JP2007198910A - Distance measuring instrument - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately detect electric pulse signals corresponding to reflected light and reference light. <P>SOLUTION: A received-light signal level adjustment part 18 adjusts at least one or more of an impressed voltage on an LD drive circuit 7, an impressed voltage on a high-voltage power supply 11, and the amplification factor of a variable-gain amplifier 13, so that the amplitude levels of received pulses, corresponding to the reflected light and reference light, reach the minimum amplitude level required in order for the received pulses to be detected by a light receiving part 3, and that their waveforms have substantially the same shape. This optimizes the amplitude level and waveforms of the electric pulse signals corresponding to the reflected light and reference light, respectively, and causes their waveforms to have substantially the same shape, and therefore, the pulse signals, corresponding to the reflected light and reference light, are accurately detected, making it possible to accurately measure the distance to a measuring object. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、測定対象物に向けて光を投光し、測定対象物からの反射光を受光することにより、測定対象物までの距離を計測する距離計測装置に関する。   The present invention relates to a distance measuring device that measures the distance to a measurement object by projecting light toward the measurement object and receiving reflected light from the measurement object.

一般に、測定対象物からの反射光の光量は測定対象物までの距離、及び測定対象物の表面状態,材質,反射光量に応じて変化する。このような背景から、従来の距離計測装置は、発光部や受光部に光量調整部材を配置したり、発光部の発光光量を制御したりすることにより、測定対象物までの距離,測定対象物の表面状態,材質,反射光量等が変化しても反射光の光量が一定になるような制御を行っている(特許文献1参照)。しかしながら、受光部により受光される電気パルス信号の中には測定対象物以外からの光等の外乱によって反射光や参照光に対応する電気パルス信号以外に多くのノイズ信号が含まれるために、従来の距離計測装置によれば計測誤差が増大することがあった。このため、受光部のスレッシュレベルの大きさを調整することにより、ノイズ信号が含まれる状況においても正確な距離測定を行うことを可能にする距離計測装置が提案されている(特許文献2参照)。
特開平5−297140号公報 特開2000−356677号公報
In general, the amount of reflected light from the measurement object varies depending on the distance to the measurement object, the surface state of the measurement object, the material, and the amount of reflected light. From such a background, the conventional distance measuring device arranges a light amount adjusting member in the light emitting unit and the light receiving unit, or controls the light emitting amount of the light emitting unit, thereby measuring the distance to the measuring object and the measuring object. Control is performed so that the amount of reflected light remains constant even if the surface condition, material, amount of reflected light, etc. of the light changes. However, since the electrical pulse signal received by the light receiving unit includes many noise signals in addition to the electrical pulse signal corresponding to the reflected light and the reference light due to disturbances such as light from other than the measurement target, According to the distance measuring apparatus, the measurement error may increase. For this reason, a distance measuring device has been proposed that enables accurate distance measurement even in a situation where a noise signal is included by adjusting the size of the threshold level of the light receiving unit (see Patent Document 2). .
JP-A-5-297140 JP 2000-356777 A

しかしながら、測定対象物からの反射光の飛行時間により測定対象物までの距離を計測する方法では、スレッシュレベルを適用する電気パルス信号の波形に依存するので、上述の距離計測装置のようにスレッシュレベルの大きさを調整するだけでは反射光や参照光に対応するそれぞれの電気パルス信号の検出時刻の正確性が低下し、結果として、測定対象物までの距離を正確に計測することはできない。   However, in the method of measuring the distance to the measurement object based on the flight time of the reflected light from the measurement object, the threshold level depends on the waveform of the electric pulse signal to which the threshold level is applied. Only by adjusting the magnitude of, the accuracy of the detection time of each electric pulse signal corresponding to the reflected light or reference light is lowered, and as a result, the distance to the measurement object cannot be measured accurately.

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、反射光や参照光に対応する電気パルス信号を正確に検出可能な光の飛行時間により距離を計測する距離計測装置を提供することにある。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a distance measuring device that measures a distance based on a flight time of light that can accurately detect an electric pulse signal corresponding to reflected light or reference light. Is to provide.

上記課題を解決するために、本発明に係る距離計測装置は、反射光及び参照光に対応する電気パルス信号の振幅レベルが検出されるために必要な最小振幅レベル、且つ、波形が略同形状になるように、駆動部の印加電圧、電圧印加部の印加電圧、及び増幅部の増幅率のうちの少なくとも一つ以上を調整する。   In order to solve the above problems, the distance measuring device according to the present invention has a minimum amplitude level necessary for detecting the amplitude level of the electric pulse signal corresponding to the reflected light and the reference light, and the waveform is substantially the same shape. At least one of the applied voltage of the driving unit, the applied voltage of the voltage applying unit, and the amplification factor of the amplifying unit is adjusted.

本発明に係る距離計測装置によれば、反射光及び参照光それぞれに対応する電気パルス信号の振幅レベル,波形が最適化され、略同形状になるので、反射光や参照光に対応する電気パルス信号を正確に検出し、測定対象物までの距離を正確に計測することができる。   According to the distance measuring device of the present invention, the amplitude level and waveform of the electric pulse signal corresponding to each of the reflected light and the reference light are optimized and have substantially the same shape, so that the electric pulse corresponding to the reflected light and the reference light. It is possible to accurately detect the signal and accurately measure the distance to the measurement object.

以下、図面を参照して、本発明の実施形態となる距離計測装置の構成と動作について詳しく説明する。   Hereinafter, the configuration and operation of a distance measuring apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

〔距離計測装置の構成〕
本発明の実施形態となる距離計測装置1は、図1に示すように、測定対象物に向けて光を投光する光源部2と、測定対象物からの反射光と光源部2から送出された参照光を検出する受光部3と、受光部3における反射光及び参照光の検出タイミング差に基づいて測定対象物までの距離を算出,表示する演算部4とを主な構成要素として備える。
[Configuration of distance measuring device]
As shown in FIG. 1, a distance measuring apparatus 1 according to an embodiment of the present invention emits light toward a measurement target, a reflected light from the measurement target, and the light source 2. The light receiving unit 3 that detects the reference light and the calculation unit 4 that calculates and displays the distance to the measurement object based on the detection timing difference between the reflected light and the reference light in the light receiving unit 3 are provided as main components.

上記光源部2は、投光レンズ5を介して測定対象物に向けてパルス幅10[ns]程度のパルス状の光を投光するレーザダイオード(LD)6と、演算部4から出力されるLD駆動信号に従ってLD6に電圧を印加することによりLD6を駆動するLD駆動回路7と、LD6が送出した光を参照光として受光部3側に分岐する光ファイバ8と、装置外部から到達した光を集光する受光レンズ9とを備える。   The light source unit 2 is output from a laser diode (LD) 6 that projects pulsed light having a pulse width of about 10 [ns] toward a measurement object via a light projecting lens 5 and a calculation unit 4. An LD driving circuit 7 that drives the LD 6 by applying a voltage to the LD 6 according to the LD driving signal, an optical fiber 8 that branches to the light receiving unit 3 side using the light transmitted by the LD 6 as reference light, and the light that has reached from the outside of the apparatus And a light receiving lens 9 for condensing light.

上記受光部3は、受光レンズ9により集光された光と光ファイバ8から出力された参照光を受光するアバランシェフォトダイオード(APD)10と、DAC20から出力される高圧制御信号に従ってAPD10に電圧を印加することによりAPD10を駆動する高圧電源11と、APD10が受光した光パルス信号(受光信号)を電気パルス信号(以下、受信パルスと表記)に光電変換するトランスインピーダンスアンプ12と、CPU19から出力されるゲイン制御信号に従ってトランスピンピーダンスアンプ12から出力される受信パルスの振幅レベルを調整する可変ゲインアンプ13と、DAC20から出力されるスレッシュレベル制御信号に従って可変ゲインアンプ13から出力される受信パルスの振幅レベルとスレッシュレベルとを比較することにより反射光及び参照光に対応する受信パルスを検出するコンパレータ14,レベルコンバータ15,及びフリップフロップ16とを備える。   The light receiving unit 3 applies a voltage to the APD 10 in accordance with an avalanche photodiode (APD) 10 that receives the light collected by the light receiving lens 9 and the reference light output from the optical fiber 8 and a high-voltage control signal output from the DAC 20. The high voltage power supply 11 that drives the APD 10 when applied, the transimpedance amplifier 12 that photoelectrically converts the light pulse signal (light reception signal) received by the APD 10 into an electrical pulse signal (hereinafter referred to as reception pulse), and the CPU 19 output A variable gain amplifier 13 for adjusting the amplitude level of the received pulse output from the trans-pin impedance amplifier 12 according to the gain control signal, and the amplitude of the received pulse output from the variable gain amplifier 13 according to the threshold level control signal output from the DAC 20. Level and threshold level Comparator 14 for detecting a received pulse corresponding to the reflected light and reference light by comparing, and a level converter 15 and a flip-flop 16,.

上記演算部4は、フリップフロップ16から出力された反射光及び参照光に対応する受信パルスの検出タイミング差を算出してCPU19に出力すると共に、CPU19により生成されるLD駆動信号に従ってLD駆動回路7を制御するCPLD17と、LD駆動回路7の印加電圧,高圧電源11の印加電圧,可変ゲインアンプ13の増幅率,及びフリップフロップ16のスレッシュレベルを制御する受光信号レベル調整部18とを備え、受光信号レベル調整部18は、CPLD17から出力される反射光及び参照光に対応する受信パルスの検出タイミング差に基づいて測定対象物までの距離を算出,表示すると共に、LD駆動回路7の印加電圧を制御するLD駆動信号,高圧電源11の印加電圧を制御する高圧制御信号,可変ゲインアンプ13の増幅率を制御するゲイン制御信号,及びフリップフロップ16のスレッシュレベルを制御するスレッシュレベル制御信号を生成するCPU19と、CPU19により生成された高圧制御信号とスレッシュレベル制御信号に従って高圧電源11とフリップフロップ16を制御するDAC20とを備える。   The arithmetic unit 4 calculates a detection timing difference between reception pulses corresponding to the reflected light and the reference light output from the flip-flop 16 and outputs the difference to the CPU 19, and at the same time, the LD drive circuit 7 according to the LD drive signal generated by the CPU 19. And a light receiving signal level adjusting unit 18 for controlling the applied voltage of the LD driving circuit 7, the applied voltage of the high voltage power supply 11, the amplification factor of the variable gain amplifier 13, and the threshold level of the flip-flop 16. The signal level adjusting unit 18 calculates and displays the distance to the measurement object based on the detection timing difference between the received light corresponding to the reflected light and the reference light output from the CPLD 17 and displays the applied voltage of the LD driving circuit 7. LD drive signal to control, high voltage control signal to control applied voltage of high voltage power supply 11, variable gain amplifier The CPU 19 generates a gain control signal for controlling the amplification factor 3 and a threshold level control signal for controlling the threshold level of the flip-flop 16, and the high-voltage power supply 11 and the flip-flop according to the high-voltage control signal and the threshold level control signal generated by the CPU 19. And a DAC 20 for controlling the controller 16.

なお、本実施形態では、高圧制御信号は、0〜255の設定値を有し、設定値が0の場合、高圧電源11の印加電圧は調整範囲内において最大値となり、設定値が255の場合には、高圧電源11の印加電圧は調整範囲内において最小値となる。また、スレッシュレベルの設定値は、0〜3.3[V]の範囲を有し、0〜255までの256分割され、設定値が小さい程、スレッシュレベルが高くなる。また、可変ゲインアンプ13の増幅率は、4倍,8倍,50倍の設定値を有し、初期値は8倍に設定される。   In the present embodiment, the high voltage control signal has a set value of 0 to 255. When the set value is 0, the applied voltage of the high voltage power supply 11 is the maximum value within the adjustment range, and the set value is 255. In other words, the applied voltage of the high-voltage power supply 11 becomes the minimum value within the adjustment range. The threshold level setting value has a range of 0 to 3.3 [V] and is divided into 256 from 0 to 255. The smaller the setting value, the higher the threshold level. The gain of the variable gain amplifier 13 has set values of 4, 8, and 50 times, and the initial value is set to 8 times.

〔距離計測処理の流れ〕
上記のような構成を有する距離計測装置1は、以下に示す距離計測処理を実行することにより、反射光及び参照光に対応する受信パルスを検出し、測定対象物までの距離を計測する。以下、図2に示すフローチャートを参照して、この距離計測処理を実行する際の距離計測装置1の動作について説明する。
[Flow of distance measurement processing]
The distance measuring device 1 having the above configuration detects the received pulse corresponding to the reflected light and the reference light, and measures the distance to the measurement object by executing the distance measuring process described below. Hereinafter, with reference to the flowchart shown in FIG. 2, the operation of the distance measuring apparatus 1 when executing this distance measuring process will be described.

図2に示すフローチャートは、距離計測装置1の距離計測開始とするトリガ信号に応じて開始となり、距離計測処理はステップS1の処理に進む。   The flowchart shown in FIG. 2 starts in response to a trigger signal for starting the distance measurement of the distance measuring device 1, and the distance measurement process proceeds to the process of step S1.

ステップS1の処理では、CPU19が、制御信号の初期設定処理として、高圧電源11の印加電圧を調整範囲内において最小とする高圧制御信号(設定値255(0xFF))と可変ゲインアンプ13の増幅率を8倍にするゲイン制御信号を生成,出力する。なお、高圧電源11の印加電圧を調整範囲内において最小とすることによって、APD10の許容範囲以上の電圧が印加されることや、調整前に最大電圧が設定されることによってAPD10が破壊されることを防止できる。これにより、ステップS1の処理は完了し、距離計測処理はステップS2の処理に進む。   In the process of step S1, the CPU 19 performs the initial setting process of the control signal, the high voltage control signal (setting value 255 (0xFF)) that minimizes the applied voltage of the high voltage power supply 11 within the adjustment range, and the gain of the variable gain amplifier 13 Generates and outputs a gain control signal for multiplying. In addition, by minimizing the applied voltage of the high voltage power supply 11 within the adjustment range, a voltage exceeding the allowable range of the APD 10 is applied, or the APD 10 is destroyed by setting the maximum voltage before adjustment. Can be prevented. Thereby, the process of step S1 is completed and a distance measurement process progresses to the process of step S2.

ステップS2の処理では、CPU19が、反射光及び参照光に対応する受信パルスを検出していない状態(LD6の消灯状態)でも受信パルスを検出可能な電圧にAPD10への印加電圧を制御するようにDAC20を介して高圧電源11に高圧制御信号を出力する。なお、この高電圧調整処理の詳細については図3に示すフローチャートを参照して後述する。これにより、ステップS2の処理は完了し、距離計測処理はステップS3の処理に進む。   In the process of step S2, the CPU 19 controls the voltage applied to the APD 10 so that the received pulse can be detected even when the received pulse corresponding to the reflected light and the reference light is not detected (the LD 6 is turned off). A high voltage control signal is output to the high voltage power supply 11 via the DAC 20. The details of the high voltage adjustment processing will be described later with reference to the flowchart shown in FIG. Thereby, the process of step S2 is completed, and the distance measurement process proceeds to the process of step S3.

ステップS3の処理では、CPU19が、上記高電圧調整処理において設定されたAPD10への印加電圧を基準として反射光又は参照光に対応する受信パルスを検出できない電圧までAPD10への印加電圧を調整する(光量調整処理)。なお、この光量調整処理の詳細について図4に示すフローチャートを参照して後述する。これにより、ステップS3の処理は完了し、距離計測処理はステップS4の処理に進む。   In the process of step S3, the CPU 19 adjusts the voltage applied to the APD 10 to a voltage at which the received pulse corresponding to the reflected light or the reference light cannot be detected with the voltage applied to the APD 10 set in the high voltage adjustment process as a reference ( Light intensity adjustment process). Details of this light amount adjustment processing will be described later with reference to a flowchart shown in FIG. Thereby, the process of step S3 is completed and the distance measurement process proceeds to the process of step S4.

ステップS4の処理では、CPLD19が、反射光又は参照光に対応する受信パルスが検出されたか否かを判別する。そして、判別の結果、受信パルスが検出されていない場合、CPU19は、ステップS5の処理として可変ゲインアンプ13の増幅率を調整するゲイン調整処理を実行した後、距離計測処理をステップS6の処理に進める。なお、このゲイン調整処理の詳細については図5に示すフローチャートを参照して後述する。一方、受信パルスが検出された場合には、CPU19は距離計測処理をステップS4の処理からステップS6の処理に進める。   In the process of step S4, the CPLD 19 determines whether or not a reception pulse corresponding to the reflected light or the reference light has been detected. If the received pulse is not detected as a result of the determination, the CPU 19 executes a gain adjustment process for adjusting the gain of the variable gain amplifier 13 as the process of step S5, and then changes the distance measurement process to the process of step S6. Proceed. Details of this gain adjustment processing will be described later with reference to a flowchart shown in FIG. On the other hand, when the reception pulse is detected, the CPU 19 advances the distance measurement process from the process of step S4 to the process of step S6.

ステップS6の処理では、CPU19が、反射光及び参照光に対応する受信パルスの振幅レベルが検出されるために必要な最小振幅レベル、且つ、波形が略同形状になっているか否かを判別する。そして、判別の結果、反射光及び参照光に対応する受信パルスの振幅レベルが検出されるために必要な最小振幅レベル、且つ、波形が略同形状になっていない場合、CPU19は距離計測処理をステップS2の処理に戻す。一方、反射光及び参照光に対応する受信パルスの振幅レベルが検出されるために必要な最小振幅レベル、且つ、波形が略同形状になっている場合には、CPU19は距離計測処理をステップS7の処理に進める。   In the process of step S6, the CPU 19 determines whether or not the minimum amplitude level necessary for detecting the amplitude level of the reception pulse corresponding to the reflected light and the reference light and the waveforms have substantially the same shape. . As a result of the determination, if the amplitude level of the received pulse corresponding to the reflected light and the reference light is detected and the waveform is not substantially the same shape, the CPU 19 performs a distance measurement process. The process returns to step S2. On the other hand, when the amplitude level of the received pulse corresponding to the reflected light and the reference light is detected and the waveform has substantially the same shape, the CPU 19 performs a distance measurement process in step S7. Proceed to the process.

ステップS7の処理では、CPU19が、これまでのスレッシュレベルよりも低い値にスレッシュレベルを設定して受信パルスを検出し、反射光及び参照光に対応する受信パルスの検出タイミング差に従って測定対象物までの距離を計測,表示する。これにより、ステップS7の処理は完了し、一連の距離計測処理は終了する。   In the process of step S7, the CPU 19 detects the received pulse by setting the threshold level to a value lower than the previous threshold level, and reaches the measurement object according to the detection timing difference of the received pulse corresponding to the reflected light and the reference light. Measure and display the distance. Thereby, the process of step S7 is completed and a series of distance measurement processes are complete | finished.

〔高電圧調整処理〕
次に、図3に示すフローチャートを参照して、上記ステップS2の高電圧調整処理を実行する際の距離計測装置1の動作について説明する。
[High voltage adjustment processing]
Next, with reference to the flowchart shown in FIG. 3, the operation of the distance measuring apparatus 1 when executing the high voltage adjustment process in step S2 will be described.

図3に示すフローチャートは、上記ステップS1の処理が完了する、又は、上記ステップS6の処理において、反射光及び参照光に対応する受信パルスの振幅レベルが検出されるために必要な最小振幅レベル、且つ、波形が略同形状になっていないと判別されるのに応じて開始となり、高電圧調整処理はステップS11の処理に進む。なお、この高電圧調整処理は反射光及び参照光に対応する受信パルスそれぞれに対して行われるものとする。   In the flowchart shown in FIG. 3, the minimum amplitude level necessary for detecting the amplitude level of the received pulse corresponding to the reflected light and the reference light in the processing of step S1 is completed. In addition, the process starts when it is determined that the waveforms are not substantially the same shape, and the high voltage adjustment process proceeds to the process of step S11. This high voltage adjustment process is performed for each of the received pulses corresponding to the reflected light and the reference light.

ステップS11の処理では、CPU19が、受信パルスが検出できないように、フリップフロップ16のスレッシュレベルを最大値(0.0[V])に設定するスレッシュレベル制御信号を生成し、生成したスレッシュレベル制御信号をDAC20を介してフリップフロップ16に出力する。これにより、ステップS11の処理は完了し、高電圧調整処理はステップS12の処理に進む。   In the process of step S11, the CPU 19 generates a threshold level control signal for setting the threshold level of the flip-flop 16 to the maximum value (0.0 [V]) so that the received pulse cannot be detected, and the generated threshold level control. The signal is output to the flip-flop 16 through the DAC 20. Thereby, the process of step S11 is completed, and the high voltage adjustment process proceeds to the process of step S12.

ステップS12の処理では、CPU19が、高圧電源11に出力する高圧制御信号の設定値を1減らすことにより、高圧電源11の印加電圧を増加させる。なお、CPU19は、高電圧調整処理が1回目であれば高圧制御信号の設定値を3減らし、2回目であれば高圧制御信号の設定値を1減らす等、高電圧調整処理が1回目であるか否かに応じて高圧制御信号の設定値の調整量を変化させてもよい。このような処理によれば、調整時間を短縮することができると共に、微調整を行うことにより調整精度を向上させることができる。これにより、ステップS12の処理は完了し、高電圧調整処理はステップS13の処理に進む。   In the process of step S <b> 12, the CPU 19 increases the applied voltage of the high voltage power supply 11 by reducing the set value of the high voltage control signal output to the high voltage power supply 11 by one. Note that the CPU 19 performs the first high voltage adjustment process such as reducing the set value of the high voltage control signal by 3 if the high voltage adjustment process is the first time, and reducing the set value of the high voltage control signal by 1 if the second time. Depending on whether or not, the adjustment amount of the set value of the high voltage control signal may be changed. According to such processing, the adjustment time can be shortened, and the adjustment accuracy can be improved by performing fine adjustment. Thereby, the process of step S12 is completed, and the high voltage adjustment process proceeds to the process of step S13.

ステップS13の処理では、CPU19が、高圧制御信号の設定値が0である、換言すれば、高圧電源11の印加電圧が調整範囲内における最大値であるか否かを判別する。そして、判別の結果、高圧制御信号の設定値が0である場合、CPU19は、高圧電源11の印加電圧を調整範囲内において調整できないと判断して、ステップS14の処理として高圧制御信号の設定値を任意の値(例えば255)に確定した後、一連の高電圧調整処理を終了する。このような処理によれば、高圧電源11の印加電圧を調整できなかった場合であっても反射光及び参照光に対応する受信パルスの振幅レベルを距離計測が行える可能性が高い振幅レベルにすることができると共に、高圧電源11の印加電圧を受信パルスを検出できない電圧に調整する際における初期電圧を最適化することができる。一方、高圧制御信号の設定値が0でない場合には、CPU19は高電圧調整処理をステップS15の処理に進める。   In the process of step S13, the CPU 19 determines whether the set value of the high voltage control signal is 0, in other words, whether the applied voltage of the high voltage power supply 11 is the maximum value within the adjustment range. If the set value of the high-voltage control signal is 0 as a result of determination, the CPU 19 determines that the applied voltage of the high-voltage power supply 11 cannot be adjusted within the adjustment range, and the set value of the high-voltage control signal is processed as step S14. Is fixed to an arbitrary value (for example, 255), and then a series of high voltage adjustment processing is terminated. According to such processing, even when the applied voltage of the high-voltage power supply 11 cannot be adjusted, the amplitude level of the reception pulse corresponding to the reflected light and the reference light is set to an amplitude level that is highly likely to be measured. It is possible to optimize the initial voltage when adjusting the applied voltage of the high-voltage power supply 11 to a voltage at which the received pulse cannot be detected. On the other hand, when the set value of the high voltage control signal is not 0, the CPU 19 advances the high voltage adjustment process to the process of step S15.

ステップS15の処理では、CPU19が、フリップフロップ16のスレッシュレベルが1.5[V]になるように、換言すれば、フリップフロップ16のスレッシュレベルを低下させ、受信パルスを検出可能なスレッシュレベル制御信号を生成し、生成したスレッシュレベル制御信号をDAC20を介してフリップフロップ16に出力する。これにより、ステップS15の処理は完了し、高電圧調整処理はステップS16の処理に進む。   In the process of step S15, the CPU 19 lowers the threshold level of the flip-flop 16 so that the threshold level of the flip-flop 16 becomes 1.5 [V], in other words, the threshold level control capable of detecting the received pulse. A signal is generated, and the generated threshold level control signal is output to the flip-flop 16 via the DAC 20. Thereby, the process of step S15 is completed, and the high voltage adjustment process proceeds to the process of step S16.

ステップS16の処理では、CPLD17が、受信パルスが検出されたか否かを判別する。そして、判別の結果、受信パルスが検出されない場合、CPLD17は高電圧調整処理をステップ11の処理に戻す。一方、受信パルスが検出された場合には、CPLD17は高電圧調整処理をステップS17の処理に進める。   In the process of step S16, the CPLD 17 determines whether or not a reception pulse has been detected. If the received pulse is not detected as a result of the determination, the CPLD 17 returns the high voltage adjustment process to the process of step 11. On the other hand, when the reception pulse is detected, the CPLD 17 advances the high voltage adjustment process to the process of step S17.

ステップS17の処理では、CPU19が、受信パルスの検出を1回確認済みであるか否かを判別する。そして、判別の結果、1回確認済みである場合、CPU19は一連の高電圧調整処理を終了する。一方、1回確認済みでない場合には、CPU19は高電圧調整処理をステップS18の処理に進める。   In the process of step S17, the CPU 19 determines whether or not the detection of the received pulse has been confirmed once. If the result of determination is that it has been confirmed once, the CPU 19 ends the series of high voltage adjustment processing. On the other hand, if it has not been confirmed once, the CPU 19 advances the high voltage adjustment process to the process of step S18.

ステップS18の処理では、CPU19が、プログラムカウンタの値を1増数する等して受信パルスの検出を1回確認済みであることを設定する。このように確認処理を複数回実行することにより、ノイズ光による受信パルスの誤検出を防ぎ、正確な電圧調整を行うことができる。これにより、ステップS18の処理は完了し、高電圧調整処理はステップS19の処理に進む。   In the process of step S18, the CPU 19 sets that the detection of the received pulse has been confirmed once, for example, by incrementing the value of the program counter by one. By executing the confirmation process a plurality of times in this way, it is possible to prevent erroneous detection of a received pulse due to noise light and perform accurate voltage adjustment. Thereby, the process of step S18 is completed and the high voltage adjustment process proceeds to the process of step S19.

ステップS19の処理では、CPU19が、高圧制御信号の設定値の変動量が3以上であるか否かを判別する。そして、判別の結果、高圧制御信号の設定値の変動量が3以上である場合、CPU19は高電圧調整処理をステップS21の処理に進める。一方、高圧制御信号の設定値の変動量が3以上でない場合には、CPU19は高電圧調整処理をステップS20の処理に進める。   In the process of step S19, the CPU 19 determines whether or not the amount of change in the set value of the high voltage control signal is 3 or more. If the amount of change in the set value of the high voltage control signal is 3 or more as a result of the determination, the CPU 19 advances the high voltage adjustment process to the process of step S21. On the other hand, when the variation amount of the set value of the high voltage control signal is not 3 or more, the CPU 19 advances the high voltage adjustment process to the process of step S20.

ステップS20の処理では、CPU19は、現在の設定値より設定値を1増数した高圧制御信号を生成し、生成した高圧制御信号をDAC20を介して高圧電源11に出力する。これにより、ステップS20の処理は完了し、高電圧調整処理はステップS11の処理に戻る。   In the process of step S <b> 20, the CPU 19 generates a high voltage control signal obtained by incrementing the set value by 1 from the current set value, and outputs the generated high voltage control signal to the high voltage power supply 11 via the DAC 20. Thereby, the process of step S20 is completed and the high voltage adjustment process returns to the process of step S11.

ステップS21の処理では、CPU19は、現在の設定値より設定値を3増数した高圧制御信号を生成し、生成した高圧制御信号をDAC20を介して高圧電源11に出力する。これにより、ステップS21の処理は完了し、高電圧調整処理はステップS11の処理に戻る。   In the process of step S <b> 21, the CPU 19 generates a high voltage control signal obtained by multiplying the current set value by three, and outputs the generated high voltage control signal to the high voltage power supply 11 via the DAC 20. Thereby, the process of step S21 is completed and the high voltage adjustment process returns to the process of step S11.

〔光量調整処理〕
次に、図4に示すフローチャートを参照して、上記ステップS3の光量調整処理を実行する際の距離計測装置1の動作について説明する。
[Light intensity adjustment processing]
Next, with reference to the flowchart shown in FIG. 4, the operation of the distance measuring apparatus 1 when executing the light amount adjustment processing in step S3 will be described.

図4に示すフローチャートは、上記ステップS2の処理が完了するのに応じて開始となり、光量調整処理はステップS31の処理に進む。なお、この高電圧調整処理は反射光及び参照光に対応する受信パルスそれぞれに対して行われるものとする。   The flowchart shown in FIG. 4 starts when the process of step S2 is completed, and the light amount adjustment process proceeds to the process of step S31. This high voltage adjustment process is performed for each of the received pulses corresponding to the reflected light and the reference light.

ステップS31の処理では、CPU19が、反射波及び参照光のどちらの受信パルスに対する光量調整であるかを設定する。これにより、ステップS31の処理は完了し、光量調整処理はステップS32の処理に進む。   In the process of step S31, the CPU 19 sets which of the reflected light and the reference light the light intensity adjustment is for. Thereby, the process of step S31 is completed, and the light amount adjustment process proceeds to the process of step S32.

ステップS32の処理では、CPU19が、フリップフロップ16のスレッシュレベルを1.2[V]にし、受信パルスを検出可能なスレッシュレベル制御信号を生成し、生成したスレッシュレベル制御信号をDAC20を介してフリップフロップ16に出力する。なお、CPU19は、可変ゲインアンプ13の増幅率が50倍である場合はスレッシュレベルを1.0[V]、50倍でない場合にはスレッシュレベルを1.2[V]といったように、可変ゲインアンプ13の増幅率に応じてスレッシュレベルの値を調整するようにしてもよい。このような処理によれば、ノイズ信号の影響を低減させ、SN比を向上させることができる。これにより、ステップS32の処理は完了し、光量調整処理はステップS33の処理に進む。   In the process of step S32, the CPU 19 sets the threshold level of the flip-flop 16 to 1.2 [V], generates a threshold level control signal capable of detecting the received pulse, and flips the generated threshold level control signal via the DAC 20 Output to the group 16. Note that the CPU 19 sets the variable gain such that the threshold level is 1.0 [V] when the gain of the variable gain amplifier 13 is 50 times, and the threshold level is 1.2 [V] when the gain is not 50 times. The threshold level value may be adjusted according to the amplification factor of the amplifier 13. According to such processing, the influence of the noise signal can be reduced and the SN ratio can be improved. Thereby, the process of step S32 is completed, and the light amount adjustment process proceeds to the process of step S33.

ステップS33の処理では、CPU19が、CPLD17を介してLD駆動回路7にLD駆動信号を出力することにより測定対象物に向けて光を投光するようにLD6を制御する。これにより、ステップS33の処理は完了し、光量調整処理はステップS34の処理に進む。   In the process of step S33, the CPU 19 controls the LD 6 so as to project light toward the measurement object by outputting an LD drive signal to the LD drive circuit 7 via the CPLD 17. Thereby, the process of step S33 is completed, and the light amount adjustment process proceeds to the process of step S34.

ステップS34の処理では、CPU19が、受信パルスが検出されたか否かを判別する。そして、判別の結果、受信パルスが検出されていない場合、CPU19は光量調整処理をステップ38の処理に進める。一方、受信パルスが検出された場合には、CPU19は光量調整処理をステップS35の処理に進める。   In the process of step S34, the CPU 19 determines whether or not a reception pulse is detected. If the received pulse is not detected as a result of the determination, the CPU 19 advances the light amount adjustment process to the process of step 38. On the other hand, when the reception pulse is detected, the CPU 19 advances the light amount adjustment process to the process of step S35.

ステップS35の処理では、CPU19が、高圧制御信号の設定値が255以下、換言すれば、高圧電源11の印加電圧が調整範囲内における最小値であるか否かを判別する。そして、判別の結果、高圧制御信号の設定値が255以下である場合、CPU19は、ステップS36の処理として高圧制御信号の設定値を1増数することによりAPD10への印加電圧を減少させた後、光量調整処理をステップS33の処理に戻す。一方、高圧制御信号の設定値が255である場合には、CPU19は、光量過多状態であると判断し、ステップS37の処理としてエラー設定(エラー設定2)した後に光量調整処理をステップS50の処理に進める。なお、上記ステップS36の処理において、CPU19は、光量調整処理が1回目であれば高圧制御信号の設定値を3減少させ、2回目であれば高圧制御信号の設定値を1減少させる等、光量調整処理が1回目であるか否かに応じて高圧制御信号の設定値の調整量を変化させるようにしてもよい。このような処理によれば、調整時間を短縮することができると共に、微調整を行うことにより調整精度を向上させることができる。   In the process of step S35, the CPU 19 determines whether or not the set value of the high voltage control signal is 255 or less, in other words, whether or not the applied voltage of the high voltage power supply 11 is the minimum value within the adjustment range. If it is determined that the set value of the high voltage control signal is 255 or less, the CPU 19 decreases the applied voltage to the APD 10 by incrementing the set value of the high voltage control signal by 1 as a process of step S36. Then, the light amount adjustment process is returned to the process of step S33. On the other hand, when the set value of the high voltage control signal is 255, the CPU 19 determines that the light quantity is excessive, and after performing error setting (error setting 2) as the process in step S37, the light quantity adjustment process is performed in step S50. Proceed to In the process of step S36, the CPU 19 reduces the set value of the high voltage control signal by 3 if the light intensity adjustment process is the first time, and decreases the set value of the high voltage control signal by 1 if the light intensity adjustment process is the second time. You may make it change the adjustment amount of the setting value of a high voltage | pressure control signal according to whether the adjustment process is the 1st time. According to such processing, the adjustment time can be shortened, and the adjustment accuracy can be improved by performing fine adjustment.

ステップS38の処理では、CPU19が、高圧制御信号の設定値が高電圧調整処理終了後の設定値と同じであるか否かを判別する。そして、判別の結果、設定値が同じである場合、CPU19は光量調整処理をステップS44の処理に進める。一方、設定値が同じでない場合には、CPU19は光量調整処理をステップS39の処理に進める。なお、設定値が同じであり、調整が1回目である場合は光量過少であることが考えられるので、CPU19は、光量調整処理をステップS45の処理に進め、後述するステップS44,S46〜48の処理を省略するようにしても良い。   In the process of step S38, the CPU 19 determines whether or not the set value of the high voltage control signal is the same as the set value after completion of the high voltage adjustment process. If the set values are the same as a result of the determination, the CPU 19 advances the light amount adjustment process to the process of step S44. On the other hand, if the set values are not the same, the CPU 19 advances the light amount adjustment process to the process of step S39. If the set values are the same and the adjustment is performed for the first time, it is considered that the amount of light is too small. Therefore, the CPU 19 advances the light amount adjustment process to the process of step S45, and in steps S44 and S46 to 48 described later. Processing may be omitted.

ステップS39の処理では、CPU19が、受信パルスの検出を1回確認済みであるか否かを判別する。そして、判別の結果、1回確認済みである場合、CPU19は光量調整処理をステップS49の処理に進める。一方、1回確認済みでない場合には、CPU19は光量調整処理をステップS40の処理に進める。   In the process of step S39, the CPU 19 determines whether or not the detection of the received pulse has been confirmed once. And as a result of discrimination | determination, when confirmed once, CPU19 advances a light quantity adjustment process to the process of step S49. On the other hand, if it has not been confirmed once, the CPU 19 advances the light amount adjustment process to the process of step S40.

ステップS40の処理では、CPU19が、プログラムカウンタの値を1増数することにより1回目確認済みであることを設定する。このように確認処理を複数回実行することにより、ノイズ光による反射光及び参照光に対応する受信パルスの誤検出を防ぎ、正確な電圧調整を行うことができる。これにより、ステップS40の処理は完了し、光量調整処理はステップS41の処理に進む。   In the processing of step S40, the CPU 19 sets that the first confirmation has been made by incrementing the value of the program counter by one. By executing the confirmation process a plurality of times as described above, it is possible to prevent erroneous detection of the received pulse corresponding to the reflected light and the reference light due to the noise light, and to perform accurate voltage adjustment. Thereby, the process of step S40 is completed, and the light amount adjustment process proceeds to the process of step S41.

ステップS41の処理では、CPU19が、高圧制御信号の設定値の変動量が3以上であるか否かを判別する。そして、判別の結果、高圧制御信号の設定値の変動量が3以上である場合、CPU19は光量調整処理をステップS43の処理に進める。一方、高圧制御信号の設定値の変動量が3以上でない場合には、CPU19は光量調整処理をステップS42の処理に進める。   In the process of step S41, the CPU 19 determines whether or not the amount of change in the set value of the high voltage control signal is 3 or more. If the amount of change in the set value of the high voltage control signal is 3 or more as a result of the determination, the CPU 19 advances the light amount adjustment process to the process of step S43. On the other hand, when the amount of change in the set value of the high voltage control signal is not 3 or more, the CPU 19 advances the light amount adjustment process to the process of step S42.

ステップS42の処理では、CPU19が、現在の設定値より設定値を1減らした高圧制御信号を生成し、生成した高圧制御信号をDAC20を介して高圧電源11に出力する。これにより、ステップS42の処理は完了し、光量調整処理はステップS33の処理に戻る。   In the process of step S <b> 42, the CPU 19 generates a high voltage control signal in which the setting value is reduced by 1 from the current setting value, and outputs the generated high voltage control signal to the high voltage power supply 11 via the DAC 20. Thereby, the process of step S42 is completed, and the light amount adjustment process returns to the process of step S33.

ステップS43の処理では、CPU19が、現在の設定値より設定値を3減らした高圧制御信号を生成し、生成した高圧制御信号をDAC20を介して高圧電源11に出力する。これにより、ステップS43の処理は完了し、光量調整処理はステップS33の処理に戻る。   In the process of step S43, the CPU 19 generates a high voltage control signal in which the setting value is reduced by 3 from the current setting value, and outputs the generated high voltage control signal to the high voltage power source 11 via the DAC 20. Thereby, the process of step S43 is completed, and the light amount adjustment process returns to the process of step S33.

ステップS44の処理では、CPU19が、1回目の光量調整処理であるか否かを判別する。そして、判別の結果、1回目の光量調整処理である場合、CPU19は、光量過小状態にあると判断し、ステップS45の処理としてエラー設定(エラー設定1)をした後に光量調整処理をステップS50の処理に進める。一方、1回目の光量調整処理でない場合には、CPU19は光量調整処理をステップS46の処理に進める。   In the process of step S44, the CPU 19 determines whether or not it is the first light amount adjustment process. If it is the first light amount adjustment process as a result of the determination, the CPU 19 determines that the light amount is in an excessively small state, sets the error (error setting 1) as the process in step S45, and then performs the light amount adjustment process in step S50. Proceed to processing. On the other hand, if it is not the first light amount adjustment process, the CPU 19 advances the light amount adjustment process to step S46.

ステップS46の処理では、CPU19が、フリップフロップ16のスレッシュレベルを1.3[V]にする、換言すれば、ステップS32の処理によりもスレッシュレベルを低くするスレッシュレベル制御信号を生成し、生成したスレッシュレベル制御信号をDAC20を介してフリップフロップ16に出力する。このような処理によれば、ノイズ,外乱光の影響によって反射光及び参照光に対応する受信パルスが本来検出されるべきであるのに検出されないことが発生することを防止し、高圧電源11の印加電圧を正確に調整することができる。これにより、ステップS46の処理は完了し、光量調整処理はステップS47の処理に進む。   In the process of step S46, the CPU 19 generates and generates a threshold level control signal that lowers the threshold level of the flip-flop 16 to 1.3 [V], in other words, the threshold level is lowered by the process of step S32. The threshold level control signal is output to the flip-flop 16 via the DAC 20. According to such processing, it is possible to prevent the reception pulse corresponding to the reflected light and the reference light from being originally detected due to the influence of noise and disturbance light, but not to be detected. The applied voltage can be adjusted accurately. Thereby, the process of step S46 is completed, and the light amount adjustment process proceeds to the process of step S47.

ステップS47の処理では、CPU19が、CPLD17を介してLD駆動回路7にLD駆動信号を出力することにより測定対象物に向けて光を投光するようにLD6を制御する。これにより、ステップS47の処理は完了し、光量調整処理はステップS48の処理に進む。   In the process of step S47, the CPU 19 controls the LD 6 to project light toward the measurement object by outputting an LD drive signal to the LD drive circuit 7 via the CPLD 17. Thereby, the process of step S47 is completed, and the light amount adjustment process proceeds to the process of step S48.

ステップS48の処理では、CPU19が、受信パルスが検出されたか否かを判別する。そして、判別の結果、受信パルスが検出されていない場合、CPU19は光量調整処理をステップ45の処理に進める。一方、受信パルスが検出された場合には、CPU19は光量調整処理をステップS49の処理に進める。   In the process of step S48, the CPU 19 determines whether or not a reception pulse is detected. If the received pulse is not detected as a result of the determination, the CPU 19 advances the light amount adjustment process to the process of step 45. On the other hand, when the reception pulse is detected, the CPU 19 advances the light amount adjustment process to the process of step S49.

ステップS49の処理では、CPU19が、測定対象物までの距離を測定する際の高圧電源11の印加電圧を現在の設定値に確定する。これにより、ステップS49の処理は完了し、光量調整処理はステップS50の処理に進む。   In the process of step S49, the CPU 19 determines the applied voltage of the high-voltage power supply 11 when measuring the distance to the measurement object as the current set value. Thereby, the process of step S49 is completed, and the light amount adjustment process proceeds to the process of step S50.

ステップS50の処理では、CPU19が、測定対象物までの距離を測定する際の高圧電源11の印加電圧の設定が完了したか否かを判別する。そして、判別の結果、設定が完了していない場合、CPU19は光量調整処理をステップS31の処理に戻す。一方、設定が完了した場合には、CPU19は一連の光量調整処理を終了する。   In the process of step S50, the CPU 19 determines whether or not the setting of the applied voltage of the high-voltage power supply 11 when measuring the distance to the measurement object is completed. If the setting is not completed as a result of the determination, the CPU 19 returns the light amount adjustment process to the process of step S31. On the other hand, when the setting is completed, the CPU 19 ends the series of light amount adjustment processing.

〔ゲイン調整処理〕
次に、図5に示すフローチャートを参照して、上記ステップS5のゲイン調整処理を実行する際の距離計測装置1の動作について説明する。
[Gain adjustment processing]
Next, with reference to the flowchart shown in FIG. 5, the operation of the distance measuring apparatus 1 when executing the gain adjustment process in step S5 will be described.

図5に示すフローチャートは、上記ステップS4の処理において反射光又は参照光に対応する受信パルスが検出されていないと判別されるのに応じて開始となり、ゲイン調整処理はステップS61の処理に進む。なお、このゲイン調整処理は反射光及び参照光に対応する受信パルスそれぞれに対して行われるものとする。   The flowchart shown in FIG. 5 starts when it is determined that the reception pulse corresponding to the reflected light or the reference light is not detected in the process of step S4, and the gain adjustment process proceeds to the process of step S61. Note that this gain adjustment processing is performed for each of the received pulses corresponding to the reflected light and the reference light.

ステップS61の処理では、CPU19が、可変ゲインアンプ13の増幅率の設定値が50倍又は4倍であるか否かを判別する。そして、判別の結果、50倍又は4倍である場合、CPU19はゲイン調整処理を終了する。一方、50倍又は4倍でない場合には、CPU19はゲイン調整処理をステップS62の処理に進める。   In the process of step S61, the CPU 19 determines whether or not the set value of the gain of the variable gain amplifier 13 is 50 times or 4 times. If the result of determination is 50 times or 4 times, the CPU 19 ends the gain adjustment processing. On the other hand, if it is not 50 times or 4 times, the CPU 19 advances the gain adjustment process to the process of step S62.

ステップS62の処理では、CPU19が、光量調整処理においてエラー設定1)がなされているか否かを判別する。そして、判別の結果、エラー設定1がなされている場合、CPU19は、高電圧調整処理において設定した高圧制御信号で常に受信パルスを検出できない光量過小状態にあると判断し、ゲイン調整処理をステップS64の処理に進める。一方、エラー設定1がなされていない場合には、CPU19は、高電圧調整処理で設定した高圧制御信号の設定値を調整しても受信パルスを検出できない電圧がない光量過多状態にあると判断し、ゲイン調整処理をステップS63の処理に進める。   In step S62, the CPU 19 determines whether or not error setting 1) has been made in the light amount adjustment processing. If the error setting 1 is determined as a result of the determination, the CPU 19 determines that the received light pulse is not always detected by the high voltage control signal set in the high voltage adjustment process, and the gain adjustment process is performed in step S64. Proceed to the process. On the other hand, when the error setting 1 is not made, the CPU 19 determines that there is an excessive light amount state in which there is no voltage at which the received pulse cannot be detected even if the set value of the high voltage control signal set in the high voltage adjustment process is adjusted. Then, the gain adjustment process proceeds to the process of step S63.

ステップS63の処理では、CPU19が、可変ゲインアンプ13の増幅率の設定値を4倍に制御する。これにより、ステップS63の処理は完了し、一連のゲイン調整処理は完了する。   In the process of step S63, the CPU 19 controls the set value of the gain of the variable gain amplifier 13 to 4 times. Thereby, the process of step S63 is completed and a series of gain adjustment processes are completed.

ステップS64の処理では、CPU19が、LD駆動回路7の印加電圧を増加済みであるか否かを判別する。そして、判別の結果、LD駆動回路7の印加電圧を増加済みである場合、CPU19は、ステップS65の処理として可変ゲインアンプ13の増幅率を50倍に設定した後、一連のゲイン調整処理を終了する。一方、LD駆動回路7の印加電圧を増加済みでない場合には、CPU19は、ステップS66の処理として、図6に示すように可変ゲインアンプ13の増幅率を50倍にせずに昇圧電源21によってLD6の駆動電圧を増加させた後、一連のゲイン調整処理を終了する。   In the process of step S64, the CPU 19 determines whether or not the applied voltage of the LD drive circuit 7 has been increased. If the applied voltage of the LD drive circuit 7 has already been increased as a result of the determination, the CPU 19 ends the series of gain adjustment processes after setting the amplification factor of the variable gain amplifier 13 to 50 as the process of step S65. To do. On the other hand, if the applied voltage of the LD drive circuit 7 has not been increased, the CPU 19 performs the processing of step S66 by using the boost power source 21 to increase the LD6 without increasing the amplification factor of the variable gain amplifier 13 as shown in FIG. After the drive voltage is increased, a series of gain adjustment processing is terminated.

以上の説明から明らかなように、本発明の実施形態となる距離計測装置1によれば、受光信号レベル調整部18が、反射光及び参照光に対応する受信パルスの振幅レベルが受光部3において検出されるために必要な最小振幅レベル、且つ、波形が略同形状になるように、LD駆動回路7の印加電圧、高圧電源11の印加電圧、及び可変ゲインアンプ13の増幅率のうちの少なくとも1つ以上を調整する。そして、このような構成によれば、反射光及び参照光それぞれに対応する電気パルス信号の振幅レベル,波形が最適化され、略同形状になるので、反射光や参照光に対応する電気パルス信号を正確に検出し、測定対象物までの距離を正確に計測することができる。   As is clear from the above description, according to the distance measuring apparatus 1 according to the embodiment of the present invention, the received light signal level adjusting unit 18 has the amplitude level of the received pulse corresponding to the reflected light and the reference light at the light receiving unit 3. At least of the applied voltage of the LD drive circuit 7, the applied voltage of the high voltage power supply 11, and the amplification factor of the variable gain amplifier 13 so that the minimum amplitude level necessary for detection and the waveform are substantially the same shape. Adjust one or more. According to such a configuration, the amplitude level and waveform of the electric pulse signal corresponding to each of the reflected light and the reference light are optimized and have substantially the same shape. Therefore, the electric pulse signal corresponding to the reflected light and the reference light. Can be accurately detected, and the distance to the measurement object can be accurately measured.

また、本発明の実施形態となる距離計測装置1によれば、受光信号レベル調整部18が、反射光及び参照光に対応する受信パルスが検出されていない状態であっても受信パルスを検出可能な電圧レベルに高圧電源11の印加電圧を調整した後、その電圧レベルを基準として反射光又は参照光に対応する受信パルスを検出できない電圧レベルに高圧電源11の印加電圧を調整するので、最小の部品点数で受信パルスの振幅レベルをAPD10の素子特性や計測時周囲状態に対応した最適な値に設定することができる。   Further, according to the distance measuring apparatus 1 according to the embodiment of the present invention, the received light signal level adjusting unit 18 can detect the received pulse even when the received pulse corresponding to the reflected light and the reference light is not detected. Since the applied voltage of the high-voltage power supply 11 is adjusted to a voltage level at which the received pulse corresponding to the reflected light or the reference light cannot be detected after adjusting the applied voltage of the high-voltage power supply 11 to a correct voltage level, the minimum The amplitude level of the received pulse can be set to an optimum value corresponding to the element characteristics of the APD 10 and the ambient state during measurement by the number of parts.

また、本発明の実施形態となる距離計測装置1によれば、受光信号レベル調整部18が、可変ゲインアンプ13の増幅率を初期値とは異なる値に設定することにより、高圧電源11の印加電圧の調整範囲内において、反射光及び参照光に対応する受信パルスの振幅レベルが受光部3において検出されるために必要な最小振幅レベル、且つ、波形が略同形状になるように調整するので、印加電圧の調整不良に伴う計測精度不良を改善することができる。   Further, according to the distance measuring apparatus 1 according to the embodiment of the present invention, the received light signal level adjusting unit 18 sets the amplification factor of the variable gain amplifier 13 to a value different from the initial value, thereby applying the high voltage power supply 11. Since the amplitude level of the received pulse corresponding to the reflected light and the reference light is adjusted within the voltage adjustment range so that the light receiving unit 3 can detect the amplitude level of the received pulse and the waveform has substantially the same shape. Therefore, it is possible to improve the measurement accuracy failure due to the improper adjustment of the applied voltage.

また、本発明の実施形態となる距離計測装置1によれば、受光信号レベル調整部18が、LD駆動回路7の印加電圧を初期値から変化させることにより、高圧電源11の印加電圧の調整範囲内において、反射光及び参照光に対応する受信パルスの振幅レベルが受光部3において検出されるために必要な最小振幅レベル、且つ、波形が略同形状になるように調整するので、APD10や可変ゲインアンプ13の影響を強く受けることなく、受信パルスの波形を最適化することができる。   Further, according to the distance measuring apparatus 1 according to the embodiment of the present invention, the received light signal level adjusting unit 18 changes the applied voltage of the LD drive circuit 7 from the initial value, thereby adjusting the applied voltage of the high-voltage power supply 11. The amplitude level of the received pulse corresponding to the reflected light and the reference light is adjusted so that the minimum amplitude level necessary for the light receiving unit 3 to detect the waveform and the waveform are substantially the same. The waveform of the received pulse can be optimized without being strongly influenced by the gain amplifier 13.

また、本発明の実施形態となる距離計測装置1によれば、受光信号レベル調整部18が、反射光及び参照光に対応する受信パルスの検出に利用するスレッシュレベルを調整することにより、反射光又は参照光に対応する受信パルスが検出できない電圧レベルに高圧電源11の印加電圧を調整するので、反射光及び参照光それぞれに対応する電気パルス信号の振幅レベルをより最適化し、測定対象物までの距離をより正確に計測することができる。   Further, according to the distance measuring device 1 according to the embodiment of the present invention, the received light signal level adjustment unit 18 adjusts the threshold level used for detection of the received pulse corresponding to the reflected light and the reference light, thereby reflecting the reflected light. Alternatively, the voltage applied to the high-voltage power supply 11 is adjusted to a voltage level at which the received pulse corresponding to the reference light cannot be detected. Therefore, the amplitude level of the electric pulse signal corresponding to each of the reflected light and the reference light is further optimized, Distance can be measured more accurately.

なお、一般に、受光素子の応答速度tr(以下の数式1参照)は印加電圧に応じて変化するために、印加電圧に応じて反射光及び参照光の受光タイミングにずれ(位相ずれ)が生じる。また、受光素子への印加電圧が110[V]以上である場合には、一般的に端子間容量が安定するためにこの位相ずれは発生しない。従って、上述の高電圧調整処理においてAPD10への印加電圧を変化させた場合には、図7に示すように反射光及び参照光に対応する受信パルスの検出タイミングに差が発生してしまう。一方、上述のゲイン調整処理において可変ゲインアンプ13の増幅率を例えば図8に示すように調整した場合には、増幅率に応じて遅延時間に差が生じ、図9に示すように光の投光から受信パルスの検出までの時間に時間差が生じてしまう。そこで、上記距離計測処理において後述する補正処理を実行することにより、反射光及び参照光に対応する受信パルスの検出タイミングを補正することが望ましい。

Figure 2007198910
In general, since the response speed tr of the light receiving element (see Equation 1 below) changes according to the applied voltage, a shift (phase shift) occurs in the light reception timing of the reflected light and the reference light according to the applied voltage. Further, when the applied voltage to the light receiving element is 110 [V] or more, this inter-terminal capacitance is generally stabilized, so this phase shift does not occur. Therefore, when the voltage applied to the APD 10 is changed in the high voltage adjustment process described above, a difference occurs in the detection timing of the received pulse corresponding to the reflected light and the reference light as shown in FIG. On the other hand, when the gain of the variable gain amplifier 13 is adjusted as shown in FIG. 8, for example, in the gain adjustment process described above, a difference occurs in the delay time according to the gain, and light projection is performed as shown in FIG. There will be a time difference in the time from light to detection of the received pulse. Therefore, it is desirable to correct the detection timing of the received pulse corresponding to the reflected light and the reference light by executing a correction process described later in the distance measurement process.
Figure 2007198910

以下、図10に示すフローチャートを参照してこの補正処理を実行する際の距離計測装置1の動作について説明する。   Hereinafter, the operation of the distance measuring apparatus 1 when executing this correction processing will be described with reference to the flowchart shown in FIG.

図10に示すフローチャートは、上記ステップS7の処理が完了するのに応じて開始となり、補正処理はステップS71の処理に進む。   The flowchart shown in FIG. 10 is started when the process of step S7 is completed, and the correction process proceeds to the process of step S71.

ステップS71の処理では、CPU19が、反射光及び参照光に対応する受信パルスを検出した際のAPD10への印加電圧を読み出す。これにより、ステップS71の処理は完了し、補正処理はステップS72の処理に進む。   In the process of step S71, the CPU 19 reads the voltage applied to the APD 10 when the reception pulse corresponding to the reflected light and the reference light is detected. Thereby, the process of step S71 is completed, and the correction process proceeds to the process of step S72.

ステップS72の処理では、CPU19が、図11に示すような反射光及び参照光に対応する受信パルスを受光した際のAPD10への印加電圧と計測距離の補正値の関係を示すテーブルから、ステップS71の処理において読み出された印加電圧値に対応する計測距離の補正値を読み出す。なお、図11に示すテーブルは、反射波及び参照波に対応する受信パルスを検出する際のAPD10への印加電圧差が最大30[V]ある場合には、3.4度分の位相ずれ量がに相当する変動時間0.031[nS]が発生し、最大4.7[mm]相当の測定距離誤差が発生することが考えられることに基づいて作成されている。これにより、ステップS72の処理は完了し、補正処理はステップS73の処理に進む。   In the process of step S72, the CPU 19 obtains the relationship between the applied voltage to the APD 10 and the correction value of the measurement distance when receiving the reception pulse corresponding to the reflected light and the reference light as shown in FIG. The correction value of the measurement distance corresponding to the applied voltage value read in the process is read. Note that the table shown in FIG. 11 shows that the amount of phase shift is 3.4 degrees when the applied voltage difference to the APD 10 when detecting the received pulse corresponding to the reflected wave and the reference wave is 30 [V] at the maximum. It is created based on the fact that a fluctuation time of 0.031 [nS] corresponding to is generated and a measurement distance error corresponding to a maximum of 4.7 [mm] is generated. Thereby, the process of step S72 is completed, and the correction process proceeds to the process of step S73.

ステップS73の処理では、CPU19が、反射光及び参照光に対応する受信パルスを検出した際の可変ゲインアンプ13の増幅率を読み出す。これにより、ステップS73の処理は完了し、補正処理はステップS74の処理に進む。   In the process of step S73, the CPU 19 reads the amplification factor of the variable gain amplifier 13 when the reception pulse corresponding to the reflected light and the reference light is detected. Thereby, the process of step S73 is completed, and the correction process proceeds to the process of step S74.

ステップS74の処理では、CPU19が、図12に示すような反射光及び参照光に対応する受信パルスを検出した際の可変ゲインアンプ13の増幅率(A,B,C,Dは図8に示すテーブルのA,B,C,Dに対応)と計測距離の補正値の関係を示すテーブルから、ステップS74の処理において読み出された増幅率に対応する計測距離の補正値を読み出す。なお、図12に示すテーブルは、可変ゲインアンプ13の増幅率が8倍である時と増幅率が50倍であると時とでは、2[mm]程度の測定距離誤差に相当する遅延時間時間差13[pS]が発生することが考えられることに基づいて作成されている。これにより、ステップS74の処理は完了し、補正処理はステップS75の処理に進む。   In the process of step S74, the amplification factor (A, B, C, D of the variable gain amplifier 13 when the CPU 19 detects the reception pulse corresponding to the reflected light and the reference light as shown in FIG. 12 is shown in FIG. The correction value of the measurement distance corresponding to the amplification factor read in the process of step S74 is read out from the table showing the relationship between the correction values of the measurement distance and the corresponding values A, B, C, and D in the table. Note that the table shown in FIG. 12 shows a delay time time difference corresponding to a measurement distance error of about 2 [mm] when the gain of the variable gain amplifier 13 is 8 times and when the gain is 50 times. It is created based on the possibility that 13 [pS] is generated. Thereby, the process of step S74 is completed, and the correction process proceeds to the process of step S75.

ステップS75の処理では、CPU19が、ステップS72,S74の処理により読み出された補正値を利用してステップS7の処理により算出された測定対象物までの距離を補正する。これにより、ステップS75の処理は完了し、一連の補正処理は終了する。   In the process of step S75, the CPU 19 corrects the distance to the measurement object calculated by the process of step S7 using the correction value read by the processes of steps S72 and S74. Thereby, the process of step S75 is completed and a series of correction processes are completed.

以上、本発明者らによってなされた発明を適用した実施の形態について説明したが、この実施の形態による本発明の開示の一部をなす論述及び図面により本発明は限定されることはない。すなわち、上記実施の形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施の形態、実施例及び運用技術等は全て本発明の範疇に含まれることは勿論であることを付け加えておく。   As mentioned above, although embodiment which applied the invention made by the present inventors was described, this invention is not limited by the description and drawing which make a part of indication of this invention by this embodiment. That is, it should be added that other embodiments, examples, operation techniques, and the like made by those skilled in the art based on the above-described embodiments are all included in the scope of the present invention.

本発明の実施形態となる距離計測装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the distance measuring device used as embodiment of this invention. 本発明の実施形態となる距離計測処理の流れを示すフローチャート図である。It is a flowchart figure which shows the flow of the distance measurement process used as embodiment of this invention. 図2に示す高電圧調整処理の流れを示すフローチャート図である。It is a flowchart figure which shows the flow of the high voltage adjustment process shown in FIG. 図2に示す光量調整処理の流れを示すフローチャート図である。It is a flowchart figure which shows the flow of the light quantity adjustment process shown in FIG. 図2に示すゲイン調整処理の流れを示すフローチャート図である。FIG. 3 is a flowchart showing a flow of gain adjustment processing shown in FIG. 2. 図1に示すLD駆動回路の内部構成を示す図である。It is a figure which shows the internal structure of the LD drive circuit shown in FIG. 受光素子への印加電圧の変化に伴う反射光及び参照光の受信パルスの検出タイミングの変化を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the change of the detection timing of the received pulse of reflected light and reference light accompanying the change of the applied voltage to a light receiving element. 可変ゲインアンプの増幅率の設定例を示す図である。It is a figure which shows the example of a setting of the gain of a variable gain amplifier. 可変ゲインアンプの増幅率の変化に伴う光の投光から受信パルスの検出までの時間の変化を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the change of the time from the light projection accompanying the change of the gain of a variable gain amplifier to the detection of a received pulse. 本発明の実施形態となる補正処理の流れを示すフローチャート図である。It is a flowchart figure which shows the flow of the correction process used as embodiment of this invention. 反射光及び参照光に対応する受信パルスを検出した際のAPDへの印加電圧と計測距離の補正値の関係を示す。The relationship between the applied voltage to APD at the time of detecting the received pulse corresponding to reflected light and reference light, and the correction value of measurement distance is shown. 反射光及び参照光に対応する受信パルスを検出した際の可変ゲインアンプの増幅率と計測距離の補正値の関係を示す。The relationship between the gain of the variable gain amplifier and the correction value of the measurement distance when detecting the reception pulse corresponding to the reflected light and the reference light is shown.

符号の説明Explanation of symbols

1:距離計測装置
2:光源部
3:受光部
4:演算部
5:投光レンズ
6:レーザダイオード(LD)
7:LD駆動回路
8:光ファイバ
9:受光レンズ
10:アバランシェフォトダイオード(APD)
11:高圧電源
12:トランスインピーダンスアンプ
13:可変ゲインアンプ
14:コンパレータ
15:レベルコンバータ
16:フリップフロップ
17:CPLD17
18:受光信号レベル調整部
19:CPU
20:DAC
1: Distance measuring device 2: Light source unit 3: Light receiving unit 4: Calculation unit 5: Projection lens 6: Laser diode (LD)
7: LD drive circuit 8: Optical fiber 9: Light receiving lens 10: Avalanche photodiode (APD)
11: high-voltage power supply 12: transimpedance amplifier 13: variable gain amplifier 14: comparator 15: level converter 16: flip-flop 17: CPLD 17
18: Light reception signal level adjustment unit 19: CPU
20: DAC

Claims (6)

測定対象物に向けてパルス状の光を送出する発光素子と、
前記発光素子に電圧を印加することにより前記発光素子を駆動する駆動部と、 前記光源部から送出された光を参照光として分岐する分岐部と、
前記測定対象物からの反射光と前記分岐手段によって分岐された参照光を受光する受光素子と、
前記受光素子に電圧を印加することにより前記受光素子を駆動する電圧印加部と、
前記受光素子が受光した光を電気パルス信号に変換する受光部と、
前記受光部により生成された電気パルス信号を増幅する増幅部と、
前記増幅部により増幅された電気パルス信号の中から前記反射光及び前記参照光に対応する電気パルス信号を検出する検出部と、
前記検出部における反射光及び参照光に対応する電気パルス信号の検出タイミング差から前記測定対象物までの距離を算出する演算部と、
前記反射光及び前記参照光に対応する電気パルス信号の振幅レベルが前記検出部において検出されるために必要な最小振幅レベル、且つ、波形が略同形状になるように、前記駆動部の印加電圧、前記電圧印加部の印加電圧、及び前記増幅部の増幅率のうちの少なくとも一つ以上を調整するレベル調整部と
を備えることを特徴とする距離計測装置。
A light emitting element that emits pulsed light toward the measurement object;
A driving unit that drives the light emitting element by applying a voltage to the light emitting element; a branching unit that branches light emitted from the light source unit as reference light;
A light receiving element that receives reflected light from the measurement object and reference light branched by the branching unit;
A voltage application unit that drives the light receiving element by applying a voltage to the light receiving element;
A light receiving unit that converts light received by the light receiving element into an electrical pulse signal;
An amplifying unit for amplifying the electric pulse signal generated by the light receiving unit;
A detection unit for detecting an electric pulse signal corresponding to the reflected light and the reference light from the electric pulse signal amplified by the amplification unit;
A calculation unit that calculates a distance from the detection timing difference of the electric pulse signal corresponding to the reflected light and the reference light in the detection unit to the measurement object;
The applied voltage of the drive unit so that the amplitude level of the electrical pulse signal corresponding to the reflected light and the reference light is detected by the detection unit and the waveform has substantially the same shape. And a level adjusting unit that adjusts at least one of an applied voltage of the voltage applying unit and an amplification factor of the amplifying unit.
請求項1に記載の距離計測装置であって、
前記レベル調整部は、前記反射光及び前記参照光に対応する電気パルス信号が検出されていない状態であっても電気パルス信号を検出可能な電圧レベルに前記電圧印加部の印加電圧を調整した後、当該電圧レベルを基準として反射光又は参照光に対応する電気パルス信号を検出できない電圧レベルに電圧印加部の印加電圧を調整することを特徴とする距離計測装置。
The distance measuring device according to claim 1,
The level adjusting unit adjusts the applied voltage of the voltage applying unit to a voltage level at which the electric pulse signal can be detected even when the electric pulse signal corresponding to the reflected light and the reference light is not detected. A distance measuring device that adjusts the applied voltage of the voltage applying unit to a voltage level at which an electric pulse signal corresponding to reflected light or reference light cannot be detected based on the voltage level.
請求項1又は請求項2に記載の距離計測装置であって、
前記レベル調整部は、前記増幅部の増幅率を初期値とは異なる値に設定することにより、前記電圧印加部の印加電圧の調整範囲内において、前記反射光及び前記参照光に対応する電気パルス信号の振幅レベルが前記検出部において検出されるために必要な最小振幅レベル、且つ、波形が略同形状になるように調整することを特徴とする距離計測装置。
The distance measuring device according to claim 1 or 2,
The level adjusting unit sets an amplification factor of the amplifying unit to a value different from an initial value, so that an electric pulse corresponding to the reflected light and the reference light is within an adjustment range of an applied voltage of the voltage applying unit. A distance measuring device, wherein the amplitude level of the signal is adjusted so that the minimum amplitude level necessary for the detection unit to detect the waveform and the waveforms have substantially the same shape.
請求項1乃至請求項3のうち、いずれか1項に記載の距離計測装置であって、
前記レベル調整部は、前記駆動部の印加電圧を初期値から変化させることにより、前記電圧印加部の印加電圧の調整範囲内において、前記反射光及び前記参照光に対応する電気パルス信号の振幅レベルが前記検出部において検出されるために必要な最小振幅レベル、且つ、波形が略同形状になるように調整することを特徴とする距離計測装置。
It is a distance measuring device given in any 1 paragraph among Claims 1 thru / or 3, Comprising:
The level adjustment unit changes an applied voltage of the driving unit from an initial value, thereby adjusting an amplitude level of an electric pulse signal corresponding to the reflected light and the reference light within an adjustment range of an applied voltage of the voltage application unit. Is adjusted so that the waveform has substantially the same shape and the minimum amplitude level necessary for the detection to be detected by the detection unit.
請求項1乃至請求項4のうち、いずれか1項に記載の距離計測装置であって、
前記演算部は、前記電圧印加部の印加電圧を変化させることに起因する位相のずれ及び/又は前記増幅部の増幅率を変化させることに起因する電気信号の検出遅延時間を考慮して前記測定対象物までの距離を補正することを特徴とする距離計測装置。
It is a distance measuring device given in any 1 paragraph among Claims 1 thru / or 4, Comprising:
The calculation unit takes into account the phase shift caused by changing the applied voltage of the voltage application unit and / or the detection delay time of the electrical signal caused by changing the amplification factor of the amplification unit. A distance measuring device that corrects a distance to an object.
請求項1乃至請求項4のうち、いずれか1項に記載の距離計測装置であって、
前記レベル調整部は、前記反射光及び前記参照光に対応する電気パルス信号の検出に利用するスレッシュレベルを調整することにより、反射光又は参照光に対応する電気パルス信号が検出できない電圧レベルに前記電圧印加部の印加電圧を調整することを特徴とする距離計測装置。
It is a distance measuring device given in any 1 paragraph among Claims 1 thru / or 4, Comprising:
The level adjustment unit adjusts a threshold level used for detecting an electric pulse signal corresponding to the reflected light and the reference light, so that the electric pulse signal corresponding to the reflected light or the reference light cannot be detected. A distance measuring device that adjusts an applied voltage of a voltage applying unit.
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