JP2007171740A - 液晶装置 - Google Patents

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JP2007171740A
JP2007171740A JP2005371555A JP2005371555A JP2007171740A JP 2007171740 A JP2007171740 A JP 2007171740A JP 2005371555 A JP2005371555 A JP 2005371555A JP 2005371555 A JP2005371555 A JP 2005371555A JP 2007171740 A JP2007171740 A JP 2007171740A
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Makoto Yamane
山根  真
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Abstract

【課題】本発明の目的は、液晶表示装置の開口率の向上と透過率・反射率の向上、高視野
角の実現にある。
【解決手段】データ線110とタイミング(ゲート)線102が格子状に配置され、前記
データ線110とタイミング(ゲート)線102の交点に駆動手段112が配置された基
板101を一方の基板とした液晶装置100であって、1つ以上のストライプ構造の画素
電極108と、凸部を有する共通電極106が相対向するように載置される。
【選択図】図2

Description

本発明は、液晶装置に関する。特に高視野角、高透過率・高反射率と高開口率を有する
液晶装置の電極構造に関する。
近年、狭い視野角特性のTN表示モードの液晶表示素子に代わって液晶分子を駆動させる
電極が全て同一の基板上に形成されるIPS(In-Plane Switching)モードが下記文献
1に記載されているように提案された。図9は従来のIPSモードの液晶表示素子の例で
ある。下部基板10上に金属膜を例えば2500及至3000オングストロームの厚みに
形成する。金属膜はアルミニュム、チタン、タンタル、クロム及びこれらを組み合わせた
ものから形成される。金属膜の所定部分をパターニングし、ゲートバスライン11と対向
電極12を形成する。図9に示すように対向電極12と画素電極14との間で発生するほ
ぼ基板に平行な形態の電界が形成される。これにより、液晶内の液晶分子(図示せず)は
、それの誘電率異方性特性により、電界方向と略平行な方向に配向制御され、それの光軸
が電界と平行に捻じれる。このため使用する人はいずれの方向からも液晶分子の長軸を見
るようになり、液晶装置の視野角が改善される。
M.oh−e,M.ohta,S.Aratani,andK.Kondo in"Proceeding of 15thintennational Display Research Conference",P.577 by Society for Information Display and the intrinsic of Television Engineer of Japan,1995
しかし、IPS−LCDは次のような問題が存在する。(1)光が透過する面である下部
基板10上にアルミニュムなどのような不透明金属からなる対向電極12と画素電極14
が配置される。(2)これにより、液晶表示装置の開口面積が減少し、透過率が低下する
。この結果から適正な輝度を得るためには、強いバックライトを使用する必要があり、こ
のため消費電力が増加する問題がある。(3)対向電極12と画素電極14間に適正な強
さの電界を得るためには電極12,14が比較的広い幅例えば10〜20μmほどの幅を
有する。このような構造のため電極12,14間には、基板とほぼ平行な電界が形成され
るが、広い幅を有する電極12,14上部の大部分の領域にある液晶には電界の影響が及
ばなくて、等電位面が生じるようになる。これにより対向電極12と画素電極14を透明
物質で形成しても電極上部の液晶分子が初期の配列状態を維持するので、透過率は殆ど変
わらない。
そこで、本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、本発明の目的
は、液晶表示装置の開口率の向上と透過率・反射率の向上、高視野角の実現することを目
的としたものである。
上記課題を解決するために、本発明の液晶装置は、対向配置された第1基板と第2基板と
の間に液晶層が挟持され、前記第1基板の前記液晶層側には、第1電極と、前記第1電極
の前記液晶層側に設けられた絶縁膜と、前記絶縁膜の前記液晶層側に設けられるとともに
前記第1電極との間で電界を生じさせる第2電極と、が備えられた液晶装置であって、前
記第1電極上の前記絶縁膜の厚みが、前記第2電極に対して平面方向の一方の側と該一方
の側と反対側とされる他方の側とで異なっていることを特徴とする。
本発明によれば、第2電極の平面方向の一方の側における第1電極の絶縁層の厚さが薄
いため第2電極と第1電極の距離が短くなり、垂直方向の電界が強くなるので電界分布を
水平方向に広くとることができ、第2電極の平面方向の一方の側と反対側とされる第2電
極の他方の側における第1電極の絶縁層の厚さが厚いため第2電極と第1電極の距離が長
くなるので、電界分布を垂直方向に深くすることができる。基板の水平方向、及び垂直方
向とも第2電極から第1電極に向かう電界強度を水平方向、及び垂直方向に大きくするこ
とができ、更に第2電極の両端の垂直方向、及び水平方向の電界の差を大きくできるので
、第2電極上の電界の変化を大きくすることができ第2電極上部の液晶層の配列を十分に
変化させることができるので、広視野角、開口率、透過率向上が達成することができる。
また、本発明の液晶装置は、前記第1電極は、前記第1基板に対して所定の角度で傾斜
する傾斜面を有しており、前記絶縁膜は、前記傾斜面の傾斜方向において連続的に変化す
る膜厚を有していることを特徴とする。
本発明によれば、第1基板に対して所定の角度で傾斜した第1電極の傾斜面により第2
電極から第1電極へ向かう電界の垂直方向及び水平方向の強度を傾斜方向において連続的
に変化する膜厚により大きくすることができるので、広視野角、開口率、透過率向上が達
成することができる。
また、本発明の液晶装置は、前記第1電極は互いに隣接して帯状に延在する複数の傾斜
面を有して構成され、所定の傾斜面と該所定の傾斜面に隣接する他の傾斜面との間に稜部
又は谷部を形成してなり、前記第2電極の前記一方の側に前記稜部が配置され、前記第2
電極の前記他方の側に前記谷部が配置されていることを特徴とする。
本発明によれば、稜部(凸部、頂部)側の第2電極から第1電極へ向かう電界分布を水平
方向に広くし谷部(溝)側の第2電極から第1電極へ向かう電界分布を垂直に深くするた
め垂直、水平方向とも第2電極から第1電極に向かう電界強度を大きくすることができる
。更に第2電極上部の電界の変化を大きくすることができ第2電極上部の液晶層を十分に
変化させることができるので、広視野角、開口率、透過率向上が達成することができる。
また、本発明の液晶装置は、前記第2電極は、電気的に接続されて互いに平行に延在する
複数の直線部を有して構成され、前記複数の直線部の延在する方向と前記第1電極の前記
傾斜面が帯状に延在する方向は略平行であることを特徴とする。
本発明によれば、電気的に接続されて互いに平行に延在する複数の直線部を有して構成
された第2電極から傾斜面が帯状に延在する第1電極へ向かう電界分布を水平方向に広く
、垂直方向に深くするので、広視野角、開口率、透過率向上が達成することができる。
また、本発明の液晶装置は、前記第1電極の一つの前記傾斜面に前記第2電極の一つの前
記直線部が対応して配置されており、前記第2電極の所定の前記直線部と該直線部に隣接
する他の直線部との間に前記第1電極の前記稜部又は前記谷部が配置されていることを特
徴とする。
本発明によれば、第1電極の傾斜面に第2電極の一つの直線部が対応しているため第2
電極から第1電極に向う電界を片側は第2電極と第1電極の距離が近いため垂直方向の電
界強度が強いため稜部に対して電界を水平方向に電界を広げることができる。もう一方の
片側は第2電極と第1電極の距離が遠いため谷部に対して水平方向に狭め、垂直方向に電
界を深くすることができる。第1電極の稜部、谷部とも第2電極上部、第2電極間の液晶
層を十分に変化させるので、広視野角、開口率、透過率向上を達成することができる。
また、本発明の液晶装置は、前記第1電極は、前記第1基板に対して互いに等しい角度で
傾斜した複数の傾斜面を有して前記稜部又は前記谷部を形成していることを特徴とする。
本発明によれば、角度の等しい傾斜面を有することにより第1電極面積を大きくするの
で、上記目的である開口率、透過率向上を達成することができる。
また、本発明の液晶装置は、前記第1電極は、前記第1基板に対して互いに異なる角度で
傾斜した複数の傾斜面を有して前記稜部又は前記谷部を形成していることを特徴とする。
本発明によれば、角度の異なる傾斜面を有することにより第1電極を大きくするので、
上記目的である開口率、透過率向上を達成することができる。
また、本発明の液晶装置は、前記第1電極の前記稜部が配置された前記第2電極の二つの
前記直線部の間隔は、前記第1電極の前記谷部が配置された前記第2電極の二つの前記直
線部の間隔より広く設定されていることを特徴とする。
本発明によれば、第1電極の稜部が配置された第2電極の二つの直線部の間隔は第2電
極と第1電極の距離が近いため垂直方向の電界強度が強いため稜部に対して電界を水平方
向に広げることができる。第1電極の谷部が配置された第2電極の二つの直線部は第2電
極と第1電極の距離が遠いため谷部に対して水平方向に狭め、垂直方向に電界を深くする
ことができる。これより第2電極の稜部の二つの間隔は、第2電極の谷部の二つの間隔よ
り広く設定される。第1電極の稜部、谷部の上部の電界強度を同じくできるので、上記目
的である広視野角、開口率、透過率向上を達成することができる。
また、本発明の液晶装置は、前記第1電極は、前記液晶層側から入射した光を反射する反
射膜で構成されていることを特徴とする。
本発明によれば第1電極の面積を大きくすることができるので、反射タイプ液晶表示装
置において上記目的である反射率の向上を達成することができる。
また、本発明の液晶装置は、前記第1電極には、前記液晶層側から入射した光を反射し
て表示を行なう反射表示領域と前記第1基板側から入射した光を前記第2基板側に透過し
て表示を行なう透過表示領域とが備えられ、前記反射表示領域には反射膜が配置され、前
記透過表示領域には前記反射膜と電気的に接続された透明電極が配置されており、前記第
2電極の所定の二つの前記直線部の間に前記反射表示領域が配置され、他の前記直線部と
の間に前記透過表示領域が配置されていることを特徴とする。
本発明によれば、高視野角、高開口率の第2電極の二つの直線部の間に反射表示領域を
有した反射膜が配置され、更に高視野角、高開口率、高透過率の第2電極の二つの直線部
の間に透過表示領域を有した反射膜と電気的に接続された透過電極が配置されたので、半
透過タイプの液晶表示装置において上記目的が達成することができる。
また、本発明の液晶装置は、前記透過表示領域は前記第1電極の前記稜部に対応して配
置され、前記反射表示領域は前記第1電極の前記谷部に対応して配置されていることを特
徴とする。
本発明によれば第1電極の稜部が透過表示領域となることにより第1電極により透過面
積が広がり広視野角、高開口率、高透過率となり、第1電極の谷部が反射表示領域となる
ことにより第1電極により反射面積が広がり広視野角、高開口率、高反射率となったので
、半透過タイプの液晶表示装置において上記目的が達成することができる。
また、本発明の液晶装置は、前記第2電極はスイッチング素子に接続された画素電極で
あることを特徴とする。駆動手段としてのスイッチング素子はTFT、TFDで構成され
ている。
[第1の実施の形態]
以下、本発明の第1の実施の形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る液晶装置100の平面図であり、図2は図1
の1−1’部における断面図であり、図3は駆動(スイッチング素子)部2−2’部の断
面図である。図4の(a)は3−3’部、(b)は4−4’部、(c)は5−5’部、(
d)は6−6’部の断面図である。
図1において、絶縁性の第1基板上に有機絶縁体を所定の形状に形成した後、フォトリ
ソグラフィーにより1つ以上の凸部を形成し、106A部に稜部を106B部に谷部を形
成する。106A部、106B部の上部にITO(Indium−Tin−Oxide)
等の透明導電極を蒸着してパターニングにより共通電極(第1電極)の傾斜面106−1
,106−2を形成する。共通電極(第1電極)の傾斜面106−1,106−2の上部
に透明樹脂による平坦化層を形成し、平坦化層の上に金属層を全面蒸着し、パターニング
にてタイミング(ゲート)線102(a)、(b)、タイミング(ゲート)線102(b)に凸部
を設けたゲート電極103を形成する。ゲート電極103の上部にゲート絶縁膜を形成し
、ゲート絶縁膜の上にITOをパターニングしてストライプ構造の画素電極(第2電極)
108、画素電極(第2電極)108の直線部108−1,108−2,108−3,1
08−4を形成する。ゲート絶縁層の上に形成されるa-Siによるチャネル層109を形
成し、ゲート電極103をマスクとしてイオン注入によりソース、ドレイン形成を行なう
。ゲート絶縁膜上に形成された金属層によりパターニングされたデータ線110とチャネ
ル層109の−側にオーバーラップしたコンタクト電極(1)(ソース電極)111と、
チャネル層109の他端とオーバーラップした画素電極(第2電極)108の直線部分1
08−1とコンタクトされるコンタクト電極(2)(ドレイン電極)113よりなる。
図2において、第1基板101の上に有機絶縁体105を全面形成し、フォトリソグラ
フィーにより1つ以上の有機絶縁体105の凸部105−1、105−2を形成する。有
機絶縁体105の凸部105−1、105−2の上部にITO(Indium−Tin−
Oxide)等の透明導電極を蒸着してパターニングにより共通電極(第1電極)106
の一方の側に傾いた共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1,共通電極(第1電
極)106の一方の側と反対の他方の側に傾いた共通電極(第1電極)106の傾斜面1
06−2が形成される。共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1,106−2の
上部に金属層を全面蒸着し、パターニングにて共通線(a)、(b)を形成する。共通電
極(第1電極)106の傾斜面106−1,106−2、共通線(a)、(b)の上に平
坦化層118を透明樹脂等にて形成する。平坦化層118の上に金属層を全面蒸着し、パ
ターニングにてタイミング(ゲート)線(b)とタイミング(ゲート)線(b)に凸部を設けた
ゲート電極を形成する。タイミング(ゲート)線(a),(b)、ゲート電極の上部にゲート絶
縁膜107を形成し、ゲート絶縁膜107の上にITOをパターニングしてストライプ構
造の画素電極(第2電極)108、画素電極(第2電極)108の直線部108−1、1
08−2、108−3、108−4を形成する。
画素電極(第2電極)108の直線部108−1と108−2間の電極間距離d1は画素
電極(第2電極)108の直線部108−1と108−2と共通電極(第1電極)106
の稜部106Aを挟んで共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1,106−2間
との距離が近いため垂直方向の強度が強くなるため水平方向に電界を広くすることができ
る。画素電極(第2電極)108の直線部108−2と108−3と共通電極(第1電極
)106の谷部106Bを挟んで共通電極(第1電極)106の傾斜面106−2,10
6−3間との距離が遠いため水平方向の強度が弱いため水平方向の距離d2を狭くして垂
直方向の電界を深くして谷部106B間の画素電極(第2電極)108の直線部108−
2と108−3間の電界強度を大きくしてd1>d2として共通電極(第1電極)106
の傾斜面106−1,106−2間の稜部106A、共通電極(第1電極)106の傾斜
面106−2,106−3間の谷部106Bとも画素電極(第2電極)108の直線部1
08−1、108−2,108−3間上部の液晶層114及び画素電極(第2電極)10
8の直線部108−1、108−2,108−3上部の液晶層114を十分に変化させる

有機絶縁体105はフォトリソグラフィーにより1つ以上の断面が対称なあるいは非対称
な有機絶縁体105の凸部105−1、105−2を形成してもよいし、加熱焼成する過
程でパターニングして溶融状態として、溶融状態における表面張力により断面が対称なあ
るいは非対称な2次曲線状の凸部としてもよい。
図2に示すように画素電極(第2電極)108の直線部108−1,108−2,108
−3,108−4から共通電極(第1電極)106に向けての電界は共通電極(第1電極
)106の稜部106Aにおいて画素電極(第2電極)の直線部108−1、108−2
からの電界が合わさるため強化され電界分布は略ハート状となる。また従来例に比べ共通
電極(第1電極)が傾くため垂直方向の電界の変化が大きくなり、画素電極(第2電極)
上の電界、及び画素電極(第2電極)間の電界の変化がない領域がなくなるため画素電極
(第2電極)上の液晶114、及び画素電極(第2電極)間上の液晶114が十分に変化
するため透過率が向上する。また従来例に比べ共通電極(第1電極)が傾くため水平方向
の電界の変化が大きくなり見る角度に影響されなくなるため、高視野角が実現できる。
また従来、画素電極(第2電極)と共通電極(第1電極)はAl等の光非透過性の金属で
形成されていたが本考案では画素電極(第2電極)108及び画素電極(第2電極)10
8の直線部108−1,108−2,108−3,108−4と共通電極(第1電極)1
06の傾斜面106−1,106−2は光透過性のITOで形成されているため開口率、
透過率が向上する。
本発明の第1の実施例を図1に示すように、駆動素子である薄膜トランジスタ(TFT)
112はタイミング(ゲート)線102(b)、及びデータ線110の交点の付近にそれぞ
れ形成される。図3に示すように薄膜トランジスタ(TFT)112は第1基板上101
に形成された有機絶縁体105の凸部105−1、平坦化層118上に形成されたタイミ
ング(ゲート)線102(b)の凸部であるゲート電極103、ゲート電極103上部のゲ
ート絶縁層107の上に形成されるチャネル層109と、チャネル層109の−側とオー
バーラップしたデータ線110から伸びたコンタクト電極(1)(ソース電極)111と
、チャネル層109の他端とオーバーラップした画素電極(第2電極)108の直線部分
108−1とコンタクトされるコンタクト電極(2)(ドレイン電極)113とを含む。
データ線110、タイミング(ゲート)線102(a)、(b)は遮光性を有する導電性物質(
Ta、Mo、W、Ti、Alといった金属もしくはそれらにSiを含む金属さらには不純
物により抵抗を下げたSi等)にて形成する。ゲート絶縁層107、画素電極(第2電極
)108、画素電極(第2電極)108の直線部108−1,108−2,108−3,
108−4の上には配向膜115が形成される。
蓄積キャパシタCstは共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1,106−2と画
素電極108の直線部108−1,108−2,108−3,108−4がオーバーラッ
プした部分で発生する。図2に示すように、上記した構造を有する下部第1基板101上
には、所定距離(セルギャップ)をおいて上部第2基板117が配置される。上部第2基
板117の下部第1基板101に対向する面には配向層115、カラーフィルター116
が形成される。
本発明の第1の実施形態に係る液晶装置100において、図4(a)に示すように有機絶
縁体105を形成しフォトリソグラフィーにより1つ以上の有機絶縁体105による凸部
105−1を形成し、有機絶縁体105による凸部105−1の上部にITO(Indi
um−Tin−Oxide)等の透明導電極を蒸着して共通電極(第1電極)106−2
と共通電極(第1電極)106−1上部に形成された金属層をパターニングして共通線1
04(a)、(b)を形成する。図4(a)の共通線104(a)、(b)の上部に形成された平坦化
層118の上に金属層をパターンニングしてタイミング(ゲート)線102(a)、(b)を形
成する。タイミング(ゲート)線102(a)、(b)の下部に光非透過性の共通線104(a)
、(b)を形成することにより従来共通線104(a)、(b)でさえぎられていた部分に光が透
過するようになり、光透過面積が増えるため開口率が改善されるところに特徴がある。
更に共通線104(a)、(b)を見えなくすることができるため同一光度で画素面積を小さ
くできるためより高精細度化ができる。
また、画素電極(第2電極)108及び画素電極(第2電極)108の直線部108−
1,108−2,108−3,108−4を平面上に形成できるため従来例にくらべて表
面の段差がなくなるため配向層115の形成が容易になる特徴がある。
図4(a)は3−3’部の断面図であり、第1基板101の上に有機絶縁体105を形
成しフォトグラフィーにより有機絶縁体105の凸部105−1を形成する。有機絶縁体
105の凸部105−1の上にITO(Indium−Tin−Oxide)等の透明導
電極を蒸着してパターニングして共通電極(第1電極)106の傾斜面106−2と共通
電極(第2電極)106の傾斜面106−2の上部に形成された金属層をパターニングし
て共通電極104(a)、(b)を形成する。共通電極(第2電極)106の傾斜面106−2
、共通電極104(a)、(b)の上に形成された平坦化層118の上に金属層をパターニング
してタイミング(ゲート)電極102(a)、(b)を形成する。タイミング(ゲート)電極1
02(a )、(b)の上にゲート絶縁層107を形成し、ゲート絶縁層107の上にITO(
Indium−Tin−Oxide)等の透明導電極を蒸着してパターニングして画素電
極(第2電極)108及び画素電極(第2電極)108の直線部108−2を形成する。
又、図4(b)は4−4’部の断面図であり、第1基板101の上に有機絶縁体105
を形成しフォトグラフィーにより有機絶縁体105の凸部105−1を形成する。有機絶
縁体105の凸部105−1の上にITO(Indium−Tin−Oxide)等の透
明導電極を蒸着してパターニングして共通電極(第1電極)106の稜部106Aを形成
する。共通電極(第1電極)106の稜部106A上部に形成された金属層をパターニン
グして共通電極104(a)、(b)を形成する。共通電極(第1電極)106の稜部106A
、共通電極104(a)、(b)の上に形成された平坦化層118の上に金属層をパターニング
してタイミング(ゲート)電極102(a)、(b)を形成する。タイミング(ゲート)電極1
02(a)、(b)の上にゲート絶縁層107を形成し、ゲート絶縁層107の上にITO(I
ndium−Tin−Oxide)等の透明導電極を蒸着してパターニングして画素電極
(第2電極)108を形成する。
また、図4(c)は5−5’部の断面図であり、第1基板101の上に有機絶縁体10
5を形成しフォトグラフィーにより有機絶縁体105の凸部105−1を形成する。有機
絶縁体105の凸部105−1の上にITO(Indium−Tin−Oxide)等の
透明導電極を蒸着してパターニングして共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1
と共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1の上部に形成された金属層をパターニ
ングして共通電極104(a)、(b)を形成する。共通電極(第1電極)106の傾斜面10
6−1、共通電極104(a)、(b)の上に形成された平坦化層118の上に金属層をパター
ニングしてタイミング(ゲート)電極102(a)、(b)、タイミング(ゲート)電極102
(b)に凸部を設けたゲート電極103を同時に形成する。タイミング(ゲート)電極10
2(a)、(b)、ゲート電極103の上にゲート絶縁層107を形成し、ゲート絶縁層107
の上に金属層をパターニングしてコンタクト電極(2)(ドレイン電極)113を形成す
る。
また、図4(d)は6−6’部の断面図であり、第1基板101の上に有機絶縁体10
5を形成しフォトグラフィーにより有機絶縁体105の凸部105−1を形成する。有機
絶縁体105の凸部105−1の上にITO(Indium−Tin−Oxide)等の
透明導電極を蒸着してパターニングして共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1
と共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1の上部に形成された金属層をパターニ
ングして共通電極104(a)、(b)を形成する。共通電極(第1電極)106の傾斜面10
6−1、共通電極104(a)、(b)の上に形成された平坦化層118の上に金属層をパター
ニングしてタイミング(ゲート)電極102(a)、(b)の上にゲート絶縁層107を形成し
、ゲート絶縁層107の上に金属層をパターニングしてコンタクト電極(1)(ソース電
極)111を形成する。
[第2の実施の形態]
以下、本発明の第2の実施の形態について図面を参照して説明する。
図5は、本発明の第2の実施の形態に係る液晶装置100の平面図であり、図6は図5の
1−1’部における断面図であり、図7は駆動(スイッチング素子)部2−2’部の断面
図である。図8の(a)は3−3’部、(b)は4−4’部、(c)は5−5’部、(d
)は6−6’部の断面図である。
図5において、第1基板101上に有機絶縁体105を所定の形状に形成した後、フォ
トリソグラフィーにより1つ以上の凸部を形成し、有機絶縁体105の凸部の上部に金属
層を全面蒸着し、パターニングにより金属層でできた106Bに谷部があり共通電極(第
1電極)106の傾斜面106−1,共通電極(第1電極)106の傾斜面106−2よ
りなる反射領域Rが形成される。有機絶縁体105の凸部の稜部である106Aには金属
層がなく共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1,共通電極(第1電極)106
の傾斜面106−2、106A部の稜部の上部にITO(Indium−Tin−Oxi
de)等の透明導電極を蒸着してパターニングにより透明電極を形成する。透明電極によ
り透過領域Tが形成される。共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1,共通電極
(第1電極)106の傾斜面106−2よりなる反射領域Rと透明電極による透過領域T
の上部に透明樹脂による平坦化層を形成し、平坦化層の上に金属層を全面蒸着し、パター
ニングにてタイミング(ゲート)線102(a)、(b)、タイミング(ゲート)線102(b)
に凸部を設けたゲート電極を形成する。ゲート電極の上部にゲート絶縁膜を形成し、ゲー
ト絶縁膜の上にITOをパターニングしてストライプ構造の画素電極(第2電極)108
及び画素電極(第2電極)108の直線部108−1,108−2,108−3,108
−4を形成する。ゲート絶縁層の上に形成されるa-Siによるチャネル層109を形成し
、ゲート電極103をマスクとしてイオン注入によりソース、ドレイン形成を行なう。ゲ
ート絶縁膜107上に形成された金属層によりパターニングされたデータ線110とチャ
ネル層109の−側にオーバーラップしたコンタクト電極(1)(ソース電極)111と
、チャネル層109の他端とオーバーラップした画素電極(第2電極)108の直線部1
08−1とコンタクトされるコンタクト電極(2)(ドレイン電極)113よりなる。
図6において第1基板101の上に有機絶縁体105を全面形成し、フォトリソグラフィ
ーにより1つ以上の有機絶縁体105の凸部105−1、105−2を形成する。有機絶
縁体105による凸部105−1、105−2の上部に金属層を全面蒸着し、パターニン
グにより共通線(a)、(b)と共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1,106−2
が同時に形成される。共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1,106−2、共
通線(a)、(b)の上に平坦化層118を透明樹脂等にて形成する。平坦化層118の
上に金属層を全面蒸着し、パターニングにてタイミング(ゲート)線(a)、(b)とタイミン
グ(ゲート)線(b)に凸部を設けたゲート電極を形成する。タイミング(ゲート)線(a)、
(b)、ゲート電極の上部にゲート絶縁膜107を形成し、ゲート絶縁膜107の上にIT
Oをパターニングしてストライプ構造の画素電極(第2電極)108及び(第2電極)1
08の直線部108−1、108−2、108−3、108−4を形成する。
有機絶縁体105はフォトリソグラフィーにより1つ以上の断面が対称なあるいは非対称
な有機絶縁体105の凸部105−1、105−2を形成してもよいし、加熱焼成する過
程でパターニングして溶融状態として、溶融状態における表面張力により断面が対称なあ
るいは非対称な2次曲線状の凸部としてもよい。
図6に示すように画素電極(第2電極)108の直線部108−1,108−2,108
−3,108−4から共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1、106−2に向
けての電界は共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1、106−2の稜部106
Aにおいて透明電極119部分の透過領域Tにて画素電極(第2電極)108の直線部1
08−1、108−2からの電界が合わさるため強化され電界分布は略ハート状となる。
また従来例に比べ共通電極(第1電極)が傾くため垂直方向の電界の変化が大きくなり、
画素電極(第2電極)上の電界、及び画素電極(第2電極)間の電界の変化がない領域が
なくなるため画素電極(第2電極)上の液晶、及び画素電極(第2電極)間上の液晶が十
分に変化するため透過率が向上する。また従来例に比べ共通電極(第1電極)が傾くため
水平方向の電界の変化が大きくなり見る角度に影響されなくなるため、高視野角が実現で
きる。
また従来、画素電極(第2電極)はAl等の光非透過性の金属で形成されていたが本考案
では画素電極(第2電極)108及び画素電極(第2電極)108の直線部分108−1
,108−2,108−3,108−4は光透過性のITOで形成されているため開口率
が向上する。
本発明の第2の実施例を図5に示すように、駆動素子である薄膜トランジスタ(TFT)
112はタイミング(ゲート)線102(b)、及びデータ線110の交点の付近にそれぞ
れ形成される。図7に示すように薄膜トランジスタ(TFT)112は第1基板上に形成
された有機絶縁体105の凸部105−1、平坦化層118上に形成されたタイミング(
ゲート)線(b)の凸部であるゲート電極103、ゲート電極103上部のゲート絶縁層1
07の上に形成されるチャネル層109と、チャネル層109の−側とオーバーラップし
たデータ線110から伸びたコンタクト電極(1)(ソース電極)111と、チャネル層
109の他端とオーバーラップした画素電極(第2電極)108の直線部分108−1と
コンタクトされるコンタクト電極(2)(ドレイン電極)113とを含む。
データ線110、タイミング(ゲート)線102(a)、(b)は遮光性を有する導電性物質(
Ta、Mo、W、Ti、Alといった金属もしくはそれらにSiを含む金属さらには不純
物により抵抗を下げたSi等)にて形成する。ゲート絶縁層107、画素電極(第2電極
)108の直線部分108−1の上には配向膜115が形成される。
蓄積キャパシタCstは共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1,106−2と画
素電極(第2電極)108の直線部108−1、108−2、108−3,108−4が
オーバーラップした部分で発生する。図6に示すように上記した構造を有する下部第1基
板101上には、所定距離(セルギャップ)をおいて上部第2基板117が配置される。
上部第2基板117の下部第1基板101に対向する面には配向層115、カラーフィル
ター116が形成される。
本発明の第2の実施の形態に係る液晶装置100において、図8(a)に示すように有
機絶縁体105を形成しフォトリソグラフィーにより1つ以上の有機絶縁体105の凸部
105−1を形成し、有機絶縁体105による凸部105−1の上部にITO(Indi
um−Tin−Oxide)等の透明導電極を蒸着して共通電極(第1電極)106の傾
斜面106−2と共通電極(第1電極)106の傾斜面106−2上部に形成された金属
層をパターニングして共通線104(a)、(b)を形成する。図8(a)の共通線104(a)
、(b)の上部に形成された平坦化層118の上に金属層をパターンニングしてタイミング
(ゲート)線102(a)、(b)を形成する。タイミング(ゲート)線102(a)、(b)の下部
に光非透過性の共通線104(a)、(b)を形成することにより従来共通線104(a)、(b)で
さえぎられていた部分に光が透過するようになり、光透過面積が増えるため開口率が改善
されるところに特徴がある。
更に共通線104(a)、(b)を見えなくすることができるため同一光度で画素面積を小さ
くできるためより高精細度化ができる。
また従来例の画素電極と共通電極はAl等の光非透過性の金属で形成され反射層(反射膜
)を形成していたが面積分の反射領域しかなく反射効率が悪かった。本考案では画素電極
(第2電極)108の直線部分108−1,108−2,108−3,108−4を光透
明電極で形成し、共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1,1−2はAl等によ
る光反射性の金属層(反射膜)で形成され谷部を有するため反射効率がよく反射タイプの
液晶装置に適する。
又画素電極(第2電極)108及び画素電極(第2電極)108の直線部108−1、
108−2、108−3、108−4を平面上に形成できるため従来例にくらべて表面の
段差がなくなるため配向層115の形成が容易になる特徴がある。
尚、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨にもとづいて種々
の変形をすることが可能であり、それらは本発明の範囲から除外するものではない。
又、本発明は駆動素子としてTFTタイプのものを説明行なったがデータ線110からの
突起部に絶縁層を設け画素電極とのコンタクトをメタル層でおこなったMIM(Meta
l−Intrinsic−Metal)タイプのTFDにおいてもTFT112と同様な
構造の適用により高開口率、高透過率・高反射率、高視野角の効果を得ることができる。
図8(a)は3−3’部の断面図であり、第1基板101の上に有機絶縁体105を形
成しフォトグラフィーにより有機絶縁体105の凸部105−1を形成する。有機絶縁体
105の凸部105−1の上にITO(Indium−Tin−Oxide)等の透明導
電極を蒸着してパターニングして共通電極(第1電極)106の傾斜面106−2と共通
電極(第1電極)106の傾斜面106−2の上部に形成された金属層をパターニングし
て共通電極104(a)、(b)を形成する。共通電極(第1電極)106の傾斜面106−2
、共通電極104(a)、(b)の上に形成された平坦化層118の上に金属層をパターニング
してタイミング(ゲート)電極102(a)、(b)を形成する。タイミング(ゲート)電極1
02(a)、(b)の上にゲート絶縁層107を形成し、ゲート絶縁層107の上にITO(I
ndium−Tin−Oxide)等の透明導電極を蒸着してパターニングして画素電極
(第2電極)108及び画素電極(第2電極)108の直線部108−2を形成する。
また、図8(b)は4−4’部の断面図であり、第1基板101の上に有機絶縁体10
5を形成しフォトグラフィーにより有機絶縁体105の凸部105−1を形成する。有機
絶縁体105の凸部105−1の上にITO(Indium−Tin−Oxide)等の
透明導電極を蒸着してパターニングして透過領域Tに透明電極119を形成する。透明電
極119の稜部106A上部に形成された金属層をパターニングして共通電極104(a)
、(b)を形成する。透過領域T部の透明電極119、共通電極104(a)、(b)の上に形成
された平坦化層118の上に金属層をパターニングしてタイミング(ゲート)電極102
(a)、(b)を形成する。タイミング(ゲート)電極102(a)、(b)の上にゲート絶縁層10
7を形成し、ゲート絶縁層107の上にITO(Indium−Tin−Oxide)等
の透明導電極を蒸着してパターニングして画素電極(第2電極)108を形成する。
また、図8(c)は5−5’部の断面図であり、第1基板101の上に有機絶縁体10
5を形成しフォトグラフィーにより有機絶縁体105の凸部105−1を形成する。有機
絶縁体105の凸部105−1の上にITO(Indium−Tin−Oxide)等の
透明導電極を蒸着してパターニングして共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1
と共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1の上部に形成された金属層をパターニ
ングして共通電極104(a)、(b)を形成する。共通電極(第1電極)106の傾斜面10
6−1、共通電極104(a)、(b)の上に形成された平坦化層118の上に金属層をパター
ニングしてタイミング(ゲート)電極102(a)、(b)、タイミング(ゲート)電極102
(b)に凸部を設けたゲート電極103を同時に形成する。タイミング(ゲート)電極10
2(a)、(b)、ゲート電極103の上にゲート絶縁層107を形成し、ゲート絶縁層107
の上に金属層をパターニングしてコンタクト電極(2)(ドレイン電極)113を形成す
る。
また、図8(d)は6−6’部の断面図であり、第1基板101の上に有機絶縁体10
5を形成しフォトグラフィーにより有機絶縁体105の凸部105−1を形成する。有機
絶縁体105の凸部105−1の上にITO(Indium−Tin−Oxide)等の
透明導電極を蒸着してパターニングして共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1
と共通電極(第1電極)106の傾斜面106−1の上部に形成された金属層をパターニ
ングして共通電極104(a)、(b)を形成する。共通電極(第1電極)106の傾斜面10
6−1、共通電極104(a)、(b)の上に形成された平坦化層118の上に金属層をパター
ニングしてタイミング(ゲート)電極102(a)、(b)の上にゲート絶縁層107を形成し
、ゲート絶縁層107の上に金属層をパターニングしてコンタクト電極(1)(ソース電
極)111を形成する。
本発明によると凸部を有する共通電極に対向するストライプ構造に形成された画素電極の
上部、及び画素電極の間上の電界を略ハート状にすることにより画素電極の上部、及び画
素電極間上の液晶を全て動かすため開口率の向上と透過率・反射率の向上、高視野角の実
現ができる。
本発明を実施するための最良の形態1に係わる液晶装置100の平面図である。 図1の1−1’部における断面図である。 図1の駆動(スイッチング素子)部2−2’部の断面図である。 (a)は図1の3−3’部、(b)は図1の4−4’部、(c)は図1の5−5’部、(d)は図1の6−6’部の断面図である。 本発明を実施するための最良の形態2に係わる液晶装置100の平面図である。 図5の1−1’部における断面図である。 図5の駆動(スイッチング素子)部2−2’部の断面図である。 (a)は図5の3−3’部、(b)は図5の4−4’部、(c)は図5の5−5’部、(d)は図5の6−6’部の断面図である。 従来の液晶表示装置の構成を示す断面図である。
符号の説明
100…液晶装置、101…第1基板、102…タイミング(ゲート)線、103…ゲー
ト電極、104(a),104(b)…共通線、105…有機絶縁体、105−1, 10
5−2…有機絶縁体の凸部、106…共通電極(第1電極)、106−1…一方の側に傾
いた共通電極の傾斜面、106−2…(一方の側と反対の)他方の側に傾いた共通電極の
傾斜面、106A…稜部、106B…谷部、107…ゲート絶縁層、108…画素電極(
第2電極)、108−1,108−2,108−3,108−4…画素電極の直線部、1
09…チャネル層、110…データ線、111…コンタクト層(1)、112…薄膜トラ
ンジスタ(TFT)、113…コンタクト層(2)、114…液晶層、115…配向膜、
116…カラーフィルター、117…第2基板、118…平坦化層、119…透明電極(
ITO)、R…反射表示領域、T…透過表示領域

Claims (12)

  1. 対向配置された第1基板と第2基板との間に液晶層が挟持され、前記第1基板の前記液晶
    層側には、第1電極と、前記第1電極の前記液晶層側に設けられた絶縁膜と、前記絶縁膜
    の前記液晶層側に設けられるとともに前記第1電極との間で電界を生じさせる第2電極と
    、が備えられた液晶装置であって、
    前記第1電極上の前記絶縁膜の厚みが、前記第2電極に対して平面方向の一方の側と該一
    方の側と反対側とされる他方の側とで異なっていることを特徴とする液晶装置。
  2. 前記第1電極は、前記第1基板に対して所定の角度で傾斜する傾斜面を有しており、前
    記絶縁膜は、前記傾斜面の傾斜方向において連続的に変化する膜厚を有していることを特
    徴とする請求項1に記載の液晶装置。
  3. 前記第1電極は互いに隣接して帯状に延在する複数の傾斜面を有して構成され、所定の
    傾斜面と該所定の傾斜面に隣接する他の傾斜面との間に稜部又は谷部を形成してなり、前
    記第2電極の前記一方の側に前記稜部が配置され、前記第2電極の前記他方の側に前記谷
    部が配置されていることを特徴とする請求項2に記載の液晶装置。
  4. 前記第2電極は、電気的に接続されて互いに平行に延在する複数の直線部を有して構成さ
    れ、前記複数の直線部の延在する方向と前記第1電極の前記傾斜面が帯状に延在する方向
    は略平行であることを特徴とする請求項3に記載の液晶装置。
  5. 前記第1電極の一つの前記傾斜面に前記第2電極の一つの前記直線部が対応して配置さ
    れており、前記第2電極の所定の前記直線部と該直線部に隣接する他の直線部との間に前
    記第1電極の前記稜部又は前記谷部が配置されていることを特徴とする請求項4に記載の
    液晶装置。
  6. 前記第1電極は、前記第1基板に対して互いに等しい角度で傾斜した複数の傾斜面を有
    して前記稜部又は前記谷部を形成していることを特徴とする請求項3乃至5のいずれか1
    項に記載の液晶装置。
  7. 前記第1電極は、前記第1基板に対して互いに異なる角度で傾斜した複数の傾斜面を有
    して前記稜部又は前記谷部を形成していることを特徴とする請求項3乃至5のいずれか1
    項に記載の液晶装置。
  8. 前記第1電極の前記稜部が配置された前記第2電極の二つの前記直線部の間隔は、前記
    第1電極の前記谷部が配置された前記第2電極の二つの前記直線部の間隔より広く設定さ
    れていることを特徴とする請求項5に記載の液晶装置。
  9. 前記第1電極は、前記液晶層側から入射した光を反射する反射膜で構成されていること
    を特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の液晶装置。
  10. 前記第1電極には、前記液晶層側から入射した光を反射して表示を行なう反射表示領域
    と前記第1基板側から入射した光を前記第2基板側に透過して表示を行なう透過表示領域
    とが備えられ、前記反射表示領域には反射膜が配置され、前記透過表示領域には前記反射
    膜と電気的に接続された透明電極が配置されており、前記第2電極の所定の二つの前記直
    線部の間に前記反射表示領域が配置され、他の前記直線部との間に前記透過表示領域が配
    置されていることを特徴とする請求項4乃至8のいずれか1項に記載の液晶装置。
  11. 前記透過表示領域は前記第1電極の前記稜部に対応して配置され、前記反射表示領域は
    前記第1電極の前記谷部に対応して配置されていることを特徴とする請求項10に記載の
    液晶装置。
  12. 前記第2電極はスイッチング素子に接続された画素電極であることを特徴とする請求項
    1乃至11のいずれか1項に記載の液晶装置。
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