JP2007194395A - 半導体ウエハのダイシング方法 - Google Patents
半導体ウエハのダイシング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007194395A JP2007194395A JP2006010852A JP2006010852A JP2007194395A JP 2007194395 A JP2007194395 A JP 2007194395A JP 2006010852 A JP2006010852 A JP 2006010852A JP 2006010852 A JP2006010852 A JP 2006010852A JP 2007194395 A JP2007194395 A JP 2007194395A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- dicing
- solid
- sheet
- cutting line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Dicing (AREA)
Abstract
【課題】保護シート及び剥離シートを使用せずにシリコンダストが固体撮像素子の撮像面に付着するのを防止する。
【解決手段】図2(A)に示すように、半導体ウエハ2の表面2aをダイシングシート5に貼り付ける。半導体ウエハ2の表面2a側に各固体撮像素子の撮像面が形成されている。図2(B)に示すように、半導体ウエハ2を裏面2bよりダイシングし、多数の固体撮像素子10に分割する。ダイシングシート5は紫外線が照射されることで接着力が低下する特性を有しており、ダイシング工程後に紫外線を照射することにより、各固体撮像素子10がダイシングシート5から容易に剥がれる。
【選択図】図2
【解決手段】図2(A)に示すように、半導体ウエハ2の表面2aをダイシングシート5に貼り付ける。半導体ウエハ2の表面2a側に各固体撮像素子の撮像面が形成されている。図2(B)に示すように、半導体ウエハ2を裏面2bよりダイシングし、多数の固体撮像素子10に分割する。ダイシングシート5は紫外線が照射されることで接着力が低下する特性を有しており、ダイシング工程後に紫外線を照射することにより、各固体撮像素子10がダイシングシート5から容易に剥がれる。
【選択図】図2
Description
本発明は、多数の固体撮像素子が形成された半導体ウエハをダイシングして各固体撮像素子に分割する半導体ウエハのダイシング方法に関する。
多数の固体撮像素子が形成された半導体ウエハをダイシングブレードによって切断し、各固体撮像素子に分割するダイシング技術が知られている。ダイシングブレードによる切断時には切削水を吹き付けることにより、切断時に発生するシリコンダストが固体撮像素子の撮像面に付着しないようにしている。しかしながら、固体撮像素子の撮像面はマイクロレンズ等が配され凹凸状態となっており、撮像面にはシリコンダストが残留しやすい。撮像面に残留したシリコンダストは検査時に黒キズとして検出され、結果として固体撮像素子製造における歩留りが悪化してしまう。
従来においては、ダイシング前にウエハ表面に保護シートを貼り付け、ダイシング後に保護シートを剥離する技術が一般的に用いられてきた(例えば、特許文献1参照)。この技術を以下で説明する。まず、図5(A)に示すように、多数の固体撮像素子の撮像面が形成された半導体ウエハ300の表面300aに保護シート301を貼り付けた後、この半導体ウエハ300の裏面300bをダイシングシート302に貼り付ける。半導体ウエハ300の表面300aは太線で示している。保護シート301は紫外線が照射されると粘着力が低下する特性を有している。次に、図5(B)に示すように、半導体ウエハ300をスクライブラインに沿ってダイシングブレード303によって切断する。この後、図5(C)に示すように、紫外線を照射して保護シート301の粘着力を低下させるとともに、ダイシングシート302を伸ばして固体撮像素子304の間隔を確保してから、保護シート301側に剥離シート305を貼り付ける。最後に、図5(D)に示すように、剥離シート305を剥がすことにより、保護シート301を各固体撮像素子304から剥がす。各固体撮像素子304はダイシングシート302から剥がされコレットを用いてパッケージにマウントされる。
特開平5−315445号公報
しかしながら、上記した技術では、シリコンダストが固体撮像素子の撮像面に付着するのを防止することができるものの、保護シート及び剥離シートが必要であるため製造コストが上昇するという問題があった。
本発明は、製造コストを抑えながらも、シリコンダストが固体撮像素子の撮像面に付着しないようにした半導体ウエハのダイシング方法を提供することを目的とする。
本発明は、複数の固体撮像素子が形成された半導体ウエハをダイシングして各固体撮像素子に分割する半導体ウエハのダイシング方法に関し、前記固体撮像素子の撮像面が形成された半導体ウエハの表面をダイシングシートに貼り付ける工程と、前記ダイシングシートに貼り付けられた前記半導体ウエハを裏面よりダイシングする工程とを有することを特徴とする。
前記半導体ウエハに切り欠き部を形成し、この切り欠き部を視覚センサにより検出し、検出した切り欠き部の位置に基づいて前記半導体ウエハの切断ラインを決定してダイシングを行うことが好ましい。前記半導体ウエハに貫通孔を形成し、この貫通孔を視覚センサにより検出し、検出した貫通孔の位置に基づいて前記半導体ウエハの切断ラインを決定してダイシングを行うこととしてもよい。また、透明なダイシングシートを介して前記半導体ウエハの表面を視覚センサにより撮像し、この撮像した画像データに基づいて前記半導体ウエハの切断ラインを決定してダイシングを行うこととしてもよい。
本発明の半導体ウエハのダイシング方法によれば、保護シート及び剥離シートを使用せずに、シリコンダストが固体撮像素子の撮像面に付着するのを防止できるため、ダイシング工程における製造コストを抑えることができる。
本発明の一実施形態を図1及び図2を用いて説明する。半導体ウエハ2には多数の固体撮像素子が形成されており、半導体ウエハ2の表面2a側に各固体撮像素子の撮像面が形成されている。半導体ウエハ2はシリコンを材料としており、切り欠き3が形成されている。
半導体ウエハ2は、リング4に接合されたダイシングシート5に貼り付けられてダイシング装置にセットされる。ここで、図1及び図2(A)に示すように、半導体ウエハ2の表面2aをダイシングシート5に貼り付け、半導体ウエハ2の裏面2bが外側になるようにする。これにより、半導体ウエハ2の表面2aはダイシングシート5によって保護されることとなる。半導体ウエハ2をダイシング装置にセットする際には、リング4をテーブル6に固定する。ダイシングシート5は、紫外線を照射することにより接着力が低下する特性を有している(いわゆるUVテープである)。
半導体ウエハ2がダイシング装置にセットされると、ダイシング装置に備えられたカメラ20によって半導体ウエハ2の裏面2b側が撮像される。カメラ20によって撮像された画像データは切断ライン算出部21へと送られる。切断ライン算出部21では、カメラ20からの画像データに基づいて、テーブル6上での半導体ウエハ2の切り欠き3の位置を割り出す。切断ライン算出部21には切り欠き3と各固体撮像素子との相対位置情報が予め記録されており、切断ライン算出部21では切り欠き3の位置に基づいて半導体ウエハ2の裏面2b上での切断ラインを決定することが可能である。
切断ライン算出部21で決定された切断ラインの情報はテーブル移動機構22へと送られる。テーブル移動機構22では切断ラインの情報に基づいてテーブル6を移動させる。テーブル6が移動すると、テーブル6と共に移動する半導体ウエハ2が、裏面2b側から、ダイシング装置内に保持され回転駆動するダイシングブレード23によって切断される。半導体ウエハ2はダイシングシート5上で多数の固体撮像素子10(図2(B参照))に分割されることとなる。切断時にはシリコンダストが発生するが、固体撮像素子10の撮像面10aはダイシングシート5により保護されているため、撮像面10aにシリコンダストが付着することはない。
多数の固体撮像素子10が貼り付いたダイシングシート5を反転させてチップトレイ(図示なし)に載せ、この状態でダイシングシート5に紫外線を照射すると、ダイシングシート5の粘着力が低下して固体撮像素子10がダイシングシート5から剥がれ、固体撮像素子10を撮像面10aが上に向いた状態でチップトレイ上に並べることができる。この後、固体撮像素子10をパッケージに接合するダイボンドが行われる。なお、固体撮像素子の表裏を反転させる機能を有するダイボンド装置に、固体撮像素子10が貼り付いたダイシングシート5をセットし、このダイボンド装置によってダイボンドを行ってもよい。
このように、本発明のダイシング方法によれば、半導体ウエハ2の表面2aをダイシングシート5に貼り付けてダイシングを行うため、分割後の固体撮像素子10の撮像面10aにシリコンダストが付着することがない。従来の保護シート及び剥離シートが不必要になるため、固体撮像素子製造における製造コストを抑えることができる。
なお、上記実施形態では、半導体ウエハに切り欠きを形成し、テーブル上における切り欠きの位置に基づいて、半導体ウエハの裏面上での切断ラインを決定したが、図3に示すように、半導体ウエハ100の各固体撮像素子に貫通孔101を形成し、テーブル6上における貫通孔101の位置に基づいて半導体ウエハ100の裏面100b上での切断ラインを決定してもよい。ダイシングシート5が貼り付けられた半導体ウエハ100がダイシング装置のテーブル6にセットされると、カメラ102によって半導体ウエハ100の裏面100b側が撮像され、撮像された画像データが切断ライン算出部103へと送られる。切断ライン算出部103では画像データから半導体ウエハ100の貫通孔101の位置を割り出す。貫通孔101は半導体ウエハ100の表面100aから裏面100bまで貫通している。切断ライン算出部103には貫通孔101と各固体撮像素子との相対位置情報が予め記録されており、切断ライン算出部103では貫通孔101の位置に基づいて半導体ウエハ100の裏面100b上での切断ラインを決定することが可能である。なお、切り欠きや貫通孔の形状は任意でよい。
上記実施形態では、半導体ウエハに切り欠きや貫通孔を形成し、これらの位置に基づいて半導体ウエハの切断ラインを決定したが、図4に示すように、ダイシングシート5に透明なものを用い、ダイシングシート5を介して半導体ウエハ200の表面200aをカメラ(視覚センサ)201により撮像し、このカメラ201が取得した画像データに基づいて切断ラインを決定してもよい。ダイシングシート5が貼り付けられた半導体ウエハ200はテーブル6にセットされる。このテーブル6の中央部には開口が形成されており、この開口を通して半導体ウエハ200の表面200a側が撮像できるようになっている。半導体ウエハ200の表面200aにはスクライブラインが形成されている。カメラ201によって撮像された画像データは切断ライン算出部202へと送られる。切断ライン算出部202では、画像データからテーブル6上での半導体ウエハ200のスクライブラインの位置を割り出し、このスクライブラインの位置に基づいて(スクライブラインに対応するようにして)、半導体ウエハ200の裏面200b上での切断ラインを決定する。
2,100,200 半導体ウエハ
2a,100a,200a 表面
2b,100b,200b 裏面
3 切り欠き
5 ダイシングシート
10 固体撮像素子
10a 撮像面
20,102,201 カメラ
21,103,202 切断ライン算出部
101 貫通孔
2a,100a,200a 表面
2b,100b,200b 裏面
3 切り欠き
5 ダイシングシート
10 固体撮像素子
10a 撮像面
20,102,201 カメラ
21,103,202 切断ライン算出部
101 貫通孔
Claims (4)
- 複数の固体撮像素子が形成された半導体ウエハをダイシングして各固体撮像素子に分割する半導体ウエハのダイシング方法において、
前記固体撮像素子の撮像面が形成された半導体ウエハの表面をダイシングシートに貼り付ける工程と、
前記ダイシングシートに貼り付けられた前記半導体ウエハを裏面よりダイシングする工程とを有することを特徴とする半導体ウエハのダイシング方法。 - 前記半導体ウエハには切り欠き部が形成されており、この切り欠き部を視覚センサにより検出し、検出した切り欠き部の位置に基づいて前記半導体ウエハの切断ラインを決定してダイシングを行うことを特徴とする請求項1記載の半導体ウエハのダイシング方法。
- 前記半導体ウエハには貫通孔が形成されており、この貫通孔を視覚センサにより検出し、検出した貫通孔の位置に基づいて前記半導体ウエハの切断ラインを決定してダイシングを行うことを特徴とする請求項1記載の半導体ウエハのダイシング方法。
- 前記ダイシングシートは透明であり、このダイシングシートを介して前記半導体ウエハの表面を視覚センサにより撮像し、この撮像した画像データに基づいて前記半導体ウエハの切断ラインを決定してダイシングを行うことを特徴とする請求項1記載の半導体ウエハのダイシング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006010852A JP2007194395A (ja) | 2006-01-19 | 2006-01-19 | 半導体ウエハのダイシング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006010852A JP2007194395A (ja) | 2006-01-19 | 2006-01-19 | 半導体ウエハのダイシング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007194395A true JP2007194395A (ja) | 2007-08-02 |
Family
ID=38449853
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006010852A Pending JP2007194395A (ja) | 2006-01-19 | 2006-01-19 | 半導体ウエハのダイシング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007194395A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020098827A (ja) * | 2018-12-17 | 2020-06-25 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
-
2006
- 2006-01-19 JP JP2006010852A patent/JP2007194395A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020098827A (ja) * | 2018-12-17 | 2020-06-25 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7495315B2 (en) | Method and apparatus of fabricating a semiconductor device by back grinding and dicing | |
US20070105348A1 (en) | Wafer processing method | |
US20100015784A1 (en) | Semiconductor device manufacturing method | |
JPH076983A (ja) | チップに切断後のicのウエハ形態での加工処理法 | |
JP2007235068A5 (ja) | ||
JP2015176950A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP2007214268A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP6716403B2 (ja) | 積層ウェーハの加工方法 | |
JP2007012751A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP2010103327A (ja) | デバイスの製造方法 | |
JP2006222142A (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP2015118976A (ja) | デバイスウェーハの加工方法 | |
JP2006196823A (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP2007194395A (ja) | 半導体ウエハのダイシング方法 | |
CN104979183A (zh) | 层叠基板的加工方法 | |
JP2010129623A (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP5492445B2 (ja) | ウェーハの分割方法 | |
US7816184B2 (en) | Micromachine device processing method | |
JP2007036129A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2010129622A (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP2007095908A (ja) | ウェハ加工方法 | |
JP4397625B2 (ja) | チップの剥離方法 | |
JP2002043253A (ja) | 半導体素子のダイシング方法 | |
JP2007165694A (ja) | ウェーハの分割方法 | |
JPH05315445A (ja) | 固体撮像装置の組み立て方法 |