JP2007207762A - チャンバ装置、これを備えた電気光学装置および有機el装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワーク処理を不活性ガスの雰囲気中で行うことを要するワーク処理装置6を、チャンバルーム11内に収容するチャンバ装置3であって、略直方体形状に形成されたチャンバルーム11と、チャンバルーム11内に不活性ガスを供給するガス供給流路138と、ガス供給流路138に連なる送気口131と、チャンバルーム11内の不活性ガスを排気する排気流路102と、排気流路102に連なる排気口132とを備え、送気口131と排気口132とが相互に略対角位置に配設されている。
【選択図】図9
Description
さらにこの場合、送気口から排気口に流れる不活性ガスの主気流が、ワーク処理エリアに交差することが、好ましい。
そして、ワーク処理装置が、有機EL装置の製造装置であることが、好ましい。
Claims (18)
- ワーク処理を不活性ガスの雰囲気中で行うことを要するワーク処理装置を、チャンバルーム内に収容するチャンバ装置であって、
略直方体形状に形成された前記チャンバルームと、
前記チャンバルーム内に不活性ガスを供給するガス供給流路と、
前記ガス供給流路に連なると共に前記チャンバルームに開口した送気口と、
前記チャンバルーム内の不活性ガスを排気する排気流路と、
前記排気流路に連なると共に前記チャンバルームに開口した排気口とを備え、
前記送気口と前記排気口とが相互に略対角位置に配設されていることを特徴とするチャンバ装置。 - 前記ガス供給流路にはガスダンパーが介設され、且つ前記排気流路には排気ダンパーが介設され、
前記チャンバルームに対し不活性ガスの補給および排気を連続させるために、前記ガスダンパーおよび前記排気ダンパーは常時「開」に制御されていることを特徴とする請求項1に記載のチャンバ装置。 - 収容される前記ワーク処理装置は、前記チャンバルームの上部空間の水平面内においてワーク処理エリアを有し、
前記送気口は前記チャンバルームの上端部に開口し、前記排気口は前記チャンバルームの下端部に開口していることを特徴とする請求項1または2に記載のチャンバ装置。 - 前記送気口から前記排気口に流れる不活性ガスの主気流が、前記ワーク処理エリアに交差することを特徴とする請求項3に記載のチャンバ装置。
- 前記チャンバルームの天井部には、前記送気口に連なると共に下面を開放したフィルタチャンバと、前記フィルタチャンバの下面開放部に装着したフィルタとが設けられていることを特徴とする請求項3または4に記載のチャンバ装置。
- 前記フィルタは、少なくとも前記ワーク処理エリアを包含する大きさを有していることを特徴とする請求項5に記載のチャンバ装置。
- 前記ガス供給流路には、前記送気口を介して不活性ガスを前記チャンバルームに強制送気するファンが介設されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載のチャンバ装置。
- 前記ガス供給流路には、不活性ガスの温度を調節する温度調節装置が介設されていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載のチャンバ装置。
- ワーク処理を不活性ガスの雰囲気中で行うことを要するワーク処理装置を、チャンバルーム内に収容するチャンバ装置であって、
略直方体形状に形成された前記チャンバルームと、
前記チャンバルーム内に不活性ガスを供給するガス供給流路と、
前記ガス供給流路の下流端に設けられると共に前記チャンバルーム内に開口した複数の送気口と、
前記チャンバルーム内の不活性ガスを排気する排気流路と、
前記排気流路に連なると共に前記チャンバルームに開口した排気口とを備え、
前記各送気口は、前記排気口から離間した前記チャンバルーム内の複数の隅部に配設されていることを特徴とするチャンバ装置。 - 前記ガス供給流路にはガスダンパーが介設され、且つ前記排気流路には排気ダンパーが介設され、
前記チャンバルームに対し不活性ガスの補給および排気を連続させるために、前記ガスダンパーおよび前記排気ダンパーは常時「開」に制御されていることを特徴とする請求項9に記載のチャンバ装置。 - 前記複数の送気口は、個々に流量調節可能に構成され、
前記排気口からの離間距離が長い送気口は多流量に短い送気口は少流量にそれぞれ調整されていることを特徴とする請求項9または10に記載のチャンバ装置。 - 収容される前記ワーク処理装置は、前記チャンバルーム内の水平面内においてワーク処理エリアを有し、
前記複数の送気口から前記排気口に流れる不活性ガスの主気流が、前記ワーク処理エリアに交差することを特徴とする請求項9ないし11のいずれかに記載のチャンバ装置。 - 請求項1ないし12のいずれかに記載のチャンバ装置と、前記チャンバ装置に収容した前記ワーク処理装置と、を備えたことを特徴とする電気光学装置。
- 前記ワーク処理装置が、有機EL装置の製造装置であることを特徴とする請求項13に記載の電気光学装置。
- 前記有機EL装置の製造装置が、ワークである基板に対し、発光機能材料を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に走査し、前記発光機能材料を選択的に吐出して前記基板上の多数の画素領域に有機EL機能層を形成する液滴吐出装置を有していることを特徴とする請求項14に記載の電気光学装置。
- 有機EL機能層が、EL発光層および正孔注入層のうち少なくとも前記EL発光層であることを特徴とする請求項15に記載の電気光学装置。
- 前記ファンによる前記ワーク処理エリアにおける気流が、前記機能液滴吐出ヘッドから吐出した前記発光機能材料に飛行曲がりを生じない速度に調整されていることを特徴とする請求項15または16に記載の電気光学装置。
- 請求項14ないし17のいずれかに記載の電気光学装置により製造されたことを特徴とする有機EL装置。
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