JP2007203253A

JP2007203253A - 電気分解装置、電解水製造装置、及び電解水製造方法

Info

Publication number: JP2007203253A
Application number: JP2006027407A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Masuda; 雅之増田; Tetsushi Suzuki; 哲史鈴木; Kohei Miki; 康平三木
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 2006-02-03
Filing date: 2006-02-03
Publication date: 2007-08-16

Abstract

【課題】所望の気体の溶存量を高めた電解水が効率よく得られる電気分解装置、電解水製造装置、及び電解水製造方法を提供する。
【解決手段】電解水製造装置１は、超純水をアノード電極３ａ及びカソード電極５ａで電気分解させ所定の気体を飽和状態又は過飽和状態で溶解させた電解水を生成する電解槽２を備えているので、所望の気体の溶解量が多い電解水を得ることができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、電気分解装置、電解水製造装置、及び電解水製造方法に関するものである。

従来、このような分野の技術として、下記特許文献１に記載の電解水製造装置が知られている。この電解水製造装置装置は、アノード室、カソード室、及び中間室を備えた三槽式の装置である。この装置では、中間室に固体電解質が充填されており、この固体電解質を通電媒体として、アノード室及びカソード室に導入した原水を電気分解することで、洗浄用等に用いられる電解水が生成される。
特開平８−１２７８８６号公報

ところで、この種の装置で生成される電解水においては、洗浄能力を強化することが要求され、このような要求に応じるためには、電解水の酸化還元電位の絶対値を向上すべく、電解水に気体を出来るだけ多く溶存させることが適切な方法の一つとして提案できる。このような要求の他にも、所望の気体の溶存量が大きい電解水には、幅広い機能及び用途が期待でき、このような電解水を効率よく得ることが求められている。

そこで、本発明は、所望の気体の溶存量を高めた電解水が効率よく得られる電気分解装置、電解水製造装置、及び電解水製造方法を提供することを目的とする。

本発明に係る電気分解装置は、原水を導入し電気分解する電気分解装置において、原水をアノード電極及びカソード電極で電気分解させ所定の気体を飽和状態又は過飽和状態で溶解させた電解水を生成する電解水生成部を備えたことを特徴とする。

この電気分解装置の電解水生成部では、所定の気体が飽和状態又は過飽和状態で溶解させた電解水が生成される。従って、この電気分解装置では、所望の気体の溶解量が多い電解水を得ることができる。

また、電解水生成部は、所定の気体を加圧し、当該所定の気体を加圧状態で原水及び／又は電解水に溶解させる加圧手段を更に有してもよい。このような構成によれば、所定の気体を加圧状態で原水及び／又は電解水に溶解させることによって、この所定の気体を電解水に飽和状態又は過飽和状態で溶解させることができる。

また、電解水生成部は、所定の気体を電解水と一緒にアノード電極又はカソード電極の近傍を環流させる電解水循環手段を有してもよい。このような構成によれば、アノード電極又はカソード電極の近傍において、未溶解の所定の気体が環流しながら電解水に繰り返し接触し溶解する。従って、この電解水における当該所定の気体の溶解量を大きくすることができる。

また、この場合、電解水循環手段は、アノード電極が設けられたアノード室から排出されるアノード電解水を、所定の気体と一緒に加圧し再びアノード室に導入するアノード水返送ラインを有することが好ましい。このような構成によれば、アノード電解水を所定の気体と一緒にアノード室に効率的に環流させることができ、アノード電解水における所定の気体の溶解量を大きくすることができる。

また、電解水循環手段は、カソード電極が設けられたカソード室から排出されるカソード電解水を、所定の気体と一緒に加圧し再びカソード室に導入するカソード水返送ラインを有することが好ましい。このような構成によれば、カソード電解水を所定の気体と一緒にカソード室に効率的に環流させることができ、カソード電解水における所定の気体の溶解量を大きくすることができる。

本発明に係る電解水製造装置は、原水を電気分解して電解水を製造する電解水製造装置において、原水をアノード電極及びカソード電極で電気分解させ所定の気体を飽和状態又は過飽和状態で溶解させた電解水を生成する電解水生成部を備えたことを特徴とする。

この電解水製造装置の電解水生成部では、所定の気体が飽和状態又は過飽和状態で溶解させた電解水が生成される。従って、この電気分解装置では、所望の気体の溶解量が多い電解水を得ることができる。

本発明の電解水製造方法は、原水を電気分解して電解水を製造する電解水製造方法において、原水をアノード電極及びカソード電極で電気分解させ所定の気体を飽和状態又は過飽和状態で溶解させた電解水を生成する電解水生成工程を備えたことを特徴とする。

この電解水製造方法の電解水生成工程では、所定の気体が飽和状態又は過飽和状態で溶解させた電解水が生成される。従って、この電解水製造方法では、所望の気体の溶解量が多い電解水を得ることができる。

また、電解水生成工程では、所定の気体を加圧し、当該所定の気体を加圧状態で原水及び／又は電解水に溶解させてもよい。このような構成によれば、所定の気体を加圧状態で原水及び／又は電解水に溶解させることによって、この所定の気体を電解水に飽和状態又は過飽和状態で溶解させることができる。

また、電解水生成工程では、所定の気体を電解水と一緒にアノード電極又はカソード電極の近傍を環流させてもよい。このような構成によれば、アノード電極又はカソード電極の近傍において、未溶解の所定の気体が環流しながら電解水に繰り返し接触し溶解する。従って、この電解水における当該所定の気体の溶解量を大きくすることができる。

また、この場合、電解水生成工程では、アノード電極を収容するアノード室から排出されるアノード電解水を、所定の気体と一緒に加圧し再びアノード室に導入することが好ましい。このような構成によれば、アノード電解水を所定の気体と一緒にアノード室に効率的に環流させることができ、アノード電解水における所定の気体の溶解量を大きくすることができる。

また、電解水生成工程では、カソード電極を収容するカソード室から排出されるカソード電解水を、所定の気体と一緒に加圧し再びカソード室に導入することが好ましい。このような構成によれば、カソード電解水を所定の気体と一緒にカソード室に効率的に環流させることができ、カソード電解水における所定の気体の溶解量を大きくすることができる。

本発明の電気分解装置、電解水製造装置、及び電解水製造方法によれば、所望の気体の溶存量を高めた電解水が効率よく得られる。

以下、図面を参照しつつ本発明に係る電気分解装置、電解水製造装置、及び電解水製造方法の好適な実施形態について詳細に説明する。

（第１実施形態）
図１に示すように、電解水製造装置１は、いわゆる三槽式の電解層２を備えており、ラインＬ１から導入された超純水を電解層２で電気分解してアノード電解水及びカソード電解水を得る装置である。

この装置１の電解層（電解水生成部）２は、アノード電極３ａが設けられたアノード室３と、カソード電極５ａが設けられたカソード室５と、アノード室３とカソード室５とに挟まれて設けられた中間室７と、の３室を備えている。アノード室３と中間室７とは、微細孔を有する隔壁１３によって仕切られており、同様に、中間室７とカソード室５とは、微細孔を有する隔壁１５によって仕切られている。この隔壁１５の微細孔を通じて、アノード電極３ａとカソード電極５ａとが、電気的に接続される。

中間室７には、固体電解質である粒状のイオン交換樹脂１７が、水と混合された状態で充填されており、このイオン交換樹脂１７は、アノード電極３ａとカソード電極５ａとの間に電流を流すための通電媒体として機能する。このイオン交換樹脂は、アノード電極３ａとカソード電極５ａとの間の通電に介在するのみであり、通電中においてイオン交換樹脂自体は化学的な変化をしない。このようなイオン交換樹脂としては、例えば、フッ素樹脂母体のイオン交換樹脂が適しており、特にフッ素樹脂母体に−ＳＯ_３基を導入した強酸性カチオン交換樹脂を用いることが好ましい。更に具体的には、デュポン社製のＮａｆｉｏｎ（登録商標）−ＮＲ５０を好適に用いることが出来る。このようなイオン交換樹脂を中間室７に充填することにより、原水が電解質を含まない場合にもアノード電極３ａとカソード電極５ａとの間に電流が流れるので、補助電解質を添加せずに超純水の電気分解を行うことができる。

この電解槽２のアノード室３の上流側には、ラインＬ１から分岐したラインＬ３が接続されており、このラインＬ３からの超純水がアノード室３内に供給される。同様に、カソード室５の上流側には、ラインＬ１から分岐したラインＬ５が接続されており、このラインＬ５からの超純水がカソード室５内に供給される。また、アノード室３の下流側には、ラインＬ１３が接続されており、アノード室３で生成したアノード電解水が排出される。同様に、カソード室５の下流側には、ラインＬ１５が接続されており、カソード室５で生成したカソード電解水が排出される。

このような装置１において、ラインＬ３を通じて超純水がアノード室３に供給されると、アノード電極３ａ近傍では下式（１）及び（２）の反応が起こる。
２Ｈ_２Ｏ→４Ｈ^＋＋Ｏ_２↑＋４ｅ⁻ …（１）
３Ｈ_２Ｏ→６Ｈ^＋＋Ｏ_３↑＋６ｅ⁻ …（２）
すなわち、導入された超純水の水分子Ｈ_２Ｏが、アノード電極３ａに電子を付与して、水素イオンＨ^＋、気体の酸素Ｏ_２、及び気体のオゾンＯ_３を発生させる。発生した気体の酸素Ｏ_２及びオゾンＯ_３の一部は水に溶解するので、ラインＬ１３からは、水素イオンＨ^＋を含み、酸素とオゾンとが溶解した水が、アノード電解水として排出される。また、アノード電解水に溶解しなかった酸素及びオゾンは、気体としてアノード電解水に含まれたままアノード室３から排出されるが、ラインＬ１３上に設けられたガスフィルタＦ１３を通過する際にアノード電解水から除去される。

一方、ラインＬ５を通じて超純水がカソード室５に供給されると、カソード電極５ａ近傍では下式（３）の反応が起こる。
２Ｈ_２Ｏ＋２ｅ⁻→２ＯＨ⁻＋Ｈ_２↑ …（３）
すなわち、導入された超純水の水分子Ｈ_２Ｏが、カソード電極５ａから電子を受け取り、水酸化イオンＯＨ⁻、及び気体の水素Ｈ_２を発生させる。発生した気体の水素Ｈ_２の一部は水に溶解するので、ラインＬ１５からは、水酸化イオンＯＨ⁻を含み、水素が溶解した水が、カソード電解水として排出される。また、カソード電解水に溶解しなかった水素は、気体としてカソード電解水に含まれたままカソード室５から排出されるが、ラインＬ１５上に設けられたガスフィルタＦ１５を通過する際にカソード電解水から除去される。

このような装置１により、補助電解質を添加することなく、超純水を原水とした電気分解が行われるので、清浄度が高い電解水が得られる。しかしながら、この洗浄水は、塩素イオン等を含む電解水に比較して酸化還元電位の絶対値が低いので、洗浄力が十分でない場合がある。従って、このような電解水においては、出来るだけ酸化還元電位の絶対値を向上するため、アノード電解水にはアノード室３で発生する酸素及びオゾンを、カソード電解水にはカソード室５で発生する水素を、出来るだけ多く溶解させることが好ましい。

このため、電解水製造装置１の電解槽２は、アノード室３の下流側とラインＬ３とを連結するアノード水返送ラインＬ２３を備えている。このアノード水返送ラインＬ２３上には、アノード室３及び返送ラインＬ２３において、アノード電極３ａの近傍にアノード電解水を環流させるための循環ポンプＰ２３及び気液混合器（加圧手段）Ｊ２３が設けられている。

このような構成に基づき、アノード室３からラインＬ２３に流動するアノード電解水には、アノード電極３ａ近傍で発生した酸素及びオゾンが気泡の状態で含まれることになる。そして、このアノード電解水は、ラインＬ２３上で気液混合器Ｊ２３を通過する際に、酸素及びオゾンの気泡と一緒に加圧されながらラインＬ３に返送され、再びアノード室３に導入される。このとき、気泡の状態の酸素及びオゾンが、気液混合器Ｊ２３での加圧によって、アノード電解水に強制的に溶解される。そして、溶け残った酸素及びオゾンは、この返送ラインＬ２３を環流しながら繰り返しアノード電解水に接触し、上記の強制的な気体の溶解が繰り返し行われる。従って、アノード室３内においては、酸素及びオゾンが、アノード電解水に飽和状態又は過飽和状態で溶解することになる。そして、ラインＬ１３からは、酸素及びオゾンが飽和状態又は過飽和状態で溶解したアノード電解水が得られる。

一方、電解水製造装置１は、カソード側においても、カソード室５の下流側とラインＬ５とを連結するカソード水返送ラインＬ２５を備えている。また、このカソード水返送ラインＬ２５上には、カソード室５及び返送ラインＬ２５において、カソード電極５ａの近傍にカソード電解水を環流させるための循環ポンプＰ２５及び気液混合器（加圧手段）Ｊ２５が設けられている。

このような構成に基づき、カソード室５からラインＬ２５に流動するカソード電解水には、カソード電極５ａ近傍で発生した水素が気泡の状態で含まれることになる。そして、このカソード電解水は、ラインＬ２５上で気液混合器Ｊ２５を通過する際に、水素の気泡と一緒に加圧されながらラインＬ５に返送され、再びカソード室５に導入される。このとき、気泡の状態の水素が、気液混合器Ｊ２５での加圧によって、カソード電解水に強制的に溶解される。そして、溶け残った水素は、この返送ラインＬ２５を環流しながら繰り返しカソード電解水に接触し、上記の強制的な溶解が繰り返し行われる。従って、カソード室５内においては、水素が、カソード電解水に飽和状態又は過飽和状態で溶解することになる。そして、ラインＬ１５からは、水素が飽和状態又は過飽和状態で溶解したカソード電解水が得られる。

このような電解水製造装置１において、中間室７に充填されたイオン交換樹脂１７は、前述したように、それ自体は化学的に変化しないが、継続的な使用による破損等で劣化し、通電媒体としての機能が低下する場合がある。従って、この装置１では、電気分解中において、このイオン交換樹脂１７を中間室７内で流動させて連続的に交換することで、常に正常なイオン交換樹脂１７の粒体が電気分解に関与するようにしている。

具体的には、この装置１の中間室７には、イオン交換樹脂１７を導入する導入口７ａと、イオン交換樹脂１７を排出する排出口７ｂとが設けられている。また装置１は、この排出口７ｂと導入口７ａとを連結する樹脂循環ライン２７を備えており、樹脂循環ライン２７上には、イオン交換樹脂１７の劣化した粒体を、粒径によって選別して除去する選別装置（除去手段）Ｑ２７が設けられている。更に、この樹脂循環ライン２７上には、バルブＶ２７が設けられている。そして、このバルブＶ２７、ラインＬ１３上に設けられたバルブＶ１３、及びラインＬ１５上に設けられたバルブＶ１５の３つのバルブの開度が調整されることにより、中間室７内の圧力が、アノード室３の圧力及びカソード室５内の圧力よりも低くなるように設定されている。

イオン交換樹脂１７は、粒体をなし、水に混合された状態で存在しているので、水と一緒に導入口７ａから排出口７ｂに向かって容易に流動する。なお、中間室７におけるイオン交換樹脂１７の流動方向は、アノード室３及びカソード室５における水の流動方向と向かい合う方向に設定されている。そして、排出口７ｂから排出されたイオン交換樹脂１７は、ポンプＰ２７により、水に混合された状態で樹脂循環ライン２７を流動し、再び導入口７ａに導入される。このとき、選別装置Ｑ２７を通過するイオン交換樹脂１７の各粒体は、この選別装置Ｑ２７によって粒径で選別され、劣化した粒体が取り除かれる。

選別装置Ｑ２７は、所定幅のスリットが形成された篩プレート（図示せず）と、イオン交換樹脂１７の粒体を貯留するバッファタンクとを有している（図示せず）。選別装置Ｑ２７は、篩プレート上でイオン交換樹脂１７の粒体を流下させることで、スリットによる粒体の篩い分けを行い、スリット幅よりも小径のものを劣化した粒体として樹脂循環ラインＬ２７から取り除く。取り除かれた粒体は、重力沈降等により、定期的に系外に排出される。一方、スリットよりも大径の粒体は、正常な粒体としてバッファタンクに貯留された後、再び樹脂循環ラインＬ２７に戻される。また、全体的にイオン交換樹脂１７が劣化した場合には、このバッファタンクごとイオン交換樹脂１７を交換することもできる。また、篩プレートを取り外すことで、イオン交換樹脂１７の粒体の全量を系外に排出することもできる。

このような構成に基づき、イオン交換樹脂１７の劣化した粒体は、選別装置Ｑ２７によって樹脂循環ライン２７から取り除かれるので、劣化した粒体が中間室７に導入されることが防止される。一方、イオン交換樹脂１７の正常な粒体は、樹脂循環ライン２７と中間室７とを循環し、繰り返し有効利用される。このような、イオン交換樹脂２７の循環により、中間室７内のイオン交換樹脂１７が連続的に交換され、常に正常なイオン交換樹脂１７の粒体が電気分解に関与するので、効率のよい電気分解を行うことができる。また、イオン交換樹脂１７のメンテナンスのために運転を停止する必要がないので、処理効率の向上を図ることができる。

また、中間室７内の圧力は、アノード室３及びカソード室５よりも低く設定されていることから、アノード室３からのＨ^＋を含む水の一部や、カソード室５からのＯＨ⁻を含む水の一部が、隔壁１３，１５の細孔を通過して中間室７に流入することになる。そして、流入したこのような水は、イオン交換樹脂１７と一緒に排出口７ｂから流れ去るので、Ｈ^＋がカソード室５にまで流入したり、逆にＯＨ⁻がアノード室３にまで流入したりすることを抑制することができる。

また、中間室７におけるイオン交換樹脂１７の流動方向は、アノード室３及びカソード室５における水の流動方向と同じ方向に設定されてもよいが、ここでは、イオン交換樹脂１７の流動方向が、アノード室３及びカソード室５における水の流動方向と向かい合う方向に設定されている。従って、最もイオン交換樹脂１７の劣化が少ない中間室７の上流側が、アノード室３及びカソード室５における下流側に対応することになる。よって、最終製品により近いアノード室３及びカソード室５の下流側がより効率よく電気分解され、最終製品の性状の劣化を抑制することができる。

以上のように、この電解水製造装置１によれば、酸素及びオゾンが飽和状態又は過飽和状態で溶解し水素イオンＨ^＋を含んだアノード電解水と、水素が飽和状態又は過飽和状態で溶解し水酸化イオンＯＨ⁻を含んだカソード電解水とが得られる。このように、電解水における気体の溶存量を高めることにより、酸化還元電位の絶対値を向上させ、電解水の洗浄力を向上させることができる。

また、このアノード電解水及びカソード電解水に溶存する気体は、洗浄水としての使用後には大気に放散されるので、洗浄対象物の清浄度を低下させることがない。このような性状を有する電解水は、洗浄水の不純物を嫌うエレクトロニクス分野（特に、半導体や液晶分野）における洗浄や、食品の洗浄等にも用いることができる。また、自動車塗装の前処理において使用する等、機械加工分野における有機溶媒の代替品とすることにより、環境負荷の低減を図ることができる。また、食品分野において、高濃度抽出水として利用することも可能である。このように、電解水製造装置１で得られる電解水は、幅広い用途に利用することができる。

（第２実施形態）
図２に示すように、電解水製造装置５１は、上記装置１における返送ラインＬ２３，Ｌ２５に代えて、ガス供給部Ｋ２６と、このガス供給部Ｋ２６とラインＬ５とを連結するガス供給ラインＬ２６を備えている。ガス供給部Ｋ２６及びガス供給ラインＬ２６は、所望の気体を加圧しながらラインＬ５に供給する機能を有しており、例えば、散気装置をガス供給部Ｋ２６として用いることができる。

例えば、ガス供給部Ｋ２６及びガス供給ラインＬ２６が、窒素を加圧しながらラインＬ５に供給するとすれば、ラインＬ５を流動する超純水には、窒素が加圧状態で接触し溶解する。従って、ラインＬ１５からは、窒素が飽和状態又は過飽和状態で溶解したカソード電解水が得られることになる。このように、カソード電極５ａで発生する気体以外の気体を溶解させることにより、カソード電解水に新たな機能を付与することができる。例えば、窒素が飽和状態又は過飽和状態で溶存するカソード電解水は、酸素を嫌う対象物の洗浄に用いることができる。

なお、この電解水製造装置５１において、上述した電解水製造装置１と同一又は同等な構成については、図面に同一符号を付し、その説明は省略する。

本発明は、前述した実施形態に限定されるものではない。例えば、装置１におけるアノード電解水返送ラインＬ２３、及びカソード電解水返送ラインＬ２３は、何れか一方のみ設けられてもよい。また、装置５１におけるガス供給部Ｋ２６及びガス供給ラインＬ２６と同等のものをアノード側のラインＬ３に対応して設けてもよい。また、これらの、電解水返送ラインとガス供給ラインとは、例えばエジェクタ等の気液混合器により、適宜組み合わせて設けられてもよい。

本発明に係る電気分解装置の第１の実施形態を示す図である。本発明に係る電気分解装置の第２の実施形態を示す図である。

符号の説明

１…電解水製造装置（電気分解装置）、２…電解槽（電解水生成部）、３…アノード室、３ａ…アノード電極、５…カソード室、５ａ…カソード電極、Ｌ２３…アノード水返送ライン、Ｌ２５…カソード水返送ライン、Ｊ２３，Ｊ２５…気液混合器（加圧手段）。

Claims

原水を導入し電気分解する電気分解装置において、
前記原水をアノード電極及びカソード電極で電気分解させ所定の気体を飽和状態又は過飽和状態で溶解させた電解水を生成する電解水生成部を備えたことを特徴とする電気分解装置。
前記電解水生成部は、
前記所定の気体を加圧し、当該所定の気体を加圧状態で前記原水及び／又は前記電解水に溶解させる加圧手段を更に有することを特徴とする請求項１に記載の電気分解装置。
前記電解水生成部は、
前記所定の気体を前記電解水と一緒に前記アノード電極又は前記カソード電極の近傍を環流させる電解水循環手段を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の電気分解装置。
前記電解水循環手段は、
前記アノード電極が設けられたアノード室から排出されるアノード電解水を、前記所定の気体と一緒に加圧し再び前記アノード室に導入するアノード水返送ラインを有することを特徴とする請求項３に記載の電気分解装置。
前記電解水循環手段は、
前記カソード電極が設けられたカソード室から排出されるカソード電解水を、前記所定の気体と一緒に加圧し再び前記カソード室に導入するカソード水返送ラインを有することを特徴とする請求項３又は４に記載の電気分解装置。
原水を電気分解して電解水を製造する電解水製造装置において、
前記原水をアノード電極及びカソード電極で電気分解させ所定の気体を飽和状態又は過飽和状態で溶解させた電解水を生成する電解水生成部を備えたことを特徴とする電解水製造装置。
前記電解水生成部は、
前記所定の気体を加圧し、当該所定の気体を加圧状態で前記原水及び／又は前記電解水に溶解させる加圧手段を更に有することを特徴とする請求項６に記載の電解水製造装置。
前記電解水生成部は、
前記所定の気体を前記電解水と一緒に前記アノード電極又は前記カソード電極の近傍を環流させる電解水循環手段を有することを特徴とする請求項６又は７に記載の電解水製造装置。
前記電解水循環手段は、
前記アノード電極が設けられたアノード室から排出されるアノード電解水を、前記所定の気体と一緒に加圧し再び前記アノード室に導入するアノード水返送ラインを有することを特徴とする請求項８に記載の電解水製造装置。
前記電解水循環手段は、
前記カソード電極が設けられたカソード室から排出されるカソード電解水を、前記所定の気体と一緒に加圧し再び前記カソード室に導入するカソード水返送ラインを有することを特徴とする請求項８又は９に記載の電解水製造装置。
原水を電気分解して電解水を製造する電解水製造方法において、
前記原水をアノード電極及びカソード電極で電気分解させ所定の気体を飽和状態又は過飽和状態で溶解させた電解水を生成する電解水生成工程を備えたことを特徴とする電解水製造方法。
前記電解水生成工程では、
前記所定の気体を加圧し、当該所定の気体を加圧状態で前記原水及び／又は前記電解水に溶解させることを特徴とする請求項１１に記載の電解水製造方法。
前記電解水生成工程では、
前記所定の気体を前記電解水と一緒に前記アノード電極又は前記カソード電極の近傍を環流させることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の電解水製造方法。
前記電解水生成工程では、
前記アノード電極を収容するアノード室から排出されるアノード電解水を、前記所定の気体と一緒に加圧し再び前記アノード室に導入することを特徴とする請求項１３に記載の電解水製造方法。
前記電解水生成工程では、
前記カソード電極を収容するカソード室から排出されるカソード電解水を、前記所定の気体と一緒に加圧し再び前記カソード室に導入することを特徴とする請求項１３又は１４に記載の電解水製造方法。