JP2007139074A - エアーパルス発生装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】腐食性物質が存在するような環境下においても充分な耐久性を有すると共に、スプールの過剰な往復運動に伴い発生する衝撃力を適正化させ得る、エアーパルス発生装置を提供する。
【解決手段】ケーシング1の内部に嵌着されたスリーブ2の内部を、スプール3が往復動することによって、エアーパルスを発生させるエアーパルス発生装置。ケーシング1はSUS304L、スリーブ2はSUS630、スプール3はSUS440Cから夫々なり、スプール3の外周面には窒化クロムがコーティングされ、スプール3とスリーブ2のクリアランスが15〜25μmである。
【選択図】図1
【解決手段】ケーシング1の内部に嵌着されたスリーブ2の内部を、スプール3が往復動することによって、エアーパルスを発生させるエアーパルス発生装置。ケーシング1はSUS304L、スリーブ2はSUS630、スプール3はSUS440Cから夫々なり、スプール3の外周面には窒化クロムがコーティングされ、スプール3とスリーブ2のクリアランスが15〜25μmである。
【選択図】図1
Description
本発明は、エアーパルス発生装置、特に、エアーパルスを発生するパルセーションバルブに関する。
従来、エアーパルス発生装置としてのパルセーションバルブは公知であり、その構造及び機能の一例を図3乃至図5を参照して説明する。パルセーションバルブは、内面円周方向に複数のリング状溝1a,1b,1c,1d,1eが等間隔に形成されている筒状のケーシング1を備えており、このケーシング1内にはスリーブ2が固定的に嵌着されている。スリーブ2の外面円周方向には上記リング状溝1a〜1eに夫々整合する複数のリング状溝2a,2b,2c,2d,2eと該リング状溝2a〜2eに夫々連通するポート群2a’,2b’,2c’,2d’,2e’が穿設されており、スリーブ2内には、該スリーブ2の内壁に沿って摺動自在に往復運動し得るスプール3が配置されている。
従って、各リング状溝1aと2a,1bと2b,1cと2c,1dと2d,1eと2eは夫々同心の環状通路を形成し、これらの環状通路は、夫々ポート群2a’,2b’,2c’,2d’,2e’を介してスリーブ2の内部に連通している。さらに、リング状溝1b,2b;1c,2cは、夫々ケーシング1に穿設されたポート1b’,1c’を介してエアーパルス用圧縮空気を生成するためのエアーパルス用コンプレッサー(図示せず)に連通し、リング状溝1a,2a;1d,2dは夫々ケーシング1に穿設されたポート1a’,1d’を介してエアーパルスを供給すべきエアーパルス被供給装置(図示せず)に連通し、さらに、リング状溝1e,2eはケーシング1に穿設されたポート1e’を介して排気口(図示せず)に連通している。
ケーシング1及びスリーブ2の両端には密閉用蓋体4a,4bが取り付けられており、スリーブ2の内部は閉じた状態になっている。各密閉用蓋体4a,4bには、スリーブ2の内部に連通する通路5a,5bが形成されている。通路5a,5bは、スプール作動用圧縮空気を生成するためのスプール作動用コンプレッサー(図示せず)に連通しており、スプール作動用コンプレッサーからの圧縮空気は、通路5a,5bを通ってスリーブ2の両端からその内部に導入される。後述するように、スプール作動用コンプレッサーからの圧縮空気を通路5a,5bから交互にスリーブ2の内部に送り込むことによって、スプール3はスリーブ2内で往復運動せしめられる。
スプール3には二つの縮径部3a,3bが形成されており、この縮径部3a,3bにより、スリーブ2の内部には二つのリング状のスペースA,Bが形成されるようになっている。各縮径部3a,3bは、リング状スペースA又はBを介して隣接する二つのリング状溝に連通するポート群を連通させることはできるが、隣接する三つのポート群を連通させることはできないように長さが選定されており、例えば、図3に示す状態では、縮径部3aはポート群2a’とポート群2b’とを連通させており、縮径部3bはポート群2c’とポート群2d’とを各々リング状スペースA,Bを介して連通させるようになっている。
以上のような構成を有するエアーパルス発生装置は次のように作動する。図示しないスプール作動用コンプレッサーからの圧縮空気が通路5aを介してスリーブ2の内部に供給されると、スプール3は、スリーブ2の内部を左方に向かって摺動し、図3に示すように、緩衝部材を介して蓋体4aに押しつけられる。この状態においては、ポート群2a’とポート群2b’とはリング状スペースAを介して、ポート群2c’とポート群2d’とはリング状スペースBを介してそれぞれ連通している。このため、図示しないエアーパルス用コンプレッサーからの圧縮空気は、夫々ポート群2b’,2c’からリング状スペースA,Bを介しポート群2a’,2d’を通って図示しないエアーパルス被供給装置に送られる。
次いで、スプール作動用コンプレッサーからの圧縮空気の通路5aへの供給が停止され、通路5bへの供給が開始される。これによって、通路5a内の圧縮空気は排気され、スプール3は図3の位置から右方に向かって摺動し、最終的には、図4に示すように、緩衝部材を介して蓋体4bに押しつけられる。この状態においては、ポート群2b’とポート群2c’とはリング状スペースAを介して、ポート群2d’とポート群2e’とはリング状スペースBを介して夫々連通せしめられる。ポート群2b’とポート群2c’は何れもエアーパルス用コンプレッサーに連通しているため、リング状スペースAを介してのポート群2b’とポート群2c’との間の空気の流れは生じない。これに対して、ポート群2d’はリング状スペースBを介してポート群2e’と連通するため、エアーパルス被供給装置からの戻りの圧縮空気はポート1d’からリング状スペースBを経てポート群2eに進み、最終的には、ポート1e’を経て排気口から外部へ排出される。
次いで、スプール作動用コンプレッサーからの圧縮空気の通路5bへの供給が停止され、通路5b内の圧縮空気の排気が行われて、代りに通路5aへの圧縮空気の供給が再び開始される。かくして、図3及び図4に示したサイクルが繰り返される。このように、スプール3がスリーブ2内で一往復する間にエアーパルス用コンプレッサーからの圧縮空気は1回だけエアーパルス被供給装置に供給されることになる。すなわち、スプール3が一往復する毎に圧縮空気がパルス状にエアーパルス被供給装置に供給されることになり、スプール3がスリーブ2内で往復運動を行うことにより、連続的にエアーパルスがエアーパルス被供給装置に供給される。
エアーパルスの供給周期は、スプール3の往復速度に依存する。このため、スプール作動用コンプレッサーから通路5a,5bへの圧縮空気の供給頻度を変えることによって、エアーパルスの供給周期を増減することができる。
このエアーパルス発生装置は、エアーパルス被供給装置としての、例えば、パルスカラム式抽出塔やスラッジ含有液体の貯蔵タンクなどに接続され、スラッジ堆積防止のための攪拌用エアーパルスを供給するために用いられる。特に、核燃料再処理施設の分離精製工程などで使用されるパルスカラム式抽出塔に供給するエアーパルスを発生させるために用いられることが多い。
従って、スプールとスリーブは次のような過酷な条件下で使用される結果となるため、それらの材料の選定は重要な課題とされている。即ち、
(1)硝酸などの強酸のミストの存在下における摺動、
(2)無潤滑状態の下での摺動、
(3)高速度でのスプールの摺動、
(4)スプールとスリーブとの間のギャップを最小に維持した状態での摺動即ち、他のポート側への漏洩を最小に抑えた状態での摺動である。
(1)硝酸などの強酸のミストの存在下における摺動、
(2)無潤滑状態の下での摺動、
(3)高速度でのスプールの摺動、
(4)スプールとスリーブとの間のギャップを最小に維持した状態での摺動即ち、他のポート側への漏洩を最小に抑えた状態での摺動である。
従来のエアーパルス発生装置の各部品を構成する材料の一例を示すと、次のようであった。
ケーシング:アルミニウム合金鋳物
スリーブ:SUS440B
スプール:SUS440B
スプールの摺動面:クロム系コーティング
この従来のエアーパルス発生装置においては、バルブの構成材料の耐蝕性が不十分であるため、バルブ内を通過する腐食性ガス、蒸気及びミストによって、バルブ摺動部(スリーブとスプールとの間の部分)のスリーブが腐食し、バルブの作動停止などのトラブルを起こすことがあった。また、操作ミスなどによって、液体をバルブ内に直接浸入させた場合にも同様のトラブルが生じていた。
ケーシング:アルミニウム合金鋳物
スリーブ:SUS440B
スプール:SUS440B
スプールの摺動面:クロム系コーティング
この従来のエアーパルス発生装置においては、バルブの構成材料の耐蝕性が不十分であるため、バルブ内を通過する腐食性ガス、蒸気及びミストによって、バルブ摺動部(スリーブとスプールとの間の部分)のスリーブが腐食し、バルブの作動停止などのトラブルを起こすことがあった。また、操作ミスなどによって、液体をバルブ内に直接浸入させた場合にも同様のトラブルが生じていた。
例えば、エアーパルス発生装置をパルスカラム式抽出塔に接続させた場合、パルスカラムから飛散する硝酸ミストなどに起因して、上記のような問題を起こすことが多々あった。また、スプール3の往復運動に際し、スプール3の摺動速度は摺動の最端位置で最大となるため、緩衝部材があるとはいうものの過剰な往復運動速度では蓋体に与える衝撃力は可成り大きく、装置各部に悪影響を及ぼすという問題点があった。
そこで本願発明者らは、バルブの構成材料を耐蝕性の強い下記材料に変えたエアーパルス発生装置を提案した(特許文献1参照)。
ケーシング:SUS304Lあるいはアルミニウム合金鋳物
スリーブ:SUS630
スプール:SUS304L
スプールの摺動面:Cr2O3コーティング
特開平9−137804号公報
ケーシング:SUS304Lあるいはアルミニウム合金鋳物
スリーブ:SUS630
スプール:SUS304L
スプールの摺動面:Cr2O3コーティング
しかしながら、上記材料からなるエアーパルス発生装置をパルスカラム式抽出塔に接続させ、試験を行ったところ、従来に比較し明らかに耐蝕性の向上は確認されたが、試験を継続するにつれて、スリーブ及びスプールに擦痕が生じることがあった。このような擦痕が生じた状態で使用を継続すると、バルブの作動停止などのトラブルに繋がるという問題点があった。
また、スプールとスリーブのクリアランスが適正でなかったため、異物のかみこみや、ポート間の空気の漏洩が起り、これに起因してパルスカラム式抽出塔に与えるエアーパルスが通常状態から逸脱するという不都合が生じた。
また、スプールとスリーブのクリアランスが適正でなかったため、異物のかみこみや、ポート間の空気の漏洩が起り、これに起因してパルスカラム式抽出塔に与えるエアーパルスが通常状態から逸脱するという不都合が生じた。
本発明は、このような従来のエアーパルス発生装置における問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、腐食性物質が存在するような環境下においても充分な耐久性を有すると共に、スプールの過剰な往復運動に伴い発生する衝撃力を適正化させ得る、エアーパルス発生装置を提供することを目的とする。
この目的を達成するため、本発明に係るエアーパルス発生装置は、エアーパルス用圧縮空気供給源と、筒状のケーシングと、該ケーシング内に嵌着されたスリーブと、該スリーブ内に摺動し得るように嵌挿されたスプールとからなり、前記スリーブには、前記圧縮空気供給源と前記スリーブの内部とに連通しているポートと、エアーパルス被供給装置と前記スリーブの内部とに連通しているポートと、排気口と前記スリーブの内部とに連通しているポートとが設けられており、前記スプールには、前記ポートのうち隣接する二つのポートを連通させる縮径部が形成されており、前記スプールがスプール作動用圧縮空気により前記スリーブ内を往復運動することにより、前記エアーパルス被供給装置にエアーパルスを供給するエアーパルス発生装置において、前記ケーシングがSUS304L、前記スリーブがSUS630、前記スプールがSUS440Cから夫々なり、前記スプールの外周面には窒化クロムがコーティングされていて、前記スプールと前記スリーブのクリアランスが15〜25μmであることを特徴とする。
また、本発明によるエアーパルス発生装置は、上記エアーパルス発生装置において、ケーシングは、SUS304Lに代えて、アルミ合金鋳物で作成され、該ケーシングの内周面はアルマイト処理されていることを特徴とする。
また、本発明の好ましい実施態様においては、前記スリーブは時効熱処理(H900)されたものが用いられる。さらに、前記窒化クロムコーティングの厚みは8〜12ミクロンであることが好ましい。また、本発明の好ましい実施態様においては、スプールの過剰速度運動を防止するため、該スプールと協働する摺動速度制限手段が設けられている。
本発明によれば、腐食性環境の下でも十分な耐久性を発揮させることができるばかりか、比較的大型であってもスプールの往復運動に伴う衝撃が小さく長期間の使用に耐え得るエアーパルス発生装置を提供することができる。特に、腐食性の強い蒸気、ガス、ミストなどを発生させるパルスカラム式抽出塔において使用する場合には有効である。
本発明に係るエアーパルス発生装置は、図1及び図2に示したように、その基本構成及び作用は、図3乃至図5により説明した従来例と同じであるので、従来例と同一構成部分には同一符号を用いて説明を省略し、以下、従来例と異なる構成部分とその作用についてのみ説明する。
図1及び図2に示すように、本発明に係るエアーパルス発生装置の実施形態によれば、スプール3の左端部が延長せしめられていて、この延長部分に大径部3cと一対の小径部3d,3eが形成されており、又この延長部分に対応してスプール作動用圧縮空気の通路5bも延長されて、上記延長部分を収容し得るようになっている。更に、蓋体4aには、通路5bに臨むように絞りリング6が取付けられている。なお、大径部3cの軸方向長さは、スプール3が左方移動限界位置に達したとき(図1)小径部3eが絞りリング6と整合し、またスプール3が右方移動限界位置に達したとき(図2)小径部3dが絞りリング6と整合するように、選定されている。
本実施形態は上記のように構成されているから、スプール作動用圧縮空気によりスプール3が図2の位置から図1の位置まで摺動せしめられるとき、スタート時点では小径部3dが絞りリング6と整合しているため、通路5bを流れる排気量は比較的多いが、スタート後大径部3cが絞りリング6と整合するようになると空気流路は絞られるため排気流量は抑制される。又、スプール3が図1の位置から図2の位置まで摺動せしめられるとき、スタート時点では小径部3eが絞りリング6と整合しているため、通路5bを流れるスプール作動用圧縮空気の供給流量は比較的多いが、スタート後大径部3cが絞りリング6と整合するようになると空気流路は絞られるため、スプール作動用圧縮空気の供給流量は抑制される。従って、スプール3の往復運動共その摺動速度は適当に制限される結果となり、スプール3の過剰速度運動は防止されて、スプール3の左右の移動限界位置に達したときの衝撃は好適に緩和される。
本実施形態では、スプール3の左端部にスプールの摺動速度制限手段を設けたが、この手段はスプールの右端部に設けてもよく、更に必要があればスプールの両端部に併設してもよい。
更に、本発明に係るエアーパルス発生装置の実施形態によれば、ケーシング1及びスリーブ2に関しては従来装置と同じ材料であるが、スプール3を構成する材料が従来装置とは異なっている。以下、この点について説明する。
まず、ケーシング1は従来同様オーステナイト系ステンレス鋼のSUS304Lからなる。SUS304Lの硬度Hはビッカース硬度Hvで200以下であり、ロックウェル硬度HRcで15以下である。すなわち、H < Hv200 又は H < HRc15である。また、SUS304Lは良好な耐蝕性を有しており、耐硝酸A級材質である。
ケーシング1は、SUS304Lに代えて、アルミ合金鋳物を用いることもできる。但し、この場合には、ケーシング1の内壁をアルマイト処理しておくことがより望ましい。
また、スリーブ2は析出硬化型ステンレス鋼のSUS630からなる。このSUS630は時効熱処理(H900)されたものである。SUS630の硬度Hはビッカース硬度Hvで389以下であり、ロックウェル硬度HRcで40以下である。すなわち、
H < Hv389 又は H < HRc40である。SUS630は良好な耐蝕性を有しており、耐硝酸A級材質である。
H < Hv389 又は H < HRc40である。SUS630は良好な耐蝕性を有しており、耐硝酸A級材質である。
スプール3はマルテンサイト系ステンレス鋼のSUS440Cからなる。SUS440Cの硬度Hはビッカース硬度Hvで620以下であり、ロックウェル硬度HRcで56以下である。すなわち、H < Hv620 又は H < HRc56である。また、スプール3の外周面、すなわち、スリーブ2との間の摺動面には、窒化クロムコーティングが施されている。このコーティングは、例えば、PVD法によって行われ、コーティングの厚さは8〜12μmが好ましい。
この窒化クロムコーティングの硬度Hは、ビッカース硬度Hvで1500以下であり、ロックウェル硬度HRcで78以下である。すなわち、H < Hv1500 又は H <HRc78である。この窒化クロムコーティングは、従来のクロム系コーティングやCr2O3コーティングに比較して一層硬度が高いため、コーティング面に傷が入り難い。また、この窒化クロムコーティングは良好な耐蝕性を有しており、硝酸に対しても良好な耐久性を有している。
しかし、窒化クロムコーティングは、成膜方法による制限のため薄膜コーティングであり、十分な耐久性を確保するためには、母材自身にも高い硬度が要求されることがわかった。そこで、本発明では、スプールの母材に、従来のSUS304Lに比較し硬度の高いSUS440Cを用いている。SUS440Cの耐硝酸性は、SUS304Lに比較し劣っているが、窒化クロムコーティングの耐硝酸性が良好であるため、SUS440Cに窒化クロムコーティングを施したスプールを用いれば、腐食性環境の下でも十分な耐久性が発揮される。
本エアーパルス発生装置を例えばパルスカラム式抽出塔に使用する場合、スプール3の全長は200mm、外径は45mmであり、スプール3とスリーブ2のクリアランス(スリーブ2の内径とスプール3の外径との差)は15〜25μmに選定される。このクリアランスが15μm未満であると、異物をかみこみやすくなってスプールとスリーブの摺動に悪影響を与え、エアーパルス発生装置の寿命低下を招く。また、25μmを超えると、スプールとスリーブの間から他のポートへの供給空気の漏洩が大量に発生し、パルスカラム式抽出塔の抽出効率が損なわれるという問題が発生する。
上記構成のスプールおよびスリーブを用いることにより擦痕が生じなくなったが、その理由は、スプール材及びスプールに施したコーティング材の硬度を上げたこと、コーティングの密着度が向上したことにより、スプール及びスリーブの摩耗が無くなったこと、スリーブとスプールのクリアランスを上記範囲に選定したことでスプール/スリーブ間にコーティング材の摩耗粉および供給空気中の異物が入り込むことが無くなって、スリーブを摩耗させる原因がなくなったことにあると考えられる。
また、スリーブとスプールのクリアランスを上記範囲に選定したことにより、スプールとスリーブの間から他のポートへの供給空気の漏洩が抑えられて、パルスカラム式抽出塔に与える脈動の正常性が保たれ、エアーパルス派生装置としての機能を十分発揮することができることが確認された。
また、スリーブとスプールのクリアランスを上記範囲に選定したことにより、スプールとスリーブの間から他のポートへの供給空気の漏洩が抑えられて、パルスカラム式抽出塔に与える脈動の正常性が保たれ、エアーパルス派生装置としての機能を十分発揮することができることが確認された。
1 ケーシング
1a,1b,1c,1d,1e リング状溝
1a’,1b’,1c’,1d’,1e’ ポート
2 スリーブ
2a,2b,2c,2d,2e リング状溝
2a’,2b’,2c’,2d’,2e’ ポート群
3 スプール
3a,3b 縮径部
3c 大径部
3d,3e 小径部
5a,5b スプール作動用圧縮空気の通路
6 絞りリング
A,B リング状スペース
1a,1b,1c,1d,1e リング状溝
1a’,1b’,1c’,1d’,1e’ ポート
2 スリーブ
2a,2b,2c,2d,2e リング状溝
2a’,2b’,2c’,2d’,2e’ ポート群
3 スプール
3a,3b 縮径部
3c 大径部
3d,3e 小径部
5a,5b スプール作動用圧縮空気の通路
6 絞りリング
A,B リング状スペース
Claims (6)
- エアーパルス用圧縮空気供給源と、筒状のケーシングと、該ケーシング内に嵌着されたスリーブと、該スリーブ内に往復摺動可能に嵌挿されたスプールとからなり、前記スリーブには、前記エアーパルス用圧縮空気供給源と前記スリーブの内部とに連通しているポートと、エアーパルス被供給装置と前記スリーブの内部とに連通しているポートと、排気口と前記スリーブの内部とに連通しているポートとが設けられており、前記スプールには、前記ポートのうち隣接する二つのポートを連通させる縮径部が形成されており、前記スプールがスプール作動用圧縮空気により前記スリーブ内を往復運動せしめられることにより、前記エアーパルス被供給装置にエアーパルスを供給するエアーパルス発生装置において、前記ケーシングがSUS304L、前記スリーブがSUS630、前記スプールがSUS440Cからそれぞれなり、前記スプールの外周面には窒化クロムがコーティングされていて、前記スプールと前記スリーブのクリアランスが15〜25μmであることを特徴とするエアーパルス発生装置。
- エアーパルス用圧縮空気供給源と、筒状のケーシングと、該ケーシング内に嵌着されたスリーブと、該スリーブ内に往復摺動可能に嵌挿されたスプールとからなり、前記スリーブには、前記エアーパルス用圧縮空気供給源と前記スリーブの内部とに連通しているポートと、エアーパルス被供給装置と前記スリーブの内部とに連通しているポートと、排気口と前記スリーブの内部とに連通しているポートとが設けられており、前記スプールには、前記ポートのうち隣接する二つのポートを連通させる縮径部が形成されており、前記スプールがスプール作動用圧縮空気により前記スリーブ内を往復運動せしめられることにより、前記エアーパルス被供給装置にエアーパルスを供給するエアーパルス発生装置において、前記ケーシングがアルミ合金鋳物からなり、前記ケーシングの内周面はアルマイト処理されており、前記スリーブがSUS630からなると共に、前記スプールがSUS440Cからなり、前記スプールの外周面には窒化クロムがコーティングされていて、前記スプールと前記スリーブのクリアランスが15〜25μmであることを特徴とするエアーパルス発生装置。
- 前記スリーブは時効熱処理されたものであることを特徴とする請求項1又は2に記載のエアーパルス発生装置。
- 前記窒化クロムコーティングの厚みは8〜12ミクロンであることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のエアーパルス発生装置。
- 前記スプールの過剰速度運動を防止するため、前記スプール作動用圧縮空気の通路内に前記スプールと協働する摺動速度制限手段が設けられていることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載のエアーパルス発生装置。
- 前記摺動速度制限手段は、前記スプールの端部に形成された大径部及び一対の小径部と、前記大径部及び一対の小径部と協働する空気流路絞りリングとから成っていることを特徴とする請求項5に記載のエアーパルス発生装置。
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Family
ID=38202201
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---|---|---|---|
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