JP2007189180A - 工具物体、計測装置及び露光装置、並びに計測方法及び調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】工具ウエハWT上に空間像計測器25A〜25Eを設け、実際に露光で用いられるウエハと交換してウエハホルダWH上に工具ウエハWTを搭載することにより、実際に露光するときにウエハが存在する位置において、像振動計測のための空間像計測を行うことができる。これにより、実際に露光するときと同一のステージ状態で空間像を計測できるので、露光時と同様の環境下で正確な像振動計測を実現することが可能である。
【選択図】図2
Description
Claims (27)
- ステージ上に保持装置を介して保持された物体に対して、投影光学系を介してパターンを投影する露光装置に用いられる工具物体であって、
前記物体及び前記保持装置の少なくとも一方と交換することにより、前記ステージに搭載可能で、その一部にスリットスキャン方式の空間像計測器の少なくとも一部を有することを特徴とする工具物体。 - 前記物体と交換可能で、前記物体とほぼ同一の厚さを有することを特徴とする請求項1に記載の工具物体。
- 前記物体と交換可能で、前記物体とほぼ同一の重量、及びほぼ同一の重心を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の工具物体。
- 半導体基板を含み、
前記空間像計測器の少なくとも一部は、前記半導体基板の一部に、半導体製造プロセスを用いて形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の工具物体。 - 前記空間像計測器は、スリット及び受光素子を有し、
前記スリットは、前記半導体基板に設けられた受光素子の表面に金属膜を蒸着し、エッチングにて形成されていることを特徴とする請求項4に記載の工具物体。 - 前記保持装置と交換可能で、前記保持装置とほぼ同一の形状を有することを特徴とする請求項1に記載の工具物体。
- 前記物体及び前記保持装置と交換可能で、前記物体の厚さ及び前記保持装置をあわせた厚さとほぼ同一の厚さを有することを特徴とする請求項1に記載の工具物体。
- 前記空間像計測器の少なくとも一部を複数有することを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の工具物体。
- 前記空間像計測器に対する液体の付着を防止する撥液処理が施されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の工具物体。
- ステージ上で物体を保持する保持装置であって、
その一部にスリットスキャン方式の空間像計測器の少なくとも一部を有することを特徴とする保持装置。 - 前記空間像計測器の少なくとも一部を、複数有することを特徴とする請求項10に記載の保持装置。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載の工具物体と;
所定のタイミングで、信号を出力する送信部と;
前記工具物体において空間像計測器に接続され、前記送信部からの信号を受信し、その受信タイミングで前記空間像計測器による計測を実行する受信部と;を備える計測装置。 - 前記送信部と前記受信部とは、無線接続されていることを特徴とする請求項12に記載の計測装置。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載の工具物体と;
所定のタイミングで、信号を出力する第1の送信部と;
前記工具物体において空間像計測器に接続され、前記第1の送信部からの信号を受信する第1の受信部と;
前記空間像計測器により計測された計測結果を、前記第1の受信部による信号受信のタイミング毎に取得する取得部と;を備える計測装置。 - 前記第1の送信部と前記第1の受信部とは、無線接続されていることを特徴とする請求項14に記載の計測装置。
- 前記取得部は、
前記信号受信のタイミングで前記空間像計測器により計測された計測結果を送信する第2の送信部と、
前記第2の送信部から送信された計測結果を受信して取得する第2の受信部と、を有することを特徴とする請求項14又は15に記載の計測装置。 - 前記第2の送信部と前記第2の受信部とは、無線接続されていることを特徴とする請求項16に記載の計測装置。
- ステージ上に保持装置を介して保持された物体に対して、投影光学系を介してパターンを投影する露光装置であって、
レーザ光を射出する光源と;
前記ステージの位置を計測するステージ計測系と;
前記ステージ上に請求項12又は13に記載の計測装置を構成する前記工具物体を搭載した状態で、前記光源からのレーザ発光タイミングと、前記ステージ計測系による前記ステージの位置検出タイミングと、前記送信部による信号出力タイミングと、を同期させる制御装置と;を備える露光装置。 - ステージ上に保持装置を介して保持された物体に対して、投影光学系を介してパターンを投影する露光装置であって、
レーザ光を射出する光源と;
前記ステージの位置を計測するステージ計測系と;
前記ステージ上に請求項14〜17のいずれか一項に記載の計測装置を構成する前記工具物体を搭載した状態で、前記光源からのレーザ発光タイミングと、前記ステージ計測系による前記ステージの位置検出タイミングと、前記第1の送信部による信号出力タイミングと、を同期させる制御装置と;を備える露光装置。 - 前記光源から射出されたレーザ光を前記物体に照射する照明光学系を更に備え、
前記制御装置は、前記照明光学系内に設けられた光センサによるレーザ光の強度信号検出のタイミングをも同期させることを特徴とする請求項18又は19に記載の露光装置。 - 前記空間像計測器による計測結果を、該計測結果と同一のタイミングで前記光センサによって取得された強度信号検出結果を用いて規格化する規格化装置を更に備える請求項20に記載の露光装置。
- 前記空間像計測器は、前記ステージの移動中における前記パターンの投影像の振動に関する情報を計測することを特徴とする請求項18〜21のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記パターンが形成されたマスクを保持するマスクステージを更に備え、
前記空間像計測器は、前記マスクステージと前記ステージとの同期移動中における前記パターンの投影像の振動に関する情報を計測することを特徴とする請求項18〜22のいずれか一項に記載の露光装置。 - 光源を含む照明系によりパターンにレーザ光を照射して、ステージ上に保持装置を介して保持された物体上に前記パターンの像を形成する露光装置で、前記パターンの像に関する情報を計測する計測方法であって、
請求項12又は13に記載の計測装置を構成する工具物体を、前記ステージ上に搭載する第1工程と;
前記光源からのレーザ発光タイミングと同期して、前記送信部から信号を出力し、該信号を前記受信部が受信したタイミングで、前記空間像計測器による計測を実行する第2工程と;
前記レーザ発光タイミングと同期して、前記ステージの位置検出を実行する第3工程と;
前記空間像計測器による計測結果と、前記ステージの位置検出結果とを用いて、前記パターンの像の情報を算出する第4工程と;を含む計測方法。 - 光源を含む照明系によりパターンにレーザ光を照射して、ステージ上に保持装置を介して保持された物体上に前記パターンの像を形成する露光装置で、前記パターンの像に関する情報を計測する計測方法であって、
請求項14〜17のいずれか一項に記載の計測装置を構成する工具物体を、前記ステージ上に搭載する第1工程と;
前記光源からのレーザ発光タイミングと同期して、前記送信部から信号を出力し、該信号を前記受信部が受信したタイミングで、前記空間像計測器による計測を実行する第2工程と;
前記レーザ発光タイミングと同期して、前記ステージの位置検出を実行する第3工程と;
前記空間像計測器による計測結果と、前記ステージの位置検出結果とを用いて、前記パターンの像の情報を算出する第4工程と;を含む計測方法。 - 前記第2工程では、前記光源からのレーザ発光タイミングと同期して、前記照明系内の光センサによるレーザ光の強度信号の検出をも行い、
前記第3工程では、前記光センサの検出結果を更に用いて、前記パターンの像の情報を算出することを特徴とする請求項24又は25に記載の計測方法。 - 請求項24〜26のいずれか一項に記載の計測方法を用いて、前記パターンの像の情報を計測する計測工程と;
前記計測工程における計測結果に基づいて、露光装置を調整する調整工程と;を含む露光装置の調整方法。
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