JP2007199380A - Blanks holding case - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transfer method of mask blanks, with which attaching of dust to surfaces of the mask blanks during transfer is certainly prevented. <P>SOLUTION: In a blanks holding case 10 used for the transfer of the mask blanks 1, the blanks holding case 10 as a whole, starting from an inner box 30 in contact with the mask blanks 1 and a blanks supporting portion formed on a lid 40, is constructed with a conductive resin. For this reason, static buildup does not take place even when these members are rubbing against one another during transfer of the mask blanks 1. Therefore discharge arising from static electricity does not take place during transfer, and when the mask blanks 1 are taken out from blanks holding grooves 32, or when the lid 40 is taken off, and consequently the dust is not produced from the blanks holding grooves 32 of the inner box 30 and the blanks supporting portions 41 of the lid 40. As a result, the attaching of dust to the mask blanks 1 is certainly prevented. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体集積回路や液晶表示装置などの製造に使用されるフォトマスクの製造に用いられるマスクブランクスを搬送する際に用いられるブランクス収納ケースに関するものである。   The present invention relates to a blank storage case used for transporting a mask blank used for manufacturing a photomask used for manufacturing a semiconductor integrated circuit or a liquid crystal display device.

半導体集積回路や液晶表示装置等を製造する際、フォトリソグラフィ技術を用いて薄膜をパターニングする工程では、透光性基板に遮光性膜などからなる転写パターンが形成された転写マスクが用いられる。このような転写マスクを製造するには、まず、透光性基板の全面に遮光性膜を形成した後、遮光性膜の表面全体にレジスト層を積層する。次に、レジスト層に対して選択的露光、ベーク処理、現像処理を行い、レジストパターンを形成した後、レジストパターンをマスクとして遮光性膜をパターニングし、透光性基板の表面に転写パターンを備えた転写マスクを製造する。ここで、透光性基板の全面に遮光性膜などの金属層を形成した段階のもの、透光性基板の全面に金属層およびレジスト層を積層した段階のもののいずれについてもマスクブランクス(あるいはマスクブランク)と称する。   When manufacturing a semiconductor integrated circuit, a liquid crystal display device, or the like, a transfer mask in which a transfer pattern made of a light-shielding film or the like is formed on a light-transmitting substrate is used in a process of patterning a thin film using a photolithography technique. In order to manufacture such a transfer mask, first, after forming a light-shielding film on the entire surface of the light-transmitting substrate, a resist layer is laminated on the entire surface of the light-shielding film. Next, the resist layer is selectively exposed, baked and developed to form a resist pattern, and then a light-shielding film is patterned using the resist pattern as a mask, and a transfer pattern is provided on the surface of the light-transmitting substrate. Manufacturing a transfer mask. Here, the mask blank (or mask) is used for both the stage in which a metal layer such as a light-shielding film is formed on the entire surface of the translucent substrate and the stage in which a metal layer and a resist layer are laminated on the entire surface of the translucent substrate. Blank).

このようなマスクブランクスについては、製造後、出荷する際、あるいは各製造工程間を搬送する際、例えば、相対向する内壁にマスクブランクスの両端部が差し込まれるブランクス保持溝が上下方向に形成された合成樹脂製の中箱と、この中箱を着脱するための上部開口を備えた合成樹脂製の外箱と、この外箱の上部開口に被せられた合成樹脂製の蓋とを備えたブランクス収納ケースが用いられる(特許文献１、２参照)
特開２００５−６４２７９号公報 特開２００１−１５４３４１号公報 For such mask blanks, when shipped after manufacturing, or when transporting between each manufacturing process, for example, blanks holding grooves into which both ends of the mask blanks are inserted in the opposite inner walls are formed in the vertical direction. Blank storage with a synthetic resin inner box, a synthetic resin outer box with an upper opening for attaching and detaching the inner box, and a synthetic resin lid over the upper opening of the outer box Case is used (see Patent Documents 1 and 2)
JP 2005-64279 A JP 2001-154341 A

しかしながら、上記特許文献に開示の合成樹脂製のブランクスケースを用いてマスクブランクスを搬送すると、ブランクスケースから取り出したマスクブランクス表面に多数の塵埃が付着しているという問題点があり、このような塵埃は、クリーンルームを汚染する原因となる。また、塵埃がマスクブランクスに付着していると、それを用いて製造したフォトマスクの品質が低下し、パターン欠陥や転写特性の低下などといった重大な欠陥を発生させてしまう。   However, when the mask blanks are transported using the blank case made of synthetic resin disclosed in the above patent document, there is a problem that a lot of dust adheres to the surface of the mask blank taken out from the blank case. Will contaminate the clean room. Further, if dust adheres to the mask blank, the quality of a photomask manufactured using the mask blank deteriorates, and a serious defect such as a pattern defect or a deterioration in transfer characteristics occurs.

以上の問題点に鑑みて、本発明の効果は、搬送中にマスクブランクス表面に塵埃が付着することを確実に防止可能なマスクブランクスの搬送方法を提供することにある。   In view of the above problems, an effect of the present invention is to provide a mask blank transport method capable of reliably preventing dust from adhering to the mask blank surface during transport.

上記課題を解決するために、本願発明者は種々、検討した結果、搬送中にマスクブランクスに塵埃が付着する原因は、マスクブランクスの絶縁基板が合成樹脂製の中箱のブランクス保持溝、および合成樹脂製の蓋のブランクス支持部と接しているため、マスクブランクスの搬送中にマスクブランクスがこれらの部材と擦れて静電気が発生し、搬送中、マスクブランクスをブランクス保持溝から取り出す際、あるいは蓋を外す際、それまでに溜まった静電気により放電が起こり、中箱のブランクス保持溝、および蓋のブランクス支持部から塵埃が発生するという知見を得た。そこで、静電気による放電を防止すれば、塵埃の発生およびマスクブランクスへの塵埃の付着を防止できるという考えに到達し、本願発明を達成するに到った。   In order to solve the above-mentioned problems, the inventors of the present application have studied variously. As a result, the reason why the dust adheres to the mask blanks during transportation is that the insulating substrate of the mask blanks is the blank holding groove of the synthetic resin inner box, and the synthetic Since it is in contact with the blank support part of the resin lid, the mask blanks are rubbed against these members during transport of the mask blanks, and static electricity is generated. When removing, it was found that discharge was generated by static electricity accumulated so far, and dust was generated from the blank holding groove of the inner box and the blank support portion of the lid. Accordingly, the inventors have reached the idea that if the discharge due to static electricity is prevented, the generation of dust and the adhesion of dust to the mask blanks can be prevented, and the present invention has been achieved.

すなわち、本発明では、絶縁基板上に少なくとも転写パターン形成用の金属層が形成されたマスクブランクスの搬送に用いるブランクス収納ケースであって、相対向する内壁に前記マスクブランクスの両端部が差し込まれるブランクス保持溝が上下方向に形成された中箱と、該中箱を着脱するための上部開口を備えた外箱と、該外箱の前記上部開口に被せられた蓋とを有し、当該蓋は、前記外箱内に収納された前記中箱の前記ブランクス保持溝内に保持された前記マスクブランクスの上端部を支持可能なブランクス支持部を備え、少なくとも前記中箱および前記ブランクス支持部は、導電性を備えた合成樹脂製であることを特徴とする。   That is, according to the present invention, there is provided a blank storage case used for transporting a mask blank in which at least a metal layer for forming a transfer pattern is formed on an insulating substrate, and blanks in which both end portions of the mask blank are inserted into opposing inner walls. An inner box in which a holding groove is formed in the vertical direction, an outer box having an upper opening for attaching and detaching the inner box, and a lid that covers the upper opening of the outer box, A blanks support part capable of supporting an upper end part of the mask blanks held in the blanks holding groove of the middle box housed in the outer box, at least the middle box and the blanks support part being conductive It is made of a synthetic resin having the property.

本発明では、マスクブランクスをブランクス収納ケースに収納した状態でマスクブランクスと接する中箱およびブランクス支持部が、導電性を備えた合成樹脂製であるため、マスクブランクスの搬送中にこれらの部材が擦れても静電気が溜まらない。それ故、搬送中、マスクブランクスをブランクス保持溝から取り出す際、あるいは蓋を外す際、静電気に起因する放電が起こらないので、中箱のブランクス保持溝、および蓋のブランクス支持部から塵埃が発生せず、塵埃がマスクブランクスに付着することを確実に防止することができる。   In the present invention, since the inner box and the blanks support portion that are in contact with the mask blanks in a state in which the mask blanks are housed in the blanks storage case are made of synthetic resin having conductivity, these members are rubbed during the transportation of the mask blanks. However, static electricity does not accumulate. Therefore, when removing the mask blank from the blank holding groove or removing the lid during transport, no static electricity discharge occurs, so dust is generated from the blank holding groove of the inner box and the blank support section of the lid. Therefore, it is possible to reliably prevent dust from adhering to the mask blanks.

本発明において、前記外箱、および前記蓋全体が、導電性を備えた合成樹脂製であることが好ましい。すなわち、ブランクス収納ケース全体が、導電性を備えた合成樹脂製であることが好ましい。   In the present invention, the outer box and the entire lid are preferably made of a synthetic resin having conductivity. That is, it is preferable that the entire blank storage case is made of a synthetic resin having conductivity.

本発明に係るブランクス収納ケースは、例えば、前記金属層が前記絶縁基板の主表面から外周端部の一部を覆う位置まで形成されているマスクブランクスの搬送に用いられる。   The blanks storage case according to the present invention is used, for example, for transporting mask blanks in which the metal layer is formed from the main surface of the insulating substrate to a position covering a part of the outer peripheral edge.

本発明では、マスクブランクスをブランクス収納ケースに収納した状態でマスクブランクスと接する中箱およびブランクス支持部が、導電性を備えた合成樹脂製であるため、マスクブランクスの搬送中にこれらの部材が擦れても静電気が溜まらない。それ故、搬送中、マスクブランクスをブランクス保持溝から取り出す際、あるいは蓋を外す際、静電気に起因する放電が起こらないので、中箱のブランクス保持溝、および蓋のブランクス支持部から塵埃が発生せず、塵埃がマスクブランクスに付着することを確実に防止することができる。それ故、搬送中に発生した塵埃によってクリーンルームを汚染することがない。また、塵埃がマスクブランクスに付着することがないので、パターン欠陥や転写特性の低下などといった不具合を発生させることがない。   In the present invention, since the inner box and the blanks support portion that are in contact with the mask blanks in a state in which the mask blanks are housed in the blanks storage case are made of synthetic resin having conductivity, these members are rubbed during the transportation of the mask blanks. However, static electricity does not accumulate. Therefore, when removing the mask blank from the blank holding groove or removing the lid during transport, no static electricity discharge occurs, so dust is generated from the blank holding groove of the inner box and the blank support section of the lid. Therefore, it is possible to reliably prevent dust from adhering to the mask blanks. Therefore, the clean room is not contaminated by dust generated during transportation. Further, since dust does not adhere to the mask blanks, problems such as pattern defects and deterioration of transfer characteristics do not occur.

図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(ブランクス収納ケースの構成)
図１は、本発明に係るブランクス収納ケースおよびケース収納袋の斜視図である。図２は、図１に示す中箱にマスクブランクスを収納する様子を示す斜視図である。図３(ａ)、(ｂ)は、蓋の内面を示す斜視図、およびこの蓋に形成したブランクス支持部を拡大して示す説明図である。 (Configuration of blank storage case)
FIG. 1 is a perspective view of a blanks storage case and a case storage bag according to the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing how mask blanks are stored in the inner box shown in FIG. 1. FIGS. 3A and 3B are a perspective view showing the inner surface of the lid and an explanatory view showing an enlarged blanks support portion formed on the lid.

図１に示すように、ブランクス収納ケース１０は、その内部でマスクブランクス１を垂直姿勢に保持する中箱３０と、この中箱３０を着脱するための上部開口２１を上部に備えた外箱２０と、外箱２０の上部開口２１を覆う蓋４０とを備えている。中箱３０、外箱２０および蓋４０は、ポリプロピレン系、アクリル系、ポリエチレン系、ポリアミド系、ＡＢＳ系などの各種樹脂成形品により構成されている。   As shown in FIG. 1, the blank storage case 10 includes an inner box 30 that holds the mask blanks 1 in a vertical posture therein, and an outer box 20 that includes an upper opening 21 for attaching and detaching the inner box 30 at the upper part. And a lid 40 that covers the upper opening 21 of the outer box 20. The inner box 30, the outer box 20, and the lid 40 are made of various resin molded products such as polypropylene, acrylic, polyethylene, polyamide, and ABS.

外箱２０は、上部開口２１の周縁部２５がやや肉厚の嵌合部になっており、外箱２０の外周部と蓋４０の外周部とが嵌合するようになっている。外箱２０において、相対向する側面の外側には突起２７が形成されている一方、蓋４０の外周部の下端部には、突起２７に係合するフック４７が形成されている。なお、蓋４０および外箱２０の双方に突起を各々形成しておき、別体のフックで蓋４０と外箱２０とを固定することもある。   In the outer box 20, the peripheral edge 25 of the upper opening 21 is a slightly thick fitting part, and the outer peripheral part of the outer box 20 and the outer peripheral part of the lid 40 are fitted. In the outer box 20, a protrusion 27 is formed on the outside of the opposite side surfaces, and a hook 47 that engages with the protrusion 27 is formed on the lower end portion of the outer peripheral portion of the lid 40. In some cases, protrusions are formed on both the lid 40 and the outer box 20, and the lid 40 and the outer box 20 are fixed with separate hooks.

また、本形態では、ブランクス収納ケース１０を用いてマスクブランクス１を搬送する際、ブランクス収納ケース１０は、ケース収納袋５０に収納される。ここで、ケース収納袋５０は、シート状の発泡樹脂やエアークッションシートなどのクッション材層の外側表面にアルミニウムなどの金属層３が積層されたシート材料から構成されており、耐湿機能を備えている。   In this embodiment, when the mask blanks 1 are transported using the blank storage case 10, the blank storage case 10 is stored in the case storage bag 50. Here, the case storage bag 50 is made of a sheet material in which a metal layer 3 such as aluminum is laminated on the outer surface of a cushion material layer such as a sheet-like foamed resin or an air cushion sheet, and has a moisture resistance function. Yes.

図１および図２に示すように、中箱３０において、相対向する内壁３１には、上下方向に延びたブランクス保持溝３２が形成されており、これらのブランクス保持溝３２に沿ってマスクブランクス１を挿入することにより、マスクブランクス１の左右両端部がブランクス保持溝３２に保持される。本形態では、中箱３０において相対向する内壁３１にはブランクス保持溝３２が複数本ずつ、例えば５本ずつ並列状に形成されており、中箱３０は、５枚のマスクブランクス１を収納可能になっている。なお、中箱３０に収納されるマスクブランクス１は一枚であってもよい。ここで、ブランクス保持溝３２の溝幅は、保持するマスクブランクス１の厚さ寸法よりもやや大きく設定されており、マスクブランクス１とブランクス保持溝３２との間には、所定のクリアランスが確保されている。これにより、ブランクス保持溝３２に対するマスクブランクス１の挿入やマスクブランクス１の引き出しが容易であるとともに、摩擦によるマスクブランクス１の損傷やブランクス保持溝３２の磨耗が抑制される。   As shown in FIG. 1 and FIG. 2, in the inner box 30, blank holding grooves 32 extending in the vertical direction are formed on the opposing inner walls 31, and the mask blanks 1 are formed along these blank holding grooves 32. Is inserted into the blank holding groove 32 so that both left and right ends of the mask blank 1 are held. In the present embodiment, a plurality of blanks holding grooves 32 are formed in parallel on inner walls 31 facing each other in the inner box 30, for example, five in parallel, and the inner box 30 can store five mask blanks 1. It has become. The mask blanks 1 stored in the inner box 30 may be one. Here, the groove width of the blank holding groove 32 is set to be slightly larger than the thickness dimension of the mask blank 1 to be held, and a predetermined clearance is secured between the mask blank 1 and the blank holding groove 32. ing. Accordingly, the mask blanks 1 can be easily inserted into and pulled out from the blanks holding grooves 32, and damage to the mask blanks 1 and wear of the blanks holding grooves 32 due to friction are suppressed.

図３(ａ)に示すように、蓋４０において、その内面には、蓋４０が外箱２０の上部開口２１を覆った際、中箱３０のブランクス保持溝３２に保持されたマスクブランクス１の上端部を押さえるブランクス支持部４１が形成されている。本形態では、５枚のマスクブランクス１の上端部が位置する箇所の各々に５つのブランクス支持部４１が２列、形成されており、マスクブランクス１枚当たり、２つのブランクス支持部４１でマスクブランクス１を押さえるようになっている。このようなブランクス支持部４１として、本形態では、図３(ｂ)に示すように、蓋４０の内面に固定されたＬ字形状の樹脂成形品が用いられており、ブランクス支持部４１のうち、マスクブランクス１と接する下端部４１１にはマスクブランクス１の上端部が嵌る断面台形形状の溝４１０が形成されている。また、本形態のブランクス支持部４１は、Ｌ字形状の樹脂成形品の両方の端部４１１、４１２に溝が形成されているので、蓋４０の内面に対してブランクス支持部４１を固定する際、その向きを変えるだけで、２列に配置されるブランクス支持部４１を共通の樹脂成形品で構成することができる。ここで、ブランクス支持部４１は、中箱３０、外箱２０および蓋４０の本体部分(蓋４０においてブランクス支持部４１を除く部分)と同様、ポリプロピレン系、アクリル系、ポリエチレン系、ポリアミド系、ＡＢＳ系などの各種樹脂成形品により構成されている。   As shown in FIG. 3A, the mask blanks 1 held in the blank holding groove 32 of the inner box 30 when the cover 40 covers the upper opening 21 of the outer box 20 is formed on the inner surface of the cover 40. A blanks support portion 41 that holds the upper end portion is formed. In this embodiment, two rows of five blank support portions 41 are formed at each of the positions where the upper end portions of the five mask blanks 1 are located, and the mask blanks are formed by two blank support portions 41 per one mask blank. 1 is to be held. As such a blanks support part 41, in this embodiment, as shown in FIG. 3B, an L-shaped resin molded product fixed to the inner surface of the lid 40 is used. The lower end 411 in contact with the mask blanks 1 is formed with a trapezoidal groove 410 that fits the upper end of the mask blanks 1. Moreover, since the blanks support part 41 of this form has the groove | channel formed in both edge parts 411 and 412 of the L-shaped resin molded product, when fixing the blanks support part 41 with respect to the inner surface of the lid | cover 40 By simply changing the direction, the blanks support portions 41 arranged in two rows can be formed of a common resin molded product. Here, the blanks support part 41 is a polypropylene type, an acrylic type, a polyethylene type, a polyamide type, an ABS, and the main body part of the inner box 30, the outer box 20, and the lid 40 (the part excluding the blanks support part 41 in the lid 40). It is comprised by various resin molded products, such as a system.

ここで、中箱３０およびブランクス支持部４１はいずれも、導電性樹脂から構成されている。このような導電性は、中箱３０やブランクス支持部４１を構成する樹脂に対して、カーボンなどの導電性フィラーを添加することにより実現することができる。また、本形態では、外箱２０も導電性樹脂から構成されている。さらに、本形態では、蓋４０の本体部分(蓋４０においてブランクス支持部４１を除く部分)も導電性樹脂から構成されており、蓋４０の全体が導電性樹脂から構成されている。従って、本形態では、ブランクス収納ケース１０全体が導電性樹脂から構成されている。   Here, both the inner box 30 and the blanks support portion 41 are made of conductive resin. Such conductivity can be realized by adding a conductive filler such as carbon to the resin constituting the inner box 30 and the blanks support portion 41. In this embodiment, the outer box 20 is also made of a conductive resin. Furthermore, in this embodiment, the main body portion of the lid 40 (the portion excluding the blanks support portion 41 in the lid 40) is also made of a conductive resin, and the entire lid 40 is made of a conductive resin. Therefore, in this embodiment, the entire blank storage case 10 is made of a conductive resin.

(マスクブランクス１の搬送方法)
図４は、本発明に係るブランクス収納ケース１０において外箱２０に蓋４０を被せた様子を示す斜視図である。図５(ａ)、(ｂ)、(ｃ)は、ブランクス収納ケース１０内のマスクブランクス１の様子を示す縦断面図である。図６(ａ)、(ｂ)、(ｃ)は、本発明を適用したマスクブランクス１の搬送方法を示す斜視図である。 (Conveying method for mask blanks 1)
FIG. 4 is a perspective view showing a state in which the outer case 20 is covered with the lid 40 in the blanks storage case 10 according to the present invention. FIGS. 5A, 5 </ b> B, and 5 </ b> C are vertical cross-sectional views showing the state of the mask blanks 1 in the blanks storage case 10. 6A, 6B, and 6C are perspective views showing a method of transporting the mask blanks 1 to which the present invention is applied.

本発明を適用したブランクス収納ケース１０を用いて、製造したマスクブランクス１を出荷する際、あるいは各製造工程間を搬送する際には、図２に示すように、中箱３０のブランクス保持溝３２内にマスクブランクス１の両端部を差し込んで複数枚のマスクブランクス１を中箱３０に収納した後、中箱３０を外箱２０に収納するとともに、外箱２０の上部開口２１を蓋４０で覆う。また、図４に示すように、蓋４０のフック４７を外箱２０の突起２７に係合させて、蓋４０を外箱２０に固定する。   When the manufactured mask blanks 1 are shipped using the blanks storage case 10 to which the present invention is applied, or when transported between the manufacturing steps, as shown in FIG. After inserting both ends of the mask blanks 1 into the inner box 30 and storing the mask blanks 1 in the inner box 30, the inner box 30 is stored in the outer box 20 and the upper opening 21 of the outer box 20 is covered with the lid 40. . Further, as shown in FIG. 4, the hooks 47 of the lid 40 are engaged with the protrusions 27 of the outer box 20 to fix the lid 40 to the outer box 20.

この状態で、図５(ａ)に示すように、中箱３０のブランクス保持溝３２に保持されたマスクブランクス１の下端部は、ブランクス保持溝３２の底部に形成された断面台形形状の凹部からなる受け部３２０で支持される一方、マスクブランクス１の上端部は、ブランクス支持部４１に形成された断面台形形状の溝４１０に保持される。ここで、マスクブランクス１がバイナリータイプのフォトマスク形成用のマスクブランクスであれば、合成石英や弗素ドープ石英ガラスなどからなる絶縁性の透光性基板２(絶縁基板)の主表面には、転写マスクを形成するためのクロム系材料などからなる金属層３が形成されているとともに、アクリル樹脂などといった感光性レジスト層４が形成されている。なお、透光性基板２の端部１ａ、１ｂには面取り部が形成されている。   In this state, as shown in FIG. 5A, the lower end portion of the mask blanks 1 held in the blanks holding groove 32 of the inner box 30 is from a concave portion having a trapezoidal cross section formed in the bottom portion of the blanks holding groove 32. On the other hand, the upper end portion of the mask blank 1 is held in a groove 410 having a trapezoidal cross section formed in the blank support portion 41. Here, if the mask blank 1 is a mask blank for forming a binary type photomask, transfer is performed on the main surface of an insulating translucent substrate 2 (insulating substrate) made of synthetic quartz or fluorine-doped quartz glass. A metal layer 3 made of a chromium-based material or the like for forming a mask is formed, and a photosensitive resist layer 4 such as an acrylic resin is formed. Note that chamfered portions are formed at the end portions 1 a and 1 b of the translucent substrate 2.

図５(ａ)に示すマスクブランクスは、感光性レジスト層４が電子線描画されるタイプであるため、描画の際のチャージアップを防止するために、金属層３は透光性基板２の主表面から外周端部の一部を覆う位置まで形成されている。これに対して、感光性レジスト層４は、マスクブランクス１の外周端部から所定の距離だけ隔てた内側領域のみに形成されている。   The mask blank shown in FIG. 5A is a type in which the photosensitive resist layer 4 is drawn with an electron beam, so that the metal layer 3 is the main layer of the translucent substrate 2 in order to prevent charge-up during drawing. It is formed from the surface to a position covering a part of the outer peripheral end. On the other hand, the photosensitive resist layer 4 is formed only in the inner region separated from the outer peripheral edge of the mask blank 1 by a predetermined distance.

ここで、マスクブランクス１がレーザ描画されるタイプのマスクブランクスであれば、チャージアップを防止する必要がないため、図５(ｂ)に示すように、金属層３は透光性基板２の側端面から除去されている。また、ハーフトーンマスクを形成するためのマスクブランクスの場合には、図５(ｃ)に示すように、透光性基板２上にハーフトーン膜５、金属層３、および感光性レジスト層４が形成されている。なお、図示を省略するが、反射型マスクブランクスの場合には、低膨張マスクブランクス上に、多層反射膜やバッファ層の上層に金属層やレジスト層が形成される。   Here, if the mask blank 1 is a mask blank of a type in which laser drawing is performed, it is not necessary to prevent the charge-up, so that the metal layer 3 is on the side of the translucent substrate 2 as shown in FIG. It has been removed from the end face. Further, in the case of a mask blank for forming a halftone mask, as shown in FIG. 5C, the halftone film 5, the metal layer 3, and the photosensitive resist layer 4 are formed on the translucent substrate 2. Is formed. Although not shown, in the case of a reflective mask blank, a metal layer or a resist layer is formed on the multilayer reflective film or the buffer layer on the low expansion mask blank.

なお、図５(ａ)、(ｂ)、(ｃ)に示す例では、感光性レジスト層４が透光性基板２の外端部から除去されているが、透光性基板２の外端部に残っている場合もある。   5A, 5B, and 5C, the photosensitive resist layer 4 is removed from the outer end portion of the translucent substrate 2, but the outer end of the translucent substrate 2 is removed. It may remain in the department.

これらいずれの場合にも、マスクブランクス１の透光性基板２に対して、中箱３０のブランクス保持溝３２、および蓋４０のブランクス支持部４１に接することになる。また、金属層３が透光性基板２の外周端部を部分的に覆っている場合には、金属層３は、中箱３０のブランクス保持溝３２、および蓋４０のブランクス支持部４１に接することになる。   In any of these cases, the blank holding groove 32 of the inner box 30 and the blanks support portion 41 of the lid 40 are in contact with the translucent substrate 2 of the mask blank 1. Further, when the metal layer 3 partially covers the outer peripheral end portion of the translucent substrate 2, the metal layer 3 is in contact with the blanks holding groove 32 of the inner box 30 and the blanks support portion 41 of the lid 40. It will be.

このようにしてマスクブランクス１をブランクス収納ケース１０に収納した後は、例えば、図６(ａ)に示すように、蓋４０の外周面と外箱２０の外周面との接合部分を粘着テープ６０で塞ぐ。次に、図６(ｂ)に示すように、ブランクス収納ケース１０をケース収納袋５０に収納する。次に、図６(ｃ)に示すように、ケース収納袋５０の上から外箱２０および蓋４０の双方に掛けたポリプロピレンテープなどからなるバンド７０でブランクス収納ケース１０を十字に縛る。この状態でマスクブランクス１を搬送する。   After the mask blanks 1 are stored in the blanks storage case 10 in this manner, for example, as shown in FIG. 6A, the joint portion between the outer peripheral surface of the lid 40 and the outer peripheral surface of the outer box 20 is attached to the adhesive tape 60. Close with. Next, as shown in FIG. 6B, the blank storage case 10 is stored in the case storage bag 50. Next, as shown in FIG. 6 (c), the blanks storage case 10 is tied in a cross shape with a band 70 made of polypropylene tape or the like hung on both the outer box 20 and the lid 40 from above the case storage bag 50. In this state, the mask blanks 1 are conveyed.

そして、クリーンルーム内にマスクブランクス１を搬入する際には、まず、クリーンルーム外でバンド７０を切断した後、ブランクス収納ケース１０をケース収納袋５０から出して、ブランクス収納ケース１０をクリーンルーム内に搬入する。そして、マスクブランクス１を使用する時点で、ブランクス収納ケース１０から粘着テープ６０を剥がした後、フック４７を外して蓋４０をあける。次に、外箱２０から中箱３０を取り出してローダーのステージにセットすると、ロボットがマスクブランクス１を中箱３０から１枚ずつ取り出す。   When carrying the mask blanks 1 into the clean room, first, after cutting the band 70 outside the clean room, the blanks storage case 10 is taken out from the case storage bag 50 and the blanks storage case 10 is carried into the clean room. . Then, when the mask blanks 1 are used, the adhesive tape 60 is peeled off from the blanks storage case 10, and then the hooks 47 are removed and the lid 40 is opened. Next, when the middle box 30 is taken out from the outer box 20 and set on the stage of the loader, the robot takes out the mask blanks 1 from the middle box 30 one by one.

(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態のブランクス収納ケース１０では、マスクブランクス１に接する中箱３０およびブランクス支持部４１が、導電性樹脂から構成されている。このため、マスクブランクス１の搬送中にこれらの部材が擦れても静電気が溜まらない。それ故、搬送中、マスクブランクス１をブランクス保持溝３２から取り出す際、あるいは蓋４０を外す際、静電気に起因する放電が起こらないので、中箱３０のブランクス保持溝３２、および蓋４０のブランクス支持部４１から塵埃が発生せず、塵埃がマスクブランクス１に付着することを確実に防止することができる。それ故、搬送中に発生した塵埃によってクリーンルームを汚染することがない。また、塵埃がマスクブランクス１に付着することがないので、パターン欠陥や転写特性の低下などといった不具合を発生させることがない。 (Main effect of this form)
As described above, in the blanks storage case 10 of this embodiment, the inner box 30 and the blanks support portion 41 that are in contact with the mask blanks 1 are made of a conductive resin. For this reason, even if these members are rubbed during the transfer of the mask blanks 1, static electricity does not accumulate. Therefore, when the mask blanks 1 are taken out from the blanks holding grooves 32 during transportation or when the cover 40 is removed, no discharge due to static electricity occurs, so the blanks holding grooves 32 of the inner box 30 and the blanks support of the lid 40 are supported. Dust is not generated from the portion 41, and it is possible to reliably prevent the dust from adhering to the mask blanks 1. Therefore, the clean room is not contaminated by dust generated during transportation. In addition, since dust does not adhere to the mask blanks 1, problems such as pattern defects and deterioration of transfer characteristics do not occur.

また、本形態では、中箱３０およびブランクス支持部４１に加えて、外箱２０および蓋４０の本体部分(蓋４０においてブランクス支持部４１を除く部分)も導電性樹脂から構成されており、ブランクス収納ケース１０全体が導電性樹脂から構成されている。このため、マスクブランクス１の搬送中に静電気が発生しても、静電気は外箱２０および蓋４０を介して放出されるため、塵埃を発生させるような放電が起こることがない。   Further, in this embodiment, in addition to the inner box 30 and the blanks support part 41, the outer box 20 and the main body part of the lid 40 (the part excluding the blanks support part 41 in the lid 40) are also made of conductive resin. The entire storage case 10 is made of a conductive resin. For this reason, even if static electricity is generated while the mask blank 1 is being transported, the static electricity is released through the outer box 20 and the lid 40, so that no discharge that generates dust occurs.

また、本形態では、マスクブランクス１を搬送する際、ブランクス収納ケース１０において、外箱２０の上部開口２１を覆う蓋４０の外周面と外箱２０の外周面と接合部分を粘着テープ６０で塞いで外箱２０と蓋４０との接合部を隙間なく密封する。また、ブランクス収納ケース１０をケース収納袋５０に収納した状態とする。このため、搬送中に外部からブランクス収納ケース１０内に異物が侵入することを確実に防止できる。また、ケース収納袋５０は、クッション材層の表面に金属層３が積層されたシート材料からなるため、耐湿性能が高い。それ故、搬送中に外部からブランクス収納ケース１０内に水分が侵入することも確実に防止できる。   Moreover, in this embodiment, when the mask blanks 1 are transported, in the blanks storage case 10, the outer peripheral surface of the lid 40 that covers the upper opening 21 of the outer box 20, the outer peripheral surface of the outer box 20, and the joint portion are closed with the adhesive tape 60. Thus, the joint between the outer box 20 and the lid 40 is sealed without a gap. The blank storage case 10 is stored in the case storage bag 50. For this reason, it can prevent reliably that a foreign material penetrate | invades into the blanks storage case 10 from the outside during conveyance. Moreover, since the case storage bag 50 is made of a sheet material in which the metal layer 3 is laminated on the surface of the cushion material layer, it has high moisture resistance. Therefore, it is possible to reliably prevent moisture from entering the blank storage case 10 from the outside during conveyance.

さらに、図６(ａ)、(ｂ)、(ｃ)を参照して説明した搬送方法では、蓋４０の外周面と外箱２０の外周面と接合部分を粘着テープ６０で塞いだ状態でブランクス収納ケース１０をケース収納袋５０に収納するとともに、ケース収納袋５０の上から外箱２０および蓋４０の双方に掛けたバンド７０でブランクス収納ケース１０を縛った状態でマスクブランクス１を搬送する。このため、搬送中にマスクブランクス１の主表面に塵埃が付着することを確実に防止することができる。その理由としては、ケース収納袋５０の上から外箱２０および蓋４０の双方に掛けたバンド７０でブランクス収納ケース１０を縛った状態とするため、搬送中に振動が加わっても、外箱２０、蓋４０、中箱３０およびマスクブランクス１は、相互に確実に固定され、ずれないので、蓋４０と外箱２０との擦れ、マスクブランクス１とブランクス支持部４１との擦れ、マスクブランクス１と中箱３０との擦れを確実に防止できるためと考えられる。また、本形態では、ケース収納袋５０の上からバンド７０でブランクス収納ケース１０を縛っているため、搬送中に振動が加わっても、バンド７０が位置ずれして緩むことがなく、かつ、たとえバンド７０が位置ずれしても、蓋４０や外箱２０と接していないので発塵しないなどの理由によると考えられる。   Furthermore, in the transport method described with reference to FIGS. 6A, 6 </ b> B, and 6 </ b> C, the blanks with the outer peripheral surface of the lid 40, the outer peripheral surface of the outer box 20, and the joint portion sealed with the adhesive tape 60 are used. While storing the storage case 10 in the case storage bag 50, the mask blanks 1 are conveyed in a state where the blank storage case 10 is bound by the band 70 hung on both the outer box 20 and the lid 40 from above the case storage bag 50. For this reason, it can prevent reliably that dust adheres to the main surface of the mask blanks 1 during conveyance. The reason is that the blank storage case 10 is bound with a band 70 hung on both the outer case 20 and the lid 40 from above the case storage bag 50, so that even if vibration is applied during the transfer, the outer case 20 The lid 40, the inner box 30 and the mask blanks 1 are securely fixed to each other and do not shift, so that the lid 40 and the outer box 20 are rubbed, the mask blanks 1 and the blanks support 41 are rubbed, the mask blanks 1 and It is considered that rubbing with the inner box 30 can be surely prevented. Further, in this embodiment, since the blank storage case 10 is tied with the band 70 from above the case storage bag 50, even if vibration is applied during transportation, the band 70 is not displaced and loosened. Even if the band 70 is displaced, it is considered that it does not generate dust because it is not in contact with the lid 40 or the outer box 20.

また、本形態では、ブランクス収納ケース１０をクリーンルーム内に搬送する際には、クリーンルームの外でバンド７０を外す。このため、ブランクス収納ケース１０がバンド７０で縛られた状態から解放される際にブランクス収納ケース１０に振動や衝撃が加わって塵埃が発生した場合でも、かかる塵埃でクリーンルーム内が汚染されることを確実に防止することができる。   In this embodiment, when the blank storage case 10 is transported into the clean room, the band 70 is removed outside the clean room. For this reason, when the blank storage case 10 is released from the state of being bound by the band 70, even if vibration or impact is applied to the blank storage case 10 and dust is generated, the inside of the clean room is contaminated with such dust. It can be surely prevented.

(他の実施の形態)
なお、ブランクス収納ケース１０を用いてマスクブランクス１を搬送する際には、蓋４０の外周面と外箱２０の外周面と接合部分を粘着テープ６０で塞いだ後、ブランクス収納ケース１０をケース収納袋５０に収納した状態で搬送する場合にも本発明を適用してもよい。また、蓋４０の外周面と外箱２０の外周面と接合部分を粘着テープ６０で塞いだ後、外箱２０および蓋４０の双方に掛けたバンド７０でブランクス収納ケース１０を縛った状態で、ケース収納袋５０に収納し、マスクブランクス１を搬送する場合に本発明を適用してもよい。 (Other embodiments)
When the mask blanks 1 are transported using the blank storage case 10, the outer peripheral surface of the lid 40, the outer peripheral surface of the outer box 20, and the joint portion are closed with the adhesive tape 60, and then the blank storage case 10 is stored in the case. The present invention may also be applied to the case of transporting in a state of being stored in the bag 50. In addition, after the outer peripheral surface of the lid 40 and the outer peripheral surface of the outer box 20 and the joint portion are closed with the adhesive tape 60, the blanks storage case 10 is bound with the band 70 hung on both the outer box 20 and the lid 40, You may apply this invention, when storing in the case storage bag 50 and conveying the mask blanks 1. FIG.

本発明に係るブランクス収納ケースおよびケース収納袋の斜視図である。It is a perspective view of the blanks storage case and case storage bag concerning the present invention. 図１に示す中箱にマスクブランクスを収納する様子を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a mode that mask blanks are accommodated in the inner box shown in FIG. (ａ)、(ｂ)は、図１に示す蓋の内面を示す斜視図、およびこの蓋に形成したブランクス支持部を拡大して示す説明図である。(a), (b) is a perspective view which shows the inner surface of the lid | cover shown in FIG. 1, and explanatory drawing which expands and shows the blanks support part formed in this lid | cover. 図１に示すブランクス収納ケースにおいて外箱に蓋を被せた様子を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a mode that the outer case was covered with the cover in the blanks storage case shown in FIG. (ａ)、(ｂ)、(ｃ)は、図１に示すブランクス収納ケース内のマスクブランクスの様子を示す縦断面図である。(a), (b), (c) is a longitudinal cross-sectional view which shows the mode of the mask blanks in the blanks storage case shown in FIG. (ａ)、(ｂ)、(ｃ)は、本発明を適用したブランクス収納ケースを用いてマスクブランクスを搬送する方法を示す斜視図である。(a), (b), (c) is a perspective view which shows the method of conveying mask blanks using the blanks storage case to which this invention is applied.

符号の説明Explanation of symbols

１ マスクブランクス
２ 透光性基板(絶縁基板)
３ 金属層
４ レジスト層
１０ ブランクス収納ケース
２０ 外箱
２１ 外箱の上部開口
３０ 中箱
３２ ブランクス保持溝
４０ 蓋
４１ ブランクス支持部 1 Mask blanks 2 Translucent substrate (insulating substrate)
3 Metal layer 4 Resist layer 10 Blanks storage case 20 Outer box 21 Upper opening 30 of outer box Middle box 32 Blanks holding groove 40 Lid 41 Blanks support part

Claims (3)

絶縁基板上に少なくとも転写パターン形成用の金属層が形成されたマスクブランクスの搬送に用いるブランクス収納ケースであって、
相対向する内壁に前記マスクブランクスの両端部が差し込まれるブランクス保持溝が上下方向に形成された中箱と、該中箱を着脱するための上部開口を備えた外箱と、該外箱の前記上部開口に被せられた蓋とを有し、
当該蓋は、前記外箱内に収納された前記中箱の前記ブランクス保持溝内に保持された前記マスクブランクスの上端部を支持可能なブランクス支持部を備え、
少なくとも前記中箱および前記ブランクス支持部は、導電性を備えた合成樹脂製であることを特徴とするブランクス収納ケース。 A blank storage case used for transporting mask blanks in which at least a metal layer for forming a transfer pattern is formed on an insulating substrate,
An inner box in which blanks holding grooves into which both ends of the mask blanks are inserted in opposite inner walls are formed in the vertical direction, an outer box having an upper opening for attaching and detaching the inner box, and the outer box A lid over the upper opening;
The lid includes a blanks support portion capable of supporting an upper end portion of the mask blanks held in the blanks holding groove of the middle box housed in the outer box,
At least the inner box and the blanks support part are made of synthetic resin having conductivity, and a blanks storage case. 前記外箱、および前記蓋全体が、導電性を備えた合成樹脂製であることを特徴とする請求項１に記載のブランクス収納ケース。   The blanks storage case according to claim 1, wherein the outer box and the entire lid are made of a synthetic resin having conductivity. 前記マスクブランクスでは、前記金属層が前記絶縁基板の主表面から外周端部の一部を覆う位置まで形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のブランクス収納ケース。   3. The blank storage case according to claim 1, wherein in the mask blank, the metal layer is formed from a main surface of the insulating substrate to a position covering a part of an outer peripheral end portion.
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