JP2007111675A - 1ヘッド複数吹出口によるプラズマ処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】複数の被処理面を、小さいスペースで簡単な設備を用いて効率よくプラズマ処理することができる、プラズマ処理方法を提供する。
【解決手段】第1の工程において、対向する電極の間の空間(以下、「放電空間」という。)に連通する複数の吹出口11a,11bを有するプラズマ処理ヘッド10を、被処理物1の異なる被処理領域1a,1bにそれぞれ対向するように配置する。第2の工程において、電極に電圧を印加して放電空間において放電を発生させながら、放電空間を通過させてプラズマ化した処理ガスをプラズマ処理ヘッド10の複数の吹出口11a,11bから異なる方向に流出させ、被処理物の異なる被処理領域1a,1bにそれぞれ処理ガスを接触させて被処理領域1a,1bをプラズマ処理する。
【選択図】図1
【解決手段】第1の工程において、対向する電極の間の空間(以下、「放電空間」という。)に連通する複数の吹出口11a,11bを有するプラズマ処理ヘッド10を、被処理物1の異なる被処理領域1a,1bにそれぞれ対向するように配置する。第2の工程において、電極に電圧を印加して放電空間において放電を発生させながら、放電空間を通過させてプラズマ化した処理ガスをプラズマ処理ヘッド10の複数の吹出口11a,11bから異なる方向に流出させ、被処理物の異なる被処理領域1a,1bにそれぞれ処理ガスを接触させて被処理領域1a,1bをプラズマ処理する。
【選択図】図1
Description
本発明は、1ヘッド複数吹出口によるプラズマ処理方法に関し、詳しくは、放電空間から離れた位置にある被処理物をプラズマ処理する方法に関し、特に、略常圧でプラズマ処理を行なう場合に好適なプラズマ処理方法に関する。
従来、大気圧近傍の圧力下で発生させたプラズマを利用して、被処理物の表面改質、薄膜形成、アッシング、洗浄などのプラズマ処理を行なう常圧プラズマ処理について、種々提案されている。
例えば、いわゆるリモート方式の常圧プラズマ処理では、放電空間を通過してプラズマ化した処理ガス(プラズマ空間を通って活性化された処理ガス)が流出するプラズマ処理ヘッドの吹出口に対して被処理物を相対的に移動させ、吹出口から流出した処理ガスを被処理物表面に順次、接触させることによって、被処理物表面のプラズマ処理を行なう(例えば、特許文献1参照)。
特開2002−237480号公報
従来のプラズマ処理ヘッドは、プラズマ化した処理ガスを被処理面に吹き付けるための吹出口が1つしかないので、被処理面ごとにプラズマ処理ヘッドを用意する必要がある。そのため、被処理面が増えると、プラズマ処理ヘッドを増やす必要があるので、設備コストが増大し、設備を配置するためのスペースも大きくなる。また、電圧印加や処理ガス供給などの運転コストも増大し、被処理面が増えても効率はよくならない。
本発明は、かかる実情に鑑み、複数の被処理面を、小さいスペースで簡単な設備を用いて効率よくプラズマ処理することができる、プラズマ処理方法を提供しようとするものである。
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成したプラズマ処理方法を提供する。
プラズマ処理方法は、第1の工程と、第2の工程とを備える。前記第1の工程において、対向する電極の間の空間(以下、「放電空間」という。)に連通する複数の吹出口を有するプラズマ処理ヘッドを、被処理物の異なる被処理領域にそれぞれ対向するように配置する。前記第2の工程において、前記電極に電圧を印加して前記放電空間において放電を発生させながら、前記放電空間を通過させてプラズマ化した前記処理ガスを前記プラズマ処理ヘッドの複数の前記吹出口から異なる方向に流出させ、前記被処理物の異なる前記被処理領域にそれぞれ前記処理ガスを接触させて当該被処理領域をプラズマ処理する。
上記構成において、プラズマ処理ヘッドは異なる方向に処理ガスが流出する複数の吹出口を有するので、被処理物の複数の被処理領域を、プラズマ化した処理ガス(現にプラズマ化している処理ガスであっても、プラズマを経て活性化した処理ガスであってもよい)を用いて、同時にプラズマ処理することができる。被処理物の被処理領域ごと、プラズマ処理の目的や種類(表面改質、薄膜形成、アッシング、洗浄など)が異なっても、同じであってもよい。
上記構成によれば、複数の被処理領域をプラズマ処理する場合に、プラズマ処理ヘッドの個数を減らし、設備を簡単にすることができる。また、プラズマ処理のために設備を配置するスペースを小さくすることができる。さらに、複数の被処理領域を同時にプラズマ処理することにより、電圧印加エネルギーや処理ガス量を削減することも可能である。
したがって、複数の被処理面を、小さいスペースで簡単な設備を用いて効率よくプラズマ処理することができる。
好ましくは、前記第2の工程において、前記プラズマ処理ヘッド又は前記被処理物の少なくとも一方を移動させ、前記被処理物の前記被処理領域に対して前記プラズマ処理ヘッドの前記吹出口が対向する位置を相対移動させながら、プラズマ化した前記処理ガスを前記プラズマ処理ヘッドの複数の前記吹出口から流出させ、前記被処理物の異なる前記被処理領域にそれぞれ前記処理ガスを接触させて当該被処理領域をプラズマ処理する。
上記構成によれば、被処理物を連続的にプラズマ処理することができる。
具体的には、以下のように種々の態様とすることができる。
一態様としては、前記第1の工程において、シート状の前記被処理物を、搬送方向を折り返して搬送し、前記プラズマ処理ヘッドを、折り返し前後の前記被処理物の互いに逆方向に搬送される第1部分と第2部分の間に、前記プラズマ処理ヘッドの複数の前記吹出口が前記被処理物の前記第1部分と前記第2部分とにそれぞれ対向するように配置する。前記第2の工程において、前記被処理物を搬送しながら、プラズマ化した前記処理ガスを前記プラズマ処理ヘッドの複数の前記吹出口から流出させ、前記被処理物の前記第1部分と前記第2部分とにそれぞれ前記処理ガスを接触させて当該第1部分と当該第2部分とをプラズマ処理する。
この場合、シート状の被処理物の両面をプラズマ処理することも、片面のみを複数回処理することもできる。上記態様によれば、シート状の被処理物を、小さいスペースで簡単な設備を用いて効率よくプラズマ処理することができる。
他の態様としては、前記第1の工程において、第1及び第2の被処理物を、それぞれの搬送経路が互いに略平行となるように搬送し、前記プラズマ処理ヘッドを、前記第1及び第2の被処理物の互いに略平行な前記搬送経路の間に、前記プラズマ処理ヘッドの複数の前記吹出口がそれぞれ前記第1及び第2の被処理物の前記搬送経路に対向するように配置する。前記第2の工程において、前記第1及び第2の被処理物を搬送しながら、プラズマ化した前記処理ガスを前記プラズマ処理ヘッドの複数の前記吹出口から流出させ、前記第1及び第2の被処理物の互いに対向する面にそれぞれ前記処理ガスを接触させて当該互いに対向する面をプラズマ処理する。
この場合、第1及び第2の被処理物をそれぞれ別個のプラズマ処理ヘッドでプラズマ処理する場合よりも、搬送経路を簡略化したり、短縮したりすることができ、小さいスペースで簡単な設備を用いて効率よくプラズマ処理することができる。
さらに別の態様としては、前記第1の工程において、前記プラズマ処理ヘッドは、前記被処理物の内部に挿入し、前記プラズマ処理ヘッドの複数の前記吹出口が前記被処理物の内面の異なる前記被処理領域に対向するように配置する。前記第2の工程において、プラズマ化した前記処理ガスを前記プラズマ処理ヘッドの複数の前記吹出口から流出させ、前記被処理物の前記内面の異なる前記被処理領域にそれぞれ前記処理ガスを接触させて当該被処理領域をプラズマ処理する
上記態様によれば、プラズマ処理ヘッドの複数の吹出口によって同時にプラズマ処理を行なうので、被処理物の内面の異なる被処理領域(例えば、互いに対向する内側面)をそれぞれプラズマ処理したり、被処理物の内面全体を略均一にプラズマ処理したりすることを、短時間で達成することができる。したがって、小さいスペースで簡単な設備を用いて効率よくプラズマ処理することができる。
なお、この場合、プラズマ処理ヘッドと被処理物とを相対移動させてもよい。
なお、本発明のプラズマ処理方法は、1Pa以上、特に略常圧(大気圧近傍)の開放系、あるいは低気密系の場合に特に好適であるが、これに限るものではない。本発明において、略常圧とは、1.013×104〜50.663×104Paの範囲を言い、圧力調整の容易化や装置構成の簡略化を考慮すると、1.333×104〜10.664×104Paが好ましく、9.331×104〜10.397×104Paがより好ましい。
本発明によれば、複数の被処理面を、小さいスペースで簡単な設備を用いて効率よくプラズマ処理することができる。
以下、本発明の実施の形態について、図1〜図6を参照しながら説明する。
(実施例1) 実施例1のプラズマ処理装置について、図1及び図2を参照しながら説明する。
図1(a)は、要部の構成を示す斜視図である。図1(b)は、図1(a)の線B−Bに沿って切断した縦断面図である。図1(c)は、図1(a)の線C−Cに沿って切断した横断面図である。図1に示すように、プラズマ処理装置は、処理ガスが流出する2つの吹出口11a,11bを有するプラズマ処理ヘッド10を備える。プラズマ処理装置は、例えば、1Pa以上、特に略常圧(大気圧近傍)の開放系、あるいは低気密系に配置される。
プラズマ処理ヘッド10は、互いに平行に配置された一対の電極12,14を備える。各電極12,14は、互いに対向する面に誘電体13,15を備えている。誘電体13,15間の間隔は、図1(b)に示すように誘電体13,15の上下辺に沿ってそれぞれ配置された絶縁スペーサ16,17によって一定に保持され、誘電体13,15の左右端が開口して吹出口11a,11bが形成されている。吹出口11a,11bは、誘電体13,15と絶縁スペーサ16,17との間に形成された放電空間11xに連通している。
一方の絶縁スペーサ16には、中央に開口16xが形成され、開口16xに接続される不図示の配管から、放電空間11x内に処理ガスが供給されるようになっている。放電空間11x内には、開口16xと吹出口11a,11bとの間に、貫通孔18xを有する一対の整流部材18が配置され、開口16xから供給された処理ガスの流れを整え、各吹出口11a,11bから略均一に処理ガスが流出するようになっている。プラズマ処理ヘッド10の各吹出口11a,11bには、被処理物1の被処理領域1a,1bが対向するようになっている。プラズマ処理ヘッド10の各吹出口11a,11bに対向する被処理領域1a,1bは、例えばシート状の被処理物1の同じ側の面であっても、異なる面(表裏面)であってもよい。さらには、プラズマ処理ヘッド10の各吹出口11a,11bに、それぞれ別々の被処理物が対向するようにしてもよい。
例えば図2に示すように、シート状の被処理物1を、複数のローラ3を用い、矢印4a〜4eに示すようにジグザグに折り返して搬送し、折り返され略並行に搬送される部分の間に、プラズマ処理ヘッド10を配置する。図2の例では、被処理物1の両面2a,2bが、プラズマ処理ヘッド10で、それぞれ2回ずつ、交互にプラズマ処理される。シート状の被処理物1は、搬送方向の回りに約180度ねじり、表裏面を反転するようにしてもよい。
次に、プラズマ処理装置の動作について、図1を参照しながら説明する。
プラズマ処理ヘッド10の電極12,14間には、不図示の電源によって、例えば交流電圧やパルス電圧が印加され、放電空間11xで放電が発生する。放電の形態は、グロー放電が均一処理のために好ましいが、コロナ放電や誘電体バリア放電や沿面放電であってもよい。このとき、各プラズマ処理ヘッド10の放電空間11xには、開口16xから処理ガスが供給され、放電によってプラズマ化される。放電空間においてプラズマ化された処理ガスは、破線の矢印で示すように、吹出口11a,11bから被処理物1のそれぞれの被処理領域1a,1bに向けて異なる方向(互いに反対方向)に流出する。吹出口11a,11bから流出した処理ガス(現にプラズマ化している処理ガスであっても、プラズマを経て活性化した処理ガスであってもよい。)は、被処理物1の被処理領域1a,1bに接触する。これにより、被処理物1の被処理領域1a,1bに対して、放電によるプラズマ(活性種、イオンなど)を用いて、表面改質、薄膜形成、アッシング、洗浄などのプラズマ処理を行なう。
処理ガスは、プラズマ処理の目的に応じて選択すればよい。例えば、酸化処理には、窒素と酸素の混合ガスを用いる。還元処理には、窒素と水素を用いる。撥水化やエッチングには、フルオロカーボンを用いる。処理ガスには、希釈ガスとして、窒素、アルゴン等の不活性ガスを混合してもよい。
吹出口11a,11bから処理ガスを吹き付けながら、矢印1s,1tで示すように被処理物1を搬送し、被処理物1が処理ガスに接触する位置を移動させることにより、被処理物1を連続的にプラズマ処理する。
プラズマ処理ヘッド10は、処理ガスを吹き出す方向が異なる吹出口11a,11bによって、被処理物1の複数の被処理領域1a,1bをプラズマ処理する。そのため、プラズマ処理ヘッドの個数を減らすことができ、場合によっては電源や処理ガス供給のための機器類も小型化・簡略化することができるので、設備を簡単にすることができる。また、プラズマ処理のために設備を配置するスペースを小さくすることができる。さらに、放電空間11xを共用して複数の被処理領域を同時にプラズマ処理することによって、電圧印加エネルギーや処理ガス量を削減し、効率を向上することができる。
(実施例2) 図3は、実施例2のプラズマ処理ヘッド10aの横断面図である。プラズマ処理ヘッド10aは、実施例1と略同様に構成され、2の吹出口11a,11bを有する。
プラズマ処理ヘッド10aは、実施例1と異なり、絶縁スペーサ16a,17間に配置された仕切部材19で放電空間を2つ11y,11zに区切り、絶縁スペーサ16aには、各放電空間11y,11zにそれぞれ連通する開口16y,16zを設けている。
実施例2では、プラズマ処理装置の開口16y,16zからそれぞれ放電空間11y,11zに供給する処理ガスの種類や組み合わせを変えることによって、吹出口11a,11bに対向する被処理物の被処理面に対するプラズマ処理の種類を変えることができる。
(実施例3) 図4は、プリント基板6に電子部品7を実装する際の前処理として、配線や電極のプラズマ処理を行なう場合の説明図である。
図4(a)において矢印6x,7xで示すように、プリント基板6と電子部品7を略平行に搬送する搬送経路の間に、実施例1と同様に2つの吹出口21a,21bを有するプラズマ処理ヘッド20を、一方の吹出口21aが電子部品7の下面7bに対向し、他方の吹出口21bがプリント基板6の上面6aに対向するように配置する。これによって、プリント基板6の上面6aと、電子部品7の下面7bとを、同時にプラズマ処理することができる。
プラズマ処理ヘッド20を通過したプリント基板6及び電子部品7は、図4(b)において矢印7yで示すように、電子部品7がプリント基板6に向けて搬送され、プリント基板6の上面6aの所定位置に実装される。
実施例3では、プリント基板6と電子部品7とにそれぞれプラズマ処理ヘッドを設けてプラズマ処理する場合に比べ、搬送経路を簡略化したり、短縮したりすることができ、装置構成を簡単にすることができる。
なお、プラズマ処理ヘッド20は、実施例2のように放電空間を区切り、吹出口から種類の異なるプラズマ処理ガスが流出したり、流れの状態(流量、流速など)が異なるようにしたりしてもよい。
(実施例4) 図5は、箱状の被処理物8の内部の複数の被処理領域を、一つのプラズマ処理ヘッド30で同時に処理する場合の説明図である。
図5に示すように、被処理物8の内部に、実施例1と同様に2つの吹出口31a,31bを有するプラズマ処理ヘッド30が挿入される。プラズマ処理ヘッド30は、被処理物8の内部の対向する内側面8a,8bに吹出口31a,31bがそれぞれ対向するように配置し、被処理物8の内部の対向する内側面8a,8bを同時に効率よくプラズマ処理する。
例えば、従来の吹出口が一つのプラズマ処理ヘッドを用いて内側面8a,8bを同時に処理するには、被処理物8の底面8xにプラズマ処理ヘッドの吹出口を対向させ、吹出口から底面8xに向けて処理ガスを吹き付け、その処理ガスが底面8xから内側面8a,8bに沿って流れるようする。
これに対し、実施例4のように2つの吹出口31a,31bを有するプラズマ処理ヘッド30を用い、内側面8a,8bに処理ガスを直接吹き付ければ、処理ガスを効率よくプラズマ処理に利用することができる。
(実施例5) プラズマ処理ヘッドの吹出口は、2つに限らず、3つ以上であってもよい。例えば図6の部分断面要部構成図に示すように、プラズマ処理ヘッド50に、断面略十字状に放電空間を形成し、4つの吹出口51a〜51dを設ける。この場合、4つの電極52,54,56,58には、互いに他の電極52,54,56,58に対向する面に誘電体53,55,57,59を設けることが好ましい。放電空間内には、不図示の配管から処理ガスが供給され、各吹出口51a〜51dから矢印50a〜50dに示すように、4方向に処理ガスが流出する。例えば、電極52及び56と電極54及び58との間に電圧を印加して、放電空間において放電を発生させる。
実施例5のように吹出口が増えると、同時に処理できる被処理領域を増やすことができ、被処理物の異なる被処理領域をそれぞれプラズマ処理したり、被処理物の内面全体を略均一にプラズマ処理したりすることを、短時間で達成することができる。
(まとめ) 以上に説明したように、プラズマ処理装置は、小さいスペースで簡単な設備を用いて効率よくプラズマ処理することができる。
なお、本発明は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施可能である。
例えば、プラズマ処理ヘッドの開口は、処理ガスが流出する方向を任意に選択することができ、実施例には限られない。また、プラズマ処理ヘッドの開口は、放電空間から離れた位置に設けてもよい。
1 被処理物
1a,1b 被処理領域
6 プリント基板(被処理領物)
6a 上面(被処理領域)
7 電子部品(被処理領物)
7b 下面(被処理領域)
8 被処理物
8a,8b 内側面(被処理領域)
10,10a プラズマ処理ヘッド
11a,11b 吹出口
11x,11y,11z 放電空間
12,14 電極
20 プラズマ処理ヘッド
21a,21b 吹出口
30 プラズマ処理ヘッド
31a,31b 吹出口
50 プラズマ処理ヘッド
51a,51b,51c,51d 吹出口
52,54,56,58 電極
1a,1b 被処理領域
6 プリント基板(被処理領物)
6a 上面(被処理領域)
7 電子部品(被処理領物)
7b 下面(被処理領域)
8 被処理物
8a,8b 内側面(被処理領域)
10,10a プラズマ処理ヘッド
11a,11b 吹出口
11x,11y,11z 放電空間
12,14 電極
20 プラズマ処理ヘッド
21a,21b 吹出口
30 プラズマ処理ヘッド
31a,31b 吹出口
50 プラズマ処理ヘッド
51a,51b,51c,51d 吹出口
52,54,56,58 電極
Claims (5)
- 対向する電極の間の空間(以下、「放電空間」という。)に連通する複数の吹出口を有するプラズマ処理ヘッドを、被処理物の異なる被処理領域にそれぞれ対向するように配置する、第1の工程と、
前記電極に電圧を印加して前記放電空間において放電を発生させながら、前記放電空間を通過させてプラズマ化した前記処理ガスを前記プラズマ処理ヘッドの複数の前記吹出口から異なる方向に流出させ、前記被処理物の異なる前記被処理領域にそれぞれ前記処理ガスを接触させて当該被処理領域をプラズマ処理する、第2の工程とを備えたことを特徴とする、プラズマ処理方法。 - 前記第2の工程において、前記プラズマ処理ヘッド又は前記被処理物の少なくとも一方を移動させ、前記被処理物の前記被処理領域に対して前記プラズマ処理ヘッドの前記吹出口が対向する位置を相対移動させながら、プラズマ化した前記処理ガスを前記プラズマ処理ヘッドの複数の前記吹出口から流出させ、前記被処理物の異なる前記被処理領域にそれぞれ前記処理ガスを接触させて当該被処理領域をプラズマ処理することを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理方法。
- 前記第1の工程において、
シート状の前記被処理物を、搬送方向を折り返して搬送し、
前記プラズマ処理ヘッドを、折り返し前後の前記被処理物の互いに逆方向に搬送される第1部分と第2部分の間に、前記プラズマ処理ヘッドの複数の前記吹出口が前記被処理物の前記第1部分と前記第2部分とにそれぞれ対向するように配置し、
前記第2の工程において、前記被処理物を搬送しながら、プラズマ化した前記処理ガスを前記プラズマ処理ヘッドの複数の前記吹出口から流出させ、前記被処理物の前記第1部分と前記第2部分とにそれぞれ前記処理ガスを接触させて当該第1部分と当該第2部分とをプラズマ処理することを特徴とする、請求項1又は2に記載のプラズマ処理方法。 - 前記第1の工程において、
第1及び第2の被処理物を、それぞれの搬送経路が互いに略平行となるように搬送し、
前記プラズマ処理ヘッドを、前記第1及び第2の被処理物の互いに略平行な前記搬送経路の間に、前記プラズマ処理ヘッドの複数の前記吹出口がそれぞれ前記第1及び第2の被処理物の前記搬送経路に対向するように配置し、
前記第2の工程において、前記第1及び第2の被処理物を搬送しながら、プラズマ化した前記処理ガスを前記プラズマ処理ヘッドの複数の前記吹出口から流出させ、前記第1及び第2の被処理物の互いに対向する面にそれぞれ前記処理ガスを接触させて当該互いに対向する面をプラズマ処理することを特徴とする、請求項1又は2に記載のプラズマ処理方法。 - 前記第1の工程において、前記プラズマ処理ヘッドは、前記被処理物の内部に挿入し、前記プラズマ処理ヘッドの複数の前記吹出口が前記被処理物の内面の異なる前記被処理領域に対向するように配置し、
前記第2の工程において、プラズマ化した前記処理ガスを前記プラズマ処理ヘッドの複数の前記吹出口から流出させ、前記被処理物の前記内面の異なる前記被処理領域にそれぞれ前記処理ガスを接触させて当該被処理領域をプラズマ処理することを特徴とする、請求項1又は2に記載のプラズマ処理方法。
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JP2005308355A JP2007111675A (ja) | 2005-10-24 | 2005-10-24 | 1ヘッド複数吹出口によるプラズマ処理方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009233482A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-15 | Institute Of National Colleges Of Technology Japan | 大気圧プラズマによる粒子清浄方法 |
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2005
- 2005-10-24 JP JP2005308355A patent/JP2007111675A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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