JP2007172756A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】円盤状の基板1の上に、下地層2、軟磁性裏打ち層3及び中間層4を順次形成する。中間層4としては、例えば酸化アルミニウム層又は酸化シリコン層を用いることができ、例えばスパッタ法又は蒸着法により形成することができる。中間層4の厚さは、例えば10nm程度以下とする。中間層4上にAl層5を形成する。Al層5の陽極酸化処理(アルマイト処理)を行うことにより、Al層5の表面から所定の深さまでを、ポア6aが存在するアルマイト層6に変化させる。希リン酸溶液等に浸漬させることにより、ポア6aの直径を増加させる。ポア6a内に強磁性金属ピラー7を充填する。ポア6a内に強磁性金属ピラー7が充填されたアルマイト層6上に、保護膜9及び潤滑膜10を形成する。
【選択図】図2E
Description
基板と、
前記基板の上方に形成された軟磁性層と、
前記軟磁性層の上方に形成され、その内部に強磁性金属ピラーが埋め込まれた絶縁層と、
を有する磁気記録媒体において、
前記軟磁性層と前記絶縁層との間に形成され、金属層を陽極酸化処理することにより前記絶縁層を形成する際に用いられる処理液と前記軟磁性層との反応を防止する中間層を有することを特徴とする磁気記録媒体。
前記中間層は、絶縁層であることを特徴とする付記1に記載の磁気記録媒体。
前記中間層は、酸化アルミニウム層又は酸化シリコン層であることを特徴とする付記1に記載の磁気記録媒体。
前記中間層の厚さは、10nm以下であることを特徴とする付記1乃至3のいずれか1項に記載の磁気記録媒体。
前記強磁性金属ピラーは、5nm乃至500nmのピッチで配列していることを特徴とする付記1乃至4のいずれか1項に記載の磁気記録媒体。
前記強磁性金属ピラーの高さは、1nm乃至100nmであることを特徴とする付記1乃至5のいずれか1項に記載の磁気記録媒体。
前記強磁性金属ピラーの直径は、200nm以下であることを特徴とする付記1乃至6のいずれか1項に記載の磁気記録媒体。
基板の上方に軟磁性層を形成する工程と、
前記軟磁性層の上方に中間層を形成する工程と、
前記軟磁性層の上方に金属層を形成する工程と、
前記金属層を陽極酸化処理することにより、孔を有する絶縁層を形成する工程と、
前記孔内に強磁性金属ピラーを埋め込む工程と、
を有し、
前記中間層として、前記陽極酸化処理の際に用いられる処理液と前記軟磁性層との反応を防止する層を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
前記中間層として、絶縁層を形成することを特徴とする付記8に記載の磁気記録媒体の製造方法。
前記中間層として、酸化アルミニウム層又は酸化シリコン層を形成することを特徴とする付記8に記載の磁気記録媒体の製造方法。
前記中間層の厚さを、10nm以下とすることを特徴する付記8乃至10のいずれか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
前記強磁性金属ピラーをめっき法により埋め込むことを特徴とする付記8乃至11のいずれか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
2:下地層
3:軟磁性裏打ち層
4:中間層
5:Al層
6:アルマイト層
6a:ポア
7:強磁性金属ピラー
8:剰余部
9:保護膜
10:潤滑膜
11:凹状ライン
12:凸状ライン
13:モールド
14:フォトレジスト層
Claims (5)
- 基板と、
前記基板の上方に形成された軟磁性層と、
前記軟磁性層の上方に形成され、その内部に強磁性金属ピラーが埋め込まれた絶縁層と、
を有する磁気記録媒体において、
前記軟磁性層と前記絶縁層との間に形成され、金属層を陽極酸化処理することにより前記絶縁層を形成する際に用いられる処理液と前記軟磁性層との反応を防止する中間層を有することを特徴とする磁気記録媒体。 - 前記中間層は、絶縁層であることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 基板の上方に軟磁性層を形成する工程と、
前記軟磁性層の上方に中間層を形成する工程と、
前記軟磁性層の上方に金属層を形成する工程と、
前記金属層を陽極酸化処理することにより、孔を有する絶縁層を形成する工程と、
前記孔内に強磁性金属ピラーを埋め込む工程と、
を有し、
前記中間層として、前記陽極酸化処理の際に用いられる処理液と前記軟磁性層との反応を防止する層を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 前記中間層として、絶縁層を形成することを特徴とする請求項3に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記強磁性金属ピラーをめっき法により埋め込むことを特徴とする請求項3又は4に記載の磁気記録媒体の製造方法。
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JP2005370276A JP2007172756A (ja) | 2005-12-22 | 2005-12-22 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
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JP2005370276A JP2007172756A (ja) | 2005-12-22 | 2005-12-22 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
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- 2005-12-22 JP JP2005370276A patent/JP2007172756A/ja active Pending
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