JP2007163825A - 導波路型熱光学回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】導波路型熱光学回路は、方向性結合器11,14と、2つのアーム導波路12,13と、薄膜ヒータ15を備えている。アーム導波路12,13に光路長差を付与するため、アーム導波路13のコア部の幅と、アーム導波路12のコア部の幅を異ならせ、アーム導波路のコア部の幅の差によって生ずる屈折率差を利用して、両アーム導波路12,13の光学的実効距離を異ならせている。このため屈折率差の波長依存性が少ない導波路型熱光学回路となる。
【選択図】図1(a)
Description
例えば光スイッチとして用いる場合、通過する光信号の中心波長(λ)の半分に相当する光路長差を付与し、無通電時にクロス経路において光信号遮断に設定される。このとき光信号中心波長が1.55μmの場合に、石英系ガラスの屈折率が1.45であることを考慮すると、光路長差=1.55/2=0.775μmを付与するためには、アーム導波路112に対して、アーム導波路113の長さを0.775μm/1.45=0.534μmだけ長くなるように設計する。
これは例えば、デバイス作製時に光路長差に誤差が生じてしまったときに、光スイッチとして十分な消光比を得られない場合があるばかりか、波長依存性のあるデバイスであるため、使用する光信号波長によって適切に設計を変更する必要があり、作製コストの上昇や生産性の低下という問題があった。
2つの光分岐結合器と、基板上に作製されるクラッド層及びコア層によって形成される埋め込み型光導波路からなると共に前記2つの光分岐結合器を接続する2本のアーム導波路とで構成されたマッハ・ツェンダー干渉計回路と、
前記アーム導波路を伝搬する光信号の位相を熱光学効果によって制御するため、前記アーム導波路の上に形成された薄膜ヒータと、
を備えた導波路型熱光学回路において、
前記2本のアーム導波路に光路長差を付与するため、
前記2本のアーム導波路のうちの一方のアーム導波路のコア部の幅と、他方のアーム導波路のコア部の幅を、アーム導波路の長さ方向の全ての部分、または、一部で異ならせていることを特徴とする。
前記2本のアーム導波路は、2つの光分岐結合器のうちの一方の光分岐結合器側の曲線状のテーパ導波路と、一方の光分岐結合器側の曲線導波路と、直線導波路と、他方の光分岐結合器側の曲線導波路と、他方の光分岐結合器側の曲線状のテーパ導波路とが、この順に接続されて構成されており、その全長において、コア部の幅は、一方のアーム導波路の方が他方のアーム導波路よりも広くなっていることを特徴とする。
前記2本のアーム導波路は、2つの光分岐結合器のうちの一方の光分岐結合器側の曲線導波路と、一方の光分岐結合器側の直線のテーパ導波路と、直線導波路と、他方の光分岐結合器側の直線のテーパ導波路と、他方の光分岐結合器側の曲線導波路とが、この順に接続されて構成されており、コア部の幅は、直線導波路および直線のテーパ導波路の部分において、一方のアーム導波路の方が他方のアーム導波路よりも広くなっていることを特徴とする。
前記2本のアーム導波路が直線状となっていることを特徴とする。
前記2本のアーム導波路は、更に、長さ方向の長さが互いに異なっていることを特徴とする。
前記アーム導波路に沿って、前記薄膜ヒータの両側のクラッド層を除去することによって形成される断熱溝構造を有していたり、
前記基板がシリコン基板であり、前記アーム導波路がSiO2を主成分とする石英系ガラスから成っていたり、
前記光分岐結合器は、方向性結合器またはマルチモード干渉結合器であることを特徴とする。
前記の導波路型熱光学回路の前記マッハ・ツェンダー干渉計回路を1つの素子として、前記素子を複数集積することにより任意の本数の入出力端子を接続することを特徴とする。
前記の導波路型熱光学回路の前記マッハ・ツェンダー干渉計回路を1つの素子として、前記素子を複数集積することにより任意のチャネル数の光信号レベルを調整することを特徴とする。
しかし、本発明によれば光路長差は、アーム導波路の幅の差によって生じる屈折率差を利用するため、屈折率差の波長依存性は小さく、したがって光路長差の波長依存性も小さくなる。この効果により、製造誤差に強く、広い帯域の波長で動作する光スイッチあるいは可変光減衰器として用いることができる。
しかも、アーム導波路12,13の長さ方向(光を伝播する方向)に関して全ての部分で、アーム導波路12のコア部の幅を、アーム導波路13のコア部の幅に比べて広くすることにより、アーム導波路12とアーム導波路13の実効屈折率を異ならせ、アーム導波路13側の実効光路長が、他方のアーム導波路12側の実効光路長に対して、光信号中心波長(実施例1においては1.55μm)の2分の1、すなわち0.775μm相当だけ長くなるように光路長が設計されている。
2つの薄膜ヒータ15には、2つの電極パッド17により、それぞれ独立に電圧を印加することができる。
ここで薄膜ヒータ15がオン(通電)状態となって適切な電力(スイッチング電力)が加えられた場合には、アーム導波路12,13間の実効光路長差は熱光学効果によってゼロとなり、出力導波路1cから出力されていた光は、出力導波路1dから出力されるように、出力端が切り替わる。
以上の原理により、実施例1における光スイッチは出力先の経路を変更する経路切り替えスイッチとして動作する。
厚さ1mm、直径4インチのシリコン基板1上に石英系ガラスによって形成されるクラッド層2および埋め込み型コア部3を有する単一モード光導波路を、SiO4やGeCl4などの原料ガスの火炎加水分解反応を利用した石英系ガラス膜の堆積技術と反応性イオンエッチング技術の組み合わせにより作製し、薄膜ヒータおよび給電のための電極をクラッド層2表面上に真空蒸着およびパターン化によって作製した。作製した光導波路の通常のコア寸法は7μm×7μmであり、クラッド層2との比屈折率差Δは0.75%とした。実施例1における光スイッチは、この光導波路を用い、直線導波路および曲線導波路を組み合わせることによって形成される。
2 クラッド層
3 コア部
1a、1b 入力導波路
1c、1d 出力導波路
1e、1f 曲線状テーパ導波路
1g、1h 曲線導波路
1i、1j 直線導波路
11、14 方向性結合器
12、13 アーム導波路
15 薄膜ヒータ
16 断熱溝
17 電極パッド
5a、5b 入力導波路
5c、5d 出力導波路
5e、5f、5g、5h 曲線導波路
5i、5j 直線導波路
5k、5l 直線テーパ導波路
51、54 方向性結合器
52、53 アーム導波路
55 薄膜ヒータ
56 断熱溝
57 電極パッド
7a、7b 入力導波路
7c、7d 出力導波路
71、74 マルチモード干渉結合器
72、73 アーム導波路
75 薄膜ヒータ
77 電極パッド
81a、82a 入力導波路
81b、82b 出力導波路
83a、83b、84a、84b 方向性結合器
85a、85b アーム導波路
86a、86b 薄膜ヒータ
87a、87b 断熱溝
88a、88b マッハ・ツェンダー干渉計
in1−in4 入力ポート
out1−out4 出力ポート
9a 入力導波路
9d 出力導波路
93a,93b,94a,94b 方向性結合器
95a、95b アーム導波路
96a、96b 薄膜ヒータ
97a、97b 断熱溝
98a,98b マッハ・ツェンダー干渉計回路
111、114 方向性結合器
112、113 アーム導波路
115 薄膜ヒータ
116 断熱溝
117 電極パッド
Claims (10)
- 2つの光分岐結合器と、基板上に作製されるクラッド層及びコア層によって形成される埋め込み型光導波路からなると共に前記2つの光分岐結合器を接続する2本のアーム導波路とで構成されたマッハ・ツェンダー干渉計回路と、
前記アーム導波路を伝搬する光信号の位相を熱光学効果によって制御するため、前記アーム導波路の上に形成された薄膜ヒータと、
を備えた導波路型熱光学回路において、
前記2本のアーム導波路に光路長差を付与するため、
前記2本のアーム導波路のうちの一方のアーム導波路のコア部の幅と、他方のアーム導波路のコア部の幅を、アーム導波路の長さ方向の全ての部分、または、一部で異ならせていることを特徴とする導波路型熱光学回路。 - 請求項1に記載の導波路型熱光学回路において、
前記2本のアーム導波路は、2つの光分岐結合器のうちの一方の光分岐結合器側の曲線状のテーパ導波路と、一方の光分岐結合器側の曲線導波路と、直線導波路と、他方の光分岐結合器側の曲線導波路と、他方の光分岐結合器側の曲線状のテーパ導波路とが、この順に接続されて構成されており、その全長において、コア部の幅は、一方のアーム導波路の方が他方のアーム導波路よりも広くなっていることを特徴とする導波路型熱光学回路。 - 請求項1に記載の導波路型熱光学回路において、
前記2本のアーム導波路は、2つの光分岐結合器のうちの一方の光分岐結合器側の曲線導波路と、一方の光分岐結合器側の直線のテーパ導波路と、直線導波路と、他方の光分岐結合器側の直線のテーパ導波路と、他方の光分岐結合器側の曲線導波路とが、この順に接続されて構成されており、コア部の幅は、直線導波路および直線のテーパ導波路の部分において、一方のアーム導波路の方が他方のアーム導波路よりも広くなっていることを特徴とする導波路型熱光学回路。 - 請求項1に記載の導波路型熱光学回路において、
前記2本のアーム導波路が直線状となっていることを特徴とする導波路型熱光学回路。 - 請求項1乃至請求項4の何れか一項に記載の導波路型熱光学回路において、
前記2本のアーム導波路は、更に、長さ方向の長さが互いに異なっていることを特徴とする導波路型熱光学回路。 - 請求項1乃至請求項5の何れか一項に記載の導波路型熱光学回路において、
前記アーム導波路に沿って、前記薄膜ヒータの両側のクラッド層を除去することによって形成される断熱溝構造を有していることを特徴とする導波路型熱光学回路。 - 請求項1乃至請求項6の何れか一項に記載の導波路型熱光学回路において、
前記基板がシリコン基板であり、前記アーム導波路がSiO2を主成分とする石英系ガラスから成ることを特徴とする導波路型熱光学回路。 - 請求項1乃至請求項7の何れか一項に記載の導波路型熱光学回路において、
前記光分岐結合器は、方向性結合器またはマルチモード干渉結合器であることを特徴とする導波路型熱光学回路。 - 請求項1乃至請求項8の何れか一項に記載の導波路型熱光学回路の前記マッハ・ツェンダー干渉計回路を1つの素子として、前記素子を複数集積することにより任意の本数の入出力端子を接続することを特徴とする光スイッチ。
- 請求項1乃至請求項8の何れか一項に記載の導波路型熱光学回路の前記マッハ・ツェンダー干渉計回路を1つの素子として、前記素子を複数集積することにより任意のチャネル数の光信号レベルを調整することを特徴とする可変光減衰器。
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