JP2007110007A - 有機電界効果トランジスタ - Google Patents
有機電界効果トランジスタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007110007A JP2007110007A JP2005301515A JP2005301515A JP2007110007A JP 2007110007 A JP2007110007 A JP 2007110007A JP 2005301515 A JP2005301515 A JP 2005301515A JP 2005301515 A JP2005301515 A JP 2005301515A JP 2007110007 A JP2007110007 A JP 2007110007A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- field effect
- organic
- effect transistor
- oxide
- organic field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】 有機電界効果トランジスタは、ゲート電極基板1に付されたゲート絶縁層2と、その層2上で形成され金属酸化物含有導電材でできたソース電極4およびドレイン電極5とが、有機半導体層3により被覆されている。前記金属酸化物含有導電材が、酸化インジウムと酸化亜鉛との混合物、酸化インジウムと酸化スズとの混合物、またはアルミニウムドープ酸化亜鉛である。
【選択図】 図1
Description
ゲート電極基板として、リンをヘビードープしたn型シリコンウエハを用いた。その上側表面を熱酸化して400nmのSiO2のゲート絶縁層にした。その絶縁層上に、電子サイクロトロン共鳴プラズマスパッタ製膜法により酸化インジウムと酸化亜鉛との90:10の重量比の混合物を100nmの厚さで成膜し層を形成した。この層上に、フォトレジストを塗布して1.5μmの厚さで成膜した後、マスクを通して回路パターンを露光し焼付けてから現像するフォトリソグラフィ工程により、チャンネル長48μmでチャンネル幅1.75mmのソース電極とドレイン電極とを形成した。次いで、ゲート絶縁層、ソース電極およびドレイン電極に、有機トランジスタ材料であるペンタセンを真空蒸着させると、ボトムコンタクト型有機電界効果トランジスタが得られた。
酸化インジウムと酸化亜鉛との混合物の電極上も、ゲート絶縁層上と同様に、ペンタセンの結晶成長が良好で、電界効果の低移動領域が認められなかった。
実施例1の酸化インジウムと酸化亜鉛との混合物に代えて、金を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、有機電界効果トランジスタを得た。実施例1と同様に電界効果移動度を測定したところ、僅か0.01cm2/Vsにも満たなかった。
有機トランジスタ材料としてペンタセンに代えて、前記化学式(6)の5,5'''−ジビフェニルテルチオフェンを用いたこと以外は、実施例1と同様にして、有機電界効果トランジスタを得た。このトランジスタの電界効果移動度は、0.005(cm2/Vs)であった。
実施例2の酸化インジウムと酸化亜鉛との混合物に代えて、金を用いたこと以外は、実施例2と同様にして、有機電界効果トランジスタを得た。実施例2と同様に電界効果移動速度を測定したところ、僅か0.001cm2/Vsにも満たなかった。
ゲート電極付基板の原材としてタンタル薄膜付ガラス基板を用いた。そのタンタル薄膜の一部を、濃度2%のKOH水溶液中、電圧70Vで2時間陽極酸化することにより,ゲート絶縁膜としてTa2O5が133nm形成されたゲート電極付基板を調製した.この基板を用いたことと、有機トランジスタ材料としてペンタセンに代えて、前記化学式(6)の5,5'''−ジビフェニルテルチオフェンを用いた実施例1と同様のデバイスを作製した.このトランジスタの電界効果移動度は、0.006(cm2/Vs)であった。
Claims (2)
- ゲート電極基板に付されたゲート絶縁層と、その層上で形成され金属酸化物含有導電材でできたソース電極およびドレイン電極とが、有機半導体層により被覆されていることを特徴とする有機電界効果トランジスタ。
- 前記金属酸化物含有導電材が、酸化インジウムと酸化亜鉛との混合物、酸化インジウムと酸化スズとの混合物、またはアルミニウムドープ酸化亜鉛であることを特徴とする請求項1に記載の有機電界効果トランジスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005301515A JP2007110007A (ja) | 2005-10-17 | 2005-10-17 | 有機電界効果トランジスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005301515A JP2007110007A (ja) | 2005-10-17 | 2005-10-17 | 有機電界効果トランジスタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007110007A true JP2007110007A (ja) | 2007-04-26 |
Family
ID=38035613
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005301515A Pending JP2007110007A (ja) | 2005-10-17 | 2005-10-17 | 有機電界効果トランジスタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007110007A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009154163A1 (ja) * | 2008-06-18 | 2009-12-23 | 出光興産株式会社 | 有機薄膜トランジスタ |
US9768254B2 (en) | 2015-07-30 | 2017-09-19 | International Business Machines Corporation | Leakage-free implantation-free ETSOI transistors |
-
2005
- 2005-10-17 JP JP2005301515A patent/JP2007110007A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009154163A1 (ja) * | 2008-06-18 | 2009-12-23 | 出光興産株式会社 | 有機薄膜トランジスタ |
US8618532B2 (en) | 2008-06-18 | 2013-12-31 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Organic thin-film transistor |
US9768254B2 (en) | 2015-07-30 | 2017-09-19 | International Business Machines Corporation | Leakage-free implantation-free ETSOI transistors |
US10651273B2 (en) | 2015-07-30 | 2020-05-12 | International Business Machines Corporation | Leakage-free implantation-free ETSOI transistors |
US10937864B2 (en) | 2015-07-30 | 2021-03-02 | International Business Machines Corporation | Leakage-free implantation-free ETSOI transistors |
US11502171B2 (en) | 2015-07-30 | 2022-11-15 | International Business Machines Corporation | Leakage-free implantation-free ETSOI transistors |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6953947B2 (en) | Organic thin film transistor | |
US9520572B2 (en) | Electronic device and method of manufacturing semiconductor device | |
JP5307349B2 (ja) | 官能化ヘテロアセン類およびそれから作製された電子デバイス | |
JP2009152355A (ja) | 有機薄膜トランジスタの製造方法、及び有機薄膜トランジスタ | |
US7923718B2 (en) | Organic thin film transistor with dual layer electrodes | |
JP6268162B2 (ja) | 薄膜トランジスタ | |
JP2008537330A (ja) | 薄膜トランジスタのための半導体材料 | |
KR100708721B1 (ko) | 박막 트랜지스터 및 이를 구비한 평판 표시 장치 | |
US10134812B2 (en) | Electronic device, image display device, and sensor to improve charge injection efficiency | |
WO2011036866A1 (ja) | 有機薄膜トランジスタ | |
US9997709B2 (en) | Method for manufacturing transistor according to selective printing of dopant | |
JP5031584B2 (ja) | 有機薄膜トランジスタ | |
JP2007110007A (ja) | 有機電界効果トランジスタ | |
JP4700976B2 (ja) | 電界効果型有機トランジスタの製造方法 | |
KR101455600B1 (ko) | 유기 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 | |
JP2005158765A (ja) | 電界効果型有機トランジスタおよびその製造方法 | |
JP2004273514A (ja) | 有機薄膜トランジスタおよびその製造方法 | |
KR20150052763A (ko) | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 상기 박막 트랜지스터를 포함하는 전자 소자 | |
JP4922563B2 (ja) | 有機薄膜トランジスタ | |
JP2016113434A (ja) | 化合物、該化合物と高分子化合物を含む組成物、該化合物を含む有機薄膜および有機半導体素子 | |
JP2006049775A (ja) | 電界効果型有機トランジスタ及びその製造方法 | |
JP2006229053A (ja) | 有機半導体層を有する電界効果型有機薄膜トランジスタ | |
JP2004165428A (ja) | 有機薄膜トランジスタ素子 | |
JP2004273512A (ja) | 有機薄膜トランジスタおよびその製造方法 | |
JP2006049776A (ja) | 電界効果型有機トランジスタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070313 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070511 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070703 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070831 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20070927 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20071102 |