JP2007152153A - 温度調整型減圧槽、および、その減圧方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 減圧槽本体1内の気体が真空ポンプ6で排気されて負圧に保たれる。この負圧を精密に制御するため、圧力制御部5から「流量コントローラ11で流量を制御された気体」を吸い込ませる。上記の吸入気流は温度制御されていないので、減圧槽本体1内の温度を擾乱する虞れが有る。そこで本発明は、圧力制御部5からの吸入気流を直接的に減圧槽本体1へ流入させず、排気部4の吸入側へ流入させる。これにより、真空ポンプ6の実効排気量が相殺されて減少するから、流量コントローラ11で流入気流(矢印b)を調節することによって、一定温度を保ちつつ短時間に減圧槽本体1内の気圧を精密に減圧することができる。
【選択図】図1
Description
断熱シールドを備えた減圧槽本体1内を所望の温度に保つため、温度調整機(以下、温調機と略称する)2が設けられている。符号tを付して示したのは温度センサである。
そして、減圧槽本体内を所望の負圧に保つため排気部4と圧力制御部5とが設けられている。符号pを付して示したのは圧力センサである。
給気部3は、減圧槽本体1内を昇圧させるために気体を送り込むための機構であって、定格流量の大きい主給気弁14が、減圧槽本体1と気体タンク13との間に介装接続されている。減圧槽本体内の気体が空気である場合は、気体タンク13に代えて空気清浄器(図示省略)を設ければ足りる。
減圧槽本体1内への流入流量を精密に調節するため、絞り弁9cを備えた副給気弁15が、前記主給気弁14に対して並列に配設されている。
上述の構成によって、減圧槽本体内が設定圧力に近づくまでは絞り弁9aを経て真空吸引し、設定圧力に近づいたら絞り弁9bを経て精密に制御しながら真空吸引するようになっている。
圧力制御部5は、流量コントローラ11を備えた圧力制御弁10によって構成されている。
減圧槽本体1内の気体が空気である場合は、クリーナ12を介して大気を吸入するようになっている。空気以外の特定の気体である場合は、前記の気体タンク13から特定の気体を供給される。
前記の主給気弁14と副給気弁15とを閉止して真空ポンプ6を連続運転するだけでは、減圧槽本体1内の気圧を長時間に亙って精密に一定に保持することは容易でない。
そこで、真空ポンプ6を連続運転しながら、圧力制御部5から小流量の気体を減圧槽本体1内へ送り込み、この小流量の気体を流量コントローラ11によって精密に制御する。
ところが、上記の流入気体(矢印a)は温度制御されていないのため、減圧槽本体1内の温度制御を乱してしまうと言う不具合があった。特に従来技術による温度調整型減圧槽は、一定温度を保ちつつ短時間に減圧することができないと言う不具合があった。また前記温度擾乱を防止しようとすると、圧力制御部5にも温調機を設けなければならず、減圧槽設備の全体を大形大重量化させ、製造コストを増加させると言う不具合もあった。
定格状態で連続運転されている真空ポンプ6の実効排気流量を減殺するため、従来技術においては減圧槽本体1内へ気体を吸い込ませていたが、
本発明においては、減圧槽本体1内へ吸い込ませることなく、真空ポンプ6の吸入側管路へ吸い込ませる。
このようにしても同様に、真空ポンプ6の実効排気流量を減殺するという作用効果が得られる。
温調機(2)を備えた減圧槽本体(1)と、真空ポンプ(6)と、上記減圧槽本体と真空ポンプとの間に介装接続された絞り弁(9a,b)を備えた排気弁(7,8)とを具備し、かつ、前記減圧槽本体に連通された圧力制御弁(10)を有する温度調整型減圧槽において、前記圧力制御弁の流出口が直接的に減圧槽本体に接続されることなく、前記排気弁の流入口に接続連通されていることを特徴とする。
排気弁の流入口に接続連通されている圧力制御弁の流出口と、減圧槽本体との間に、補助タンク(16)が介装接続されていることを特徴とする。
排気弁の流入口に接続連通されている圧力制御弁の流出口と、減圧槽本体との間に、逆止弁(17)が介装接続されていることを特徴とする。
減圧槽本体(1)内の気体を真空ポンプ(6)により、絞り弁(9a,9b)および排気弁(7,8)を経て排出しつつ、圧力制御弁(10)を介して少流量の気体を減圧槽本体へ流入させることにより、温度調整型減圧槽の気圧を制御する方法において、
前記圧力制御弁から流出した気体を、直接的に減圧槽本体へ流入させることなく、前記排気弁(7,8)の流入口付近に流入させ、前記真空ポンプ(6)の排気量と相殺して、該真空ポンプの実効排気量を減少させることを特徴とする。
しかも、圧力調節用の気体を排気弁に流入させるのため、この流入気体は排気弁を経て真空ポンプに吸入され、該真空ポンプの実効排気量を相殺する。これによって、一定温度を保ちつつ短時間に減圧槽本体内の気圧を精密に減圧することができる。
しかも、圧力調節用の気体を排気弁に流入させるので、この流入気体は排気弁を経て真空ポンプに吸入され、該真空ポンプの実効排気量を相殺する。これによって、一定温度を保ちつつ短時間に減圧槽本体内の気圧を精密に減圧することができる。
この実施形態は、前掲の図2に示した従来例の温度調整型減圧槽に本発明を適用して改良した1例である。
次に、本図1が図2に比して異なる点、すなわち、本発明を適用して改良した事項について説明する。
図1(従来例)は、圧力制御部5の圧力制御弁10の流出口が減圧槽本体1に接続連通されていた(矢印a)。図1の実施形態は圧力制御部5の該圧力制御弁10の流出口を、「排気部4の設けられている排気弁7,8の流出側に接続連通されている(請求項1の構成)。
このとき圧力制御弁10が開かれるとクリーナ12を経て吸入された気体は矢印bのように流動し、矢印c,矢印eの気流に合流して真空ポンプ6に吸入される。このため、
イ.減圧槽本体1内の気体に混入しない。従って減圧槽本体内の温度を擾乱しない。
ロ.真空ポンプ6に吸入されるので、該真空ポンプの実効排気量を相殺して減少させる。
図1(実施形態)を図2(従来例)に比較すると、圧力制御部5の流出側配管の接続先が減圧槽本体1から排気部4に変わっているだけであるから、当該温度調整型減圧装置の全体的な輪郭形状寸法や重量に変化を与えず、製作コストの変化も無視し得る程度に微小である。
上記補助タンク16に代えて、仮想線で示した逆止弁17を設けても同様の作用効果が得られる。
従って本実施形態による温度調整型減圧槽およびその減圧方法は、減圧槽設備の全体を大形大重量化させることなく、減圧槽本体内の温度擾乱を防止し、一定温度を保ちつつ短時間に減圧することができる。
Claims (4)
- 温度調整機を備えた減圧槽本体と、真空ポンプと、絞り弁を備え上記減圧槽本体と真空ポンプとの間に介装接続された排気弁とを具備し、かつ、前記減圧槽本体に連通された圧力制御弁を有する温度調整型減圧槽において、
前記圧力制御弁の流出口が直接的に減圧槽本体に接続されることなく、前記排気弁の流入口に接続連通されていることを特徴とする温度調整型減圧槽。 - 前記排気弁の流入口に接続連通されている圧力制御弁の流出口と、減圧槽本体との間に、補助タンクが介装接続されていることを特徴とする、請求項1に記載した温度調整型減圧槽。
- 前記排気弁の流入口に接続連通されている圧力制御弁の流出口と、減圧槽本体との間に、逆止弁が介装接続されていることを特徴とする、請求項1に記載した温度調整型減圧槽。
- 減圧槽本体内の気体を真空ポンプにより、絞り弁および排気弁を経て排出しつつ、圧力制御弁を介して少流量の気体を減圧槽本体へ流入させることにより、温度調整型減圧槽の気圧を制御する方法において、
前記圧力制御弁から流出した気体を直接的に減圧槽本体へ流入させることなく、前記排気弁の流入口付近に流入させ、前記真空ポンプの排気量と相殺して、該真空ポンプの実効排気量を減少させることを特徴とする、温度調整型減圧槽の減圧方法。
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2005
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