JP2007147512A - Quality inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えばプレス加工品等の被検体を検査する品質検査装置に関するものである。 The present invention relates to a quality inspection apparatus that inspects an object such as a press-processed product.
ある被検体の振動特性等を実験的に測定する場合や品質検査等を行う場合、ハンマによる打撃加振法等が知られている。この方法においては、ハンマにより被検体の一部を打撃することで被検体を振動させ、その振動をセンサにより計測している。
しかしながら、上記のような打撃加振法では、打撃時の力や角度等により振動データにばらつきが生じやすく、安定した振動データを得ることができなかった。したがって微小な振動の変化を敏感に検知することが困難であった。 However, with the hitting vibration method as described above, vibration data is likely to vary depending on the force and angle at the time of hitting, and stable vibration data could not be obtained. Therefore, it is difficult to detect minute changes in vibration sensitively.
請求項1に記載の発明は、被検体を支持する支持手段と、該被検体に流体を衝突させて振動を与える加振手段と、前記被検体の振動を検知する振動検知手段と、前記振動検知手段によって検知した振動に基づき前記被検体の良否判定を行う良否判定手段とを備え、衝突箇所と検知箇所とは前記被検体が前記支持手段に支持される支持領域の外側に配置され、前記支持領域の一部または全部は、前記衝突箇所と前記検知箇所との間に配置されている構成とした。
請求項2に記載の発明は上記に加え、前記衝突箇所は、前記支持領域から最も離れた前記被検体の外周縁付近に配置されている構成とした。
請求項3に記載の発明は上記に加え、被検体に接触することにより被検体を下方から支持する支持手段の先端部の外形を円く構成した。
請求項4に記載の発明は上記に加え、被検体を定位置に配設するガイド手段を設け、このガイド手段が、被検体が加振される前に離間する構成とした。
請求項5に記載の発明は上記に加え、前記支持手段、前記加振手段及び前記振動検知手段が除振機構を備えたベースに取り付けられた構成とした。
請求項6に記載の発明は上記に加え、複数のプレス工程をもつプレスライン中のプレス工程後に組み込まれている構成とした。
The invention according to
In addition to the above, the invention according to
In addition to the above, the invention described in claim 3 is configured such that the outer shape of the tip of the support means for supporting the subject from below by making contact with the subject is circular.
In addition to the above, the invention described in
In addition to the above, the invention described in
In addition to the above, the invention described in claim 6 is configured to be incorporated after the pressing process in a press line having a plurality of pressing processes.
請求項1に記載の発明によれば、加振手段による加振が支持手段により妨げられることなく効果的に伝わり正確かつ敏感に振動データを得ることができる。したがって、微小な振動の変化を検知することができる。
請求項2に記載の発明によれば、加振手段による振動をより効果的に伝えることができる。すなわち、支持領域から、衝突箇所(加振箇所)を極力離すことによって、振動を増幅させて振動検知手段に伝えることができるため、振動を敏感に検知することができる。
請求項3に記載の発明によれば、接触面積を少なく抑えられるため加振手段による振動を妨げない。
請求項4に記載の発明によれば、振動を妨げることなく、正確な位置に被検体を配置することができ、振動データのバラツキを抑えることができる。
請求項5に記載の発明によれば、本品質検査装置内に伝わる外部からの振動を減らし、高い検査精度を確保することができる。
請求項6に記載の発明によれば、複数のプレス工程をもつプレスラインの一部に組み込むことにより、高速で生産されるプレス製品をリアルタイムで全数検査することが可能である。
According to the first aspect of the present invention, the vibration data can be accurately and sensitively transmitted effectively without being disturbed by the support means. Therefore, a minute change in vibration can be detected.
According to the second aspect of the present invention, it is possible to more effectively transmit the vibration by the vibrating means. That is, by separating the collision part (excitation part) from the support region as much as possible, the vibration can be amplified and transmitted to the vibration detecting means, so that the vibration can be detected sensitively.
According to invention of Claim 3, since a contact area can be restrained small, the vibration by an excitation means is not prevented.
According to the fourth aspect of the present invention, it is possible to place the subject at an accurate position without interfering with vibration, and to suppress variation in vibration data.
According to the fifth aspect of the present invention, it is possible to reduce external vibration transmitted into the quality inspection apparatus and ensure high inspection accuracy.
According to the sixth aspect of the present invention, it is possible to inspect 100% of the press products produced at high speed in real time by being incorporated in a part of a press line having a plurality of press processes.
以下、図1〜図7にしたがって、本実施形態にかかる品質検査装置1について説明する。なお、図2においては後方の支持部20やガイド部40を省略している。
図1乃至図3に示されるように、品質検査装置1は主に、土台となるテーブル10に複数の支持部20、加振機50、複数のセンサ部60、複数のガイド部40等が着脱可能に取り付けられて構成されている。
Hereinafter, the
As shown in FIG. 1 to FIG. 3, the
テーブル10はベースの一例である。テーブル10は、例えばプレスラインにおけるプレス工程後の所定の位置に設置されている(図8(a)に示す)。
テーブル10は金属等からなり、平坦な上面10aを有している。上面10aは、パネル30と同じ程度の大きさに構成されている。上面10aには複数の取付部11が備えられている。この複数の取付部11において、支持部20、加振機50、センサ部60、ガイド部40等が着脱可能に取り付けられている。なお、別の部材を検査する際にはこれらを別の位置に固定して対応することができるよう、複数の取付部11の取付構造は全て同様に構成されている。
The table 10 is an example of a base. The table 10 is installed, for example, at a predetermined position after the pressing step in the press line (shown in FIG. 8A).
The table 10 is made of metal or the like and has a flat
テーブル10は除振機構(図示せず)を備えている。除振機構は、例えば空気ばね等であり、センサ部60、加振機50、支持部20等に対する外部からの振動(例えば、周辺に配置されるプレス工程からの振動)を取り除くことにより、検査精度への悪影響を防止する。
The table 10 includes a vibration isolation mechanism (not shown). The vibration isolation mechanism is, for example, an air spring or the like, and inspection is performed by removing external vibrations (for example, vibrations from a press process disposed in the periphery) with respect to the
上面10aには三つの支持部20が設けられている。支持部20はパネル30を支持するものである。3つの支持部20はそれぞれ、パネル30が設置された際に、パネル30の中央を中心とする三角形の頂点付近に位置する。この3つの支持部20に囲まれた三角形は支持領域の一例である。
Three
図4に示されるように、支持部20は下端に取付部21を有し、この取付部21において上記テーブル10に着脱可能に取り付けられている。取付部21の上方には支柱部22が形成されている。支柱部22は細長い棒状に形成され、テーブル10の上面10aに対して垂直を成している。支柱部22は、多様な被検体の形状に対応できるように、高さ調整可能に構成されている。支柱部22の上部には先端部23が形成されている。先端部23は、半球状をなし、パネル30が定位置に設置されたときにパネル30の下面に点接触することでパネル30を支持する。
As shown in FIG. 4, the
パネル30は被検体の一例であり、自動車のドアに用いられるドアパネルとなるものである。パネル30は金属板等がプレス加工により所定の形状に成形されてなる。具体的には、図1において2点鎖線で示されるような台形状の外形を有し、ウィンドウ孔31等を有している。
The
上面10aの、パネル30の外周付近に対応する位置には、複数のガイド部40が設けられている。ガイド部40はパネル30を定位置に配設するためのものである。
図5に示されるように、ガイド部40は湾曲部42と湾曲部42の下端部42aを支持する取付部41とを具備している。ガイド部40は取付部41を介して上記テーブル10に着脱可能に取り付けられている。湾曲部42の下端部42aはパネル30の外周が設置される位置に配されている。湾曲部42の上部42bは、下端部42aより外側方向に湾曲して延びている。パネル30が、テーブル10の上方から置かれたときに、湾曲部42の上部42bから下端部42aに向かって滑り落ちて移動することにより、定位置に正確に配される。
A plurality of
As shown in FIG. 5, the
取付部41と湾曲部42とは逃がし機構43を介して接続されている。逃がし機構43は、パネル30が定位置に正確に配されて安定した後かつ加振される前に、湾曲部42を外側方向に移動させてパネル30から退避させる。
The
加振機50は、流体を噴射することによってパネル30を加振するものであり、取付部51を介して支持領域の外側におけるテーブル10の上面10aに着脱可能に取り付けられている。加振機50はパネル30の外周付近に配置されている。流体は気体でも液体でもよいが、例えば扱いやすい空気等が挙げられる。図6に示されるように、加振機50は下向きに配されたストレート型のノズル52と、ノズル52に提供する圧縮空気を貯留するタンク等を備えている。ここで、ノズル52は下向きであるため、ノズル52の真下が本発明における衝突箇所の一例に該当する。
The
加振機50は、パネル30がテーブル10の上方から置かれるときに、ノズル52と干渉しないように、例えばノズル52を水平方向へ回転させて、パネル30より退避させる水平位置調節機構58(a)を備える。または干渉しないようにノズル52をパネル30に下に上向きに配置して、パネル30の下から流体を噴出してもよい。
When the
加振機50は、ノズル52の位置を調節する位置調節機構58(水平位置調節機構58(a)、上下位置調節機構58(b)、角度調節機構58(c))を備えている。これらにより噴射角や被検体と噴射口との距離を調節することができる。
The
加振機50は、その内部または外部に、タンクに貯留する圧縮空気を供給するコンプレッサ等の供給源を備えている。また、外部のコンピュータ70等からの信号に応じて電磁的に開閉され、ノズル52に連続的または間欠的に圧縮空気を供給する図示しないソレノイドバルブが設けられている。これらにより、噴出流体の圧力、噴出速度等が調節可能であり、加振力やパネル30を振動させる際の励起周波数を調整することができる。
The
センサ部60は、支持領域を挟んで加振機50と反対側のパネル30の外周付近に取付部61を介して着脱可能に取り付けられている。すなわちセンサ部60と加振機50との間に支持領域が位置するように配されている。センサ部60は振動検出手段の一例であり、図7に示されるように、先端に球状マグネット62aを有する加速度ピックアップセンサ62を備え、この球状マグネット62aがパネル30の下面に接触することで、加速度に基づき振動を検知する。球状マグネット62aがパネル30の下面に接触する部分は検知箇所の一例である。センサ部60は、ウィンドウ孔31等の孔部等、割れやひずみ等が生じやすい部分に配されている。センサ部60は例えばロータリークランプシリンダ等により高さ調節可能に構成され、多様な被検体の形状に対応可能となっている。
The
図1に示されるように、テーブル10の外部には、良否判定手段の一例として、コンピュータ70が設けられている。コンピュータ70はセンサ部60が検知した波形につき不要な周波数帯域の振動波形を除去しSN比(Signal to Noise ratio)を高める濾波器80に接続されている。コンピュータ70は、濾波器80によって濾波されたアナログ信号をデジタル信号に変換するAD変換器を備えている。
As shown in FIG. 1, a
また、コンピュータ70は、AD変換器の出力側に、デジタル信号から特徴量を算出するための波形を切り出す波形切り出し手段を備えている。この波形切り出し手段により特徴量算出のための演算を簡単にすることができる。波形切り出し手段の出力側にはフィルタが接続されている。このフィルタは割れやひずみ等が存在する被検体から発生する振動の周波数帯域の振動のみを通過させる。
In addition, the
フィルタの出力側には線形予測係数算出手段が接続されている。線形予測係数算出手段はフィルタを通過した信号の特徴量である線形予測係数を算出するものである。算出方法としては例えば最大エントロピー法に基づくもの等がある。 Linear prediction coefficient calculation means is connected to the output side of the filter. The linear prediction coefficient calculation means calculates a linear prediction coefficient that is a feature amount of the signal that has passed through the filter. As a calculation method, for example, there is a method based on the maximum entropy method.
ここで線形予測係数とは信号処理で用いられる特徴量の一つで、信号の周波数の情報を圧縮した形で保存することができる。さらに最大エントロピー法により求めた線形予測係数を用いてスペクトルを計算する場合には時間的に短いデータに対して高精度のスペクトルを得ることができるといった特徴がある。 Here, the linear prediction coefficient is one of the feature quantities used in the signal processing, and can store the signal frequency information in a compressed form. Furthermore, when a spectrum is calculated using a linear prediction coefficient obtained by the maximum entropy method, there is a feature that a highly accurate spectrum can be obtained for temporally short data.
上記線形予測係数算出手段の出力側は、被検体の良否を判定する判定部に接続されている。この判定部は、パターンマッチング方法を基本とし、良品サンプルの特徴量の入力により構築された境界学習型ニューラルネットワークに上記パネル30の特徴量が入力されると、両者の差が予め設定された一定の値に達したか否かを良否判定結果として出力する。例えばパネル30の特徴量と良品サンプルの特徴量との差が予め設定された一定の値より大きければ不良品と判定し、小さければ良品と判定する。
The output side of the linear prediction coefficient calculation means is connected to a determination unit that determines the quality of the subject. This determination unit is based on the pattern matching method. When the feature value of the
次に、本実施形態にかかる品質検査装置を用いた検査工程を含むプレスラインの動作について説明する。
まず、図8(a)に示されるように、金属板がコンベア上に設置され、プレス工程を経て所定の形状に成形される。このとき例えば、概形が形成され、続いて縁加工、孔加工等が施される。こうしてパネル30が台形に形成されウィンドウ孔31が形成される。
Next, the operation of the press line including the inspection process using the quality inspection apparatus according to the present embodiment will be described.
First, as shown in FIG. 8A, a metal plate is placed on a conveyor and formed into a predetermined shape through a pressing process. At this time, for example, a rough shape is formed, followed by edge processing, hole processing, and the like. Thus, the
ついで搬送機により、パネル30がテーブル10の上方から所定の位置に載置される。このとき、多少の位置ずれがあっても、パネル30がガイド部40の湾曲部42の上部42bから下端部42aにすべり落ちて移動することにより正確に所定の位置に配置される。また、ノズル52はパネル30より退避した位置に配置されている。これに伴い複数の支持部20がパネル30の下面の所定位置に当接する。こうしてパネル30が安定した後、ガイド部40の逃がし機構43が作動し、湾曲部42が外方向に移動する(図5中2点鎖線)。こうしてガイド部40がパネル30から離間する。こうしてパネル30が3つの支持部20の先端部23のみによって支えられる状態となる。
Next, the
ついで、ノズル52が退避位置から、パネル30の外周付近上方へ移動し、加振機50が作動し、パネル30に対して空気が噴射される。このとき、ソレノイドバルブが外部のコンピュータ70により制御され、あるいは設定されることで、所定のタイミングおよび所定の噴射期間で噴射される。このときノズル52の噴出口からパネル30までの距離、圧縮空気の圧力、噴出速度等も設定あるいは制御されて調節される。こうして振動の大きさや、加振されたパネル30の振動周波数等が調整される。
Next, the
加振機50による空気の噴射を受け、パネル30が振動すると、センサ部60によって振動が検知される。センサ部60に検知された振動波形について、濾波器80により不要な周波数帯域の振動波形が除去される。こうしてSN比が高められた振動波形の情報は外部のコンピュータ70に送られる。コンピュータ70において、まず振動波形についてのアナログ信号がAD変換器によりデジタル信号に変換される。ついで波形切り出し手段により、デジタル信号から特徴量を算出するためのある時間帯域における波形が切り出される。
こうして切り出された波形はフィルタを通過する。線形予測係数算出手段により、フィルタを通過した波形に基づいて特徴量である線形予測係数が算出される。この特徴量である線形予測係数が、予め複数の良品サンプルの特徴量が入力されることにより構築された境界学習型ニューラルネットワークに入力される。そして、判定手段により両者の差異に基づいて良否判定が行われる。例えば両者の差異が予め設定された一定の値より大きければ不良品と判定され、小さければ良品と判定される。
When the
The waveform thus cut out passes through the filter. The linear prediction coefficient calculation means calculates a linear prediction coefficient that is a feature amount based on the waveform that has passed through the filter. The linear prediction coefficient, which is the feature amount, is input to a boundary learning type neural network constructed by inputting the feature amounts of a plurality of non-defective samples in advance. Then, the determination unit performs pass / fail determination based on the difference between the two. For example, if the difference between the two is larger than a predetermined value, it is determined as a defective product, and if it is smaller, it is determined as a non-defective product.
判定結果は、パネル30の移動と同期してその後の工程に通知される。すなわち例えば良否判定の対象となったパネル30が積み込み台に到達すると同時に該当するパネル30の判定結果が積み込み台付近のモニタ90に表示される。こうして作業員の目視検査による再チェックが行われる。
The determination result is notified to subsequent processes in synchronization with the movement of the
なお、上記センサ部60、加振機50、ガイド部40、支持部20は着脱可能であり、各取付部21、41、51、61の取付構造は同じであるため、パネル30と異なる形状の部材についての検査は、被検体の形状に合わせて各取付部21、41、51、61の位置を変更し、品質検査装置1を用いて上記と同様に行われる。
また、テーブル10に備えられた除振機構によって、外部からの振動(例えば周辺に配置されたプレス工程による振動)による悪影響を防止する。
The
In addition, the vibration isolation mechanism provided in the table 10 prevents adverse effects caused by external vibrations (for example, vibrations caused by a pressing process disposed in the vicinity).
上記のように構成された品質検査装置1は以下の効果を奏する。
衝突箇所と検知箇所を支持領域の外側に配し、衝突箇所をパネル30の外周付近に配置し、加振機50によりパネル30の支持領域の外側に振動を与える構成としたことにより微小な品質の変化を敏感に検知することができる。すなわち支持領域の内部を加振する場合には支持部20により振動が妨げられるため振動が鈍くなるが、本構成によれば振動が妨げられないため微小な振動を正確に検知できる。したがって割れが生じる前兆等の微小な品質の変化を検出することが可能となる。
The
By arranging the collision location and detection location outside the support area, arranging the collision location near the outer periphery of the
加振機50とセンサ部60との間に、前記支持領域の一部または全部が位置する構成としたことにより、振動が効果的に伝わる。すなわち支持領域に対して同じ方向に加振機50とセンサ部60を設けると、振動を有効利用することができず品質の変化を正確に検知することが難しいが、両者が支持領域に対して逆方向に位置することにより振動を有効利用し、割れやひずみ等の品質の変化を正確に検知できる。
By adopting a configuration in which a part or all of the support region is located between the
支持部20の先端部23を半球状としたため、前記先端部23と前記被検体との接触部分を少なく抑えられる。したがって加振機50による振動を妨げることなく固定可能である。
ガイド部40に逃がし機構43を設け、パネル30が定位置において安定した後かつ加振される前に、ガイド部40がパネル30から離間する構成としたことにより、加振機50による振動を妨げることがない。
Since the
The
除振機構を有するテーブル10を備えたことにより、品質検査装置1の外部からの振動による悪影響を防止する。したがって、高い検査精度を確保することができる。品質検査装置1がプレスライン中における、プレス機の振動を回避するタイミングで検査を実施することで、より正確かつ迅速に検査を行うことができる。すなわち、複数のプレス工程をもち、各プレス工程での成形作業を同時に行うプレス機を有するプレスラインの中で、図9に示されるようにプレス機の成形作業による振動を回避するタイミングt1又はt2で検査を行う。特に搬送による振動が減衰されていないt1よりも、減衰したt2のタイミングで検査を実施したほうが、外部振動による悪影響を少なくでき、より確実に検査することができる。またプレスラインに組み込んだことによりスムーズに行われる。
By providing the table 10 having the vibration isolation mechanism, adverse effects due to vibrations from the outside of the
判定結果が、当該被検体移動と同期して別工程においてモニタに表示される構成としたため、判定結果を参考に二重チェックすることでより確実な検査が可能となる。 Since the determination result is displayed on the monitor in a separate process in synchronization with the subject movement, a more reliable examination can be performed by double checking with reference to the determination result.
加振機50、センサ部60、支持部20、ガイド部40等を着脱可能としたことにより同じ品質検査装置1で多種多様な部材を検査することができ、汎用性が高い。したがって設備費用を削減できる。
Since the
本実施形態においては流体噴射によりパネル30を振動させるため、高い周波数での違いも敏感に検出することができる。すなわち図10に示されるように例えば打撃による加振(図10(a))では、高周波数帯Aが加振されておらず、音響により振動させる場合(図10(b))は、高周波数帯Bにおいて周波数が高くなるほど加振力が弱くなっているが、本実施形態のような流体噴射による加振(図10(c))では高周波数帯Cも含め広い帯域で安定した加振力が得られる。
In the present embodiment, since the
したがって、高周波数帯において現れる違いも敏感に検知することができる。さらにパネル30に変形、傷を与えることもない。また、振動に基づき検査する構成により、例えばCCDカメラを用いる場合と比べ、広い範囲を検査することができる。また、加振機50を外周に備えたことにより設置を容易とし、振動を最大限に利用することで微小な品質の変化を敏感に検知することができる。さらに少数の線形予測係数でパワースペクトルが計算できるため、他の特徴量を用いる場合に比べて特徴量の数が少なくすむ。
Therefore, the difference appearing in the high frequency band can be sensitively detected. Further, the
なお本発明を実施するにあたり、この発明の構成要素を発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更可能であることは言うまでもない。
上記実施形態において3つの支持部20が三角形を形成している場合について示したが、支持部20の数、位置及び支持領域は適宜変更可能である。例えば、支持部が1つであるときにはその接触部のみが支持領域となり、支持部が二つの場合は二つの支持部を結んだ直線が支持領域となる。また、支持部が4つ以上の場合はその支持部で形成した多角形が支持領域となる。
In carrying out the present invention, it goes without saying that the constituent elements of the present invention can be variously changed without departing from the gist of the invention.
Although the case where the three
上記実施形態においては良否判定結果をモニタ90に表示して通知する構成としたが、検査終了直後に被検体に対し色や文字等の印を付けることで後の工程に通知してもよい。また、最終工程で自動機により製品を取り出す場合は判定結果として信号等を自動機に送るように設定してもよい。
In the embodiment described above, the quality determination result is displayed on the
支持部20の先端部23は半球状とし、パネル30と点接触させる構成としたが、先端部を縦断面において半円形かつ横断面において長方形に構成し、パネル30に線接触させてもよい。この場合には支持部20を2つにしても安定させることができる。
Although the
さらに、加振機50のソレノイドバルブやガイド部40の逃がし機構43、ノズル52の退避機構は、外部のコンピュータ70に制御される場合を示したが、例えばタクトタイム等に合わせた所定の間隔で作動するように予め設定してもよい。
Furthermore, the solenoid valve of the
上記実施形態では搬送機によってパネル30がテーブル10上の所定の場所に載置される構成について示したが、テーブル10がコンベア内に組み込まれている構成としてもよい。例えば図8(b)に示すように、テーブル10をプレス工程後のコンベアの脇に昇降可能に取り付け、パネル30がコンベアに運ばれてテーブル10の上方に位置したときにテーブル10が上方に移動するように構成してもよい。この場合、載置する際の振動が小さく抑えられ、搬送機も不要となる。
上記実施形態ではプレスライン中に適用した場合を示したが、これに限らずあらゆる場面における検査に適用可能である。
In the above-described embodiment, the configuration in which the
Although the case where it applied in the press line was shown in the said embodiment, it is applicable not only to this but to the inspection in every scene.
1…品質検査装置、10…テーブル(ベース)、11…取付部、20…支持部(支持手段)
23…先端部、30…パネル(被検体)、40…ガイド部、43…逃がし機構、
50…加振機(加振手段)、60…センサ部(振動検知手段)、
70…コンピュータ(良否判定手段)。
DESCRIPTION OF
23 ... tip part, 30 ... panel (subject), 40 ... guide part, 43 ... escape mechanism,
50 ... Exciter (vibration means), 60 ... Sensor part (vibration detection means),
70: Computer (good / bad determining means).
Claims (6)
該被検体に流体を衝突させて振動を与える加振手段と、
前記被検体の振動を検知する振動検知手段と、
前記振動検知手段によって検知した振動に基づき前記被検体の良否判定を行う良否判定手段と、を備えた品質検査装置であって、
前記流体が前記被検体に衝突する衝突箇所と前記振動検知手段により振動が検知される検知箇所とは前記被検体が前記支持手段に支持される支持領域の外側に配置され、
前記支持領域の一部または全部は、前記衝突箇所と前記検知箇所との間に配置されていることを特徴とする品質検査装置。 A support means for supporting the subject;
Excitation means for causing vibration by causing a fluid to collide with the subject;
Vibration detecting means for detecting vibration of the subject;
A quality inspection apparatus comprising: a quality determination unit that performs quality determination of the subject based on vibration detected by the vibration detection unit;
The collision location where the fluid collides with the subject and the detection location where vibration is detected by the vibration detection means are arranged outside the support region where the subject is supported by the support means,
A part or all of the support region is disposed between the collision location and the detection location.
前記先端部が、前記被検体に接触することにより、前記被検体を下方から支持することを特徴とする請求項1または請求項2記載の品質検査装置。 The outer shape of the tip of the support means is formed in a circle,
The quality inspection apparatus according to claim 1, wherein the tip portion supports the subject from below by contacting the subject.
前記ガイド手段は、前記被検体が前記加振手段により加振される前に、前記被検体から離間することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか記載の品質検査装置。 Having guide means for disposing the subject at a fixed position;
The quality inspection apparatus according to claim 1, wherein the guide unit is separated from the subject before the subject is vibrated by the vibrating unit.
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