JP2007121293A - オブジェクトを検査する方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】方法は、検査対象のオブジェクトの輪郭(56)を判別すること(74)、および判別されたオブジェクトの輪郭に基づいて電子マスクを生成すること(86)を含んでいる。電子マスクは、光源および画像センサの一方から見た判別されたオブジェクトの輪郭と概ね一致するように定義された輪郭(64、70)を有する電子開口部(62、68)を備えている。
【選択図】図1
Description
12 オブジェクト
14 エーロフォイル
16 プラットフォーム
22 光源
24 画像センサ
26 コンピュータ
28 モニター
30 デバイス
32 コンピュータ可読媒体
50 フリンジマスク
52 イメージマスク
54 部分
56 輪郭(プロファイル)
58 部分
60 輪郭(プロファイル)
62 開口部
64 輪郭(プロファイル)
68 開口部
70 輪郭(プロファイル)
72 方法
74 判別
76 入力
78 入力
80 判別された
82 生成
84 入力
86 生成された
88 入力
90 判別された
92 測定された
94 生成された
96 方法
98 判別
100 入力
102 入力
104 判別された
106 生成された
108 方法
110 生成
112 照射
114 受け取り
Claims (10)
- オブジェクト(12)に光を投影する光源(22)、および前記オブジェクトから反射した光を受ける画像センサ(24)を含む光測定システム(10)と共に使用するマスク(50、52)を生成するための方法(72)であって、
前記オブジェクトの検査対象となる輪郭を判別するステップ(74)と、
前記光源および前記画像センサの一方から見た前記判別されたオブジェクトの輪郭とほぼ一致するように定義された輪郭を有する電子開口部を備える電子マスクを、前記判別されたオブジェクトの輪郭に基づいて生成するステップ(86)と
を備える方法。 - 前記オブジェクト(12)の検査対象となる輪郭を判別するステップ(74)は前記オブジェクトの形状に基づいて前記オブジェクトの輪郭を判別するステップを備え、
電子マスク(50、52)を生成するステップ(86)は前記判別されたオブジェクトの輪郭およびコンピュータ(26)に入力された光測定システムモデルの少なくとも1つに基づいて前記マスクの前記電子開口部の輪郭(56)を生成するステップを備えることを特徴とする請求項1記載の方法(72)。 - 前記オブジェクト(12)の検査対象となる輪郭(60)を判別するステップ(74)は前記オブジェクトの画像を作成するステップと、検査対象の前記オブジェクトの部分の外部境界を前記画像上で判別するステップ(80)とを備えることを特徴とする請求項1記載の方法(72)。
- オブジェクト(12)を検査するための構造光測定システム(10)であって、
前記オブジェクトの表面に構造光を投影するように構成された構造光源(22)と、
前記オブジェクトの表面から反射された構造光を受けるように構成された画像センサ(24)と、
前記構造光源および前記画像センサの一方と共に動作可能な電子マスク(50、52)であって、前記光源および前記画像センサの一方から見た検査対象の前記オブジェクトの輪郭(60)とほぼ一致するように定義された輪郭(56)を有する電子開口部(62)を含む電子マスクと
を備える構造光測定システム。 - 前記電子マスク(50、52)は前記オブジェクトの輪郭(60)とほぼ一致する照射パターンで光が分散されるように前記光源から放射された光を前記電子マスク開口部(62、68)経由で導くために前記光源(22)で動作可能であることを特徴とする請求項4記載のシステム(10)。
- 前記電子マスク(50、52)は前記オブジェクトの輪郭(60)とほぼ一致するパターンで光がそこから分散されるように前記オブジェクトから反射した光を前記電子マスク開口部(62、68)経由で導くために前記画像センサ(24)で動作可能であることを特徴とする請求項4記載のシステム(10)。
- 前記構造光源(22)はレーザー、白色灯、LED、LCDデバイス、LCOSデバイス、およびDMDのうちの少なくとも1つを備えることを特徴とする請求項4記載のシステム(10)。
- 前記電子マスク(50、52)は前記光源(22)から放射された光が前記オブジェクトの輪郭(60)の外側の前記オブジェクト(12)の部分(54、58)および前記オブジェクトに隣接する構造の少なくとも1つを照射しないように構成されることを特徴とする請求項4記載のシステム(10)。
- 前記電子マスク(50、52)は周辺光、前記オブジェクトの輪郭(60)の外側の前記オブジェクト(12)の表面から反射した光、および前記オブジェクトに隣接する構造から反射した光のうちの少なくとも1つが前記画像センサ(24)に受け取られることをほぼ防ぐように構成されることを特徴とする請求項4記載のシステム(10)。
- 前記電子マスクは、前記光源(22)で動作可能な、前記光源から見た前記オブジェクト(12)の第1の輪郭(56)とほぼ一致するように定義された輪郭(64)を有する電子フリンジ開口部(62)を有する電子フリンジマスク(50)であり、前記システムはさらに、前記画像センサ(24)で動作可能な、前記画像センサから見た前記オブジェクトの第2の輪郭(60)とほぼ一致するように定義された輪郭(70)を有する電子画像開口部(68)を有する電子イメージマスクを有する電子イメージマスク(52)であり、前記オブジェクトの前記第2の輪郭は前記オブジェクトの前記第1の輪郭よりも小さく、少なくとも部分的に前記オブジェクトの前記第1の輪郭内に含まれる電子イメージマスクを備えることを特徴とする請求項4記載のシステム(10)。
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