JP2007118164A

JP2007118164A - Ｘｙテーブル

Info

Publication number: JP2007118164A
Application number: JP2005317342A
Authority: JP
Inventors: Ubel Peter; ユーベルピーター
Original assignee: THK Co Ltd
Current assignee: THK Co Ltd
Priority date: 2005-10-31
Filing date: 2005-10-31
Publication date: 2007-05-17

Abstract

【課題】簡単でコンパクトな構造により、高い位置精度を維持しつつ、大きな駆動力を供給可能で、応答速度が速く、制御が容易で、静止部から可動部に対する制御用信号線の配線などの疲労の少ない、信頼性の高いＸＹテーブルを提供する。
【解決手段】テーブル２上の複数箇所において、テーブルを支える複数のテーブルスライダー５、６と、これらのテーブルスライダー５、６をそれぞれ摺動可能に保持する複数のテーブルホルダー３、４と、これらのテーブルホルダー３、４の少なくとも一端に装着されるスライダー７、８、９、１０と、これらのスライダーを摺動可能に保持するスライダーレール１１、１２と、少なくとも一つのスライダーに対して、スライダーレールの摺動方向に駆動力を付与可能な駆動部と上記のうち可動な部分の一部を結合する制止部３１、３４と、駆動部の動作を制御する制御部と、以上の構成要素を保持するベース９００と、を備えたＸＹテーブル。
【選択図】図１

Description

本発明は、物を載架してＸＹ平面上を移動するＸＹテーブルに係り、特に、一つの駆動源により制御可能なＸＹテーブルに係わる。

近年の産業界において、ＸＹテーブルは、主に被加工物を正確な加工位置に送り込む為に使用される。例えば、生産ラインの自動化を図る上で欠くことのできない一要素である。

特許文献１に記載の従来のＸＹテーブルによれば、ＸとＹ方向の駆動用にそれぞれ独立した駆動装置が必要であるために、駆動部を垂直方向に上下２層の構造にして、別の層にＸ方向の駆動系とＹ方向の駆動系を設置する必要があった。

このためにコストとサイズが増加し、ＸＹテーブルを各種の用途に適用する際には制約があった。

そこで、特許文献２によれば、このような問題を解決すべく、リニアモーターの配置を工夫して駆動部を一部共有し、駆動部を１層分設けるだけでＸ−Ｙの両方向へのテーブル移動を可能とする。これによりコストとサイズに自由度が増えた。

特開平０２―１１６４４２号公報国際公開公報ＰＣＴ／ＵＳ００／０３７０１

解決しようとする問題点は以下の通りである。特許文献１に記載の発明では、駆動源としてリニアモーターのみが使用可能であり、他の駆動源で同様の構成を実現することが困難である。このため、ステージに重いものを搭載する時のように、大きな駆動力の必要な場面では使用上の制約が残るという問題点がある。

また、その構造上、リニアモーターの一部をテーブルの可動部に搭載する必要があるために、可動部の重量が増大する。このため、上記駆動力の小ささとも相俟って、応答時間の遅れが生じるおそれがあるという問題点がある。

また、さらに、モーターの被駆動部を二つ使用しているので、２系統の制御が必要となり、全体構造が複雑化するとともに全体の体積と質量が増加するという問題点がある。

また、被駆動部にリニアモーターの一部である電気系統を搭載しなくてはならないため、固定部と移動部の間を接続する電気配線が動きにさらされて疲労しやすくなるという問題点がある。

また、Y方向への駆動力や速度を目的に応じて変えられないので、用途に応じたセッテイングができないという問題点がある。

本発明はこの様な問題点に鑑みてなされたものであり、この目的とするところは、ボールスクリューなど大きな駆動力を伝達可能な駆動装置によってテーブルを駆動し、同時にストッパーを取り入れることで、簡単でコンパクトな構造により、大きな駆動力を供給可能で、応答速度が速く、制御が容易で、電気配線などの疲労の無い、信頼性の高いＸＹテーブルを提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明のＸＹテーブルは、物を載架して所定平面上のＸＹ方向へ移動させるＸＹテーブルであり、物を載架するテーブルと、上記テーブルの複数箇所において、テーブルを支える複数のテーブルスライダーと、上記複数のテーブルスライダーをそれぞれ摺動可能に保持する複数のテーブルホルダーと、上記複数のテーブルホルダーのそれぞれについて、それらの少なくとも一端に装着されるスライダーと、上記スライダーを摺動可能に保持するスライダーレールと、上記複数のスライダーのうち少なくとも一つのスライダーに対して、スライダーレールの摺動方向に駆動力を付与可能な駆動部と、前記テーブルホルダーとこれに組み合わされるテーブルスライダーと、前記スライダーとこれに組み合わされるスライダーレールまたは駆動部の一部と、の組み合わせ状態の位置関係の固定または固定の解除可能な制止部と、上記駆動部の動作を制御する制御部と、上記駆動部と、上記スライダーレールと、上記制御部と、を保持するベースと、を備える。

また、上記制御部は、さらに上記制止部をその外部から動作制御するものである。

また、上記制止部は、上記テーブルの上記所定平面上の位置を検知して、その検知結果をもとに、上記Ｘ方向またはＹ方向に対する位置関係を所定位置に固定するものである。

上記制止部は、上記テーブルの上記所定平面上のＸ方向またはＹ方向の位置に応じて、上記テーブルを固定あるいは解除するものである。

また、さらに、上記ＸＹテーブルでは、上記テーブルを支える２つのテーブルスライダーは、テーブルの下面でテーブルを支え、上記テーブルホルダーは、上記テーブルスライダーに一対一で対応して、テーブルスライダーを摺動可能に保持する２本のテーブルホルダーであり、上記スライダーは、上記テーブルホルダーに一対一で対応して、少なくともその一端に装着される少なくとも２つのスライダーであり、上記駆動部は、上記スライダーのうち少なくとも一つのスライダーに結合され、前記制止部は、前記テーブルホルダーとこれに組み合わされるテーブルスライダーと、前記スライダーとこれに組み合わされるスライダーレールと、の組み合わせ位置関係を結合または結合解除するものである。

また、上記テーブルホルダーのうち少なくとも一つとこれに対応するスライダーの間の角度を調節するアングルアジャスターをさらに備えたものである。

また、上記駆動部は、電力により回転する回転モーターと、上記回転モーターの回転により回転する螺旋状のボールスクリューと、上記ボールスクリューに螺合して、上記ボールスクリューの回転によりボールスクリューの軸心方向に移動可能なナットからなり、上記ナットは、上記スライダーのうち少なくとも一つに対して、その移動を伝達可能に結合されているものである。

また、上記駆動部は、電力により回転する回転モーターと、輪状で無限軌道をたどれるベルトと、上記ベルトを上記ベース上の所定位置に保持するプーリーと、上記回転モーターの回転を上記ベルトに伝えるドライブプーリーと、上記ベルトに固定されるクランプと、からなり、上記クランプは、上記スライダーのうち少なくとも一つに対して、その移動を伝達可能に結合されたものである。

また、上記テーブルホルダーは２本であり、上記テーブルホルダーのうち一方の長手方向が、この一方のテーブルホルダーに対応するスライダーレールの長手方向と交差する角度が９０度であり、上記テーブルホルダーのうち他方の長手方向が、この一方のテーブルホルダーに対応するスライダーレールの長手方向と交差する角度が９０度でないものである。

また、上記テーブルホルダーは２本であり、上記テーブルホルダーのうち一方の第一の長手方向と、上記テーブルホルダーのうち他方の第二の長手方向と、これら２本のテーブルホルダーに組み合わせられるスライダーレールの第三の長手方向と、について、第一の長手方向と第三の長手方向の形成する内角と、第二の長手方向と第三の長手方向の形成する内角と、が同一であるものである。

本発明のＸＹテーブルは、１つのモーターのみを使用して、Ｘ方向とＹ方向にテーブルを移動可能である。従来ＸＹ方向それぞれに対して最少でも２つ必要だったモーターを１つとできるために、ＸＹテーブルの全体の大きさと高さを抑えることが可能である。大きさと高さを抑えることで、適用の範囲が広がり、狭い場所やスペースへの実装が容易となる。そして同時に、製造コストと使用電力が抑えられる。

この際、ＸＹテーブルの全体の大きさや高さを抑えても、従来のＸＹテーブルと同様の高い位置精度を維持あるいは向上できる。高さが低くなることで、上下方向での精度誤差が減少することと、高い程そして重いほど増加する傾向にある可動部分の慣性力を抑制できるため、移動精度が向上するからである。また、高さが低くなることで、ＸＹテーブル全体の剛性も向上できる。

また、従来可動部分にその一部が搭載されていたモーターなどの駆動系に代わり、可動部分には簡単なストッパーが搭載されるか、あるいは仕様によっては制御する余分な装置が一切可動部には搭載されないので、可動部分の重さと高さを更に減少できる。可動部分の重さと高さを抑えることは、更なる可動部分の慣性力の抑制を可能とする。この際、簡単なストッパーは、可動部分以外の固定部から制御でき、ストッパーの駆動源としてわずか２本程度の電線によるソレノイド駆動や、１本の可撓性に優れた強靭なチューブを経由して可動部分にある簡単なピストンに油圧や空気圧を送ったり、ワイヤー経由で機械的な駆動力を適用することができる。このため、モーターの配線が可動部分と固定部分の間に配置され常に動きにさらされることによる断線などの心配がない。モーターを動かしたり止めたりせずに、ストッパーの制御だけである程度複雑な動作に対応できるので、制御が容易になる。

可動部分の慣性力を抑制できるために、テーブル移動時の加速度を向上でき、あるいは、駆動力が小さくてもテーブルの加速度を十分早く維持できる。

さらに本発明では、テーブルホルダーのＹ方向に対する角度を調節することで、ＸとＹ方向へのテーブル送り量とその駆動力をＸ方向とＹ方向の間の比率をもって調節可能である。もちろん、モーターの回転でもテーブルの送り量とその駆動力の調節が可能であるので、これらを組み合わせて多種のテーブルの送り量とその駆動力の調節が可能である。

さらに本発明では、ボールスクリューやベルトドライブを駆動源として使用できるので、強大な駆動力をテーブルにかけることができる。これにより、テーブルの加速度も向上する。これと先の慣性重量の抑制の相乗効果で、従来のＸＹテーブルでは不可能だった産業上の利用の方法にまで使用可能となる。

＜基本構成の解説＞
図１を参照して本実施例を説明する。図中、参照番号１は、本発明に係わるＸＹテーブルの全体を示す。２は、搬送物を搭載してＸ−Ｙ平面上に移動させるテーブルである。３は、テーブル２を間接的に保持すると共に、Ｙ方向に移動可能なテーブルホルダーＡである。４は、テーブル２を間接的に保持すると共にＹ方向に移動可能なテーブルホルダーＢである。

５は、その一部でテーブル２に固着されこれを保持すると共に、他の一部にてテーブルホルダーＡ３上をスライド可能なテーブルスライダーＡである。６は、その一部でテーブル２に固着されこれを保持すると共に、他の一部にてテーブルホルダーＢ４上をスライド可能なテーブルスライダーＢである。

７は、テーブルホルダーＡ３の所定位置に固着されてテーブルホルダーＡ３をＹ軸方向にガイドするスライダーＡＤである。８はテーブルホルダーＡ３の所定位置に固着されてテーブルホルダーＡ３をＸ軸方向にガイドするスライダーＡＳである。９は、テーブルホルダーＢ４の所定位置に固着されてテーブルホルダーＢ４をＸ軸方向にガイドするスライダＢＤ９である。１０はテーブルホルダーＢ４の所定位置に固着されてテーブルホルダーＢ４をＸ軸方向にガイドするスライダーＡＳである。

１１は、スライダーＡＤ７とスライダーＢＤ１０とを介して、テーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４とをＹ軸方向にガイドするスライダーレールＤである。１２は、スライダーＡＳ８とスライダーＢＳ１０とを介して、テーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４とをＸ軸方向にガイドするスライダーレールＳである。

図１中には図示しない参照番号２０は、テーブルホルダーＡ３に対して駆動力を与えるための駆動部を示し、この駆動部は、モーター２１、ボールスクリュー２２、ナット２３、モーター制御部２４などからなる。モーター２１は、所定のピッチでらせん状にスクリュー突起部が形成された軸状のボールスクリュー２２を回転させる。ボールスクリュー２２は他端でも支持され、回転による軸心の振れを少なくするように構成される。ナット２３は、ボールスクリュー２２に螺合され、ボールスクリュー２２が回転するとその軸方向に移動するようになっている。ここで、ボールスクリュー２２の軸方向は、上記Ｙ方向と一致するように配置されている。ナット２３はスライダーＡＤ７またはテーブルホルダーＡ３のいずれかに固着されている。従って、ボールスクリュー２２が回転すると、ナット２３とこれに固着されたスライダーＡＤ７及びテーブルホルダーＡ３は、Ｙ軸方向に移動する。なお、別途設けたモーター制御部２４（図示しない）によってモーター２１の回転が制御される。

図１中には図示しない参照番号３０は、制止部の一部となるＸ−Ｙ動作部を示す。このＸ−Ｙ動作部は、ストッパーＢ３１、ストッパーＢＤ３２、及びＸ−Ｙ動作制御部３５からなっている。ストッパーＢ３１はテーブルスライダーＢ６またはテーブル２のテーブルホルダーＢ４近傍に設けられている。ストッパーＢ３１は、テーブルスライダーＢ６のテーブルホルダーＢ４に対するスライド動作に対して、摩擦抵抗をかけることで、テーブル２とテーブルスライダーＢ６とテーブルホルダーＢ４とを結合あるいは半ば結合する。

一方、ストッパーＢＤ３２は、スライダーＢＤ９またはテーブルホルダーＢ４の近傍に設けられている。ストッパーＢＤ３２がスライダーＢＤ９のスライダーレールＤ１１に対するスライド動作に対して、摩擦抵抗をかけることで、スライダーＢＤ９とスライダーレールＤ１１とを一体化する。

ストッパーＢ３１あるいはストッパーＢＤ３２のいずれかが摩擦抵抗を発生することによって、テーブル２とテーブルスライダーＢ６とテーブルホルダーＢ４との一体化あるいはスライダーＢＤ９とスライダーレールＤ１１との一体化が実現し、上記モーター２１の駆動中は、テーブル２がＹ方向あるいはＸ及びＹ方向に移動するようになる。これらＹ方向の移動あるいはＸ及びＹ方向の移動の組み合わせによって、任意のＸ−Ｙ位置へのテーブル２の移動が可能となる。３５は、Ｘ−Ｙ動作制御部であり、ストッパーＢ３１あるいはストッパーＢＤ３２に摩擦力を発生させることで、Ｘ方向の移動あるいはＸ及びＹ方向の移動を制御する。ここで摩擦力は一定ではなく調節可能である。このため、ストッパーに適宜に摩擦力を生じさせることで様々なＸ−Ｙ方向への動きを可能とする。

ここで、ストッパーの構造について説明する。図２および図３は、ストッパーＢ３１、ストッパーＢＤ３２、ストッパーＢＳ３３、及びストッパーＡ３４に共通して使用可能なストッパー構造の一例である。以下、ストッパーＢ３１を例に説明する。

図２と３とは、ストッパーＢ３１が、テーブルホルダーＢ４に摺動可能に装着されている状態を示す断面図である。断面は、テーブルホルダーＢ４を縦割りにする平面の一断面である。

図２において、３１１はピストンハウジングを、３１２はピストンを、３１５はボールベアリングを、３１６はＸ−Ｙ動作制御部３５に繋がるチューブを、それぞれ示す。Ｘ−Ｙ動作制御部３５は空気圧や油圧を供給することで、ピストンハウジング３１１内に圧力を供給し、ピストン３１２はその圧を受けて両側からテーブルホルダーＢ４を挟み込むように圧迫する。ピストン３１２の圧迫によって、ストッパーＢ３１とテーブルホルダーＢ４とは結合する。一方、Ｘ−Ｙ動作制御部３５は空気圧や油圧を負圧側に制御すると、ピストンハウジング３１１内も負圧となり、ピストン３１２はテーブルホルダーＢ４に対して後退して、ストッパーＢ３１とテーブルホルダーＢ４との結合状態は解除されてお互いに自由となる。ボールベアリング３１５は、ストッパーＢ３１とテーブルホルダーＢ４の間に介在して、これらの間の摺動抵抗を減少させ、モーター２１の駆動力の損失を防ぐようにするものである。摺動抵抗を減少するものであれば、ボールベアリングに限られない。なお、油圧や空気圧を使用する場合、ストッパー構造は図２の形態に限られず、適宜に結合状態を達成できればよい。

次に、図３においては、３２１は電磁ソレノイドを、３２２はカムを、３２３はバネを、３２４はピボットを、３２５はボールベアリングを、３２６は電磁ソレノイドへの電力供給用のケーブルを、それぞれ示す。

Ｘ−Ｙ動作制御部３５は電力を供給することで、電磁ソレノイドのロッドを突出するように駆動し、カム３２２はソレノイドのロッドに押圧され、両側からテーブルホルダーＢ４を挟み込むように圧迫する。これら複数のカム３２２のテーブルホルダーＢ４に対する当接面には摩擦係数の高い材料が用いられている。カム３２２の圧迫によって、ストッパーＢ３１とテーブルホルダーＢ４とは結合する。一方、Ｘ−Ｙ動作制御部３５が電磁ソレノイドのロッドを後退するように制御すると、カム３２２はバネ３２３の延長方向への付勢力によって、テーブルホルダーＢ４に対して後退する。この時、ストッパーＢ３１とテーブルホルダーＢ４との結合状態は解除されてお互いに自由となる。ボールベアリング３２５は、図２と同様に、ストッパーＢ３１とテーブルホルダーＢ４の間に介在して、これらの間の摺動抵抗を減少させ、モーター２１の駆動力の損失を防ぐようにするものである。摺動抵抗を減少するものであれば、ボールベアリングに限られない。なお、電力を使用する場合、ストッパー構造は図３の形態に限られず、適宜に結合状態を達成できればよい。上記ストッパーには、その他、回転電磁石、ボイスコイル、Ｅモーター、など、押圧力が適用可能で、外部から制御可能な形態であればいかなるものも使用可能である。

図１に戻り、さらに本実施例のＸＹテーブルについて説明する。図示しない４０は、スイッチ装置である。スイッチ装置にはテーブル２の位置を検出するセンサー４１と、テーブル２の位置を示すマーカー４３と、連動制御装置４２、とが含まれる。連動制御装置４２は、センサー４１によるテーブル２の位置情報をもとに、上記モーター制御部２４とＸ−Ｙ動作制御部３５との連繋動作を制御する。

ここで、以下、テーブルの移動時に少なくとも何らかの移動をする部分を移動部と呼び、一切の移動を生じない静止部と呼ぶ。静止部は通常、ベースに取り付けられる。ベースは、各種装置に取り付け時の台座となる。移動部には、テーブル２、テーブルホルダーＡ３、テーブルホルダーＢ４、テーブルスライダーＡ５、テーブルスライダーＢ６、スライダーＡＤ７、スライダーＡＳ８、スライダーＢＤ９、スライダーＢＳ１０、ナット２３、ストッパーＢ３１、ストッパーＢＤ３２、ストッパーＢＳ３３、ストッパーＡ３４、マーカー４３、アングルアジャスターＡＤ５１、アングルアジャスターＡ５２、アングルアジャスターＡＳ５３、アングルアジャスターＢＤ５４、アングルアジャスターＢ５５、アングルアジャスターＢＳ５６等を含み、静止部には、スライダーレールＤ１１、スライダーレールＳ１２、駆動部２０、モーター２１、ボールスクリュー２２、モーター制御部２４、Ｘ−Ｙ動作部３０、Ｘ−Ｙ動作制御部３５、センサー４１、連動制御装置４２等を含む。

＜基本構成における純Ｘ方向移動の態様＞
図１中、θはテーブルホルダーＡ３とスライダーＡＤ７の移動方向であるＹ方向との間の角度を示す。スライダーレールＤ１１の伸長方向とスライダーレールＳ１２の伸長方向とは平行であるので、テーブルホルダーＡ３とスライダーＡＳ８の移動方向であるＹ方向との角度もθとなる。ΦはテーブルホルダーＢ４とスライダーＢＤ９の移動方向であるＹ方向との角度である。上記と同様に、テーブルホルダーＢ４とスライダーＢＳ１０の移動方向であるＹ方向との角度もΦとなる。ここでθとΦとは必ずしも同じでなくてもよい。

特に、図４のように、Φを９０度とした時には、Ｘ方向の成分のみのテーブル２の移動が実現できる。この場合、まず、ストッパーＢＤ３２、ストッパーＢＳ３３、あるいはストッパーＢＤ３２とストッパーＢＳ３３の双方を駆動して押圧力を加える。こうすることで、スライダーＢＤ９とスライダーＢＳ１０を、それぞれスライダーレールＤ１１とスライダーレールＤＳ１２に結合する。この状態で、モーター２１を回転させるとナット２３が移動し、スライダーＡＤ７はＹ方向に移動する。Φが９０度に固定されていることで、テーブルホルダーＢ４はテーブルスライダーＢ６をＸ方向のみに移動可能に制限している。従って、テーブルスライダーＢ６に固着されたテーブル２もＸ方向にのみ移動可能となる。

＜位置決めの仕組みの態様＞
次に上記スイッチ装置に関して、センサー４１は、例えばテーブル２の下部に設けたマーカー４３の位置を検知して、そのＸ−Ｙ上の位置を連動制御装置４２に送る。連動制御装置４２は、テーブル２の位置に応じて、モーター制御部２４やＸ−Ｙ操作制御部３５に動作指示を与える。モーター２１の回転やストッパーＢ３１、ストッパーＢＤ３２、及びストッパーＢＳ３３の制御により、テーブル２を任意のＸ−Ｙ位置に導くことができるように構成される。

マーカー４３の位置は、センサー４１との位置関係で決まる。センサー４１は大きな平面センサーであってもよいし、ラインセンサーでも良いし、その他の光学的あるいは電磁的な検出素子などが適用可能である。Ｘ−Ｙ平面状のあらゆる位置における位置制御を精度よく行う場合には、平面センサーが向いている。一方向の組み合わせを制御する場合はラインセンサーをその方向に合わせて設置すればよい。複数の方向に複数のラインセンサーを設置することで、複数方向における制御が可能である。いくつかの地点だけを経由する場合には、一点または数点を検出可能な受光素子を組み合わせればよい。

この際、マーカー４３としては、発光体であるＬＥＤなどが適用可能である。また、その周囲とは、光を含む電磁波が反射する波長や強度が異なる部材をマーカー４３として使用して、テーブル裏面に電磁波を照射し、その反射波長や強度をセンサー４１で検知することで、テーブル裏のマーカー４３の位置を検出可能としてもよい。

なお、マーカー４３とセンサー４１の位置や位置情報の伝達手段は、図１に示した配置に限らない。マーカー４３の存在を何らの形で認識してセンサー４１で捕らえられるものであればよい。センサー４１で検知された位置は連動制御装置４２に送られる。連動制御装置４２は、別途入力される条件に従い、ＸＹテーブルの動作のシークエンスを制御する。

＜角度変更可能な態様＞
図１中、５１はアングルアジャスターＡＤを、５２はアングルアジャスターＡを、５３はアングルアジャスターＡＳを、５４はアングルアジャスターＢＤを、５５はアングルアジャスターＢを、５６はアングルアジャスターＢＳを、それぞれ示す。アングルアジャスターＡＤ５１はスライダーＡＤ７とテーブルホルダーＡ３との間の角度θを調節可能にするものである。例えば，アングルアジャスターＡＤ５１はオスネジであり、スライダーＡＤ７上のメスネジに螺合する構造とし、テーブルホルダーＡ３には、上記オスネジの外径以上の径を有する穴を設けて、上記オスネジによって、テーブルホルダーＡ３をスライダーＡＤ７に押圧して固着することで、角度θを得ることができる。アングルアジャスターＢＤ５４も上記アングルアジャスターＡＤ５１と同様に、スライダーＢＤ９とテーブルホルダーＢ４との間の角度Φを設定可能なものである。

アングルアジャスターＡＳ５３とアングルアジャスターＢＳ５６は、テーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４の長手方向が、それぞれスライダーレールＤ１１やスライダーレールＳ１２の長手方向に対してなす角度θとΦとを変更可能である。角度θとΦの変更に伴って、テーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４の長さも調節する必要があるため、テーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４はその長さが調節可能となっている。図１は、テーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４の上端において長さが調節可能となっているが、他にテーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４の長さを調節できる手段も適用可能である。例えば、外筒と内筒とが入れ子構造になっており、その長さを調節可能な方法も適用可能である。

上述の通り、テーブルホルダーＡ３及びテーブルホルダーＢ４とテーブル２とは、テーブルスライダーＡ５及びテーブルスライダーＢ６によって、スライド可能に接続される。ここで、テーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４の角度θとΦを変更時には、テーブルスライダーＡ５及びテーブルスライダーＢ６のテーブルに対する角度も変わるので、アングルアジャスターＡ５２とアングルアジャスターＢ５５によって角度を変更させる。アングルアジャスターＡ５２とアングルアジャスターＢ５５とは、それぞれ自由回転可能でもよいし、固着してもよいが、固着したほうがテーブルの移動精度は向上する。

＜ストッパーとモーターの連係動作＞
次に、テーブル２のＹ方向への動作について説明する。テーブル２をＹ方向に移動するには、モーター２１をモーター制御部２４により駆動する。例えばモーターが電気モーターである場合には、別途設けられた電源（図示せず）により電力を供給し、モーター２１の駆動源とする。この際、モーター制御部２４がモーター２１と電源との間の回線をＯＮとＯＦＦの間で制御することで回転が制御される。モーター２１が回転すると、モーターの回転軸の一端に取り付けられたボールスクリュー２２が回転する。ボールスクリュー２２に螺合しているナット２３は、スライダーＡＤ７に固着されているので回転することができず、ボールスクリュー２２の軸方向、つまりＹ軸方向、に移動する。モーター２１の回転方向を切り替えることでＹ軸方向における正反対の方向に移動させることもできる。こうして、スライダーＡＤ７は、スライダーレールＤ１１にガイドされながらＹ方向に移動する。

ここで、ストッパーＢ３１を駆動して、テーブルスライダーＢ６とテーブルホルダーＢ４とを結合すべくロックした場合には、テーブル２も間接的にテーブルホルダーＢ４に固定されるので、テーブルスライダーＡ５とテーブルホルダーＡ３との間の位置関係も固定される。結果的に、テーブルホルダーＡ３、テーブルスライダーＡ５、テーブル２、テーブルスライダーＢ６、及びテーブルホルダーＢ４は、一体化することになる。従って、スライダーＡＤ７、スライダーＡＳ８、スライダーＢＤ９、及びスライダーＢＳ１０は、ナット２３の移動に伴い、スライダーレールＤ１１とスライダーレールＳ１２とに沿ってＹ軸方向に移動し、テーブル２も共にＹ軸方向に移動する。なお、上記Ｙ方向に移動中は、ストッパーＢ３１とストッパーＡ３４とはロックを維持する。ストッパーＡ３４を駆動して、テーブルスライダーＡ５とテーブルホルダーＡ３とを一体化した場合も上記と同様である。さらに、ストッパーＢ３１とストッパーＡ３４の双方を駆動した場合も上記と同様である。

Ｘ方向への移動は、ストッパーＢ３１及びストッパーＡ３４のロックを解除して、ストッパーＢＤ３２及びストッパーＢＳ３３の少なくともいずれか一つをロックすることによって行う。

ストッパーＢＤ３２を駆動してロックすると、スライダーＢＤ９とスライダーレールＤ１１の間が固着される。また、ストッパーＢＳ３３を駆動してロックすると、スライダーＢＳ１０とスライダーレールＳ１２の間が固着される。ストッパーＢＤ３２とストッパーＢＳ３３のいずれをロックしても、スライダーレールＤ１１とテーブルホルダーＢ４とスライダーレールＳ１２とが一体化される。モーター２１が駆動されると、ナット２３は移動してテーブルホルダーＡ３がＹ方向に移動する。テーブルホルダーＡ３はＹ方向に対して所定の角度θを維持したまま移動するので、テーブルホルダーＢ４との間隔が変化するのに伴い、テーブルスライダーＡ５は上下方向であるＸ方向に移動する。こうしてＸ方向の移動が実現される。ここで、図１の場合は純粋なＸ方向の移動ではなく、Ｙ方向へも若干移動する。前述の例の通り、純粋なＸ方向の移動は、角度Φを９０度にすることで実現できる。

以上の通り、実施例１によれば、Ｘ−Ｙ座標上のあらゆる位置にテーブルの移動が可能であり、ボールスクリューなど強い力に耐えられる駆動部を使用することにより、強い駆動力及び速い駆動速度を得ることが可能である。また、従来のＸＹテーブルと同様に高い位置精度を維持できる。また、テーブルのＸ−Ｙ方向において長い駆動距離を維持することができる。

また、特にテーブルホルダーを駆動方向に垂直なＹ方向に設定することで、テーブルの移動方向をＹ方向への移動成分とＸ方向への移動成分に完全に分離して駆動を制御することが可能である。これにより従来のＸ―Ｙテーブルと同様の制御が行いやすいＸ―Ｙテーブルが実現可能である。

＜ボールスクリュー式の定形動作型の説明＞
実施例２は、実施例１における図４に示したストッパーの部分を外部からの制御無しに作動させてテーブルの定型的な動作を実現する例である。図５を参照して、静止した部分にストッパーを設け、定型的で動作を行わせる場合について説明する。

基本的な構成は実施例１における図４と同様であるので、図４に関して既に説明した部分の説明は省略する。また、図４において使用した参照番号は、図５において同等のものを示す。

本実施例によれば、ストッパーＢＤ３２と、ストッパーＢＳ３３と、ストッパーＡ３４とは必ずしも無くても良いが、ストッパーＢ３５は必要である。ただし、ストッパーＢ３６は、外部からケーブルやワイヤーやチューブを使って随時制御するものである必要は無い。例えば、図５と図６に示すように、テーブルスライダーＢ６１が所定位置に到達時に、テーブルスライダーＢ６１とテーブルホルダーＢ４との間を結合させたり解除したりできるような構成であれば良い。

図６について説明する。図６中、６１と６２は、テーブルスライダーＢ６１がテーブルホルダーＢ４上の２つの異なる位置にある状態を示したものである。実際には２つの異なる位置に同時に存在することはないので、ある位置からある位置に移動した時の前後を一枚の図に示したものである。３６はストッパーＢを示す。ストッパーＢ３６は、突出部３６１と、テーブルスライダーＢ６１内を貫通してその長手方向に移動可能な軸部３６２と、後に説明するブロックと当接する端部３６３と、全体を図上の右方向に付勢するバネ３６４と、バネを押さえるバネ押さえ３６５とからなる。３７はブロックであり、図５にも示すように、ＸＹテーブル１の静止部に設けられる。図６中、ｘはストッパーＢ３６が、移動する距離を表している。言い換えれば、ｘは、ストッパーＢ３６の端部３６３がブロック３７上のカム３７１と当接したり離れたりすることで移動する長さである。

次に動作を説明する。図５においてスライダーレールＳ１２寄りにあるテーブルスライダーＢ６１が、６１から６２の位置まで移動する様子を示したものが図６である。図６のストッパーＢ３６をその長手方向に切った一断面が図７に示される。ストッパーＢ３６は、図１及び４におけるストッパーＢ３６とはやや異なった構造であり、外部とケーブルやワイヤーやチューブによって結合される事から生じる制約がない。

これに代わり、ストッパーＢ３６は、バネ３６４により付勢されているので、その突出部３６１がテーブルホルダーＢ４に設けられた切欠部４１０と嵌合する。これによって、図５におけるナット２３、スライダーＡＤ７、テーブルホルダーＡ３、スライダーＡＳ８、テーブルスライダーＡ５、テーブル２、テーブルスライダーＢ６１、テーブルホルダーＢ４、スライダーＢＤ９、スライダーＢＳ１０は一体になる。従って、モーター２１がボールスクリュー２２を駆動すると、ナット２３に接続したスライダーＡＤ７はＹ軸方向に移動し、同時にテーブル２も同じ方向に同じ移動量だけ移動する。

機械的に結合した端部３６３が、静止側にあるブロック３７のカム部３７１と当接することで、ストッパーＢ３６の突出部３６１がテーブルホルダーＢ４に設けられた切欠部４１０との嵌合を解除される。

移動が継続して、ストッパーＢ３６と機械的に結合した端部３６３が、静止側にあるブロック３７のカム部３７１と当接したとき、ストッパーＢ３６の突出部３６１とテーブルホルダーＢ４の切欠部４１０との結合が解除される。解除後もモーター２１の駆動が続くと、テーブルホルダーＢ４はテーブルスライダーＢ６１を経由してブロック３７に押さえられた状態でＹ方向への移動を停止する。ナット２３は、図５上のＹ方向を右へ移動し続けるので、これに伴って、テーブルホルダーＡ３とスライダーＡＳ８とテーブルスライダーＡ５とが一体になってスライダーレールＤ１１とスライダーレールＳ１２にガイドされて移動する。この結果、テーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４との間が狭まって、ストッパーＡ３４とストッパーＢ３６とは、それぞれテーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４に沿って図上の下方に移動する。こうしてテーブル２は図上の下方に移動する。

次に、図６上で、テーブルスライダーＢ６１が６２の位置に到達すると、端部３６３はカム３７１から離れる。このため、バネ３６４はストッパーＢ３６の突出部３６１をテーブルホルダーＢ４の切欠部４２０と再度、嵌合させる。この結果、ナット２３、スライダーＡＤ７、テーブルホルダーＡ３、スライダーＡＳ８、テーブルスライダーＡ５、テーブル２、テーブルスライダーＢ６１、テーブルホルダーＢ４、スライダーＢＤ９、スライダーＢＳ１０は、再度一体になる。

この状態で、今度はモーター２１を逆回転させれば、ボールスクリュー２２も逆回転してナット２３を図５上、Ｙの左方向に移動する。この結果、ナット２３、スライダーＡＤ７、テーブルホルダーＡ３、スライダーＡＳ８、テーブルスライダーＡ５、テーブル２、テーブルスライダーＢ６１、テーブルホルダーＢ４、スライダーＢＤ９、スライダーＢＳ１０は一体にＹの左方向へ移動する。

以上のようにして、テーブル２をスライダーレールＳ１２側にてＹの右方向へ移動後、今度はＸの下方向に移動させ、さらにスライダーレールＤ１１側にてＹの左方向へ移動させるような動作が可能となる。なお、上記モーター２１の逆転への切り替えは、カム３７１の下端部にセンサーやスイッチを設けることで、端部３６３の到達したタイミングで自動的に切り替えるよう構成することが可能であるし、あるいは別途逆転切り替えするように構成しても良い。

本実施例の場合、ブロック３７とカム３７１の形状と位置と数量を適宜決定することで、任意のテーブル２の動作を実現できる。なお、ブロック３７が一つである例について説明したが、ブロックの数は一個に限らない。例えば、カムを有するブロックをテーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４の間に別途設けて、このカムにも当接するようにストッパーＢ３６の構成を決定することで、テーブル２をさらにＸの上方向に戻すように構成可能である。このようにして、Ｘ−Ｙ平面上でテーブル２に任意の動作をさせることが可能となる。なお、上記動作を逆方向にたどるようにテーブルを動作させることも可能である。この際の動作は上述の動作に準ずる。

実施例２によれば、移動部と静止部間にケーブルやワイヤーやチューブなどの制御系を一切設けることなく、テーブル２の任意の動作が可能である。これにより、移動部の重量を低減して応答速度が速く、構造が簡単で、故障が少なく、駆動力の大きなＸＹテーブルを提供可能となる。

実施例３は実施例２のストッパーＢ３１をケーブルやワイヤーやチューブなどの制御系によって外部から制御する例である。基本的な構成は実施例１における図４と同様であるので、図４に関して既に説明した部分の説明は省略する。また、図４において使用した参照番号は、図８において同等のものを示す。

本実施例の場合、スライダーＢＤ９をＹ方向に挟むようにして、ストッパースイッチＡ３８とストッパースイッチＢ３９とが設けられている。ストッパースイッチＡ３８とストッパースイッチＢ３９とは、それぞれスライダーＢＤ９のＹ方向への移動を制止するとともに、テーブルの移動方向をＹ方向からＸ方向に切り替えるタイミングを検知するスイッチの役割を果たす。

図８を参照して動作を説明する。ストッパーＢ３１は、ケーブルやワイヤーやチューブなどによってＸ−Ｙ操作制御部３５に接続されており、それぞれ電気的、機械的、圧力的な力をもって、テーブルスライダーＢ６とテーブルホルダーＢ４を結合している。この結合は、Ｘ−Ｙ操作制御部３５からの制御により解除可能である。そのために、例えば電気的に結合を実現するためにソレノイドをストッパーＢ３１として使用したり、機械的に結合を実現するためにピアノ線などでストッパーＢ３１を駆動したり、圧力的に結合を実現するためにチューブ経由で空気圧や油圧をピストンであるストッパーＢ３１に印加したりする。もちろん、ストッパーＢ３１はこれらに限られず、他の外的に制御が可能な手段でもよい。

このようにストッパーＢ３１がテーブルスライダーＢ６とテーブルホルダーＢ４とを結合した状態で、モーター２１が回転してボールスクリュー２２を回転させると、ナット２３はスライダーＡＤ７と一体化したテーブルホルダーＡ３、スライダーＡＳ８、テーブルスライダーＡ５、テーブル２、テーブルスライダーＢ６、テーブルホルダーＢ４、スライダーＢＤ９、及びスライダーＢＳ１０を移動する。全体が一体となってＹの右方向へ移動した場合、スライダーＢＤ９がストッパースイッチＢ３９と当接すると、ストッパースイッチＢ３９は、連動制御装置４２にストッパースイッチＢ３９との当接を知らせる。連動制御装置４２は、Ｘ−Ｙ操作制御部３５に対して、ストッパーＢ３１によるテーブルスライダーＢ６とテーブルホルダーＢ４との結合を解除するように指令する。

結合が解除されると、スライダーＢＤ９がストッパースイッチＢ３９によって制止されていること、及び、テーブルスライダーＢ６がテーブルホルダーＢ４上を自由に移動可能となる。さらにモーター２１はナット２３を同じＹの右方向に移動しているので、テーブルホルダーＡ３は、テーブルホルダーＢ４に接近するように進む。これにより、テーブルスライダーＡ５はＸの下方向に移動し、この結果テーブル２はテーブルスライダーＢ４と共にＸの下方向に移動する。

ストッパースイッチＢ３９は、テーブル２の下辺近傍の一部とも当接するようになっており、その当接を上記スライダーＢＤ９との当接とは別に検知するようになっている。これにより、テーブル２がストッパースイッチＢ３９と当接すると、ストッパースイッチＢ３９は、当接を連動制御装置４２に知らせる。ストッパースイッチＢ３９は、Ｘ−Ｙ操作制御部３５に対して、ストッパーＢ３１によるテーブルスライダーＢ６とテーブルホルダーＢ４との結合をするように指令する。また、これと同時に、連動制御装置４２は、モーター制御部２４に対してモーター２１の回転方向を逆転するように指示する。モーター２１が逆転すると、ボールスクリュー２２も逆転してナット２３はＹの左方向へ移動を開始する。テーブルスライダーＢ６とテーブルホルダーＢ４とが再度結合しているので、ナット２３、スライダーＡＤ７、テーブルホルダーＡ３、スライダーＡＳ８、テーブルスライダーＡ５、テーブル２、テーブルスライダーＢ６、テーブルホルダーＢ４、スライダーＢＤ９、及びスライダーＢＳ１０は一体となって、Ｙの左方向へ移動する。このようにして、テーブル２をＹの右方向、Ｘの下方向、そしてＹの左方向へと順次移動することが可能となる。さらに複雑なテーブルの動作は、ストッパースイッチＡ３８その他図示しないストッパーやスイッチを適宜設けることで可能となる。

実施例３によれば、定型的な動作のみをＸ―Ｙテーブルに確実に実行させることができる。この際、接触を検知して動作の切り替えを行うために、動作の確実性が高まる。また、比較的安価な接触型センサーを用い、その数も一方向に２つと少ないので全体的なコストを減少できる。また、ストッパー動作のための駆動源として、電気的な伝達、機械的な伝達、圧力的な伝達のいずれも使用可能であるため、使用環境に合わせた設定が可能である。たとえば、磁場存在下での使用には、機械的な伝達や圧力的な伝達を用いる。また、テーブルの動作量の大きい場合に、機械的な伝達では難が出る時は、ケーブルで接続可能な電気的な伝達を選択する。また、無線や遠隔による制御も可能である。

なお、実施例３では、ストッパースイッチＢ３９やストッパースイッチＡ３８等を使用した場合を述べたが、図５に示したセンサー４１とテーブル２の下面に設けたマーカー４３との位置関係をもって制御することも可能である。これらストッパースイッチ、センサー、及びマーカーは必要最小限の範囲で設ければよい。

実施例１から３までは、テーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４とが、それぞれの端部においてスライダーＡＤ７、スライダーＡＳ８、スライダーＢＤ９、及び、スライダーＢＳ１０に支えられ、２本のスライダーレールに挟まれる状態で移動可能となっている例を示した。本実施例では、テーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４とは、それぞれ片側においてのみスライダーレールに支えられる例である。実施例４の場合、その構成は図９−１１に示すような形態である。ここで、図１１は図９の一部の斜視図であり、図１０は図９の一部を変更した態様である。

図９を参照して、本実施例を説明する。なお、特に断らない限り、図１―８と同じ参照番号は、図９中でも同等の要素を示すので、その説明を省略する。参照番号７１はスライダーＡＤを、９１はスライダーＢＤを、１１１はスライダーレールＤを、２２１はボールスクリューを、それぞれ示す。スライダーＡＤ７１は、ボールスクリュー２２１と螺合するナット部をその内部に有しており、ボールスクリュー２２１の回転によってＹ方向に移動する。スライダーＢＤ９１は、ボールスクリュー２２１とは螺合していないので、ボールスクリュー２２１の回転とは無関係にスライダーレールＤ１１１上を摺動可能である。

なお、本図では、図１と異なり、ストッパーＡ３４とを示していないが、これらストッパーを別途に設けたり、あるいは異なる位置に設けることも可能である。

本実施例では、このスライダーレールに特徴があり、スライダーレール１１１の内部にボールスクリュー２２１を内蔵した構成となっている。スライダーレールは幅が広いために、テーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４とをそれぞれの片側においてのみ支える構成とするに足るだけの強度があるものとする。また、アングルアジャスターＡ５２とアングルアジャスターＢ５５は、上記と同様にテーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４とをそれぞれの片側においてのみ支える構成とするに足るだけの強度があるものとする。

次に、図１０を参照する。スライダーレールＤ１１１に対して、テーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４とが固定される角度をそれぞれθとΦと呼ぶとき、図１０はΦを９０度とした構成である。既に、上記実施例１にて説明したと同じ原理により、Φを９０度とした時には、テーブル４１の純粋なＸ方向への移動が可能になる。

いうまでも無く、これらアングルアジャスターを設けずに、任意の角度でスライダーＡＤ７１とスライダーＢＤ９１とを、それぞれ直接にテーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４とに固着することも可能である。

なお、ＸＹテーブルの操作に関して、モーターの制御、ストッパーの制御、センサーとマーカーやその代わりに設けるストッパーやストッパースイッチ、およびこれらの制御の連係動作については、実施例１−３にて説明したとおりであるので、説明を省略する。

実施例４によれば、スライダーレール１１１の内部にボールスクリュー２２１を内蔵し、モーター２１をスライダーの筺体に直接取り付けられるので、各部の位置決め精度が向上する。特に、スライダーレール１１１とボールスクリュー２２１の平行性は、テーブルの動作に大きな影響を与えるので、一体化されたスライダーレール１１１とボールスクリューの使用は本発明の実施上大きな利点がある。また、ＸＹテーブルの組み立ても容易となり結果的に製造コストを抑えられる。

さらに、実施例１−３で使用していたスライダーレールＳ１２、スライダーＡＳ８，スライダーＢＳ１０、アングルアジャスターＡＳ５３、及びアングルアジャスターＢＳ５６が不要になるので、実施例１−３の態様に比して、強度を維持しながら、ＸＹテーブルのサイズとコストを顕著に抑えることが可能である。

図１２を参照して実施例５を説明する。本実施例は、実施例４のボールスクリュー一体型スライダーレールを使用した構成に加えて、実施例１−３で使用していたスライダーレールＳ１２、スライダーＡＳ８，スライダーＢＳ１０、アングルアジャスターＡＳ５３、及びアングルアジャスターＢＳ５６をさらに追加したものである。

本実施例において、先の実施例で使用したものと同じ参照番号は同等の要素を示す。また基本動作は実施例１−３にて説明したのと同じである。従って、これら同等の部分についての説明を省略する。

なお、本図では、図１と異なり、ストッパーＢＳ３３とストッパーＡ３４とを示していないが、これらストッパーを別途に設けたり、あるいは異なる位置に設けることも可能である。

実施例５によれば、テーブルホルダーをその両端で支えてＹ方向への移動をガイドするとともに、Ｘ方向へのテーブル移動時の反力をスライダーレールＳ１２で受けられるようにしているので、位置決め精度が向上する。特にＸ−Ｙ平面に直交する方向についての制度の向上が顕著に向上する。また、モーターの力が大きい場合に、テーブルに加わる力が大きい時やテーブル駆動の速度が速い時に、確実にテーブルの移動を支持できる。

図１３を参照して実施例６を説明する。実施例１から３までは、テーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４とが、それぞれの端部においてスライダーＡに支えられ、２本のスライダーレールに挟まれる状態で移動可能となっている例を示した。本実施例では、２本のスライダーレールに代えて、それぞれボールスクリューを内蔵したスライダーレールを備え、テーブルホルダーＡ３の両端からＹ方向の駆動力を適用する構成となっている。

特に断らない限り、図１−１２と同じ参照番号は、図１３中でも同等の要素を示すので、その説明を省略する。参照番号７１はスライダーＡＤを、８１はスライダーＡＳを、９１はスライダーＢＤを、１０１はスライダーＢＳを、１１１はスライダーレールＤを、１２１はスライダーレールＳ、２２１はボールスクリューＤを、２２２はボールスクリューＳを、１１９はギヤボックスＤを、１２９はギヤボックスＳを、２１９はドライブシャフトを、それぞれ示す。

スライダーレールＤ１１１とボールスクリューＤ２２１とギヤボックスＤ１１９とは一体化されている。また、スライダーレールＳ１２１とボールスクリューＳ２２２とギヤボックスＳ１２９とは一体化されている。これらは一個のモーター２１にドライブシャフト２１９で接続されている。ギヤボックスＤ１１９とギヤボックスＳ１２９の内部には、回転方向を９０度変換可能なベベルギヤなどが内蔵されており、モーターの回転によって、ボールスクリューＤ２２１とボールスクリューＳ２２２が同時に回転するようになっている。スライダーＡＤ７１とスライダーＡＳ８１とは、それぞれボールスクリューＤ２２１とボールスクリューＳ２２２に螺合するナット部をそれらの内部に有している。従って、モーター２１が回転すると、スライダーＡＤ７１とスライダーＡＳ８１とは、それぞれスライダーレールＤ１１１とスライダーレールＳ１２１にガイドされながら、Ｙ軸の同一方向に駆動される。

スライダーＢＤ９１とスライダーＢＳ１０１とは、それぞれスライダーレールＤ１１１とスライダーレールＳ１２１にガイドされるが、ナットを有していないので、ボールスクリューの回転とは無関係にＹ方向に自由に摺動可能である。

次に動作を説明する。モーター２１が回転すると、ドライブシャフト２１９とギヤボックスとをそれぞれ経由して、ボールスクリューＤ２２１とボールスクリューＳ２２２が回転する。それぞれの回転方向はＲＤとＲＳで、同一方向の回転である。スライダーＡＤ７１とスライダーＡＳ８１とはそれぞれスライダーレールによってＹ方向のみに移動可能に装着されるので、その内部のナット部でＹ方向への駆動力を得て、同一の速度でＹ軸上同一の方向へ移動する。

このとき、ストッパー３４がテーブルスライダーＡ５とテーブルホルダーＡ３とを結合されているときには、テーブルスライダーＡ５、テーブルホルダーＡ３、テーブル２、テーブルホルダーＢ４、スライダーＢＤ９１、スライダーＢＳ１０１が一体となってＹ方向へ移動する。これにより、テーブル２の純粋なＹ方向移動が実現される。

ここで、ストッパー３４によるテーブルスライダーＡ５とテーブルホルダーＡ３との結合を解除して、代わりに、ストッパーＢＳ３３を駆動してスライダーＢＳ１０１とスライダーレールＳ１２１とを結合する。この場合には、まだモーター２１が回転しているために、スライダーＢＳ１０１、テーブルホルダーＢ４、及びスライダーＢＤ９１が、スライダーレールに対して固定されるので、テーブルスライダーＢ６のみが、ＸとＹ成分の混ざった方向へ移動する。

上記のようなテーブルの移動を、実施例１−５で説明したのと同様に制御することで、任意の位置へのテーブルの移動が可能となる。

実施例６によれば、ボールスクリューを内蔵したスライダーレールを２本備え、テーブルホルダーＡ３の両端からＹ方向の駆動力を適用するので、両端間のたわみの影響を受けずにテーブルを移動することができる。非常に重い物をテーブル上で移動する場合や非常に速い速度でテーブル送りするような場合に精度を高く維持することが可能である。また、ボールスクリューとスライダーレールとが一体化されているので、ＸＹテーブル組み立ての位置決め精度が向上し、
組み立ての手間も減る。また、特にアングルアジャスターによって角度θを変化させるときでも、ボールスクリューＤ２２１とボールスクリューＳ２２２によって、角度θが維持される。このため、アングルアジャスターＡＤ５１とアングルアジャスターＡＳ５３を所定角度θに固定しなくても、角度θが維持可能となる。

実施例７は、モーター２１からプーリーとドライブベルトによってスライダーに駆動力を付加する形態である。図１４を参照して、実施例７を説明する。

特に断らない限り、図１−１３と同じ参照番号は、図１４中でも同等の要素を示すので、その説明を省略する。図１４において、参照番号７３はスライダーＡＤを、８３はスライダーＡＳ、９３はスライダーＢＤ、１０３はスライダーＢＳ、２２４はベルト、２２５はドライブプーリー、２２６はフリープーリーＡＤ，２２７はフリープーリーＢＤ、２２８はフリープーリーＢＳ、及び、２３３はクランプをそれぞれ示す。

実施例１から６は、駆動源としてモーターとボールスクリューを使用していたが、本実施例では駆動力の伝達にベルト２２４を使用する。モーター２１には、ドライブプーリー２２５が取り付けられているが、ベルト２２４はドライブプーリー２２５とかみ合って駆動される。ベルト２２４として、インデントのついたもの、表面は平坦だが摩擦係数の高い材料が使用さえているもの、など多種多様のものが適用可能である。

スライダーＡＤ７３とスライダーＡＳ８３とは、テーブルホルダーＡ３の両端に取り付けられる。スライダーＡＤ７３とスライダーＡＳ８３とは、それぞれ、スライダーレールＤ１１とスライダーレールＳ１２にガイドされ、Ｙ軸方向に移動可能である。これにより、テーブルホルダーＡ３もＹ軸方向に移動可能である。

同様に、スライダーＢＤ９３とスライダーＢＳ１０３とは、テーブルホルダーＢ４の両端に取り付けられる。スライダーＢＤ９３とスライダーＢＳ１０３とは、それぞれ、スライダーレールＤ１１とスライダーレールＳ１２にガイドされ、Ｙ軸方向に移動可能である。これにより、テーブルホルダーＢ４もＹ軸方向に移動可能である。

ベルト２２４は、ドライブプーリー２２５により駆動力を与えられるが、略矩形状に配置される。ベルトは例えば４箇所でそれぞれフリープーリーＡＤ２２６、フリープーリーＢＤ２２７、及び、フリープーリーＢＳ２２８により保持される。モーター２１が回転するとベルト２２４は図に示したような矩形の状態を維持したまま送り出される。

クランプ２３３は、その一部において、スライダーＡＤ７３と固着される。このため、モーター２１が回転してベルト２２４が送り出されると、クランプ２３３と一体になったスライダーＡＤ７３は、スライダーレールＤ１１にガイドされながらＹ方向に移動する。

この時、ストッパーＢ３１が駆動されて、テーブルスライダーＢ６とテーブルホルダーＢ４とが結合されていれば、スライダーＡＤ７３、スライダーＡＳ８３、テーブルスライダーＡ５、テーブル２、テーブルスライダーＢ６、テーブルホルダーＢ４、スライダーＢＤ９３、及びスライダーＢＳ１０３は一体となって、Ｙ軸上のベルトの駆動方向に移動する。

しかし、ストッパーＢ３１は解除されており、ストッパーＢＤ３２あるいはストッパーＢＳ３３の少なくとも一方が駆動されて、スライダーＢＤ９３あるいはスライダーＢＳ１０３の少なくとも一方をスライダーレールに結合させていれば、テーブルホルダーＢ４は固定され、テーブル２はテーブルスライダーＡ５とテーブルスライダーＢ６とともに、テーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４にガイドされてＹ方向に移動する。ただし、この際のＹ方向は純粋なＹ方向ではなくＸ方向の成分が含まれた移動となる。

実施例７によれば、このようにベルトを駆動源として使用した場合には、ベルトが可撓性を有しているため組み立て誤差を吸収するので、プーリーの位置精度がさほど高くなくてもテーブルをスムーズに移動可能である。また、ボールスクリューのような高精度の部品を使用しないので、製造コストを抑制できる。

図１５は、テーブルホルダーＢ４の長手方向と、スライダーレールＤ１１及びスライダーレールＳ１２のなす角度Φが９０度である例を示す。実施例１にて説明したとおり、角度Φが９０度である場合には純粋なＸ方向へのテーブルの移動が可能である。

角度θと角度Φとの調節は、アングルアジャスターＡＤ５１、アングルアジャスターＡ５２、アングルアジャスターＡＳ５３、アングルアジャスターＢＤ５４、アングルアジャスターＢ５５、及び、アングルアジャスターＢＳ５６により可能である。言うまでも無く、アングルアジャスターを一切設けずに予めスライダーＡＤ７３、テーブルホルダーＡ３、及び、スライダーＡＳ８３を所定角度θで固定しておいてもよいし、スライダーＢＤ９３、テーブルホルダーＢ４、及び、スライダーＢＳ１０３を所定角度Φで固定しておいてもよい。

実施例７によれば、図１５のような構成の場合には、図１４の利点に加えて、さらに純粋なＹ方向とＸ方向の移動制御が可能なために、制御のロジックが組み立てやすいという利点がある。

図１６を参照して、実施例８を説明する。実施例８は、実施例２の駆動源をベルトに置き換えたものである。

特に断らない限り、図１−１５と同じ参照番号は、図１６中でも同等の要素を示すので、その説明を省略する。また、駆動の原理は実施例２と実施例７において説明したとおりである。

本実施例の場合、ブロック３７とカム３７１の形状と位置と数量を適宜決定することで、任意のテーブル２の動作を実現できる。なお、ブロック３７が一つである例について説明したが、ブロックの数は一個に限らない。例えば、カムを有するブロックをテーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４の間に別途設けて、このカムにも当接するようにストッパーＢ３６の構成を決定することで、テーブル２をさらにＸの上方向に戻すように構成可能である。このようにして、Ｘ−Ｙ平面上でテーブル２に任意の動作をさせることが可能となる。

実施例８によれば、ベルトが可撓性を有しているため組み立て誤差を吸収するので、プーリーの位置精度がさほど高くなくてもテーブルをスムーズに移動可能である。また、移動部と静止部間にケーブルやワイヤーやチューブなどの制御系を一切設けることなく、テーブル２の任意の動作が可能である。これにより、移動部の重量を低減して応答速度が速く、構造が簡単で、故障が少なく、駆動力の大きなＸＹテーブルを提供可能となる。また、さらに、角度Φが９０度のときは、純粋なＹ方向とＸ方向の移動制御が可能なために、制御のロジックが組み立てやすいという利点を併せ持つ。

図１７を参照して、実施例９を説明する。実施例９は、実施例７のベルト駆動において、２つのスライダーがベルト駆動を受けることで、角度Φが９０度でなくても純粋なＸ方向の動作を可能とする例である。

特に断らない限り、図１−１６と同じ参照番号は、図１７中でも同等の要素を示すので、その説明を省略する。また、本実施例に係わるＸＹテーブルの基本的な動作と制御のうちの一部は、図１４を参照して説明した実施例７と同様である。従って、特に断らない限りは実施例７と同様の動作と制御に従う。

以下、図１４を参照して説明した実施例７との相違点を説明する。まず、本実施例では、テーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４のＹ軸に対する角度θとΦは同じ角度であるものとする。図１４中、参照番号１０４はスライダーＢＳを、２３４は被駆動クランプを、３３３はベルトストッパーをそれぞれ示す。実施例７においては、スライダーＢＳ１０４はストッパーＢＳ３３によって、スライダーレールＳ１２と結合される場合の他は自由にスライダーレールＳ１２上を移動できるものであった。

本実施例では、被駆動クランプ２３４が、スライダーＢＳ１０４に固着される。被駆動クランプ２３４は、外部から制御可能なベルトストッパー３３３を有している。外部からベルトストッパー３３３を駆動すると、ベルトストッパー３３３はベルト２２４をクランプする。ベルトがクランプされると、ベルト２２４、ベルトストッパー３３３、被駆動クランプ２３４、及び、スライダーＢＳ１０は一体となって移動する。移動は、スライダーレールＳ１２とスライダーレールＤ１１とにガイドされるのでＹ方向となる。

一方、実施例７で説明した通り、クランプ２３３は、その一部において、スライダーＡＤ７３と固着される。このため、モーター２１が回転してベルト２２４が送り出されると、クランプ２３３と一体になったスライダーＡＤ７３は、スライダーレールＤ１１にガイドされながらＹ方向に移動する。

ここで、ベルト２２４の駆動方向をみれば、ドライブプーリー２２５とフリープーリーＡＤ２２６とによってベルト２２４の駆動方向が反転させられるので、被駆動クランプ２３４とクランプ２３３とはＹ軸上では反対方向に駆動される。従って、被駆動クランプ２３４のベルトストッパー３３３を駆動してベルトと結合させ、ベルト２２４を図１７上で時計回りに駆動すれば、ベルトストッパー３３３、被駆動クランプ２３４、及びスライダーＢＳ１０４、テーブルホルダーＢ４、及びスライダーＢＤ９は一体となって、Ｙ軸上を右に移動する。この時、クランプ２３３、スライダーＡＤ７３、テーブルホルダーＡ３、及びスライダーＡＳ８３は一体となってＹ軸上を左に移動する。テーブル２を支える２本のテ−ブルホルダーＡ３とテ−ブルホルダーＢ４の間隔がベルトの駆動速度の２倍の速さで離れていくので、テーブルスライダーＡ５とテーブルスライダーＢ６とは、Ｙ軸に対する平行を維持した状態でＸ軸上の図面上方向へ駆動される。なお、Ｘ軸上のテーブルの移動方向を下の方向へ変えるには、ドライブプーリー２２５を逆転させてベルト２２４を逆転させればよい。

次に、Ｙ軸方向へのテーブル２の移動について説明する。テーブル２をＹ軸方向に移動するには、被駆動クランプ２３４のベルトストッパー３３３を解除して、ベルト２２４とは切り離す。代わりに、ストッパーＢ３１を駆動して、テーブルホルダーＢ４とテーブルスライダーＢ６とを一体化する。これにより、被駆動クランプ２３４、スライダーＢＳ１０４、テーブルホルダーＢ４、テーブルスライダーＢ６、及びスライダーＢＤ９は一体となって、Ｙ軸方向に自由に移動可能となる。

ベルト２２４を図１７上で時計回りに駆動すれば、クランプ２３３、スライダーＡＤ７３、テーブルホルダーＡ３、及びスライダーＡＳ８３は一体となってＹ軸上を左に移動する。一体となっている被駆動クランプ２３４、スライダーＢＳ１０４、テーブルホルダーＢ４、テーブルスライダーＢ６、及びスライダーＢＤ９は、テーブル２を介して駆動され、テーブル２は純粋なＹ方向左側に移動する。Ｙ軸上の反対方向にテーブル２を移動するときは、ベルト２２４を逆回転させればよい。

実施例９によれば、Ｘ軸方向へテーブル２を移動する際は、テ−ブルホルダーＡ３とテーブルスライダーＡ５を経由して左から、テ−ブルホルダーＢ４とテーブルスライダーＢ６を経由して右からそれぞれ同じ速度でＸ軸方向へ駆動されるので、テーブル２は純粋なＸ方向に移動され、重量物を移動するときや移動速度が速いときでも、移動時の位置精度を向上させることもできる。

なお、ベルトストッパー３３３と被駆動クランプ２３４を有したスライダーＢＳ１０４と同様の構成をスライダーＢＤ９３やスライダーＡＳ８３にも使用して、連動制御装置４２とＸ−Ｙ動作制御部３５とモーター制御部２４によって制御することで、様々なテーブルの動きをひとつのモーターを使用するだけで可能とする。

実施例９は、他の駆動形式による場合にも適用可能である。その一例として、図１８を参照して、ボールスクリューを使用した例を説明する。図１８は実施例６において説明した図１３と同様の形態からなる。特に断らない限り、図１３と同じ参照番号は、図１８中でも同等の要素を示すので、その説明を省略する。また、本実施例に係わるＸＹテーブルの基本的な動作と制御のうちの一部は、上記実施例６にて説明した内容と同様である。参照番号、８５はスライダーＡＳを、１０５はスライダーＢＳを、１１８はギヤボックスＤを、１２３はギヤボックスＳを、３３５はナット回転止めを、参照符号ｒＳとｒＤとは、それぞれボールスクリューＤ２２１とボールスクリューＳ２２２との回転方向の一例を示している。

図中、参照番号１０５は、スライダーＢＳであるが、内部にスライダーＢＳ本体に対して回転可能でありボールスクリュー２２２には螺合するフリーナットを内蔵している。このフリーナットはナット回転止め３３５によって、スライダーＢＳに固定されたり解除されたりするように外部から制御できる。

ギヤボックスＤ１１８とギヤボックスＳ１２８の内部には、回転方向を９０度変換可能なベベルギヤなどが内蔵されており、モーターの回転によって、ボールスクリューＤ２２１とボールスクリューＳ２２２が同時に反対方向のｒＳとｒＤに回転するようになっている。スライダーＡＳ８５は、実施例６とは異なり、自由にスライダーレールＳ１２１にガイドされるようになっており、ボールスクリュー２２２の回転とは無関係に移動可能である。

スライダーＡＤ７１には、ボールスクリューＤ２２１に螺合するナット部をその内部に有している。従って、モーター２１が回転すると常に、スライダーＡＤ７１はスライダーレールＤ１１１にガイドされながら、Ｙ軸方向に駆動されるように構成される。

以下、純粋なＸ軸方向へのテーブル移動の動作を説明する。まず、テーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４とが、それぞれＹ軸方向に対してなす角度であるθとΦとは同一であるものとする。

ストッパーＢ３１及びストッパーＡ３４の両方を連動制御装置４２とＸ−Ｙ動作制御部３５により解除し、テーブルホルダーとテーブルスライダーとの位置関係を自由に開放する。ナット回転止め３３５は連動制御装置４２とＸ−Ｙ動作制御部３５により駆動される。

連動制御装置４２とＸ−Ｙ動作制御部３５によってナット回転止め３３５が駆動された場合、フリーナットがスライダーＢＳ１０５内に固定される。この状態で、モーター２１が連動制御装置４２とモーター制御部２４により駆動されると、ドライブシャフト２１９を経由した回転がギヤボックスＤ１１８とギヤボックスＳ１２８にそれぞれ伝えられる。すると、ボールスクリューＤ２２１とボールスクリューＳ２２２は逆方向ｒＤとｒＳ回転する。ナット経由でボールスクリューＤ２２１に螺合したスライダーＡＤ７１は、Ｙ軸方向に駆動される。一方、フリーナットとナット回転止め３３５経由でボールスクリューＳ２２２に螺合したスライダーＢＳ１０５は、Ｙ軸方向の上記スライダーＡＤ７１とは逆方向に駆動される。

この結果、テーブルホルダーＡ３とテーブルホルダーＢ４とが、同時に反対方向に動き、そのＹ軸方向の間隔を広げたり狭めたりする。このため、テーブルスライダーＡ３とテーブルスライダーＢ４とは、純粋なＸ軸方向の上下に移動し、テーブル２を純粋なＸ軸方向に移動する。

次に、純粋なＹ方向の動作について説明する。ストッパーＢ３１及びストッパーＡ３４のうち少なくとも一方を、連動制御装置４２とＸ−Ｙ動作制御部３５により駆動し、テーブルホルダーとテーブルスライダーとの位置関係を固着する。ナット回転止め３３５は連動制御装置４２とＸ−Ｙ動作制御部３５により駆動される。

また、連動制御装置４２とＸ−Ｙ動作制御部３５によってナット回転止め３３５を解除して、フリーナットがスライダーＢＳ１０５内に回転自由となり、スライダーＢＳ１０５はボールスクリューＳ２２２に対して無関係に移動可能となる。

ここで、モーター２１を駆動すると、上記と同様にボールスクリューＤ２２１とボールスクリューＳ２２２とは反対方向に回転する。しかし、ボールスクリューＳ２２２は回転しても、図１８中の何れの構成要素にもさらに駆動力を伝達することはない。

ナット経由でボールスクリューＤ２２１に螺合したスライダーＡＤ７１は、Ｙ軸方向に駆動される。上記ストッパーＢ３１及びストッパーＡ３４のうち少なくとも一方の駆動によって、一体化したスライダーＡＤ７１、テーブルホルダーＡ３、及びスライダーＡＳ８５、テーブル２、テーブルスライダーＢ６、テーブルホルダーＢ４、スライダーＢＳ１０５、及びスライダーＢＤ９１は、上記スライダーＡＤ７１の移動方向であるＹ方向に移動される。

以上、実施例９によれば、テーブル２は純粋なＸ方向に移動され、重量物を移動するときや移動速度が速いときでも、移動時の位置精度を向上させることもできる。

なお、ナット回転止め３３５とフリーナットを有したスライダーＢＳ１０５と同様の構成をスライダーＢＤ９１やスライダーＡＳ８５にも使用して、連動制御装置４２とＸ−Ｙ動作制御部３５とモーター制御部２４によって制御することで、様々なテーブルの動きをひとつのモーターを使用するだけで可能とする。

なお、本発明は、駆動源としてのモーターや伝達系にさまざまな公知の動力を使用できる。例えばリニアモーターを一台使用して本発明を実現することも可能である。

また、ストッパー、被駆動クランプ２３４、及びナット回転止め３３５として、あらゆる公知の構造が適用可能である。

いずれの実施例においても、アングルアジャスターは適宜角度を変更可能としてもよいし、あるいは、テーブルホルダーとスライダー間の角度を固定式としてアングルアジャスターを使用しなくてもよい。アングルアジャスターを使用時には、駆動源の速度に対するＸ方向の駆動速度とＹ方向の駆動速度の比を決定することが可能である。

以上、本発明を実施例を参照して説明してきたが、本発明は、上記実施例に記載の範囲に限られるものではなく、本発明の主旨の基、その効果を発揮して実施可能なあらゆる形態を含むものである。

実施例１に係わるＸＹテーブルの一態様を説明した概念的な平面図である。本発明におけるストッパーとテーブルホルダーの一例を該念的に示す部分断面図である。本発明におけるストッパーとテーブルホルダーの他の一例を該念的に示す部分断面図である。実施例１に係わるＸＹテーブルの一態様を説明した概念的な平面図である。実施例２に係わるＸＹテーブルの一態様を説明した概念的な平面図である。本発明におけるストッパーとテーブルホルダーの一例を該念的に示す部分断面図である。図６で示したストッパーとテーブルホルダーの一例を図６と直交する断面で切り取った状態を該念的に示す部分断面図である。実施例３に係わるＸＹテーブルの一態様を説明した概念的な平面図である。実施例４に係わるＸＹテーブルの一態様を説明した概念的な平面図である。実施例４に係わるＸＹテーブルの他の一態様を説明した概念的な平面図である。図９で示したＸＹテーブルの斜視図である。実施例５に係わるＸＹテーブルの一態様を説明した概念的な平面図である。実施例６に係わるＸＹテーブルの一態様を説明した概念的な平面図である。実施例７に係わるＸＹテーブルの一態様を説明した概念的な平面図である。実施例７に係わるＸＹテーブルの他の一態様を説明した概念的な平面図である。実施例８に係わるＸＹテーブルの一態様を説明した概念的な平面図である。実施例９に係わるＸＹテーブルの一態様を説明した概念的な平面図である。実施例９に係わるＸＹテーブルの他の一態様を説明した概念的な平面図である。

符号の説明

１ＸＹテーブル
２テーブル
３テーブルホルダーＡ
４テーブルホルダーＢ
５テーブルスライダーＡ
６テーブルスライダーＢ
７スライダーＡＤ
８スライダーＡＳ
９スライダーＢＤ
１０スライダーＢＳ
１１スライダーレールＤ
１２スライダーレールＳ
２０駆動部
２１モーター
２２ボールスクリュー
２３ナット
２４モーター制御部
３０Ｘ−Ｙ動作部
３１ストッパーＢ
３２ストッパーＢＤ
３３ストッパーＢS
３４ストッパーＡ
３５Ｘ−Ｙ動作制御部
３７ブロック
４０スイッチ装置
４１センサー
４２連動制御装置
５１アングルアジャスターＡＤ
５２アングルアジャスターＡ
５３アングルアジャスターＡＳ
５４アングルアジャスターＢＤ
５５アングルアジャスターＢ
５６アングルアジャスターＢＳ
６１テーブルスライダー
６２テーブルスライダー
７１スライダーＡＤ
７３スライダーＡＤ
８１スライダーＡＳ
８３スライダーＡＳ
９１スライダーＢＤ
９３スライダーＢＤ
１０１スライダーＢＳ
１０３スライダーＢＳ
１０４スライダーＢＳ
１０５スライダーＢＳ
１１１スライダレールＤ
１１９ギヤボックスＤ
１２１スライダレールＳ
１２９ギヤボックスＳ
２１９ドライブシャフト
２２１ボールスクリューＤ
２２２ボールスクリューＳ
２２４ベルト
２２５ドライブプーリー
２２６フリープーリーＡＤ
２２７フリープーリーＢＤ
２２８フリープーリーＢＳ
２３３クランプ
２３４被駆動クランプ
３１１ピストンハウジング
３１２ピストン
３１５ボールベアリング
３１６チューブ
３２１電磁ソレノイド
３２２カム
３２３バネ
３２４ピボット
３２５ボールベアリング
３２６電力供給用のケーブル
３６１突出部
３６２軸部
３６３端部
３６４バネ
３６５バネ押さえ
９００ベース
ＲＤボールスクリューＤの回転方向
ＲＳボールスクリューＳの回転方向
ｒＤボールスクリューＤの回転方向
ｒＳボールスクリューＳの回転方向
ｘストッパーＢの移動距離

Claims

物を載架して所定平面上のＸＹ方向へ移動させるＸＹテーブルにおいて、
物を載架するテーブルと、
上記テーブルの複数箇所において、テーブルを支える複数のテーブルスライダーと、
上記複数のテーブルスライダーをそれぞれ摺動可能に保持する複数のテーブルホルダーと、
上記複数のテーブルホルダーのそれぞれについて、それらの少なくとも一端に装着されるスライダーと、
上記スライダーを摺動可能に保持するスライダーレールと、
上記複数のスライダーのうち少なくとも一つのスライダーに対して、スライダーレールの摺動方向に駆動力を付与可能な駆動部と、
前記テーブルホルダーとこれに組み合わされるテーブルスライダーと、前記スライダーとこれに組み合わされるスライダーレールまたは駆動部の一部と、の組み合わせ位置関係の固定または固定解除の可能な制止部と、
上記駆動部の動作を制御する制御部と、
上記駆動部と、上記スライダーレールと、上記制御部と、を保持するベースと、
を備えたＸＹテーブル。
上記制御部は、さらに上記制止部をその外部から動作制御することを特徴とする請求項１に記載のＸＹテーブル。
上記制止部は、上記テーブルの上記所定平面上のＸ方向またはＹ方向の位置に応じて、上記テーブルを固定あるいは解除することを特徴とする請求項１に記載のＸＹテーブル。
上記制止部は、上記テーブルの上記所定平面上の位置を検知して、その検知結果を上記制御部に伝達し、
上記制御部は、上記制止部からの検知結果をもとに、上記Ｘ方向またはＹ方向に対する位置関係を所定位置に固定するように上記制止部を制御するとともに、上記駆動部の動作の制御をする
ことを特徴とする請求項１または2に記載のＸＹテーブル。
上記２つのテーブルスライダーは、テーブルの下面でテーブルを支え、
上記テーブルホルダーは、上記テーブルスライダーに一対一で対応して、テーブルスライダーを摺動可能に保持する２本のテーブルホルダーであり、
上記スライダーは、上記テーブルホルダーに一対一で対応して、少なくともその一端に装着される少なくとも２つのスライダーであり、
上記駆動部は、上記スライダーのうち少なくとも一つのスライダーに結合され、
前記制止部は、前記テーブルホルダーとこれに組み合わされるテーブルスライダーと、前記スライダーとこれに組み合わされるスライダーレールと、の組み合わせ位置関係を結合または結合解除するものである
ことを特徴とする請求項１から４のいずれかひとつに記載のＸＹテーブル。
上記テーブルホルダーのうち少なくとも一つとこれに対応するスライダーの間の角度を調節するアングルアジャスターをさらに備えた
ことを特徴とする請求項１から５のうちのいずれかひとつに記載のＸＹテーブル。
上記駆動部は、
電力により回転する回転モーターと、
上記回転モーターの回転により回転する螺旋状のボールスクリューと、
上記ボールスクリューに螺合して、上記ボールスクリューの回転によりボールスクリューの軸心方向に移動可能なナットからなり、
上記ナットは、上記スライダーのうち少なくとも一つに対して、その移動を伝達可能に結合されていることを特徴とする請求項１から６のうちのいずれかひとつに記載のＸＹテーブル。
上記駆動部は、
電力により回転する回転モーターと、
輪状で無限軌道をたどれるベルトと、
上記ベルトを上記ベース上の所定位置に保持するプーリーと、
上記回転モーターの回転を上記ベルトに伝えるドライブプーリーと、
上記ベルトに固定されるクランプと、からなり、
上記クランプは、上記スライダーのうち少なくとも一つに対して、その移動を伝達可能に結合されることを特徴とする請求項１から６のうちのいずれかひとつに記載のＸＹテーブル。
上記テーブルホルダーは２本であり、
上記テーブルホルダーのうち一方の長手方向が、この一方のテーブルホルダーに対応するスライダーレールの長手方向と交差する角度が９０度であり、
上記テーブルホルダーのうち他方の長手方向が、この一方のテーブルホルダーに対応するスライダーレールの長手方向と交差する角度が９０度でないこと
を特徴とする請求項１から８のうちのいずれかひとつに記載のＸＹテーブル。
上記テーブルホルダーは２本であり、
上記テーブルホルダーのうち一方の第一の長手方向と、
上記テーブルホルダーのうち他方の第二の長手方向と、
これら２本のテーブルホルダーに組み合わせられるスライダーレールの第三の長手方向と、について、
第一の長手方向と第三の長手方向の形成する内角と、第二の長手方向と第三の長手方向の形成する内角と、が同一である
ことを特徴とする請求項１から８のうちのいずれかひとつに記載のＸＹテーブル。