JP2007171093A - 液晶基板検査装置およびプローバフレーム - Google Patents
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Abstract
【課題】熱膨張によってプローバフレームが変形し、プローブピンの位置が変化した場合であっても、基板の加熱温度を下げることなく、プローブピンと電極とのコンタクトを安定なものとする。
【解決手段】液晶基板10に検査信号を供給する液晶基板検査用のプローバにおいて、プローバ1を構成するプローバフレーム2に複数のプローブピン3を備える構成とする。各プローブピン3に、1つの接点を有する主プローブピン4と複数の接点を有する副プローブピン5とを設け、主プローブピン4の接点と副プローブピン5の接点を電気的に接続する。熱膨張によって主プローブピンの接点と液晶基板側の電極との間に位置ずれが生じた場合であっても、副プローブピンが備える複数の接点の何れかが液晶基板側の電極と接触する。
【選択図】図5
【解決手段】液晶基板10に検査信号を供給する液晶基板検査用のプローバにおいて、プローバ1を構成するプローバフレーム2に複数のプローブピン3を備える構成とする。各プローブピン3に、1つの接点を有する主プローブピン4と複数の接点を有する副プローブピン5とを設け、主プローブピン4の接点と副プローブピン5の接点を電気的に接続する。熱膨張によって主プローブピンの接点と液晶基板側の電極との間に位置ずれが生じた場合であっても、副プローブピンが備える複数の接点の何れかが液晶基板側の電極と接触する。
【選択図】図5
Description
本発明は、液晶ディスプレイや有機ELディスブレイなどに使われる液晶基板の検査に使用する液晶基板検査装置に関し、特に、基板検査に用いる液晶基板検査用プローバに関する。
液晶基板や薄膜トランジスタアレイ基板(TFTアレイ基板)は、ガラス基板等の基板上に薄膜トランジスタ(TFT)がマトリックス状に配置されてなるTFTアレイと、この薄膜トランジスタに駆動信号を供給する信号電極とを備え、薄膜トランジスタは走査信号電極端子,映像信号電極端子からの信号により駆動される。
基板に形成されるTFTアレイや液晶基板を検査する装置としてTFTアレイ検査装置や液晶基板検査装置等の基板検査装置が知られている。基板検査装置は、走査信号電極端子,映像信号電極端子と電気的に接続する検査用プローバと検査回路を備える。検査回路は、所定の電圧を検査用プローバに印加し、印加により流れる電流を検出して、ゲート−ソース間の短絡、点欠陥、断線等を調べる。
液晶基板上に形成されるTFTアレイは様々なサイズや仕様があり、それぞれレイアウトが異なり、液晶基板上に形成される駆動用電極もレイアウト毎に異なる。
そのため、液晶基板を検査する基板検査装置においても、TFTアレイのレイアウトに応じて検査用プローバ電極の電極位置を設定したものを用意しておき、検査する液晶基板に応じて交換し、検査を行っている。
液晶基板を検査する際には、液晶基板の上方あるいは下方からプローバフレームを重ね、プローバフレームに設けたプローブピンを液晶基板の電極に接触させ、このプローブピンと電極との接触によって液晶基板とプローバとに間の電気的接続を行っている。
液晶基板の検査において、液晶基板を室温等の通常の検査温度よりも高い温度で検査を行うことで、通常の温度では検査が困難な欠陥を検出することが提案されている。
この高温による基板検査は、液晶基板を基板加熱機構によって所定温度の加熱することによって液晶基板を高い温度状態とする。
基板加熱機構によって液晶基板を加熱して基板検査を行う場合には、基板加熱機構は液晶基板の他にプローバフレームも加熱することになる。このとき、フレームを構成するフレーム素材の熱膨張によってプローバフレームに変形が生じ、これによりプローバフレームに設けたプローブピンの位置が変化する。
また、フレーム素材の熱膨張率と液晶基板を構成するガラス素材の熱膨張率との差により、プローバフレーム側のプローブピンと液晶基板側の電極の位置関係にずれが生じ、プローブピンと電極とのコンタクトが困難となる可能性がある。
図11は熱膨張によるプローブピンと電極との接触不良を説明するための図である。図11において、液晶基板10には電極12が設けられ、プローバフレーム側のプローブピン13の接点13aと接触させることによってTFTアレイ(図示していない)と外部装置との電気的な接続を行う。
図11(a)はプローブピン13が電極12と接触した状態を示し、図11(b)はプローブピン13の位置が変化することで電極12との接触が不良となった状態を示している。図11(b)に示すように、プローバフレーム2と液晶基板10のガラス基板の熱膨張率が異なるため、加熱によって熱膨張すると両者の変位量に差が生じ、プローブピン13と電極12とのコンタクトが困難となる。
このような液晶基板の熱膨張によって生じるプローブピンと電極との位置ずれの問題を解決するために、従来では、基板加熱によってプローバフレームが変形しない程度まで、基板加熱の最高温度を下げている。そのため、基板加熱による温度上昇が抑えられることになり、より高温に液晶基板を加熱することで検出できた欠陥を見逃すおそれがあるという問題を有している。
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、熱膨張によってプローバフレームが変形し、プローブピンの位置が変化した場合であっても、基板の加熱温度を下げることなく、プローブピンと電極とのコンタクトを安定なものとすることを目的とする。
本発明は、液晶基板に検査信号を供給する液晶基板検査用のプローバにおいて、プローバを構成するプローバフレームに複数のプローブピンを備える構成とする。この各プローブピンに、1つの接点を有する主プローブピンと複数の接点を有する副プローブピンとを設け、主プローブピンの接点と副プローブピンの接点を電気的に接続する。
この構成とすることによって、熱膨張によって主プローブピンの接点と液晶基板側の電極との間に位置ずれが生じた場合であっても、副プローブピンが備える複数の接点の何れかが液晶基板側の電極と接触するため、プローブピンと電極とのコンタクトを安定なものとすることができる。
本発明のプローバフレームが備えるプローブピンの第1の形態は、電気的に接続された2つの主プローブピンと、電気的に接続された2つの副プローブピンによって一つのプローブピンを構成する。さらに、2つの副プローブピンは、2つの主プローブピンの何れからも等距離の位置に配置する。
2つの副プローブピンを2つの主プローブピンの何れからも等距離の位置に配置することで、熱膨張によってプローブピンが何れの方向に変位した場合であっても、液晶基板の電極とのコンタクトを安定なものとすることができる。
この第1の形態は、液晶基板に設けられる電極の配列に応じて2つの配置の形態をとることができる。
第1の配置の形態は、液晶基板において、電気的に接続される2つの電極を、電極対の配列方向と直交する方向に配置して電極対を形成し、この電極対を液晶基板上において前記配列方向に沿って直線状に複数配列する液晶基板の構成に対応するものであり、2つの主プローブピンから成る主プローブピン対を前記した電極対と同方向に配列し、2つの副プローブピンからなる副プローブピン対を電極対と直交する方向に配列し、主プローブピンの中心と副プローブピンの中心とを位置合わせする。
また、第2の配置の形態は、液晶基板において、電気的に接続される2つの電極を、電極対の配列方向に対して斜めの方向に配置して電極対を形成し、この電極対を液晶基板上において前記配列方向に沿って直線状に複数配列する液晶基板の構成に対応するものであり、2つの主プローブピンから成る主プローブピン対を前記した電極対と同方向に配列し、2つの副プローブピンからなる副プローブピン対を電極対と直交する方向に配列し、2つの副プローブピンからなる副プローブピン対を電極対と直交する方向に配列し、主プローブピンの中心と副プローブピンの中心とを位置合わせする。
上記した第1の配置の形態及び第2の配置の形態によれば、液晶基板に配置された複数の電極の配列に対して、2つの副プローブピンを2つの主プローブピンの何れからも等距離の位置に配置することができる。
本発明のプローバフレームが備えるプローブピンの第2の形態は、電気的に接続された1つの主プローブピンと複数の副プローブピンにより一つのプローブピンを構成し、複数の各副プローブピンを主プローブピンから等距離の位置に配置する。
本発明のプローブピン第2の形態によれば、複数の各副プローブピンを主プローブピンから等距離の位置に配置することで、熱膨張によってプローブピンが何れの方向に変位した場合であっても、液晶基板の電極とのコンタクトを安定なものとすることができる。
また、本発明の液晶基板検査装置は、プローバフレームを配置した状態の液晶基板を加熱する加熱機構を備えると共に、上記したプローバフレームを備える構成とする。本発明の液晶基板検査装置のプローバフレームは、上記したように、加熱機構によって液晶基板及びプローバフレームが加熱され、熱膨張によってプローブピンが何れの方向に変位した場合であっても、液晶基板の電極とのコンタクトを安定なものとすることができるため、安定して液晶基板の検査を行うことができる。
本発明によれば、熱膨張によってプローバフレームが変形し、プローブピンの位置が変化した場合であっても、基板の加熱温度を下げることなく、プローブピンと電極とのコンタクトを安定なものとすることができる。
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
図1は本発明の液晶基板検査装置を説明するために各構成部分を分離して示した概略図である。
液晶基板10はプローバ1が検査する検査対象であり、液晶基板10上にはTFTアレイ11が形成されている。この液晶基板10に形成されるTFTアレイ11のレイアウト、電極、配線パターン等は液晶パネルのサイズや仕様に応じて種々に設定される。液晶基板10上のTFTアレイ11には薄膜トランジスタがマトリックス状に形成され、各薄膜トランジスタを駆動する信号電極端子(例えば、走査信号電極端子,映像信号電極端子)が形成されている。また、液晶基板10上のTFTアレイ11の外側には、液晶基板の外部と電気的に接続するための電極12が形成される。
プローバ1は、液晶基板10の電極12と電気的に接続し検査を行うためにプローバフレーム2を備え、液晶基板10の電極12と電気的に接続するプローブピン3を備える。本発明のプローブピン3は、主プローブピン(図1では示していない)と副プローブピン(図1では示していない)を含む複数のプローブピンを備える。
プローブピン3は、1つの接点を有する主プローブピンと複数の接点を有する副プローブピンとを備え、主プローブピンの接点と副プローブピンの接点は電気的に接続する構成とすることができる。この構成は、電気的に接続された2つの主プローブピンと、電気的に接続された2つの副プローブピンにより1つのプローブピンを構成し、2つの副プローブピンを2つの主プローブピンの何れからも等距離の位置に配置する形態や、電気的に接続された1つの主プローブピンと複数の副プローブピンにより一つのプローブピンを構成し、複数の各副プローブピンは主プローブピンから等距離の位置に配置する形態とすることができる。このプローブピン3のピン数や配列は、液晶基板10の電極12に対応して設定することができる。プローバフレーム2は、アルミニウムやSUS等の金属材料で形成することができる。
液晶基板10の検査を行うには、パレット上あるいはステージ(共に図示していない)上に液晶基板10を配置し、さらに液晶基板10にプローバフレーム2を配置する。液晶基板10とプローバフレーム2との間は、電極12とプローブピン3とが接触することによって電気的な接続が行われ、プローブピン3と電極12との接続を通してTFTアレイに検査信号を供給する。また、プローバフレーム2とパレットあるいはステージとの間の接続は、プローバフレーム2、及びパレットあるいはステージに設けたコネクタ(図示していない)により行われる。
パレットを用いる液晶基板検査装置では、パレットをステージ(図示してない)上に載置して移動自在とすることができる。パレットとステージ5の間の電気的な接続は、パレット側に設けたパレット側コネクタとステージ側に設けたステージ側コネクタとにより行われる。
以下、図2〜図10を用いて、本発明の主プローブピンの接点と副プローブピンの接点は電気的に接続する構成について説明する。なお、本発明のプローブピンの構成について図2,図3を用いて説明し、本発明のプローブピンの第1の形態を図4〜図8を用いて説明し、本発明のプローブピンの第2の形態を図9,図10を用いて説明する。
図2は、本発明のプローブピンの構成を説明するための断面図である。図2において、プローバ1はプローバフレーム2を備え、このプローバフレーム2は液晶基板10に形成された電極12と電気的に接続するためのプローブピン3が設けられる。このプローブピン3は、電極12に対して複数のプローブピンから構成される。プローブピン3を構成する複数のプローブピンとして、主プローブピン4と副プローブピン5を備える。
主プローブピン4は、プランジャ4cと、このプランジャ4cによってプローバフレーム2に対して可動に支持される1つの接点4aとを備える。接点4aは電極12と接触することで電気的な接続が行われる。接点4aはプランジャ4c内を通して配線4dを接続される。配線4dは制御部(図示していない)に接続される。
また、副プローブピン5は、プランジャ5cと、複数の接点5aを有するコンタクト部5bを備え、コンタクト部5bはプランジャ5cによってプローバフレーム2に対して可動に支持される。図3は、副プローブピン5の構成を説明するための図である。図3において、副プローブピン5は、上下動自在可動であって一方向に付勢されプランジャ5cと、このプランジャ5cに端部に設けられたコンタクト部5bを備える、コンタクト部5bは、複数の接点5aが設けられ、これらの接点5aの少なくとも何れか一つが電極12と接触することで、電極12との電気的な接続が行われる。接点5aはプランジャ5c内を通して配線5dを接続される。配線5dは制御部(図示していない)に接続される。
主プローブピン4の接点4aと副プローブピン5の接点5aは電気的に接続されており、プローブピン3は、接点4aあるいは接点5aの何れかが電極12と接触することで、また、接点5aの場合には複数の接点5aの少なくとも何れか一つが電極12と接触することで、電極12との間で電気的な接続を行うことができる。
なお、接点4a,5aは、例えば円錐形の形状とすることができるが、この形状に限られるものではない。
この構成とすることによって、熱膨張によって主プローブピン4の接点4aと液晶基板10側の電極12との間に位置ずれが生じた場合であっても、副プローブピン5が備える複数の接点5aの少なくとも何れか一つが液晶基板10側の電極12と接触する。これにより、プローブピン3と電極12とのコンタクトを安定なものとすることができる。
次に、図2〜図8を用いて本発明の第1の形態について説明する。第1の形態は、電気的に接続された2つの主プローブピンと、電気的に接続された2つの副プローブピンにより1つのプローブピンを構成し、2つの副プローブピンを2つの主プローブピンの何れからも等距離の位置に配置する形態である。
以下では、第1の形態について2つの構成例を説明する。図4〜図6は第1の構成例を示し、図7,図8は第2の構成例を示している。各構成例は、液晶基板における電極の配置形態に対応するものである。
第1の構成例は、液晶基板において、電気的に接続される2つの電極を、電極対の配列方向と直交する方向に配置して電極対を形成し、この電極対を液晶基板上において前記配列方向に沿って直線状に複数配列する液晶基板の構成に対応するものである。
図4において、図4(a)は液晶基板10における電極12の配置を示し、図4(b)はプローバフレーム2におけるプローブピン3の配置を示し、図4(c)は、プローブピン3と電極2との位置関係を示している。
図4(a)において、電極12は、それぞれ電気的に接続された2つに電極12Aと電極12Bによって電極対を構成し、液晶基板10上において直線状に配列される。図4(b)において、プローブピン3は電極対の配列に沿って配置される。ここでプローブピン3は、2つの主プローブピン4A,4Bから成る主プローブピン対を電極対の配列方向と同方向に配列し、2つの副プローブピン5A,5Bからなる副プローブピン対を電極対の配列方向と直交する方向に配列し、主プローブピン4の中心と副プローブピン5の中心とを位置合わせする。
プローブピン3と電極12との位置合わせが正常である場合には、図4(c)に示すように、主プローブピン4Aは電極12Aと接触し、主プローブピン4Bは電極12Bと接触する。
図5は、第1の構成例を説明するための断面図である。図5(a)はプローブピン3と電極12との位置合わせが正常である場合を示し、図5(b)はプローブピン3と電極12との間で位置ずれが生じた場合を示している。
プローブピン3と電極12との位置合わせが正常である場合には、図5(a)に示すように、主プローブピン4Aは電極12Aと接触し、主プローブピン4Bは電極12Bと接触する。なお、図5(a)では、副プローブピン5A及び5Bについても電極12A及びデータ12Bと接触しているが、主プローブピン4が電極12と接触する位置において、副プローブピン5A及び5Bは必ずしも電極12と接触しなくともよい。
図5(b)において、プローブピン3と電極12との間で位置ずれが生じ、主プローブピン4が電極12から外れると、電気的な接続が不良となる。このとき、副プローブピン5のコンタクト部5bが備える複数の接点5aの何れか一つが電極12と接触する。主プローブピン4の接点4aと副プローブピン5の接点5aは電気的に接続されているため、複数の接点5aの何れか一つが電極12と接触することによって、主プローブピン4の接点4aが電極12と電気的に接続されていると等価となり、電気的な接続状態は維持されることになる。
図6は、プローブピン3が電極12に対して種々の方向に変位した場合を示している。図6(e)は、プローブピン3と電極12との位置合わせが正常である場合を示し、図6(a)〜図6(d)、図6(f)〜図6(i)は、図中において図6(e)に位置から縦方向、横方向、斜め方向に位置ずれした場合を示している。いずれの方向に位置ずれした場合であっても、副プローブピン5のコンタクト部5bが備える複数の接点5aの何れか一つが電極12と接触し、プローブピン3と電極12との電気的な接続状態は維持される。
第2の構成例は、液晶基板において、電気的に接続される2つの電極を、電極対の配列方向に対して斜めの方向に配置して電極対を形成し、この電極対を液晶基板上において前記配列方向に沿って直線状に複数配列する液晶基板の構成に対応するものである。
図7において、図7(a)は液晶基板10における電極12の配置を示し、図7(b)はプローバフレーム2におけるプローブピン3の配置を示し、図7(c)は、プローブピン3と電極2との位置関係を示している。
図7(a)において、電極12は、それぞれ電気的に接続された2つに電極12Aと電極12Bによって電極対を構成し、液晶基板10上において直線状に配列される。第2の構成例では、電極対を構成する各電極は、電極対の配列方向に対して位置ずれして配置される。図7(b)において、プローブピン3は電極対の配列に沿って配置される。ここでプローブピン3は、2つの主プローブピン4A,4Bから成る主プローブピン対を電極対の配列方向と同方向に配列し、2つの副プローブピン5A,5Bからなる副プローブピン対を電極対の配列方向と直交する方向に配列し、さらに2つの副プローブピン5A,5Bからなる副プローブピン対を電極対と直交する方向に配列し、主プローブピン4の中心と副プローブピン5の中心とを位置合わせする。
プローブピン3と電極12との位置合わせが正常である場合には、図7(c)に示すように、主プローブピン4Aは電極12Aと接触し、主プローブピン4Bは電極12Bと接触する。
なお、第2の構成例の断面構成は、前記図5で示した第1の構成例の断面構成と同様であるため、個々での説明は省略する。
図8は、プローブピン3が電極12に対して種々の方向に変位した場合を示している。図8(e)は、プローブピン3と電極12との位置合わせが正常である場合を示し、図8(a)〜図8(d)、図8(f)〜図8(i)は、図中において図8(e)に位置から縦方向、横方向、斜め方向に位置ずれした場合を示している。いずれの方向に位置ずれした場合であっても、副プローブピン5のコンタクト部5bが備える複数の接点5aの何れか一つが電極12と接触し、プローブピン3と電極12との電気的な接続状態は維持される。
上記した第1の配置の形態及び第2の配置の形態によれば、液晶基板に配置された複数の電極の配列に対して、2つの副プローブピンを2つの主プローブピンの何れからも等距離の位置に配置することができる。
次に、図9,図10を用いて本発明の第2の形態について説明する。第2の形態は、電気的に接続された1つの主プローブピンと複数の副プローブピンにより一つのプローブピンを構成し、複数の各副プローブピンは主プローブピンから等距離の位置に配置する形態である。
図9において、図9(a)は液晶基板10における電極12の配置を示し、図9(b)はプローバフレーム2におけるプローブピン3の配置を示し、図9(c)は、プローブピン3と電極2との位置関係を示している。
図9(a)において、電極12は、液晶基板10上において直線状に配列される。図9(b)において、プローブピン3は電極12の配列に沿って配置される。ここでプローブピン3は、1つの主プローブピン4と4つの副プローブピン5A〜5Dからなる副プローブピン群を備え、1つの主プローブピン4を電極12の配列方向と同方向に配列し、4つの副プローブピン5A〜5Dからなる副プローブピン群についても電極12の配列方向と同方向に配列し、さらに4つの副プローブピン5A〜5Dを主プローブピン4の周囲に等距離及び等間隔で配置し、主プローブピン4の位置と副プローブピン5A〜5Dの中心とを位置合わせする。
プローブピン3と電極12との位置合わせが正常である場合には、図9(c)に示すように、主プローブピン4Aは電極12Aと接触する。なお、図9(c)では、副プローブピン5A〜5Dは電極12と接触していないが、主プローブピン4が電極12と接触する位置において、副プローブピン5A〜5Dを電極12を非接触させてもよい。この位置において、副プローブピン5A〜5Dと電極12との位置関係は、副プローブピン5のコンタクト部5bの径によって調整することができる。
図10は、プローブピン3が電極12に対して種々の方向に変位した場合を示している。図10(e)は、プローブピン3と電極12との位置合わせが正常である場合を示し、図10(a)〜図10(d)、図10(f)〜図10(i)は、図中において図10(e)に位置から縦方向、横方向、斜め方向に位置ずれした場合を示している。いずれの方向に位置ずれした場合であっても、副プローブピン5のコンタクト部5bが備える複数の接点5aの何れか一つが電極12と接触し、プローブピン3と電極12との電気的な接続状態は維持される。
本発明のプローバフレームの構成は、液晶基板検査装置に限らず、熱加熱等によってプローバフレームが熱膨張して電極との間で生じる位置ずれによる接触不良に適用することができる。
1…プローバ、2…プローバフレーム、3…プローブピン、4,4A,4B…主プローブピン、4a…接点、4c…プランジャ、4d…配線、5,5A,5B…副プローブピン、5a…接点、5b…コンタクト部、5c…プランジャ、5d…配線、10…液晶基板、11…TFTアレイ、12,12A,12B…電極、13,13A,13B…プローブピン、13a…接点。
Claims (4)
- 液晶基板に検査信号を供給する液晶基板検査用のプローバにおいて、
前記プローバを構成するプローバフレームは複数のプローブピンを備え、
前記各プローブピンは、
1つの接点を有する主プローブピンと複数の接点を有する副プローブピンとを備え、
前記主プローブピンの接点と副プローブピンの接点は電気的に接続されることを特徴とするプローバフレーム。 - 電気的に接続された2つの主プローブピンと、電気的に接続された2つの副プローブピンにより1つのプローブピンを構成し、
前記2つの副プローブピンは、2つの主プローブピンの何れからも等距離の位置に配置されることを特徴とする請求項1に記載のプローバフレーム。 - 電気的に接続された1つの主プローブピンと複数の副プローブピンにより一つのプローブピンを構成し、
前記複数の各副プローブピンは主プローブピンから等距離の位置に配置することを特徴とする請求項1に記載のプローバフレーム。 - プローバフレームを配置した状態の液晶基板を加熱する加熱機構を備え、前記プローバフレームは請求項1から請求項3の何れか一つに記載のプローバフレームであることを特徴とする液晶基板検査装置。
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