JP2007121607A - マスクパターンの検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マスクパターンのデータを入力する入力手段と、得られたマスクパターンについて転写シミュレーションを実施し対象基板上での画像データを得るシミュレーション手段と、入力手段およびシミュレーション手段から、欠陥のあるマスクパターンの対象基板上の画像データと、パターンが包含関係にある他のマスクパターンの対象基板上での画像データを得、両画像データを同一座標について重ね合わせ、欠陥の発生したパターンについて両マスクパターン間の対象基板上での包含距離を求める包含距離算出手段と、パターン間の包含距離が規定値を満足するか否かを判定する包含判定手段と、判定した結果を出力する出力手段とを有する。
【選択図】図1
Description
タをGDS2等のCADデータに変換し、デザインルールチェックソフトで算出する手法などを採用できる。
従来の比較検査機により検出したレイヤーAの欠陥を含む領域の画像データを、入力手段で入力し、シミュレーション手段で転写シミュレーションを実施する(S1)。次にレイヤーAと包含関係にあるレイヤーBの、レイヤーAの欠陥を含む領域と同じ領域の画像データを、同様に入力し転写シミュレーションを実施する(S2)。予め記憶手段に記憶させていたレジストレーション情報(M1)を利用して、包含距離算出手段によりシミュレーション結果のレイヤーAの欠陥部分とレイヤーBの同一座標箇所を重ね合わせる(S3)。レジストレーション情報は、レイヤーA、レイヤーBのマスク作成時に生じたズレについての情報であって、これを基に、座標の補正を行う。この結果を重ね合わせる。レジストレーション情報は入力手段で入力するようにしても良い。引き続き包含距離算出手段により、重ね合わせたデータからレイヤー間の包含距離を算出する(S4)。次に包含判定手段により、予め記憶手段に記憶させていた重ね合わせスペックライブラリ(M2)からスペックを取り出し、算出した包含距離がスペックを満たすか判定する(S5)。満たしていない場合、出力手段によりロットストップ指示を出力し、満たしている場合、ロット進行指示を出力する。
2・・・・・シミュレーション手段
3・・・・・包含距離算出手段
4・・・・・包含判定手段
5・・・・・出力手段
6・・・・・記憶手段
10・・・・マスクパターンの検査装置
Claims (5)
- 対象基板上にパターン露光し半導体装置を製造するための露光装置に用いるマスクパターンの検査装置において、マスクパターンの画像データを入力する入力手段と、入力手段により得られたマスクパターンについて転写シミュレーションを実施し対象基板上での画像データを得るシミュレーション手段と、入力手段およびシミュレーション手段から、欠陥のあるマスクパターンの対象基板上の画像データ(1)と、パターンが包含関係にある他のマスクパターンの対象基板上での画像データ(2)を得、両画像データ(1)(2)を同一座標について重ね合わせ、欠陥の発生したパターンについて両マスクパターン間の対象基板上での包含距離を求める包含距離算出手段と、パターン間の包含距離が規定値を満足するか否かを判定する包含判定手段と、判定した結果を出力する出力手段とを有することを特徴とするマスクパターンの検査装置。
- マスクパターンの画像データが、マスクに露光して得られた画像のデータであることを特徴とする請求項1に記載のマスクパターンの検査装置。
- マスクパターンの画像データが、マスクを電子顕微鏡撮影して得られた画像のデータであることを特徴とする請求項1に記載のマスクパターンの検査装置。
- パターンが包含関係にある他のマスクパターンの対象基板上での画像データ(2)が、予め用意されていることを特徴とする請求項1に記載のマスクパターンの検査装置。
- 対象基板上にパターン露光し半導体装置を製造するための露光装置に用いるマスクパターンの検査方法において、欠陥のあるマスクパターンの画像データを入手する工程と、得られたマスクパターンについて転写シミュレーションを実施し対象基板上での画像データ(1)を得る工程と、データの入手工程および対象基板上での画像データを得る工程から、前記マスクパターンとパターンが包含関係にある他のマスクパターンの対象基板上での画像データ(2)を得る工程と、両画像データ(1)(2)を同一座標について重ね合わせ、欠陥の発生したパターンについて両マスクパターン間の対象基板上での包含距離を求める工程と、パターン間の包含距離が規定値を満足するか否かを判定する工程とを有することを特徴とするマスクパターンの検査方法。
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- 2005-10-27 JP JP2005312516A patent/JP4774917B2/ja not_active Expired - Fee Related
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