JP2007205873A - 塗膜形成ムラ検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】インクジェット法によって塗布したカラーフィルタ等の塗布物に存在する塗膜表面の凹凸形状のように塗膜形成ムラが小さいときにおいても検査することができるように検出感度を向上させた塗膜形成ムラ検査装置を提供する。
【解決手段】塗布物を搬送する搬送手段と、搬送される塗布物における記ムラが強調して撮像される角度として、塗布物の表面の垂線と撮像光軸との成す角度が７０〜８０度となる角度で塗布物を撮像し撮像画像を出力するラインセンサカメラと、撮像を透過光で行うための透過照明手段とを具備するようにした塗膜形成ムラ検査装置。
【選択図】 図１

Description

撮像画像に基づいて塗膜形成ムラを検出する技術分野に属する。インクジェットヘッドに複数存在するノズルにおける吐出量の微小な不均一に起因するムラ、および塗膜表面の形状バラツキに起因する微小な光の指向性（屈折）バラツキによるムラを自動検出する塗膜形成ムラ検査装置に関する。

カラーフィルタは、たとえば、ＲＧＢ（red,green,blue）の各色を透過する各帯状領域（ストライプ）をその幅方向にＲＧＢの順番に多数配列した構成を有する(ＲＧＢではなく、その補色であるＹＭＣ（yellow,magenta,cyan）の各色のこともある)。また、原色以外の色を含む４〜６色が使用されることもある。ここでは、ＲＧＢ各色を有するカラーフィルタを典型的な塗布物の一例として挙げて説明する。透過するそれら各ストライプにＲＧＢ各色を透過する特性を与えるため、カラーフィルタの基材に対してＲＧＢ各色の塗膜を形成することが行われる。その塗膜を形成する方法の１つとしてインクジェット法がある。インクジェット法においてはインクジェットヘッドからＲＧＢ各色のインキを吐出させ塗布することにより基材に塗膜を形成する。このときカラーフィルタの基材とインクジェットヘッドは各ストライプの延長方向またはそれに対して直角方向に相対的に移動することにより各ストライプの全体に塗布が行われる。

このインクジェット法においてはインクジェットヘッドに複数存在するノズルにおける吐出量の不均一、またインクジェットヘッドの吐出位置とカラーフィルターの画素との相対位置のバラツキ、さらに乾燥条件、材料、前処理の不適正、等が原因となって塗膜形成ムラが発生する。そこで、そのような塗膜形成ムラを検査する検査装置についての提案がある。たとえば、ガラス基板上に形成されたカラーフィルタを透過照明または反射照明によって照明し、撮像部によって画像データとして読み込み、画像処理部によって欠陥の抽出を行った後にコンピュータによって良否判定を行う。その欠陥の抽出においては、射影データに対してある一定区間離れた部分との差をとることで差分データを得て、その得られた差分データをさらに１画素ずつずらしながら相関係数を算出し、その相関係数ピークとピーク位置を求めることで周期性のあるムラを検出する提案がある（特許文献１）。また、インクジェット法で製造したカラーフィルタの検査方法において、検査する領域をカラーフィルタ全体の一部の領域に限定して着色状態の検査を行う提案がある（特許文献２）。また、Ｒ、Ｇ、Ｂの色毎に透過率の異なるＮＤフィルタと非着色部に対応したＮＤフィルタとを備えた光学素子を光路中に配置し、光源からの光量を一定とし、測定対象である着色部の色に対応して上記フィルタを切り替えることにより、各着色部を透過した透過光量が受光素子の測定に適した光量となるように調整して、最適な条件で各着色部の透過率を測定する提案がある（特許文献３）。

しかし、これらの透過光を利用して濃淡を検出する従来の検査方法においては、カラーフィルタに求められる品質精度（たとえば、色度ｘまたはｙにおいて１／１０００程度の変化）を検出することができない。そこで、フォトリソ法で製造したカラーフィルタに対しては、現在において、Ｎａランプ反射照明により生じる干渉縞から微小な膜厚の相対変化量を検出する検査方法（特許文献４）が適用されている。
特開平１０−１８５７６５ 特開平１１−７０６４４ 特開２０００−１９３８１４ 特開平８−２１５３２５（特許第３６３１８５６）

しかしながら、フォトリソ法においては塗膜の断面は矩形でその表面が平面であるのに対して、インクジェット法においては、図６に示すように、１画素ごとの塗膜の断面は蒲鉾型であったり逆に中央が窪んでいたりしてその表面形状の変化が大きい。そのため、Ｎａランプ反射照明により生じる干渉縞を利用した検査方法を適用した場合、１画素の中で密集した多数の干渉縞が生じ、要求される品質を検査できる微小な変化量を濃淡差の画像として得ることができない。また、従来の検査技術においては、たとえば、塗膜表面の形状バラツキに起因して、微小な光の指向性（屈折）バラツキによるムラ等は、検査対象となっていない。

本発明は上記の問題を解決するために成されたものである。その目的は、インクジェット法によって塗布したカラーフィルタ等の塗布物に存在する吐出量の微小な不均一に起因するムラの検査性能の向上、および膜表面の形状バラツキに起因する微小な光の指向性（屈折）バラツキによるムラについても検査することができるように検出感度を向上させた塗膜形成ムラ検査装置を提供することにある。

本発明の請求項１に係る塗膜形成ムラ検査装置は、インクジェット法により塗布した塗布物における塗布ムラを検出する塗膜形成ムラ検査装置であって、前記塗布物の表面の垂線と撮像光軸とが傾斜する角度で前記塗布物を撮像し撮像画像を出力するラインセンサカメラと、前記撮像を透過光で行うための透過照明手段とを具備するようにしたものである。
また本発明の請求項２に係る塗膜形成ムラ検査装置は、請求項１に係る塗膜形成ムラ検査装置において、前記角度は７０〜８０度となる角度であるようにしたものである。
また本発明の請求項３に係る塗膜形成ムラ検査装置は、請求項１または２に係る塗膜形成ムラ検査装置において、前記塗布物は所定の各色を透過する画素を配列したカラーフィルターであるようにしたものである。
また本発明の請求項４に係る塗膜形成ムラ検査装置は、請求項１〜３のいずれかに係る塗膜形成ムラ検査装置において、前記ラインセンサカメラはカラーラインセンサカメラであるようにしたものである。
また本発明の請求項５に係る塗膜形成ムラ検査装置は、請求項３に係る塗膜形成ムラ検査装置において、前記ラインセンサカメラは前記カラーフィルタが透過する各色の光波長帯域より狭い光波長帯域を透過する各色の撮像用光学フィルターを介して撮像を行う複数のモノクロラインセンサカメラによって構成されるようにしたものである。
また本発明の請求項６に係る塗膜形成ムラ検査装置は、請求項５に係る塗膜形成ムラ検査装置において、前記各色の撮像用光学フィルターは前記カラーフィルタにおける他色の光波長帯域を含まない撮像用光学フィルターであるようにしたものである。

本発明の請求項１に係る塗膜形成ムラ検査装置によれば、インクジェット法により塗布した塗布物における塗布ムラを検出する塗膜形成ムラ検査装置であって、搬送手段により塗布物が搬送され、ラインセンサカメラにより塗布物の表面の垂線と撮像光軸とが傾斜する角度で撮像され撮像画像が出力され、透過照明手段により撮像が透過光で行われる。すなわち、塗膜表面の形状バラツキに起因する微小な光の指向性（屈折）バラツキによるムラが強調して撮像されるから撮像画像においてそのムラが明瞭化する。したがって、インクジェット法によって塗布したカラーフィルタ等の塗布物に存在する塗膜表面の形状バラツキに起因する微小な光の指向性（屈折）バラツキによるムラや微細な塗布量のムラに起因する塗膜形成ムラについても検査することができるように検出感度を向上させた塗膜形成ムラ検査装置が提供される。
また本発明の請求項２に係る塗膜形成ムラ検査装置によれば、前記角度は７０〜８０度となる角度である。この角度で撮像を行うと塗膜表面の形状バラツキに起因する微小な光の指向性（屈折）バラツキによるムラが撮像画像において強調され明瞭化することが発明者によって確かめられている。したがって、ムラの検出感度を向上させることができる。
また本発明の請求項３に係る塗膜形成ムラ検査装置によれば、塗布物は所定の各色を透過する画素を配列したカラーフィルタである。したがって、高度な品質を必要とするカラーフィルタの検査を行うことができる。
また本発明の請求項４に係る塗膜形成ムラ検査装置によれば、ラインセンサカメラはカラーラインセンサカメラであるようにしたものである。したがって、簡易な撮像手段を使用して塗膜について各色別の検査が可能となる。
また本発明の請求項５に係る塗膜形成ムラ検査装置によれば、ラインセンサカメラはカラーフィルタが透過する各色の光波長帯域より狭い光波長帯域を透過する各色の撮像用光学フィルターを介して撮像を行う複数のモノクロラインセンサカメラによって構成される。したがって、撮像における混色が避けられ各色の塗膜について高い検出感度を得ることができる。
また本発明の請求項６に係る塗膜形成ムラ検査装置によれば、各色の撮像用光学フィルターはカラーフィルタにおける他色の光波長帯域を含まない撮像用光学フィルターであるようにしたものである。したがって、撮像における混色を極小とし各色の塗膜について極めて高い検出感度を得ることができる。

次に、本発明の実施の形態について図を参照しながら説明する。図１〜図４は本発明の塗膜形成ムラ検査装置における構成を示す図である。図１においてはカラーフィルタの表面の垂線と撮像光軸との成す角度が７０〜８０度となる撮像系を示し、図２においては全体構成を絵図として示し、図３においては搬送方向（副走査方向）、塗布方向、ラインセンサカメラと光源の延長方向（主走査方向）との関係を示し、図４においては全体構成をブロック図として示している。
図１〜図４において、１はラインセンサカメラ、２は白色蛍光灯、３はコロコンベヤ、４は処理部、５はサーバー、１００はカラーフィルタである。

カラーフィルタ１００は、その典型的な一例として、ＲＧＢ（red,green,blue）の各色を透過する各帯状領域（ストライプ）をその幅方向にＲＧＢの順番に多数配列した構成を有する。カラーフィルタ１００における各色のストライプはインクジェットヘッドから吐出した各色のインキを塗布し乾燥させた塗膜により形成される。この塗膜が均一に形成されているか否かがカラーフィルタ１００の品質において重要である。インクジェットヘッドにおいては複数存在するノズルにおける吐出量の均一性が得られなくなることがある。またインクジェットヘッドの吐出位置とカラーフィルターの画素との相対位置のバラツキ、さらに乾燥条件、材料、前処理の不適正により、微小な光の指向性（屈折）バラツキによるムラが発生することがある（図６参照）。これらの塗布ムラはたとえばストライプ方向に連続しており目立つために、カラーフィルタ１００における重欠陥と成り得る（図７参照）。このような塗膜形成ムラの程度が許容できるか否かを本発明の塗膜形成ムラ検査装置は検査する。

ラインセンサカメラ１は、検査対象物であるカラーフィルタ１００を撮像して撮像画像を得るための撮像手段である。本発明の塗膜形成ムラ検査装置における検査対象となる塗布ムラは、ノズルにおける吐出量の微小な不均一に起因するムラ、および膜表面の形状バラツキに起因する微小な光の指向性（屈折）バラツキによるムラである。特に本発明の塗膜形成ムラ検査装置においては、図１に示すように、ラインセンサカメラ１はカラーフィルタ１００におけるそれらのムラが強調して撮像される角度で前記塗布物を撮像し撮像画像を出力する。すなわち、ラインセンサカメラ１はカラーフィルタ１００の表面の垂線と撮像光軸との成す角度が７０〜８０度となる角度でカラーフィルタ１００を撮像する。言い換えると、ラインセンサカメラ１はカラーフィルタ１００の表面と撮像光軸との成す角度が１０〜２０度となる、カラーフィルタ１００の表面に沿うような小さな角度でカラーフィルタ１００を撮像する。そして、カラーフィルタ１００を貫く撮像光軸の延長上には白色蛍光灯２が存在する。白色蛍光灯２はカラーフィルタ１００を透過した光によってその撮像を行うための透過照明手段である。

撮像のためのラインセンサカメラ１による走査（主走査）の方向は、図３に示す一例においては、カラーフィルタ１００における塗布方向に対して平行となっている。平行とする構成が一般的であるが、カラーフィルタ１００における塗布方向に対して傾斜させてもよい。カラーフィルタ１００はコロコンベヤ３によって搬送されるが、このときカラーフィルタ１００における塗布方向が搬送方向（副走査方向）に対して直角方向となるように搬送が行われる。したがって、塗布方向と主走査方向とが成す角度をθとすると、主走査方向と副走査方向とが成す角度は（９０°−θ）となる。言い換えると、ラインセンサカメラ１は、その主走査方向が副走査方向に対して（９０°−θ）となるように設置される。

塗膜形成ムラの検出感度を高めるために、塗膜形成ムラ検査装置において塗布方向に撮像画素の画素値を積算して塗布方向に対して直角方向の投影ベクトルを得る処理（後述する）が行われる。そのとき、傾斜させることにより投影ベクトルの値の精度を高めることができる。その角度θは、当然ながら平行のときにはθ＝０であるが、傾斜のときにはθはその傾斜角度の値となる。傾斜角度としては、たとえば、ラインセンサカメラ１の画素数（受光素子数）を４０９６画素とすると２０画素程度、すなわち２０／４０９６ラジアン程度（角度で数度）とすればよい。この角度θをあまり大きくするとラインセンサカメラ１による撮像領域の幅が小さくなり好ましくない。したがって効果を得ることができる条件下において角度θとしては小さな値とすることが好ましい。

ラインセンサカメラ１としては、ＣＣＤ（charge coupled device）、ＭＯＳ（metal oxide semiconductor）等のラインセンサ素子、増幅器、駆動回路、Ａ／Ｄ（analog to digital）変換器、メモリ、入出力回路、結像レンズ（撮像レンズ）、筐体、等により構成される周知のラインセンサカメラを使用することができる。ラインセンサカメラ１の出力はアナログ信号、デジタル信号のいずれのタイプであってもよい。処理部４との接続に標準規格のカメラリンク、ＲＳ４２２、ＲＳ６４４、等を使用することができる。

カラーフィルタ１００は検査対象のカラーフィルタであって、ＲＧＢ（red,green,blue）の各色を透過する各帯状領域（ストライプ）をその幅方向にＲＧＢの順番に多数配列した構成を有する。ラインセンサカメラ１は、その各色のストライプを区別して検出する。そのために、本発明の塗膜形成ムラ検査装置におけるラインセンサカメラ１としては、Ｒ色にだけ感度を有するＲ色用ラインセンサカメラ、Ｇ色にだけ感度を有するＧ色用ラインセンサカメラ、Ｂ色にだけ感度を有するＢ色用ラインセンサカメラの３種類が存在する。各色用のラインセンサカメラは、各色を透過する撮像用光学フィルターを装着する等により、各色だけに対する感度を持たせる。
なお、白色蛍光灯２に代えて、Ｒ色透過照明、Ｇ色透過照明、Ｂ色透過照明の３つを使用し、それらＲＧＢ各色透過照明からの光だけを検出するＲＧＢ各色透過照明用のモノクロラインセンサーカメラと組合わせることにより、各色だけに対する感度を持たせるように構成してもよい。

それら撮像用の各色を透過するカラーフィルタは検査対象のカラーフィルタ１００が透過する各色の光波長帯域より狭い光波長帯域を透過する各色のカラーフィルタを使用する。それにより、撮像における混色が避けられ各色の塗膜について高い検出感度を得ることができ好適である。さらに、撮像用の各色のカラーフィルタは検査対象のカラーフィルタ１００における他色の光波長帯域を含まないカラーフィルタを使用する。それにより、撮像における混色を極小化し各色の塗膜について極めて高い検出感度を得ることができ好適である。

３種類のラインセンサカメラの各々は独立しており、搬送方向に対してほぼ直角方向に複数個が並列配置される。図２、図３に示す一例においては、ラインセンサカメラ１はＲＧＢ各色用の３台のラインセンサカメラで構成される。この図２、図３に示す構成は最小の台数で広域を撮像するため、マクロ的な（広域の）塗膜形成ムラを検査する場合に適する。ＲＧＢ各色用の３台から成るラインセンサカメラの組を複数並列配置した構成とすることができる。その構成ににおいては高解像度で撮像することができるため、ミクロ的な（狭域の）塗膜形成ムラを検査する場合に適する。
なお、３種類のラインセンサカメラに代えて、カラーラインセンサカメラを使用して撮像を行いＲＧＢ各色の撮像画像を得るように構成することもできる。そのときには、簡易な撮像手段を使用して各色の塗膜についてバランスよい検出感度を得ることができる。

白色蛍光灯２はラインセンサカメラ１がカラーフィルタ１００を透過光で撮像するための照明手段である。白色蛍光灯２はラインセンサカメラ１の撮像光軸がカラーフィルタ１００の撮像領域を貫いて延長する位置（ラインセンサカメラ１の対向位置）に配置される。白色蛍光灯２は発光領域が直線状であるために撮像領域が同様に直線状であるラインセンサカメラ１の照明手段として適している。ラインセンサカメラ１によるＲＧＢ各色の撮像を行えるように、白色蛍光灯２が放射する光にはＲＧＢ各色の光が含まれている。

白色蛍光灯２には、図４に示すように、高周波点灯電源によって電力が供給される。白色蛍光灯２における蛍光体の残光特性と高周波点灯の組合せによって、ラインセンサカメラ１の露光時間を尺度としたときには、照明手段２における放射光量の変動は実質的に存在しない。高周波点灯電源は、その動作（電源オンオフ、供給電力量、等）を制御する信号を処理部４から入力する。
なお、白色蛍光灯２に代えて、ハロゲンランプ、メタルハライドランプ、等の光源と、ライトガイドを組合わせて、発光領域が直線状となる透過照明を構成するようにしてもよい。

コロコンベヤ３はラインセンサカメラ１の撮像における副走査のため塗布物であるカラーフィルタ１００を搬送する搬送手段である。カラーフィルタ１００をコロコンベヤ３に供給するときにカラーフィルタ１００の塗布方向に対して搬送方向を平行方向とするときと、直角方向とするときとがある。塗布方向に対して直角方向における塗膜形成ムラを検出するときには、塗布方向に対して搬送方向が直角方向となるように供給する。塗布方向における塗膜形成ムラを検出するときには、塗布方向に対して搬送方向が平行方向となるように供給する。

コロコンベヤ３は、図４に示すように、機械系（コロコンベヤそのもの）とその制御系とから構成される。機械系はカラーフィルタ１００を搬送する力を伝える複数のコロと、その複数のコロを回転駆動するモーター等から成る。制御系はＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）である。ＰＬＣは機械系を制御するとともにＰＬＣに接続されている処理部４に対して搬送状態（搬送速度、搬送距離、等）に関するデータを出力する。また、ＰＬＣ２０はカラーフィルタ１００の搬送制御（運転停止、等）に関するデータを処理部４から入力する。データを処理部４はＰＬＣから入力して搬送状態に関するデータに基づいて搬送に同期した撮像画像の読込みを行う。
なお、コロコンベヤ３に代えて、セッター搬送、エア浮上搬送、等の透過照明を使用できる他の搬送手段を構成するようにしてもよい。

処理部４はラインセンサカメラ１が出力するアナログ信号またはデジタル信号を入力して撮像画像（入力画像）として記憶する画像記憶手段、すなわち画像メモリとを有する。処理部４はその画像メモリに記憶されている画像についてデータ処理を行う。また、画像入力装置に関する設定、操作、等に係わるデータ処理、ユーザインタフェースに係わるデータ処理、等を行う。
処理部４が行うデータ処理には、画像メモリに記憶した撮像画像においてカラーフィルタ１００の塗布方向または塗布方向に対して直角方向に配列する画素の画素値の総和を求め塗布方向に対して直角方向または塗布方向の投影ベクトルを得る投影ベクトル演算処理が含まれている。

主走査方向と副走査方向とが角度を成すとき、すなわち前述した傾斜角度θがゼロでないときには、が撮像画像はスキュー歪を有する画像である。撮像画像から直接的に投影ベクトルを得るためには、まず、撮像画像においてカラーフィルタ１００に属する主走査の画素の画素数だけ、角度θの方向に存在する画素の座標を仮定する。たとえば、属する主走査（ｙ軸）の画素の座標を（ｘ，１），（ｘ，２）・・・（ｘ，ｍ）とするとき、角度θの方向に存在する画素の座標は、（ｘ＋ｔａｎθ，１），（ｘ＋２ｔａｎθ，２）・・・（ｘ＋ｍｔａｎθ，ｍ）である。その座標の中でカラーフィルタ１００に属する画素だけを対象とする。撮像画像におけるカラーフィルタ１００の境界は、画素値の大小によって判定する。境界の外側においては白色蛍光灯２の放射光が遮るものなしに直接的にラインセンサカメラ１に到達するため画素値が大きくなる。

次に、その座標の画素の画素値を撮像画像において実際に存在する近傍の画素の画素値を用い、周知の内挿法（後述する）を適用して演算する。仮定した画素のすべてに対して画素値を演算しその総和を得る。これにより投影ベクトルにおける１つの要素の値が得られる。この演算をカラーフィルタ１００に属する副走査の画素の画素数だけ，すなわち、ｘ＝１〜ｎまで行うことによりすべての要素の値が得られ、投影ベクトル（Ｓ１，Ｓ２，・・・Ｓｎ）が得られる（図５参照）。

処理部４は得られた投影ベクトルに基づいて良否判定処理を行う。すなわち、投影ベクトルを検査基準とを比較することにより良否判定を行う。たとえば、検査基準は上限ベクトルと下限ベクトルの２つから成るものとする。そして、投影ベクトルの要素の１つでも上限ベクトルと下限ベクトルの対応する要素が与える上限値と下限値の範囲内から外れていれば不良と判定する。
サーバー５は処理部４における良否判定処理の結果を入力し、カラーフィルタ１００の品質データとして保存する。また、不良判定のときには、関連する製造装置を含めて、運転を停止する指令を出力する等の処理を行う。

上述のように直接的に得るのではなく、撮像画像が有する幾何歪であるスキュー歪を補正してから投影ベクトルを得るように、処理部４における処理を構成することができる。この補正により幾何歪補正画像が得られるからモニター画面に表示する等において好適に利用することができる。処理部４は、撮像画像において、スキュー歪を補正するためにアフィン変換を行う。そのアフィン変換により、幾何学歪補正画像（変換後画像）を得ることができる。この場合のアフィン変換の式は、ｕ＝ｘ＋ｙｔａｎθ，ｖ＝ｙである。ここに、変換前の座標（ｘ、ｙ）、変換後の座標（ｕ，ｖ）、塗布方向と主走査方向とが成す角度θとする。

変換前の画素の座標（ｘ、ｙ）は撮像画像における画素の位置であるから等間隔に行列配置した座標（格子点）となっている。これに対して変換後の画素の座標（ｕ，ｖ）は格子点とはなっていない。そこで、処理部４は、変換後の座標（ｕ，ｖ）にある画素の画素値に基づいて格子点にある画素の画素値を演算する内挿処理を行う。勿論、変換後の座標（ｕ，ｖ）にある画素の画素値は変換前の座標（ｘ，ｙ）にある画素の画素値に等しい。内挿処理には、周知の内挿法を適用することができる。たとえば、最近隣内挿法（nearest neighbor interpolation）、共１次内挿法（bi-linear interpolation）、バイキュービック内挿法（bi-cubic interpolation）を適用することができる。なかでも、情報の損失が少ないバイキュービック内挿法が好適である。

このようにスキュー歪を補正し内挿法を適用して格子点の画素値を有する画像（幾何学歪補正画像）に対して処理部４は投影ベクトルを得る処理を行う。幾何学歪補正画像は格子点を座標とする画素から構成されている。したがって、投影ベクトルを得る処理は、単純である。すなわち、幾何学歪補正画像においてカラーフィルタ１００に属し塗布方向または塗布方向に対して直角方向に配列する画素の画素値（輝度値）の総和を求める。これにより投影ベクトルにおける１つの要素の値が得られる。この演算を副走査の画素の画素数だけ行うことによりすべての要素の値が得られ、投影ベクトル（Ｓ１，Ｓ２，・・・Ｓｎ）が得られる（図５参照）。
なお、ラインセンサカメラ１にはＲ色用ラインセンサカメラ、Ｇ色用ラインセンサカメラ、Ｂ色用ラインセンサカメラの３種類が存在するから、撮像画像についてもＲ色撮像画像、Ｇ色撮像画像、Ｂ色撮像画像の３種類が存在する。したがって、投影ベクトルについてもＲ色投影ベクトル、Ｇ色投影ベクトル、Ｂ色投影ベクトルの３種類が存在する。

本発明の塗膜形成ムラ検査装置における撮像系を示す図である。 本発明の塗膜形成ムラ検査装置における全体構成を示す絵図である。 本発明の塗膜形成ムラ検査装置における搬送方向（副走査方向）、塗布方向、ラインセンサカメラと光源の延長方向（主走査方向）の関係を示す図である。 本発明の塗膜形成ムラ検査装置における全体構成を示すブロック図である。 撮像画像と投影ベクトルの関係についての説明図である。 インクジェット法とフォトリソ法による塗膜形成の相違を示す図である。 塗布方向に対して平行方向と直角方向に延びる塗膜形成ムラ（スジ）の説明図である。

符号の説明

１ ラインセンサカメラ
２ 白色蛍光灯
３ コロコンベヤ
４ 処理部
５ サーバー
１００ カラーフィルタ

Claims (6)

1. インクジェット法により塗布した塗布物における塗布ムラを検出する塗膜形成ムラ検査装置であって、
   前記塗布物を搬送する搬送手段と、
   前記塗布物の表面の垂線と撮像光軸とが傾斜する角度で前記塗布物を撮像し撮像画像を出力するラインセンサカメラと、
   前記撮像を透過光で行うための透過照明手段と、
   を具備することを特徴とする塗膜形成ムラ検査装置。
2. 請求項１記載の塗膜形成ムラ検査装置において、前記角度は７０〜８０度となる角度であることを特徴とする塗膜形成ムラ検査装置。
3. 請求項１または２記載の塗膜形成ムラ検査装置において、前記塗布物は所定の各色を透過する画素を配列したカラーフィルタであることを特徴とする塗膜形成ムラ検査装置。
4. 請求項１〜３にいずれかに記載の塗膜形成ムラ検査装置において、前記ラインセンサカメラはカラーラインセンサカメラであることを特徴とする塗膜形成ムラ検査装置。
5. 請求項３記載の塗膜形成ムラ検査装置において、前記ラインセンサカメラは前記カラーフィルタが透過する各色の光波長帯域より狭い光波長帯域を透過する各色の撮像用光学フィルターを介して撮像を行う複数のモノクロラインセンサカメラによって構成されることを特徴とする塗膜形成ムラ検査装置。
6. 請求項５記載の塗膜形成ムラ検査装置において、前記各色の撮像用光学フィルターは前記カラーフィルタにおける他色の光波長帯域を含まない撮像用光学フィルターであることを特徴とする塗膜形成ムラ検査装置。
   
   

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