged blower 26 were arrange | positioned in the water tank which the lower process part 3W makes. Therefore, according to the third embodiment, the space of the entire apparatus can be reduced as compared with the first embodiment in which the blower 19 is installed outside the lower processing unit 3. In addition, in this 3rd Embodiment, as shown in FIG. 3, although the underwater blower 26 was arrange | positioned in the bottom part in the water tank of the lower process part 3W, if it is in the water tank of the lower process part 3W, the installation place of the underwater blower 26 Is not limited. The material of the underwater blower 26 is not particularly limited as long as it can withstand the liquidity in the water tank of the lower processing unit 3W. In addition, the liquidity in the water tank of the lower treatment unit 3W varies depending on the components in the exhaust gas, but when the component in the exhaust gas is a volatile organic compound, the liquidity in the water tank of the lower treatment unit 3W is near neutral. Therefore, there is no particular problem regarding the material of the underwater blower 26.

この第3実施形態のように、水中ブロワー26を採用した場合であっても、通常のブロワーと同様に、ブロワー吸い込み部5の排ガスをブロワー吸い込み口6から吸い込んで散気管23から吐出できる。   Even in the case where the underwater blower 26 is employed as in the third embodiment, the exhaust gas from the blower suction portion 5 can be sucked from the blower suction port 6 and discharged from the diffuser tube 23 as in the case of a normal blower.

(第4の実施の形態)
次に、図4に、この発明の第4実施形態である排ガス処理装置を示す。この第4実施形態は、前述の第2実施形態の下部処理部3に替えて前述の第3実施形態の下部処理部3Wを備えた点だけが第2実施形態と異なる。よって、この第4実施形態では、第2実施形態と異なる部分を説明する。
(Fourth embodiment)
Next, FIG. 4 shows an exhaust gas treatment apparatus according to a fourth embodiment of the present invention. The fourth embodiment is different from the second embodiment only in that the lower processing unit 3 of the third embodiment is provided instead of the lower processing unit 3 of the second embodiment. Therefore, in the fourth embodiment, parts different from the second embodiment will be described.

図4に示すように、この第4実施形態では、図3の第3実施形態と同様に、下部処理部3Wがなす水槽内に、ブロワー配管16Wと水中ブロワー26を配置したので、装置全体としてのスペース削減を図れる。   As shown in FIG. 4, in the fourth embodiment, the blower pipe 16W and the submerged blower 26 are arranged in the water tank formed by the lower processing unit 3W, as in the third embodiment of FIG. Space saving.

(第5の実施の形態)
次に、図5に、この発明の第5実施形態である排ガス処理装置を示す。この第5実施形態は、図1の第1実施形態の下部処理部3の水槽内にTOC計54を設置すると共に下部処理部3の外部に制御部としてのTOC調節計55を設置した点が先述の第1実施形態と異なる。よって、この第5実施形態では、先述の第1実施形態と同じ部分については同じ符号を付けて詳細説明を省略し、先述の第1実施形態と異なる部分を説明する。
(Fifth embodiment)
Next, FIG. 5 shows an exhaust gas treatment apparatus according to a fifth embodiment of the present invention. In the fifth embodiment, a TOC meter 54 is installed in the water tank of the lower processing unit 3 of the first embodiment of FIG. 1 and a TOC controller 55 as a control unit is installed outside the lower processing unit 3. Different from the first embodiment described above. Therefore, in the fifth embodiment, the same parts as those of the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted, and parts different from those of the first embodiment described above will be described.

上記TOC計54は下部処理部3内で炭15を収容した収容籠12の付近に配置されている。このTOC計54は下部処理部3の外部に設置されたTOC調節計55に接続されている。このTOC調節計55は、TOC計54が計測したTOC濃度の高低に応じて、ブロワー19の回転数を高低に制御する。   The TOC meter 54 is disposed in the lower processing section 3 in the vicinity of the storage trough 12 that stores the charcoal 15. The TOC meter 54 is connected to a TOC controller 55 installed outside the lower processing unit 3. The TOC controller 55 controls the rotational speed of the blower 19 to be high or low according to the level of the TOC concentration measured by the TOC meter 54.

排気入口1からこの排ガス処理装置に導入される排ガス中の有機化合物濃度が低下したときは、下部処理部3内の洗浄水のTOC濃度も低下する。すると、下部処理部3内に設置されているTOC計54は上記TOC濃度を計測することで、上記TOC濃度の低下を感知する。これにより、TOC計54は、感知したTOC濃度を表す出力信号をTOC調節計55に出力する。すると、TOC調節計55は、上記出力信号に連動してインバータ(図示せず)を制御して、ブロワー19の回転数を制御して吸い込み風量を減少させる。場合によっては、排ガス中の有機化合物濃度が相当に低い場合は、TOC調節計55からの信号によって、ブロワー19を停止させてもよい。この場合、排気入口1から導入される排ガスを上部散水部2だけで処理することとなる。このように、上部散水部2による排ガス処理だけで処理能力が充分な場合もある。   When the concentration of the organic compound in the exhaust gas introduced into the exhaust gas treatment device from the exhaust inlet 1 is lowered, the TOC concentration of the cleaning water in the lower treatment unit 3 is also lowered. Then, the TOC meter 54 installed in the lower processing unit 3 senses a decrease in the TOC concentration by measuring the TOC concentration. As a result, the TOC meter 54 outputs an output signal representing the sensed TOC concentration to the TOC controller 55. Then, the TOC controller 55 controls an inverter (not shown) in conjunction with the output signal to control the rotational speed of the blower 19 to reduce the intake air volume. In some cases, the blower 19 may be stopped by a signal from the TOC controller 55 when the concentration of the organic compound in the exhaust gas is considerably low. In this case, the exhaust gas introduced from the exhaust inlet 1 is processed only by the upper watering part 2. Thus, the processing capability may be sufficient only by the exhaust gas treatment by the upper sprinkler 2.

この第5実施形態によれば、下部処理部3への排ガス導入量を調節することで、結果的には省エネルギーが可能となる上に、排ガス処理装置に導入される排ガス中の有機化合物濃度に対して排ガス処理能力を追従させることができる排ガス処理装置を実現できる。なお、この第5実施形態と前述の第2〜第4実施形態とを組み合わせても良い。   According to the fifth embodiment, by adjusting the amount of exhaust gas introduced into the lower processing unit 3, energy can be saved as a result, and the concentration of organic compounds in the exhaust gas introduced into the exhaust gas treatment device can be reduced. On the other hand, an exhaust gas treatment apparatus capable of following the exhaust gas treatment capacity can be realized. In addition, you may combine this 5th Embodiment and the above-mentioned 2nd-4th Embodiment.

(実験例)
図1の第1実施形態の排ガス処理装置に相当する実験装置を製作した。この排ガス処理の実験装置における散水部2の容量を約1mとし、中間部27の容量を0.5mとし、処理部3の容量を1mとした。また、この排ガス処理の実験装置の上部散水部2には、充填材としてプラスチック充填材14(商品名テラレット)を設置した。また、下部処理部3に炭15として活性炭を充填して1ケ月間、試運転を行った。1ヶ月間の試運転後、半導体工場からの、アセトンを含有する排ガスを排気入口1から導入した。この導入してから7日後に、排気入口1におけるアセトンの処理前濃度と排気出口18における処理後の濃度を測定し、アセトンの除去率を測定したところ、除去率は96%であった。
(Experimental example)
An experimental apparatus corresponding to the exhaust gas treatment apparatus of the first embodiment in FIG. 1 was manufactured. The capacity of the sprinkler 2 in this experimental apparatus for exhaust gas treatment was about 1 m 3 , the capacity of the intermediate part 27 was 0.5 m 3, and the capacity of the processing part 3 was 1 m 3 . Further, a plastic filler 14 (trade name Teralet) was installed as a filler in the upper watering part 2 of the exhaust gas treatment experimental apparatus. Moreover, the lower processing part 3 was filled with activated carbon as charcoal 15, and a test operation was performed for one month. After a trial run for one month, exhaust gas containing acetone from a semiconductor factory was introduced from the exhaust inlet 1. Seven days after the introduction, the concentration of acetone before treatment at the exhaust inlet 1 and the concentration after treatment at the exhaust outlet 18 were measured, and the removal rate of acetone was measured. The removal rate was 96%.

この発明の排ガス処理装置の第1実施形態を模式的に示す図である。It is a figure showing typically a 1st embodiment of an exhaust gas treatment device of this invention. この発明の排ガス処理装置の第2実施形態を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically 2nd Embodiment of the waste gas processing apparatus of this invention. この発明の排ガス処理装置の第3実施形態を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically 3rd Embodiment of the waste gas processing apparatus of this invention. この発明の排ガス処理装置の第4実施形態を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically 4th Embodiment of the waste gas processing apparatus of this invention. この発明の排ガス処理装置の第5実施形態を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically 5th Embodiment of the waste gas processing apparatus of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 排気入口
2、2U 散水部
3、3W 処理部
5 ブロワー吸込部
6 ブロワー吸い込み口
7 空気吸い込み管
8 バルブ
9 マイクロナノバブル発生機
10 循環ポンプ
11 散水ポンプ
12 収容籠
13 多孔板
14 プラスチック充填材
15 炭
16、16W ブロワー配管
17 散水ノズル
18 排気出口
19 ブロワー
20 排気ファン
21 ポリ塩化ビニリデン充填物
22 センチバブル
23 散気管
54 TOC計
55 TOC調節計
26 水中ブロワー
27 中間部
28 微生物
1 Exhaust inlet 2, 2U sprinkler
3, 3W processing section 5 Blower suction section 6 Blower suction port 7 Air suction pipe 8 Valve 9 Micro-nano bubble generator 10 Circulating pump 11 Sprinkling pump 12 Containment rod 13 Perforated plate 14 Plastic filler 15 Charcoal 16, 16W Blower piping 17 Sprinkling nozzle 18 Exhaust outlet 19 Blower 20 Exhaust fan 21 Polyvinylidene chloride filling 22 Centibubble 23 Aeration pipe 54 TOC meter 55 TOC controller 26 Underwater blower 27 Middle part 28 Microorganism

Claims (15)

  1. マイクロナノバブルを含有する液体中に排ガスを吐出させる工程を備えることを特徴とする排ガス処理方法。   An exhaust gas treatment method comprising a step of discharging exhaust gas into a liquid containing micro-nano bubbles.
  2. 請求項1に記載の排ガス処理方法において、
    上記排ガスにマイクロナノバブルを含有する洗浄水を散水する工程を備えることを特徴とする排ガス処理方法。
    The exhaust gas treatment method according to claim 1,
    An exhaust gas treatment method comprising a step of sprinkling cleaning water containing micro-nano bubbles in the exhaust gas.
  3. 請求項1に記載の排ガス処理方法において、
    上記液体中に微生物を繁殖させることを特徴とする排ガス処理方法。
    The exhaust gas treatment method according to claim 1,
    An exhaust gas treatment method characterized in that microorganisms are propagated in the liquid.
  4. 請求項3に記載の排ガス処理方法において、
    上記液体中に炭を浸漬して生物炭を形成し、マイクロナノバブルにより微生物を活性化して、排ガスを処理することを特徴とする排ガス処理方法。
    In the exhaust gas treatment method according to claim 3,
    An exhaust gas treatment method characterized by immersing charcoal in the liquid to form biological charcoal, activating microorganisms with micro-nano bubbles, and treating exhaust gas.
  5. マイクロナノバブルを含有する液体中に排ガスを吐出させることを特徴とする排ガス処理装置。   An exhaust gas treatment apparatus that discharges exhaust gas into a liquid containing micro-nano bubbles.
  6. 請求項5に記載の排ガス処理装置において、
    マイクロナノバブルを含有する液体が貯留されていると共に排ガスを上記マイクロナノバブルを含有する液体中に吐出させる下部と、
    上記下部から上記排ガスが導入されると共に上記下部からの排ガスにマイクロナノバブルを含有する洗浄水を散水する上部とを備えることを特徴とする排ガス処理装置。
    The exhaust gas treatment apparatus according to claim 5,
    A lower part in which liquid containing micro-nano bubbles is stored and exhaust gas is discharged into the liquid containing micro-nano bubbles;
    An exhaust gas treatment apparatus comprising: the exhaust gas introduced from the lower part; and an upper part for spraying cleaning water containing micro-nano bubbles into the exhaust gas from the lower part.
  7. 請求項6に記載の排ガス処理装置において、
    上記下部の液体中に浸漬された生物炭を有することを特徴とする排ガス処理装置。
    The exhaust gas treatment apparatus according to claim 6,
    An exhaust gas treatment apparatus comprising biological charcoal immersed in the lower liquid.
  8. 請求項6に記載の排ガス処理装置において、
    排ガスを吸い込んで上記下部に送出する排ガス吸込部を備えることを特徴とする排ガス処理装置。
    The exhaust gas treatment apparatus according to claim 6,
    An exhaust gas treatment apparatus comprising an exhaust gas suction part that sucks and sends exhaust gas to the lower part.
  9. 請求項6に記載の排ガス処理装置において、
    上記下部は、
    排ガスを上記液体中に吐出する散気管と、
    充填物としての炭と、
    上記液体中にマイクロナノバブルを含有させるためのマイクロナノバブル発生機とを有することを特徴とする排ガス処理装置。
    The exhaust gas treatment apparatus according to claim 6,
    The lower part is
    An air diffuser for discharging exhaust gas into the liquid;
    Charcoal as a filler,
    An exhaust gas treatment apparatus comprising a micro / nano bubble generator for containing micro / nano bubbles in the liquid.
  10. 請求項6に記載の排ガス処理装置において、
    上記下部のマイクロナノバブルを含有する液体を上記マイクロナノバブルを含有する洗浄水として上記上部に送水する送水部を有し、
    上記上部を通過した上記洗浄水を上記下部に戻すことを特徴とする排ガス処理装置。
    The exhaust gas treatment apparatus according to claim 6,
    A water-feeding unit that feeds the liquid containing the lower micro-nano bubbles to the upper part as washing water containing the micro-nano bubbles;
    An exhaust gas treatment apparatus, wherein the cleaning water that has passed through the upper part is returned to the lower part.
  11. 請求項7に記載の排ガス処理装置において、
    上記生物炭は、活性炭、木炭、合成炭のうちの少なくとも1つであることを特徴とする排ガス処理装置。
    The exhaust gas treatment apparatus according to claim 7,
    The bio-charcoal is at least one of activated carbon, charcoal, and synthetic charcoal.
  12. 請求項8に記載の排ガス処理装置において、
    上記排ガス吸込部は、
    排ガスを吸い込んで上記下部に送出するブロワーと、
    上記下部の液体のTOC濃度を計測するTOC計と、
    上記TOC計が計測したTOC濃度に応じて、上記ブロワーの回転数を制御することで、上記下部に送出する排ガスの量を制御する制御部とを備えたことを特徴とする排ガス処理装置。
    The exhaust gas treatment apparatus according to claim 8,
    The exhaust gas suction part is
    A blower that sucks exhaust gas and sends it to the lower part,
    A TOC meter that measures the TOC concentration of the lower liquid;
    An exhaust gas treatment apparatus comprising: a control unit that controls the amount of exhaust gas sent to the lower part by controlling the rotational speed of the blower according to the TOC concentration measured by the TOC meter.
  13. 請求項5に記載の排ガス処理装置において、
    上記排ガスが揮発性有機化合物を含有していることを特徴とする排ガス処理装置。
    The exhaust gas treatment apparatus according to claim 5,
    An exhaust gas treatment apparatus, wherein the exhaust gas contains a volatile organic compound.
  14. 請求項12に記載の排ガス処理装置において、
    上記TOC計は、
    上記液体のVOC濃度を計測するVOC計であり、
    上記制御部は、
    上記VOC計が計測したVOC濃度に応じて、上記ブロワーの回転数を制御することを特徴とする排ガス処理装置。
    The exhaust gas treatment apparatus according to claim 12,
    The TOC meter is
    A VOC meter for measuring the VOC concentration of the liquid;
    The control unit
    An exhaust gas treatment apparatus, wherein the rotational speed of the blower is controlled in accordance with a VOC concentration measured by the VOC meter.
  15. 請求項8に記載の排ガス処理装置において、
    上記排ガス吸込部は、
    上記下部内に配置された水中ブロワーを有し、この水中ブロワーで上記下部外から排ガスを吸い込んで上記下部に送出することを特徴とする排ガス処理装置。
    The exhaust gas treatment apparatus according to claim 8,
    The exhaust gas suction part is
    An exhaust gas treatment apparatus comprising an underwater blower disposed in the lower part, wherein the underwater blower sucks exhaust gas from outside the lower part and sends it to the lower part.
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