JP2007147513A - Quality inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えばプレス加工品等の被検体を検査する品質検査装置に関するものである。 The present invention relates to a quality inspection apparatus that inspects an object such as a press-processed product.
ある被検体の振動特性等を実験的に測定する場合や品質検査等を行う場合、ハンマによる打撃加振法等が知られている。この方法においては、ハンマにより被検体の一部を打撃することで被検体を振動させ、その振動をセンサにより計測している。
しかしながら、上記のような打撃加振法では、打撃時の力や角度等により振動データにばらつきが生じやすく、正確な振動データを得ることが困難であった。したがって微小な振動の変化を検知することが難しかった。 However, in the hitting vibration method as described above, the vibration data tends to vary depending on the force and angle at the time of hitting, and it is difficult to obtain accurate vibration data. Therefore, it was difficult to detect a minute change in vibration.
請求項1に記載の発明は、上記目的を達成するために、加振手段を用いて被検体に流体を噴射して振動を与え、振動検知手段により被検体の振動を検知し、良否判定する装置であって、流体と被検体との衝突状態を調節する調節手段を備え、流体のポテンシャルコアが前記被検体に衝突するように構成した。
請求項2に記載の発明は上記に加え、加振機に交換可能なノズルを備え、噴出口の形状、噴出口の径、噴出通路のテーパ角のうち少なくとも一つを調節可能とした。
請求項3に記載の発明は上記に加え、前記流体の噴射角又は噴射距離を調節する調節手段を備えた。
According to the first aspect of the present invention, in order to achieve the above-mentioned object, a vibration is applied to the subject by using a vibrating means to give a vibration, the vibration of the subject is detected by the vibration detecting means, and pass / fail is determined. The apparatus includes an adjusting unit that adjusts a collision state between the fluid and the subject, and is configured so that a potential core of the fluid collides with the subject.
In addition to the above, the invention described in claim 2 is provided with a replaceable nozzle in the vibration exciter so that at least one of the shape of the jet port, the diameter of the jet port, and the taper angle of the jet passage can be adjusted.
In addition to the above, the invention described in claim 3 is provided with adjusting means for adjusting the jet angle or jet distance of the fluid.
請求項1に記載の発明によれば、流体と被検体との衝突状態を変更可能な調節手段を備え、ポテンシャルコアが被検体に当たるように構成したため被検体を安定的に加振することができる。したがって、正確な振動データを得ることができ、振動の変化を敏感に検知することができる。
請求項2に記載の発明によれば、上記調節を容易かつ正確に行うことができる。
請求項3に記載の発明によれば、被検体の配置や形状又は、加振手段を設ける位置などに影響されることなく、容易に上記調節を行うことができる。
According to the first aspect of the present invention, since the adjusting means capable of changing the collision state between the fluid and the subject is provided and the potential core is in contact with the subject, the subject can be vibrated stably. . Therefore, accurate vibration data can be obtained, and changes in vibration can be detected sensitively.
According to invention of Claim 2, the said adjustment can be performed easily and correctly.
According to the third aspect of the present invention, the adjustment can be easily performed without being affected by the arrangement and shape of the subject or the position where the vibration means is provided.
以下、図1〜図7にしたがって、本実施形態にかかる品質検査装置1について説明する。なお、図2においては後方の支持部20やガイド部40を省略している。
図1乃至図3に示されるように、品質検査装置1は主に、土台となるテーブル10に複数の支持部20、加振機50、複数のセンサ部60、複数のガイド部40等が着脱可能に取り付けられて構成されている。
Hereinafter, the
As shown in FIG. 1 to FIG. 3, the
テーブル10はベースの一例である。テーブル10は、例えばプレスラインにおけるプレス工程後の所定の位置に設置されている(図9(a)に示す)。テーブル10は金属等からなり、平坦な上面10aを有している。上面10aは、パネル30と同じ程度の大きさに構成されている。上面10aには複数の取付部11が備えられている。この複数の取付部11において、支持部20、加振機50、センサ部60、ガイド部40等が着脱可能に取り付けられている。なお、別の部材を検査する際にはこれらを別の位置に固定して対応することができるよう、複数の取付部11の取付構造は全て同様に構成されている。
The table 10 is an example of a base. The table 10 is installed, for example, at a predetermined position after the pressing step in the press line (shown in FIG. 9 (a)). The table 10 is made of metal or the like and has a flat
テーブル10は除振機構(図示せず)を備えている。除振機構は、例えば空気ばね等であり、センサ部60、加振機50、支持部20等に対する外部からの振動(例えば、周辺に配置されるプレス工程による振動)を取り除くことにより、検査精度への悪影響を防止する。上面10aには三つの支持部20が設けられている。支持部20はパネル30を支持するものである。3つの支持部20はそれぞれ、パネル30が設置された際に、パネル30の中央を中心とする三角形の頂点付近に位置する。この3つの支持部20に囲まれた三角形は支持領域の一例である。
The table 10 includes a vibration isolation mechanism (not shown). The vibration isolation mechanism is, for example, an air spring or the like, and inspection accuracy is eliminated by removing external vibration (for example, vibration due to a press process disposed in the periphery) with respect to the
図4に示されるように、支持部20は下端に取付部21を有し、この取付部21において上記テーブル10に着脱可能に取り付けられている。取付部21の上方には支柱部22が形成されている。支柱部22は細長い棒状に形成され、テーブル10の上面10aに対して垂直を成している。支柱部22は、多様な被検体の形状に対応できるように、高さ調整可能に構成されている。支柱部22の上部には先端部23が形成されている。先端部23は、半球状をなし、パネル30が定位置に設置されたときにパネル30の下面に点接触することでパネル30を支持する。
As shown in FIG. 4, the
パネル30は被検体の一例であり、自動車のドアに用いられるドアパネルとなるものである。パネル30は金属板等がプレス加工により所定の形状に成形されてなる。具体的には、図1において2点鎖線で示されるような台形状の外形を有し、ウィンドウ孔31等を有している。
The
上面10aの、パネル30の外周付近に対応する位置には、複数のガイド部40が設けられている。ガイド部40はパネル30を定位置に配設するためのものである。図5に示されるように、ガイド部40は湾曲部42と湾曲部42の下端部42aを支持する取付部41とを具備している。ガイド部40は取付部41を介して上記テーブル10に着脱可能に取り付けられている。
A plurality of
湾曲部42の下端部42aはパネル30の外周が設置される位置に配されている。湾曲部42の上部42bは、下端部42aより外側方向に湾曲して延びている。パネル30が、テーブル10の上方から置かれたときに、湾曲部42の上部42bから下端部42aに向かって滑り落ちて移動することにより、定位置に正確に配される。
The
取付部41と湾曲部42とは逃がし機構43を介して接続されている。逃がし機構43は、パネル30が定位置に正確に配されて安定した後かつ加振される前に、湾曲部42を外側方向に移動させてパネル30から退避させる。
The attachment portion 41 and the
図6及び図7に示される加振機50は、流体を噴射することによってパネル30を加振するものであり、ノズル52、調整弁53、ソレノイドバルブ54、タンク55、増圧弁56、供給源57、位置調節機構58等を備えている。加振機50は、取付部51を介してテーブル10の上面10aにおける支持領域の外側に着脱可能に取り付けられ、パネル30の外周付近に配置されている。
A vibration exciter 50 shown in FIGS. 6 and 7 excites the
位置調節機構58は調節手段の一例であり、水平位置調節機構58(a)、上下位置調節機構58(b)、角度調節機構58(c)を備え、ノズル52の上下左右前後方向における位置、噴出口の向き、角度等を調節することができる。これによりパネル30等の被検体からノズル52の噴出口までの距離や噴射角が調節可能となっている。
The
ノズル52はストレート型であり、下向きに配されて流体をパネル30等の被検体に噴射する。パネル30が、テーブル10の上方から置かれるときに、ノズル52と干渉しないように、例えばノズル52を水平方向へ回転させて、パネル30より退避させる退避機構を備える。または干渉しないようにノズル52をパネル30の下に上向きに配置して、パネル30の下から流体を噴出してもよい。ノズル52は調節手段の一例であり、着脱可能に取り付けられ、交換可能となっている。流体は気体でも液体でもよいが、例えば扱いやすい空気等が挙げられる。調整弁53は、最終的にノズル52から噴出する流体の圧力や流量を制御するものであり、これにより加振力や被検体を振動励起する周波数を調整することができる。
The
ソレノイドバルブ54は、外部のコンピュータ70等からの信号に応じて電磁的に開閉され、ノズル52に連続的または間欠的に圧縮空気を供給する。これにより加振タイミングや加振時間等が調整可能になっている。
The
タンク55はノズル52に提供する圧縮空気を貯留し、流体を噴出する際の圧力変動を抑える。増圧弁56は供給源57とタンク55の間に設けられており、供給源57の圧力が必要な圧力より低い場合に流体の圧力を大きくする。供給源57は例えばコンプレッサ等であって、加振機50の内部あるいは外部に設けられ、タンク55に圧縮空気を供給する。
The
加振機50は、ポテンシャルコアが前記被検体に当たるように設定されている。ここでポテンシャルコアとは一定の長さの均一な流れの領域であり図10におけるEで示される。この領域では乱れが少なく流体速度や流体圧力が安定している。Fは静止流体と流出気体が混合する混合領域であり、気体同士のシアーによって乱れが発生する。Gは乱れが全般に拡散する乱流域である。ポテンシャルコアが前記被検体に当たるように構成するには、例えば位置調節機構58によりノズル52の噴射口から被検体までの距離xを調節し、当該距離xがノズル52の径Dの約5倍よりも短くなるように設定する等が挙げられる。また52を交換することでノズルの口径等を設定してもよい。
The
センサ部60は、支持領域を挟んで加振機50と反対側のパネル30の外周付近に取付部61を介して着脱可能に取り付けられている。すなわちセンサ部60と加振機50との間に支持領域が位置するように配されている。センサ部60は振動検出手段の一例であり、図8に示されるように、先端に球状マグネット62aを有する加速度ピックアップセンサ62を備え、この球状マグネット62aがパネル30の下面に接触することで、加速度に基づき振動を検知する。
The
センサ部60は、ウィンドウ孔31等の孔部等、割れやひずみ等が生じやすい部分に配されている。センサ部60は例えばロータリークランプシリンダ等により高さ調節可能に構成され、多様な被検体の形状に対応可能となっている。
The
図1に示されるように、テーブル10の外部には、良否判定手段の一例として、コンピュータ70が設けられている。コンピュータ70はセンサ部60が検知した波形につき不要な周波数帯域の振動波形を除去しSN比(Signal to Noise ratio)を高める濾波器80に接続されている。コンピュータ70は、濾波器80によって濾波されたアナログ信号をデジタル信号に変換するAD変換器を備えている。
As shown in FIG. 1, a
また、コンピュータ70は、AD変換器の出力側に、デジタル信号から特徴量を算出するための波形を切り出す波形切り出し手段を備えている。この波形切り出し手段により特徴量算出のための演算を簡単にすることができる。波形切り出し手段の出力側にはフィルタが接続されている。このフィルタは割れやひずみ等が存在する被検体から発生する振動の周波数帯域の振動のみを通過させる。フィルタの出力側には線形予測係数算出手段が接続されている。線形予測係数算出手段はフィルタを通過した信号の特徴量である線形予測係数を算出するものである。算出方法としては例えば最大エントロピー法に基づくもの等がある。
In addition, the
ここで線形予測係数とは信号処理で用いられる特徴量の一つで、信号の周波数の情報を圧縮した形で保存することができる。さらに最大エントロピー法により求めた線形予測係数を用いてスペクトルを計算する場合には時間的に短いデータに対して高精度のスペクトルを得ることができるといった特徴がある。 Here, the linear prediction coefficient is one of the feature quantities used in the signal processing, and can store the signal frequency information in a compressed form. Furthermore, when a spectrum is calculated using a linear prediction coefficient obtained by the maximum entropy method, there is a feature that a highly accurate spectrum can be obtained for temporally short data.
上記線形予測係数算出手段の出力側は、被検体の良否を判定する判定部に接続されている。この判定部は、パターンマッチング方法を基本とし、良品サンプルの特徴量の入力により構築された境界学習型ニューラルネットワークに上記パネル30の特徴量が入力されると、両者の差が予め設定された一定の値に達したか否かを良否判定結果として出力する。例えばパネル30の特徴量と良品サンプルの特徴量との差が予め設定された一定の値より大きければ不良品と判定し、小さければ良品と判定する。
The output side of the linear prediction coefficient calculation means is connected to a determination unit that determines the quality of the subject. This determination unit is based on the pattern matching method. When the feature value of the
次に、本実施形態にかかる品質検査装置を用いた検査工程を含むプレスラインの動作について説明する。まず図9(a)に示されるように、金属板がプレス工程を経て所定の形状に成形される。このとき例えば、概形が形成され、続いて縁加工、孔加工等が施される。こうしてパネル30が形成されウィンドウ孔31が形成される。
Next, the operation of the press line including the inspection process using the quality inspection apparatus according to the present embodiment will be described. First, as shown in FIG. 9A, a metal plate is formed into a predetermined shape through a pressing process. At this time, for example, a rough shape is formed, followed by edge processing, hole processing, and the like. Thus, the
ついで搬送機により、パネル30がテーブル10の上方から所定の位置に載置される。このとき、多少の位置ずれがあっても、パネル30がガイド部40の湾曲部42の上部42bから下端部42aにすべり落ちて移動することにより正確に所定の位置に配置される。
またノズル52は、パネル30より退避した位置に配置されている。これに伴い複数の支持部20がパネル30の下面の所定位置に当接する。こうしてパネル30が安定した後、ガイド部40の逃がし機構43が作動し、湾曲部42が外方向に移動する(図5中2点鎖線)。こうしてガイド部40がパネル30から離間する。こうしてパネル30が3つの支持部20の先端部23のみによって支えられる状態となる。
Next, the
The
ついで、ノズル52が退避位置から、パネル30の外周付近上方へ移動し、加振機50が作動し、パネル30に対して空気が噴射される。このとき、ソレノイドバルブ54が外部のコンピュータ70により制御され、あるいは設定されることで、所定のタイミングおよび所定の噴射期間で噴射される。
Next, the
また、位置調節機構58及び調整弁53によりノズル52の噴出口からパネル30までの距離や噴射角等もコンピュータ70の制御や手動により設定されており、ポテンシャルコアがパネルに当たるようになっている。すなわち例えば上記したようにノズル52の噴射口からパネル30までの距離xがノズル52の径Dの5倍よりも短くなるように調節される。さらに調節弁等により圧縮空気の圧力や噴出速度等が調節されることで、振動の大きさ、加振されたパネル30の励起振動周波数帯も所定範囲内に設定される。
Further, the
加振機50による空気の噴射を受け、パネル30が振動すると、センサ部60によって振動が検知される。センサ部60に検知された振動波形について、濾波器80により不要な周波数帯域の振動波形が除去される。こうしてSN比が高められた振動波形の情報は外部のコンピュータ70に送られる。
When the
コンピュータ70において、まず振動波形についてのアナログ信号がAD変換器によりデジタル信号に変換される。ついで波形切り出し手段により、デジタル信号から特徴量を算出するためのある時間帯域における波形が切り出される。
こうして切り出された波形はフィルタを通過する。線形予測係数算出手段により、フィルタを通過した波形に基づいて特徴量である線形予測係数が算出される。この特徴量である線形予測係数が、予め複数の良品サンプルの特徴量が入力されることにより構築された境界学習型ニューラルネットワークに入力される。そして、判定手段により両者の差異に基づいて良否判定が行われる。例えば両者の差異が予め設定された一定の値より大きければ不良品と判定され、小さければ良品と判定される。
In the
The waveform thus cut out passes through the filter. The linear prediction coefficient calculation means calculates a linear prediction coefficient that is a feature amount based on the waveform that has passed through the filter. The linear prediction coefficient, which is the feature amount, is input to a boundary learning type neural network constructed by inputting the feature amounts of a plurality of non-defective samples in advance. Then, the determination unit performs pass / fail determination based on the difference between the two. For example, if the difference between the two is larger than a predetermined value, it is determined as a defective product, and if it is smaller, it is determined as a non-defective product.
判定結果は、パネル30の移動と同期してその後の工程に通知される。すなわち例えば良否判定の対象となったパネル30が積み込み台に到達すると同時に該当するパネル30の判定結果が積み込み台付近のモニタ90に表示される。こうして作業員の目視検査による再チェックが行われる。
The determination result is notified to subsequent processes in synchronization with the movement of the
なお、上記センサ部60、加振機50、ガイド、支持部20は着脱可能であり、各取付部21、41、51、61の取付構造は同じであるため、パネル30と異なる形状の部材についての検査は、被検体の形状に合わせて各取付部21、41、51、61の位置を変更し、品質検査装置1を用いて上記と同様に行われる。
The
また、テーブル10に備えられた除振機構によって、外部からの振動(例えば周辺に配置されたプレス工程による振動)による悪影響を防止する。
上記実施形態においては、流体のポテンシャルコアが被検体に衝突するよう設定したため正確で安定した振動を与え、正確な振動データを得ることができる。したがって微小な振動の変化を敏感に検知し、割れの前兆等微小な品質の違いを検出することができる。
In addition, the vibration isolation mechanism provided in the table 10 prevents adverse effects caused by external vibrations (for example, vibrations caused by a pressing process disposed in the vicinity).
In the above embodiment, since the fluid potential core is set so as to collide with the subject, accurate and stable vibration can be given and accurate vibration data can be obtained. Therefore, it is possible to detect minute changes in vibration sensitively and detect minute quality differences such as crack signs.
本実施形態にかかる加振機50によれば、ノズル52を交換する等によりノズル52のテーパ角や口径、噴出口形状を調節することができるし、調整弁53や増圧弁56により流体の圧力や速度を調節することができる。位置調節機構58により噴射角や被検体と噴射口との距離を調節することができ、さらにはソレノイドバルブ54の開閉により加振タイミングや加振時間を調節することができる。したがって、被検体の形状に限定されることなく、容易に安定的な振動を与えることができる。
According to the
流体を被検体に噴射して加振する方式としたため、被検体に変形、傷を与えることがなく、図12に示すように打撃加振や音波加振と比べて低周波数から高周波数まで広い帯域を励起することができ、様々な帯域で発生する不良品の特徴をとらえ易くなる。また、連続的加振であるため任意の時間帯の振動データを切り出すことにより目的に応じたデータ採取が可能である。 Since the fluid is jetted onto the subject and vibrated, the subject is not deformed or damaged, and is wider from a low frequency to a high frequency as shown in FIG. It is possible to excite the band, and it becomes easier to capture the characteristics of defective products that occur in various bands. In addition, since it is a continuous excitation, it is possible to collect data according to the purpose by extracting vibration data in an arbitrary time zone.
加振機50によりパネル30の支持領域の外側に振動を与える構成としたことにより微小な振動の変化も敏感に検知することができる。すなわち支持領域内部を加振する場合には支持部20により振動が妨げられるため振動が鈍くなるが、本構成によれば振動が妨げられないため微小な振動の変化を正確に検知し、パネル30が割れる前兆等も敏感に検出することができる。
By adopting a configuration in which the vibration is applied to the outside of the support region of the
加振機50とセンサ部60との間に、前記支持領域の一部または全部が位置する構成としたことにより、振動を効果的に伝えられる。すなわち支持領域に対して同じ方向に加振機50とセンサ部60を設けると、振動を有効利用することができず、微小な品質の違いを正確に検知することが難しいが、両者が支持領域に対して逆方向に位置することにより振動を有効利用し、微小な品質の違いを正確に検出することができる。支持部20の先端部23の外形は断面円弧状であるため、前記先端部23と前記被検体との接触部分を少なく抑え、加振機50による振動を妨げることなく固定することができる。
By adopting a configuration in which a part or all of the support region is located between the
パネル30が定位置において安定した後かつ加振される前に、ガイド部40がパネル30から離間する構成としたことにより、加振機50による振動を妨げることがない。
除振機構を有するテーブル10を備えたことにより、品質検査装置1の外部からの振動を減らし、高い検査精度を確保することができる。
Since the
By providing the table 10 having the vibration isolation mechanism, vibration from the outside of the
判定結果が、当該被検体移動と同期して別工程において通知される構成としたため、判定結果を参考に二重チェックすることでより確実な検査が可能となる。
加振機50、センサ部60、支持部20、ガイド部40等を着脱可能としたことにより同じ品質検査装置1で多種多様な部材を検査することができ、汎用性が高い。したがって設備費用を削減できる。
Since the determination result is notified in a separate process in synchronization with the subject movement, a more reliable examination can be performed by performing a double check with reference to the determination result.
Since the
品質検査装置1がプレスライン中における、プレス機の振動を回避するタイミングで検査を実施することで、より正確かつ迅速な検査が可能となる。すなわち、複数のプレス工程をもち、各プレス工程での成形作業を同時に行うプレス機を有するプレスラインの中で、図11に示されるようにプレス機の成形作業による振動を回避するタイミングt1又はt2で検査を行う。特に搬送による振動が減衰していないt1よりも、減衰したt2のタイミングで検査したほうが、外部振動による悪影響を少なくできより確実に検査することができる。またプレスラインに組み込んだことによりスムーズに行われる。
When the
本実施形態においては流体噴射によりパネル30を振動させるため、高い周波数での違いも敏感に検出することができる。すなわち図12に示されるように例えば打撃による加振(図12(a))では、高周波数帯Aが加振されておらず、音響により振動させる場合(図12(b))は、高周波数帯Bにおいて周波数が高くなるほど加振力が弱くなっているが、本実施形態のような流体噴射による加振(図12(c))では高周波数帯Cも含め広い帯域で安定した加振力が得られる。
In the present embodiment, since the
したがって、高周波数帯において現れる違いも敏感に検知することができる。また、振動に基づき検査する構成により、従来のようにCCDカメラを用いる場合と比べ、広い範囲を検査することができる。また、加振機50を外周に備えたことにより設置を容易とし、振動を最大限に利用することで微小な品質の違いをも敏感に検知することができる。さらに少数の線形予測係数でパワースペクトルが計算できるため、他の特徴量を用いる場合に比べて特徴量の数が少なくすむ。
Therefore, the difference appearing in the high frequency band can be sensitively detected. In addition, the configuration in which inspection is performed based on vibration enables a wider range to be inspected than in the case of using a CCD camera as in the prior art. Moreover, installation is facilitated by providing the
なお本発明を実施するにあたり、センサ部60、支持部20、ガイド部40等の各部材の数や形状はこの発明の構成要素を発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更可能であることは言うまでもない。
上記実施形態においては、ソレノイドバルブ54と調整弁53を両方用いたが、電空比例弁を用いることによりバルブ動作と圧力制御を一元化してもよい。
また、下向きのストレート型のノズル52を示したが、L字型や斜め型であってもよい。
上記実施形態において3つの支持部20が三角形を形成している場合について示したが、支持部20の数、位置及び支持領域は適宜変更可能である。例えば、支持部が1つであるときにはその接触部のみが支持領域となり、支持部が二つの場合は二つの支持部を結んだ直線が支持領域となる。また、支持部が4つ以上の場合はその支持部で形成した多角形が支持領域となる。
In carrying out the present invention, the number and shape of each member such as the
In the above embodiment, both the
Moreover, although the downward
Although the case where the three
上記実施形態においては良否判定結果をモニタ90に表示して通知する構成としたが、検査終了直後に被検体に対し色や文字等の印を付けることで後の工程に通知してもよい。また、最終工程で自動機により製品を取り出す場合は判定結果として信号等を自動機に送るように設定してもよい。
In the embodiment described above, the quality determination result is displayed on the
支持部20の先端部23は半球状とし、パネル30と点接触させる構成としたが、縦断面において半円形かつ横断面において長方形の先端部とし、パネル30に線接触させてもよい。この場合には支持部20を2つにしても安定させることができる。
さらに、加振機50のソレノイドバルブ54、ノズル52等の調節やガイド部40の逃がし機構43、ノズル52の退避機構は、外部のコンピュータ70に制御される場合を示したが、例えばタクトタイムと合わせた所定の間隔で作動するように予め設定してもよい。
Although the
Furthermore, the adjustment of the
上記実施形態では搬送機によってパネル30がテーブル10上の所定の場所に載置される構成について示したが、テーブル10がコンベア内に組み込まれている構成としてもよい。例えば図9(b)に示すように、テーブル10をプレス工程後のコンベアの脇に昇降可能に取り付け、パネル30がコンベアに運ばれてテーブル10の上方に位置したときにテーブル10が上方に移動するように構成する。これにより載置する際の振動が小さく抑えられ、搬送機も不要となる。
上記実施形態ではプレスライン中に適用した場合を示したが、これに限らずあらゆる場面における検査に適用可能である。
In the above-described embodiment, the configuration in which the
Although the case where it applied in the press line was shown in the said embodiment, it is applicable not only to this but to the inspection in every scene.
1…品質検査装置(品質検査装置)、10…テーブル(ベース)、11…取付部
20…支持部(支持手段)、30…パネル(被検体)、40…ガイド部、43…逃がし機構
50…加振機(加振手段)、52…ノズル、58…位置調節機構、
60…センサ部(振動検知手段)、70…コンピュータ(良否判定手段)。
DESCRIPTION OF
60 ... sensor unit (vibration detecting means), 70 ... computer (good / bad determining means).
Claims (3)
該被検体に流体を衝突させて振動を与える加振手段と、
前記被検体の振動を検知する振動検知手段と、
前記振動検知手段によって検知した振動に基づき前記被検体の良否判定を行う良否判定手段と、を備えた品質検査装置であって、
前記流体と前記被検体との衝突状態を調節する調節手段を備え、
前記流体のポテンシャルコアが前記被検体に衝突するように構成されたことを特徴とする品質検査装置。 A support means for supporting the subject;
Excitation means for causing vibration by causing a fluid to collide with the subject;
Vibration detecting means for detecting vibration of the subject;
A quality inspection apparatus comprising: a quality determination unit that performs quality determination of the subject based on vibration detected by the vibration detection unit;
Adjusting means for adjusting a collision state between the fluid and the subject;
A quality inspection apparatus configured such that a potential core of the fluid collides with the subject.
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