JP2007201364A - 電子部品収納用パッケージおよび電子部品装置 - Google Patents

電子部品収納用パッケージおよび電子部品装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2007201364A
JP2007201364A JP2006020956A JP2006020956A JP2007201364A JP 2007201364 A JP2007201364 A JP 2007201364A JP 2006020956 A JP2006020956 A JP 2006020956A JP 2006020956 A JP2006020956 A JP 2006020956A JP 2007201364 A JP2007201364 A JP 2007201364A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
pair
insulating base
lid
storage package
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006020956A
Other languages
English (en)
Inventor
Hisanao Horikawa
久直 堀川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2006020956A priority Critical patent/JP2007201364A/ja
Publication of JP2007201364A publication Critical patent/JP2007201364A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item

Landscapes

  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)

Abstract

【課題】絶縁体の凹部上面の平坦度を向上させ、蓋体を絶縁基体に対して精度良く平行に取着することが可能な電子部品収納用パッケージ、および電子部品装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る電子部品収納用パッケージは、上面に、電子部品10の搭載部20aを有する長方形状の絶縁基体20と、絶縁基体20の上面の長辺に沿った部位に、搭載部20aを挟みこむとともに、互いに間隔を空けて取着される一対の長尺状部材30と、電子部品10が電気的に接続される導体40と、を具備している。
【選択図】図2

Description

本発明は、半導体素子を含む電子部品を収納する電子部品収納用パッケージ、およびその電子部品収納用パッケージに電子部品を収納して成る電子部品装置に関する。
光素子を備える光半導体素子、半導体集積回路素子などの半導体素子や、コンデンサ、抵抗器、振動子などの電子部品は、電子部品収納用パッケージに収納または搭載されて電子部品装置となる。そして、この電子部品装置は、センサやコンピュータ、携帯電話などの電子機器に実装されて使用される。
例えば、電子部品収納用パッケージは、電子部品を収容するための凹状の収納部が上面に形成された絶縁基体と、絶縁基体の上面に取着されて収納部を塞ぐ蓋体とを具備して構成され、さらに電子部品が絶縁基体の収納部と蓋体とで形成される容器の内部に気密封止されて電子部品装置となる。
この絶縁基体は、通常、電子部品の形状に応じた四角形状等の形状であり、セラミックや、樹脂等の材料により形成されている。例えば、電子部品が光素子を有する細長い長方形状のラインセンサの場合であれば、絶縁基体は、ラインセンサを搭載するのに適した長方形状である。
また、絶縁基体の凹部の内側から外側にかけて導出するようにリード端子等の導体が設けられており、この導体のうち凹部の内側に露出した部位に電子部品の電極が、Au,Al等からなるボンディングワイヤ等の導電性接続材により電気的に接続される。
なお、このような絶縁基体は、例えば、平板状に形成された基板の主面の外周部に、枠状に形成された枠体を接合することにより形成される。また、例えば、未焼成のセラミック(セラミックグリーンシート)や未硬化の樹脂材料で上面に凹部を有する積層体や成型体等を作製し、これを焼成または硬化させて形成される場合もある。
電子部品が搭載,収容された電子部品収納用パッケージは、例えば蓋体で搭載部(凹部)が気密封止されて電子部品装置となり、各種の電子機器に部品として実装されて使用される。
特開2000−183202号公報
しかしながら、従来の電子部品収納用パッケージ、および電子部品装置においては、絶縁基体が枠形状の部分を有するため、その枠形状部分を中心に、絶縁基体に変形が生じやすいという問題があった。
特に、絶縁基体が細長い長方形状の場合、長辺方向と短辺方向との間で、焼成等にともなう収縮量(平面視したときの長さ)が大きく異なるため、長辺方向と短辺方向との間で枠状の部分に作用する応力に差が生じ、その差に起因して上記の変形が生じやすい。
そして、絶縁基体にそのような変形が生じると、例えば、絶縁基体の上面に蓋体を接合して電子部品を気密封止するような場合に、蓋体と絶縁基体との間で接合材が不均一になり接合の強度、信頼性等が不十分になる。
また、絶縁基体にそのような変形が生じると、蓋体が長辺方向等に傾きやすくなり、特に電子部品が光半導体素子の場合には、蓋体を透過するときに光が影響(入射や照射の角度等)を受け、受光や発光の精度が悪くなり、所定の精度が得られない問題があった。
本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、絶縁基体に変形が生じることが効果的に防止された、例えば蓋体を、傾きを生じることなく取着することが可能な電子部品収納用パッケージ、および電子部品装置を提供することを目的とする。
本発明の電子部品収納用パッケージは、上面に、電子部品の搭載部を有する長方形状の絶縁基体と、該絶縁基体の上面の長辺に沿った部位に、前記搭載部を挟みこむとともに、互いに間隔を空けて取着される一対の長尺状部材と、前記電子部品が電気的に接続される導体と、を具備することを特徴とするものである。
また、本発明の電子部品収納用パッケージは、好ましくは、前記一対の長尺状部材が、ガラス材により形成されることを特徴とするものである。
また、本発明の電子部品収納用パッケージは、好ましくは、前記一対の長尺状部材の長辺が、前記絶縁基体の長辺よりも長いことを特徴とするものである。
また、本発明の電子部品収納用パッケージは、好ましくは、前記一対の長尺状部材の上面に、少なくとも前記搭載部を塞ぐようにして、前記一対の長尺状部材に接合される蓋体を具備することを特徴とするものである。
また、本発明の電子部品収納用パッケージは、好ましくは、前記搭載部を、前記絶縁基体、前記一対の長尺状部材および前記蓋体により覆うとともに、前記絶縁基体の短辺側に生じる開口部に接合材を封入し、前記搭載部を封止することを特徴とするものである。
また、本発明の電子部品収納用パッケージは、好ましくは、前記絶縁基体が、セラミックまたはガラス材により形成されることを特徴とするものである。
また、本発明の電子部品収納用パッケージは、好ましくは、前記電子部品が、光半導体素子であることを特徴とするものである。
また、本発明の電子部品収納用パッケージは、好ましくは、前記導体がリード端子であって、該リード端子が、前記絶縁基体および前記一対の長尺状部材と接合されることを特徴とするものである。
また、本発明の電子部品装置は、上記に記載の電子部品収納用パッケージと、前記搭載部に収容されるとともに、電極が前記導体に電気的に接続された電子部品と、前記一対の長尺状部材の上面に、少なくとも前記搭載部を塞ぐようにして取着された蓋体と、を備えるものである。
本発明の電子部品収納用パッケージによれば、上面に、電子部品の搭載部を有する長方形状の絶縁基体と、絶縁基体の上面の長辺に沿った部位に、搭載部を挟みこむとともに、互いに間隔を空けて取着される一対の長尺状部材を具備していることから、搭載部に搭載される電子部品を一対の長尺状部材で挟みこんで、電子部品を収容する容器(収容空間)を形成することができる。それゆえ、絶縁基体を枠形状としないことにより、枠形状の部分を有することに起因する絶縁基体の変形を効果的に防止することができる。この場合、例えば、蓋体の傾きは効果的に防止され、封止の信頼性や受光,発光の精度等の向上が容易である。
また、この電子部品収納用パッケージは、電子部品が電気的に接続される導体を具備していることから、導体を介して、容器内に収容される電子部品を容器外に導出させることができ、各種の電子機器に部品として実装されて使用され得る。
また、本発明の電子部品収納用パッケージは、好ましくは、一対の長尺状部材が、ガラス材により形成されていることから、上面の平坦度がさらに向上する。すなわち、ガラス材は、焼成や硬化等の大きな収縮をともなう工程が不要なため、長尺状の形状への成形過程において変形がより容易に、効果的に防止される。そのため、例えば蓋体が取着される、絶縁基体の上面の平坦度を向上させることができ、封止の信頼性や受光,発光の精度等をより向上させることができる。
また、本発明の電子部品収納用パッケージは、好ましくは、一対の長尺状部材の長辺が、絶縁基体の長辺よりも長いことから、長尺状部材は、絶縁基体の上面の搭載部に沿った領域を十分に大きく越えて配置される。そのため、短辺側に、一対の長尺状部材の間の空隙を塞ぐような部材を配置するスペースを十分に確保することができる。それゆえ、搭載部に電子部品を搭載し、一対の長尺状部材の上面に蓋体を取着させた電子装置において、そのスペースに接合材(封止材)を使用することで、気密封止の信頼性をさらに向上させることができる。
また、本発明の電子部品収納用パッケージは、好ましくは、一対の長尺状部材の上面に、少なくとも搭載部を塞ぐようにして、一対の長尺状部材に接合される蓋体を具備していることから、絶縁基体と一対の長尺状部材とで形成される収容空間は、蓋体により覆われ、電子部品の封止の信頼性等がさらに向上する。
また、この蓋体は、独立した一対の平坦度に優れた長尺状部材の上面に接合される。そのため、蓋体の取着の平行度を向上させることができ、特に電子部品が光半導体素子の場合には、受光および発光の精度をより向上させることができる。
また、本発明の電子部品収納用パッケージは、好ましくは、搭載部を、絶縁基体、一対の長尺状部材および蓋体により覆うとともに、絶縁基体の短辺側に生じる開口部に接合材を封入し、搭載部を封止することから、電子部品を、絶縁基体、長尺状部材、蓋体および接合材とにより気密性の高い収容空間を形成することができる。また、この接合材により蓋体と絶縁基体との間の接合をより強固なものとすることができる。したがって、絶縁基体が長尺状であったとしても、蓋体の傾きが効果的に防止され、かつ電子部品の気密封止の信頼性に優れた電子部品収納用パッケージとすることができる。
また、前記蓋体と前記絶縁基体を接合した後に、前記接合材を封入することにより、気密防止すればよいことから、蓋体の取着における凹部内の内圧が上がり、蓋体の取着における凹部内のエアーを外部へ放出するためのエアー抜きのパターン(スリット等)を接合材(封止材)に形成させる必要がなく、それに伴って生じやすい凹部内の内圧の上昇(いわゆる早閉じ現象)による封止不良を発生させることがなく取着することができる。すなわち、蓋体の平行度を精度良く搭載・取着した後に、その精度を保ちつつ、短辺側の開口部に接合材を注入して気密封止でき、蓋体の平行度を高いレベルで確保した状態で気密封止ができる。
また、本発明の電子部品収納用パッケージは、好ましくは、絶縁基体が、セラミックまたはガラス材により形成されることから、電子部品収納用パッケージを組み立てる際に必要な熱負荷により、構成材料としての絶縁基体に生じる変形を抑制することができ、また組み立てられた電子部品収納用パッケージに電子部品の搭載工程や電子部品と導体を接続する工程、蓋体を取着する工程等における熱負荷により生じる熱変形を抑制することができる。すなわち、熱履歴による熱変形を少なくすることができる。そのため、絶縁基体の平坦度を確保しつつ、組立における熱負荷が可能になる。
また、本発明の電子部品収納用パッケージは、好ましくは、電子部品が、光半導体素子であることから、光半導体素子に高く要求される蓋体の平行度に対して、上記のように蓋体の平行を精度よく確保できる。そのため、受光および発光の精度を向上させることが可能である。つまり、本発明の電子部品収納用パッケージは、光半導体素子を収容して電子部品装置(光半導体装置)を形成する上で好適である。
また、本発明の電子部品収納用パッケージは、好ましくは、導体がリード端子であって、リード端子が、絶縁基体および一対の長尺状部材と接合されることから、平坦度に優れた絶縁基体と一対の長尺状部材間でリード端子が接合される。そのため、リード端子を接合する接合材の厚みのバラつきが抑制され、接合強度が向上する。これは、接合材の薄い部分が存在することに起因するリード端子の接合強度の低下や、複数のリード端子間の接合強度のバラつき等の不具合が抑制されることによる。
本発明の電子部品装置は、上記本発明の構成の電子部品収納用パッケージと、搭載部に収容されるとともに、電極が導体に電気的に接続された電子部品と、一対の長尺状部材の上面に、少なくとも搭載部を塞ぐようにして取着された蓋体と、を備えることから、電子部品の封止の信頼性や、受光,発光の精度等に優れた電子装置を提供することができる。
特に、電子部品が光半導体素子の場合、絶縁基体、一対の長尺状部材および蓋体(好ましくは接合材を含む)とにより、収容される電子部品(光半導体素子)と蓋体との平行度に優れた収容空間を形成することが可能となる。そのため、受光および発光の精度を向上させた電子部品装置(光半導体装置)を提供することができる。
図1は、本発明の電子部品収納用パッケージおよび電子部品装置Xの実施の形態の一例を示す平面図である。図2は図1のA−A’線における断面図、図3はB−B’線における断面図である。
図1〜図3において、10は電子部品、20は絶縁基体、30は一対の長尺状部材、40は導体である。これらの絶縁基体20、一対の長尺状部材30、および導体40により主に電子部品収納用パッケージが構成され、この電子部品収納用パッケージと電子部品10、蓋体50、およびワイヤ60により電子部品装置Xが主に構成される。
なお、70は電子部品10を絶縁基体20の搭載部20aに接合するための接着剤、80は絶縁基体20に一対の長尺状部材30を接合させるための接合材、90は一対の長尺状部材30の上面に蓋体50を接合させるための接合材(封止材)である。
電子部品10としては、エリアセンサ、ラインセンサ、CCDなどの光半導体素子、半導体集積回路素子(IC)、圧力センサ、加速度センサ、水晶振動子などの圧電素子、コンデンサ、抵抗器などが挙げられるが、本発明を実施する上で、光半導体素子10に高く要求される蓋体50の平行度に対して、蓋体50の平行を精度よく確保でき、受光および発光の精度を向上させることが可能となるため、光半導体素子を採用するのが好ましい。
絶縁基体20は、アルミナ質焼結体(アルミナセラミックス)、窒化アルミニウムセラミックス、炭化珪素セラミックス、窒化珪素セラミックス、ガラスセラミックス等の絶縁材料から成る。
絶縁基体20は、例えば、アルミナ質焼結体から成る場合であれば、アルミナ等の原料粉末を有機溶剤,樹脂のバインダーとともにシート状に成形して複数のグリーンシートを作製し、これらのグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施して所定の形状に形成し、高温で焼成することにより製作される。
また絶縁基体20は、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル樹脂などの熱硬化型または紫外線硬化型の樹脂材料によって形成されていてもよい。
絶縁基体20がエポキシ樹脂からなる場合であれば、未硬化のエポキシ樹脂を所定の絶縁基体20の形状に成形できるような金型を用いて、トランスファーモールド法やインジェクションモールド法等により成形することにより形成される。
また絶縁基体20は、硼珪酸ガラス、ソーダ石灰ガラス、鉛ガラス、石英ガラス等のガラス材でもよい。この場合、平板状のある大きさのガラス板を所定の寸法に切削加工やダイシング加工等により切断することで作製することができる。
なお、特には、絶縁基体20は、セラミックまたはガラス材により形成されるのが好ましい。本発明の電子部品収納用パッケージにおいて、絶縁基体20がセラミックまたはガラス材により形成されることにより、電子部品収納用パッケージを組み立てる際に必要な熱負荷により、構成材料としての絶縁基体20に生じる変形を抑制することができ、また組み立てられた電子部品収納用パッケージに電子部品10の搭載工程や電子部品10と導体40を接続する工程、蓋体50を取着する工程等における熱負荷により生じる熱変形を抑制することができる。すなわち、熱履歴による熱変形を少なくすることができる。そのため、絶縁基体の平坦度を確保しつつ、組立における熱負荷が可能になる。
また、絶縁基体20の上面の中央部には、電子部品10を搭載するための搭載部20aが設けられている。搭載部20aは、電子部品10の形状および寸法に応じた範囲で設けられる。例えば、電子部品10が長尺状のラインセンサの場合であれば、搭載部20aは長尺状に設けられる。この場合、絶縁基体20は、搭載部20aを効率よく設けることができるような形状、例えば長方形状に形成される。
搭載部20aを有する長方形状の絶縁基体20の上面の長辺に沿った部位に、搭載部20aを挟みこむとともに、互いに間隔を空けて一対の長尺状部材30が取着されている。 本発明において、一対の長尺状部材30は、絶縁基体20と同様の材料、および作製方法により作製できるが、ガラス材により形成されるのがより好ましい。
本発明の電子部品収納用パッケージにおいて、一対の長尺状部材30がガラス材により形成されることにより、本発明の電子部品収納用パッケージ上面の平坦度をさらに向上できる。これは、ガラス材は、焼成や硬化等の大きな収縮をともなう工程が不要なため、長尺状の形状への成形過程において変形がより容易に、効果的に防止できるからである。そして、一対の長尺状部材30上面の平坦度を向上させることができることにより、例えば蓋体50との封止の信頼性や、受光、発光の精度等をより向上させることが可能である。
また、一対の長尺状部材30は、搭載部20aを挟みこむことにより、絶縁基体20とともに、電子部品10を収容する収容空間(符号なし)を形成する機能を有する。
そのため、一対の長尺状部材30の長辺側の長さは、少なくとも、搭載部20aの長辺の長さとし、特には、搭載部20aの長辺よりも長くするのが好ましい。一対の長尺状部材30の長辺側の長さを搭載部20aの長辺よりも長くした場合においては、一対の長尺状部材30は、絶縁基体20の上面の搭載部20aに沿った領域を十分に大きく越えて配置される。そのため、短辺側に、一対の長尺状部材30の間の空隙を塞ぐような部材を配置するスペースを十分に確保できる構造となる。
なお、一対の長尺状部材30の高さは、少なくとも、搭載部に搭載されたときの電子部品10の高さとし、搭載部に搭載されたときの電子部品10の高さよりも高くするのが好ましい。また、一対の長尺状部材30の幅については、搭載部20aの外縁と絶縁基体20の外縁との間で、適宜決定されるが、その上面に蓋体50が接合されることを考慮して、接合の強度を十分に確保できるように、搭載部20aの外縁と絶縁基体20の外縁との間で、極力広い幅とするのが好ましい。
例えば、一対の長尺状部材30は、平面視したときの形状は、図示したような矩形状のものが、蓋体50の接合強度を均一に確保する上で、好ましい。この場合、カケ等の機械的な破壊を防ぐために、角部を円弧状に成形しておいてもよい。
そして、一対の長尺状部材30は、例えば、接合材80を介して絶縁基体20と接合される。
接合材80は、結晶性ガラス(硼珪酸系ガラス),低融点ガラスやアクリル系樹脂,エポキシ系樹脂,フェノール系樹脂,クレゾール系,ポリイミド系樹脂等の樹脂接着剤などが挙げられる。
また、その一対の長尺状部材30の上面に、搭載部20aを塞ぐようにして、長尺状部材30に蓋体50を接合した構造であれば、絶縁基体20と一対の長尺状部材30とで形成される収容空間は、蓋体50により覆われ、電子部品10の封止の信頼性等がさらに向上することになる。
この蓋体50は、独立して平坦度に優れた一対の長尺状部材30の上面に接合されることで、蓋体50の取着の平行度を向上させることができ、特に電子部品10が光半導体素子の場合には、受光および発光の精度をより向上させることができる。
そして、本発明の電子部品収納用パッケージは、搭載部20aに電子部品10を搭載し、一対の長尺状部材30の上面に蓋体50を取着させ、一対の長尺状部材30の上面と蓋体50を接合材(封止材)90を使用して接合することにより、気密封止の信頼性をさらに向上させた構造とすることができる。
なお、接合材90としては、上記接合材80と同様のものを使用することができ、さらには、絶縁基体20の短辺側に生じる開口部より封入することにより、電子部品10、絶縁基体20、一対の長尺状部材30、導体40および蓋体50のすべてを、一度に接合・封入するようにしてもよい。
このように、本発明の電子部品収納用パッケージは、絶縁基体20の長辺よりも一対の長尺状部材30の長辺が長くなることより、接合材90を一定の形に保つことができるとともに、接合材90が一対の長尺状部材30の短辺側端面を覆うため、特定部分のメニスカスが不足するという状態が生じない。すなわち、接合材90がメニスカスを有するため、接合強度が強くなり、安定した電子部品収納用パッケージとすることができる。
また、本発明の電子部品収納用パッケージは、電子部品10が電気的に接続される導体40を備えている。導体40は、電子部品10と電気的に接続され、電子部品10を収容空間の外側に導出する導電路として機能する。
本実施形態において、絶縁基体20の搭載部20aから、絶縁基体20と長尺状部材30との間を通り、外側に向けて導体(リード端子)40が配置されている。
導体(リード端子)40は、鉄−ニッケル−コバルト合金や鉄−ニッケル合金等の鉄系合金や、銅または銅系の合金等からなる。この導体(リード端子)40は、例えば、鉄−ニッケル−コバルト合金から成る場合であれば、鉄−ニッケル−コバルト合金の板材に打抜き加工やエッチング加工等を施し、所定の寸法、形状に加工することにより形成される。
導体(リード端子)40を、搭載部20aから外側に導出するようにして設ける場合において、例えば、絶縁基体20がセラミックから成り、長尺状部材30がガラス材からなる場合、次のような方法を用いることができる。
まず、複数の導体(リード端子)40の一端部をフレームで連結してなるリードフレームを準備し、次に、絶縁基体20となるセラミック板と長尺状部材30となるガラス板との間に、リードフレームおよび結晶性ガラス(硼珪酸系ガラス)等の接合材80(未接合)を挟みこんでそれぞれ位置合わせし、次に結晶性ガラスを加熱溶融させて接合させる。一対の長尺状部材30が、ガラス材以外の材料、例えば、セラミックにより形成されている場合や、接合材として結晶性ガラス以外の材料を用いる場合等も同様である。
なお、導体40は、例えば、メタライズ法やめっき法、金属箔等の金属層形成手段で絶縁基体20に形成されたもの(図示せず)としてもよい。
そして、本発明の電子部品収納用パッケージは、上記構成、特に一対の長尺状部材30を備えていることで以下の効果を有する。
すなわち、まず、上面に、電子部品10の搭載部20aを有する長方形状の絶縁基体20の上面の長辺に沿った部位に、搭載部20aを挟みこむとともに、互いに間隔を空けて一対の長尺状部材30が取着される。この構成により、搭載部20aに搭載される電子部品10を一対の長尺状部材30で挟みこんで、電子部品10を収容する容器(収容空間)が形成できる。それゆえ、絶縁基体20を枠形状としないことにより、枠形状の部分を有することに起因する絶縁基体の変形を効果的に防止することが可能となる。そして、例えば、蓋体50の傾きが効果的に防止され、封止の信頼性や受光、発光の精度等の向上が容易となるのである。
そして、電子部品10の搭載部20aを、絶縁基体20、一対の長尺状部材30および蓋体50により覆うとともに、絶縁基体20の短辺側に生じる開口部Sに接合材90を封入することで、搭載部20aを封止することが可能となる。そうすることで、絶縁基体20、一対の長尺状部材30、蓋体50および接合材90により気密性の高い収容空間に電子部品10を搭載することができ、この接合材90により蓋体50と絶縁基体20との間の接合をより強固なものとすることができる。
よって、絶縁基体20が長尺状であったとしても、蓋体50の傾きが効果的に防止でき、かつ電子部品10の気密封止の信頼性に優れた電子部品収納用パッケージとすることができる。
さらに、蓋体50と絶縁基体20を接合した後に、接合材90を封入することにより、気密防止すればよいことから、蓋体50の取着における凹部内のエアーを外部へ放出するためのエアー抜きのパターン(スリット等)を接合材(封止材)90に形成させる必要がなく、それに伴って生じやすい凹部内の内圧の上昇(いわゆる早閉じ現象)による封止不良を発生させることがなく取着することが可能である。つまり、蓋体の平行度を精度良く搭載・取着した後に、その精度を保ちつつ、短辺側の開口部に接合材を注入して気密封止でき、蓋体の平行度を高いレベルで確保した状態で気密封止が可能である。
また、この電子部品収納用パッケージには、電子部品10が電気的に接続される導体40を備えていることから、導体40を介して、容器内に収容される電子部品10を容器外に導出させることができ、各種の電子機器に部品として実装されて使用されることになる。
また、導体40がリード端子であって、リード端子が、絶縁基体20および一対の長尺状部材30と接合されることから、平坦度に優れた絶縁基体20と一対の長尺状部材30間でリード端子40が接合されることになる。そのため、リード端子40を接合する接合材の厚みのバラつきが抑制され、接合強度が向上される。これは、接合材の薄い部分が存在することに起因するリード端子40の接合強度の低下や、複数のリード端子間の接合強度のバラつき等の不具合が抑制される。 また、本発明の電子部品装置Xは、上記に述べた本発明の構成の電子部品収納用パッケージの搭載部20aに電子部品10が収容され、その電極12が導体40に電気的に接続される。また、絶縁基体20の上面の長辺側には、一対の長尺状部材30が取着され、その上面に、搭載部20aを塞ぐようにして蓋体50が取着される。このような構成を備えることで、電子部品10の封止の信頼性や、受光、発光の精度等に優れた電子装置Xを提供することができるのである。
特に、電子部品Xが光半導体素子の場合、絶縁基体20、一対の長尺状部材30および蓋体50(接合材90を含む)により収容される電子部品10(光半導体素子)と蓋体50との平行度に優れた収容空間を形成することが可能となり、受光および発光の精度を向上させた電子部品装置X(光半導体装置)を提供することができる。
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を行なうことは何等差し支えない。
本発明の電子部品収納用パッケージおよびそれを使用した電子部品装置の実施の形態の一例を示す平面図である。 図1のA−A’線における断面図である。 図1のB−B’線における断面図である。
符号の説明
X 電子部品装置
10 電子部品
20 絶縁基体
30 一対の長尺状部材
40 導体(リード端子)
50 蓋体
S 開口部

Claims (9)

  1. 上面に、電子部品の搭載部を有する長方形状の絶縁基体と、
    該絶縁基体の上面の長辺に沿った部位に、前記搭載部を挟みこむとともに、互いに間隔を空けて取着される一対の長尺状部材と、
    前記電子部品が電気的に接続される導体と、
    を具備することを特徴とする電子部品収納用パッケージ。
  2. 前記一対の長尺状部材が、ガラス材により形成される請求項1記載の電子部品収納用パッケージ。
  3. 前記一対の長尺状部材の長辺が、前記絶縁基体の長辺よりも長いことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電子部品収納用パッケージ。
  4. 前記一対の長尺状部材の上面に、少なくとも前記搭載部を塞ぐようにして、前記一対の長尺状部材に接合される蓋体を具備することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の電子部品収納用パッケージ。
  5. 前記搭載部を、前記絶縁基体、前記一対の長尺状部材および前記蓋体により覆うとともに、前記絶縁基体の短辺側に生じる開口部に接合材を封入し、前記搭載部を封止することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の電子部品収納用パッケージ。
  6. 前記絶縁基体が、セラミックまたはガラス材により形成されることを特徴とする請求項5に記載の電子部品収納用パッケージ。
  7. 前記電子部品が、光半導体素子であることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の電子部品収納用パッケージ。
  8. 前記導体がリード端子であって、該リード端子が、前記絶縁基体および前記一対の長尺状部材と接合される請求項1から請求項7のいずれかに記載の電子部品収納用パッケージ。
  9. 請求項1から請求項8のいずれかに記載の電子部品収納用パッケージと、前記搭載部に収容されるとともに、電極が前記導体に電気的に接続された電子部品と、前記一対の長尺状部材の上面に、少なくとも前記搭載部を塞ぐようにして取着された蓋体とを具備することを特徴とする電子部品装置。
JP2006020956A 2006-01-30 2006-01-30 電子部品収納用パッケージおよび電子部品装置 Pending JP2007201364A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006020956A JP2007201364A (ja) 2006-01-30 2006-01-30 電子部品収納用パッケージおよび電子部品装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006020956A JP2007201364A (ja) 2006-01-30 2006-01-30 電子部品収納用パッケージおよび電子部品装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007201364A true JP2007201364A (ja) 2007-08-09

Family

ID=38455610

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006020956A Pending JP2007201364A (ja) 2006-01-30 2006-01-30 電子部品収納用パッケージおよび電子部品装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007201364A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2017090508A1 (ja) 電子部品収納用パッケージ、電子装置および電子モジュール
JP2010103479A (ja) 電子部品およびその製造方法
JP6154154B2 (ja) 積層基板
JP2007042786A (ja) マイクロデバイス及びそのパッケージング方法
JP2008235864A (ja) 電子装置
JP4439291B2 (ja) 圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置
JP2007095956A (ja) 電子部品収納用パッケージ
US20220416760A1 (en) Piezoelectric vibration device and manufacturing method therefor
JP2008219348A (ja) 圧電デバイスの製造方法および圧電デバイス
EP3993024A1 (en) Electronic component housing package, electronic device, and electronic module
JP4833678B2 (ja) 圧電発振器の製造方法
JP2013168893A (ja) 圧電振動デバイス
JP4493481B2 (ja) 多数個取り配線基板
CN114762098A (zh) 电子部件收纳用封装件、电子装置及电子模块
JP6993220B2 (ja) 電子部品収納用パッケージ、電子装置および電子モジュール
JP5984487B2 (ja) 水晶デバイス
JP2007201364A (ja) 電子部品収納用パッケージおよび電子部品装置
JP2007150034A (ja) 絶縁基体および該絶縁基体を備える電子装置
JP2015012077A (ja) 電子部品収納用パッケージおよび電子装置
JP6622583B2 (ja) 配線基板および電子装置
JP6457345B2 (ja) 電子部品搭載用パッケージおよび電子装置
JP2007035906A (ja) 電子部品収納用パッケージおよび該パッケージを備える電子装置
JP2013157492A (ja) 素子収納用パッケージ、および実装構造体
CN110832773B (zh) 电子部件收纳用封装、电子装置以及电子模块
JP2018107181A (ja) 電子装置および電子モジュール