JP2007109730A - 半導体装置、及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 複数の半導体チップを高密度で実装可能であり、かつ、プリント配線板との電気的な接続が容易かつ安価に行うことができる半導体装置、及び該半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 格子状に配列された複数の貫通電極12を有する第1の半導体チップ10と、第1の半導体チップ10の第1の主面Faに配置された金属配線パターン20と、金属配線パターン20上に貫通電極12の間隔より狭い間隔で設けられた複数の内部接続端子30と、内部接続端子30を介してフェイスダウンで金属配線パターン20に電気的に接続された少なくとも1つの第2の半導体チップ40a、40bと、第1の半導体チップ10の第2の主面Fbから露出した貫通電極12の露出面に設けられると共に、装置外部のプリント配線板に直接接続可能な外部端子50と、を含む半導体装置、及び該半導体装置の製造方法。
【選択図】 図1
【解決手段】 格子状に配列された複数の貫通電極12を有する第1の半導体チップ10と、第1の半導体チップ10の第1の主面Faに配置された金属配線パターン20と、金属配線パターン20上に貫通電極12の間隔より狭い間隔で設けられた複数の内部接続端子30と、内部接続端子30を介してフェイスダウンで金属配線パターン20に電気的に接続された少なくとも1つの第2の半導体チップ40a、40bと、第1の半導体チップ10の第2の主面Fbから露出した貫通電極12の露出面に設けられると共に、装置外部のプリント配線板に直接接続可能な外部端子50と、を含む半導体装置、及び該半導体装置の製造方法。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体装置及びその製造方法に関し、特に、プリント配線板との電気的な接続が容易な半導体装置及びその製造方法に関する。
従来、半導体装置は、ムーアの法則に従い、高集積化による低コスト化・高速化・低消費電力化・高信頼性化の恩恵を享受してきた。しかし、設計ルールが、180ナノメーターより更に微細になってくると、SOC(システム・オン・チップ)と呼ばれるように、チップに集積可能なシステムの規模が非常に大きくなる。
そして、更なる高集積化のためには、DRAMやフラッシュ等の大規模メモリ回路や、RF等の高速アナログ回路を同時に集積する必要がでてきた。
そして、更なる高集積化のためには、DRAMやフラッシュ等の大規模メモリ回路や、RF等の高速アナログ回路を同時に集積する必要がでてきた。
しかしながら、これらを1チップ化するためにはウエハ製造プロセスが非常に複雑になり、搭載されるロジック、メモリ、アナログ等の各機能に対して製造プロセスの最適化が困難になる。また、リークの増加・基盤ノイズ等の問題が発生する。
また、メモリーセル、ロジックセル等は微細化に対し恩恵を得るが、インターフェス回路、アナログ回路、高耐圧回路等は微細化することが難しいため、チップ内に占有面積の不均衡が生ずる。更に、マスク代を含めた開発費用並びに開発期間が著しく増大する。これは最終製品の市場における製品寿命の短命化から考えても致命的である。
また、メモリーセル、ロジックセル等は微細化に対し恩恵を得るが、インターフェス回路、アナログ回路、高耐圧回路等は微細化することが難しいため、チップ内に占有面積の不均衡が生ずる。更に、マスク代を含めた開発費用並びに開発期間が著しく増大する。これは最終製品の市場における製品寿命の短命化から考えても致命的である。
このように考えていくと、特に、設計ルールが、90ナノメーター以降のウエハ製造プロセスで、SOC化をするシステムは、非常に高い性能を追求するとともに、大量生産が可能であるシステムに限られていく。このような問題を回避するために、複数の半導体集積回路チップ又は異種のチップを1つのパッケージに収納するSIP(システム・イン・パッケージ)やMCM(マルチ・チップ・モジュール)という手法が広まりつつある。このようなSIPやMCMの技術としては、具体的には、例えば、支持基板上に、2つ以上の異なる半導体チップが並列にフェイスダウン実装されている構成を有する半導体パッケージが知られている(例えば、特許文献1及び特許文献2参照。)。この技術により、他社チップとの混載や、光・機械等の異種チップとの混載等が可能であり、半導体パッケージの多機能化を進めることも可能となる。
特開2003−007960号公報
特開2004−134715号公報
従来のSIPやMCM技術では、上記の特許文献1及び2に記載の通り、半導体パッケージの内部の半導体チップと外部との電気的な接続経路には、ボンディングワイヤーが存在することが多い。ボンディングワイヤーは主に、半導体チップと半導体パッケージのプリント配線板間の電気的接続に用いられる。このような構成の場合、ボンディングワイヤーの存在により、インダスタンスによる高周波特性の劣化や、また、半導体パッケージ全体の外周から電力が供給されるために、パッケージ内部、特に、チップ中心部での電位降下、などの問題を有している。更には、ボンディングワイヤーの数を多くして、多ピン化すると、ボンディングコストや、パッケージコストが上昇する、という問題を有する。加えて、半導体チップのレイアウトの制約から、ボンディングパッドをチップ外周縁に配置できない場合など、半導体パッケージの側の端子までボンディングワイヤーで引き出すことが困難になるなどの問題も有する。
一方、このような構成であると、パッケージ内の支持基板には、ボンディングワイヤーを接続する領域が必要となり、また、支持基板と半導体チップとの間にアンダーフィルを注入する場合、支持基板側のパッドと搭載する半導体チップのエッジ間にアンダーフィル注入のための領域が必要となり、その結果、支持基板の面積が大きくなるといった問題を有している。
一方、このような構成であると、パッケージ内の支持基板には、ボンディングワイヤーを接続する領域が必要となり、また、支持基板と半導体チップとの間にアンダーフィルを注入する場合、支持基板側のパッドと搭載する半導体チップのエッジ間にアンダーフィル注入のための領域が必要となり、その結果、支持基板の面積が大きくなるといった問題を有している。
本発明は、前記従来における問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。
すなわち、本発明は、複数の半導体チップを高密度で実装可能であり、かつ、プリント配線板との電気的な接続が容易かつ安価に行うことができる半導体装置、及び該半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
すなわち、本発明は、複数の半導体チップを高密度で実装可能であり、かつ、プリント配線板との電気的な接続が容易かつ安価に行うことができる半導体装置、及び該半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の半導体装置は、格子状に配列された複数の貫通電極を有する第1の半導体チップと、前記第1の半導体チップの第1の主面に配置された金属配線パターンと、前記金属配線パターン上に前記貫通電極の間隔より狭い間隔で設けられた複数の内部接続端子と、前記内部接続端子を介してフェイスダウンで前記金属配線パターンに電気的に接続された少なくとも1つの第2の半導体チップと、前記第1の半導体チップの第2の主面から露出した前記貫通電極の露出面に設けられると共に、装置外部のプリント配線板に直接接続可能な外部端子と、を含んで構成される。
本発明の半導体装置は、貫通電極に接続されている外部端子を、装置外部にあるプリント配線板に直接接続することが可能である。つまり、このような半導体装置は、第1の半導体チップ内に設けられた貫通電極に接続した外部端子を用いることで、本半導体装置の外部にあるプリント配線板と電気的に接続することが可能となる。
このため、従来のように、ワイヤーボンディングを用いプリント配線板に電気的に接続する構成に比べ、高周波特性の劣化や、チップの中心部における電位降下の問題を防止することができ、また、障害物の有無にも影響を受けることなく、ボンディングコストや、パッケージコストを抑えることが可能となる。
また、上記の構成の半導体装置によれば、第1の半導体チップ上には、ボンディングワイヤーとの接続部位やアンダーフィル注入工程に必要な領域を必要としないため、第1の半導体チップ上には、第2の半導体チップを高密度で実装することができる。
このため、従来のように、ワイヤーボンディングを用いプリント配線板に電気的に接続する構成に比べ、高周波特性の劣化や、チップの中心部における電位降下の問題を防止することができ、また、障害物の有無にも影響を受けることなく、ボンディングコストや、パッケージコストを抑えることが可能となる。
また、上記の構成の半導体装置によれば、第1の半導体チップ上には、ボンディングワイヤーとの接続部位やアンダーフィル注入工程に必要な領域を必要としないため、第1の半導体チップ上には、第2の半導体チップを高密度で実装することができる。
本発明では、第1の半導体チップの各辺のサイズを、貫通電極の間隔の正の整数倍よりダイシングにより消失する部分だけ減じた大きさとしたものが好ましい。
また、本発明では、複数の貫通電極の最外周に位置する貫通電極の中心から第1の半導体チップを形成するためのスクライブ線の中心までの距離を、貫通電極の間隔の1/2としたものが好ましい。
本発明に好適な態様としては、貫通電極の間隔を、内部接続端子の間隔の10倍以上としたものである。
また、本発明において、外部端子を、予め選択された貫通電極の露出面に設けたものであることが好ましい態様である。これにより、プリント配線板の配線パターンの形状に応じて、使用する外部端子を選択することができる。
前記外部端子としては、ハンダボール又はランドであることが好適である。これにより、プリント配線板との接続が容易になる。
半導体装置の耐湿性、機械的強度向上のためには、第1の半導体チップの第1の主面を第2の半導体チップと共に樹脂でモールドしたものであることが好ましい。加えて、第1の半導体チップの第2の主面における外部端子が配置されていない部分を樹脂でモールドすることにより、更に耐湿性、機械的強度を向上させることも可能である。
上記のような構成の本発明の半導体装置は、下記に示す本発明の半導体装置の製造方法により、製造することができる。
即ち、本発明の半導体装置の製造方法は、第1の主面側に複数の埋込電極が格子状に配列された半導体基板の該埋込電極上に金属配線パターンを形成する工程と、前記半導体基板の第2の主面側を前記埋込電極が露出するまで研削し、当該埋込電極を貫通電極とする工程と、前記金属配線パターン上に前記貫通電極の間隔より狭い間隔で複数の内部接続端子を形成する工程と、前記内部接続端子を介してフェイスダウンで前記金属配線パターンに、少なくとも1つの半導体チップを電気的に接続する工程と、前記貫通電極の露出面に設けられると共に、装置外部のプリント配線板に直接接続可能な外部端子を形成する工程と、前記半導体基板をダイシングする工程と、を含むものである。
即ち、本発明の半導体装置の製造方法は、第1の主面側に複数の埋込電極が格子状に配列された半導体基板の該埋込電極上に金属配線パターンを形成する工程と、前記半導体基板の第2の主面側を前記埋込電極が露出するまで研削し、当該埋込電極を貫通電極とする工程と、前記金属配線パターン上に前記貫通電極の間隔より狭い間隔で複数の内部接続端子を形成する工程と、前記内部接続端子を介してフェイスダウンで前記金属配線パターンに、少なくとも1つの半導体チップを電気的に接続する工程と、前記貫通電極の露出面に設けられると共に、装置外部のプリント配線板に直接接続可能な外部端子を形成する工程と、前記半導体基板をダイシングする工程と、を含むものである。
本発明によれば、複数の半導体チップを高密度で実装可能であり、かつ、プリント配線板との電気的な接続が容易かつ安価に行うことができる半導体装置、及び該半導体装置の製造方法を提供することができる。
その結果、プリント配線板と半導体装置との電気的な接続の寄生抵抗、寄生容量が低減可能となり、また、製造工期(TAT)の短縮、コスト低減、プリント配線板実装時の容積低減、低消費電力化、高周波特性向上を達成することができる。
その結果、プリント配線板と半導体装置との電気的な接続の寄生抵抗、寄生容量が低減可能となり、また、製造工期(TAT)の短縮、コスト低減、プリント配線板実装時の容積低減、低消費電力化、高周波特性向上を達成することができる。
次に、本発明の半導体装置及び該半導体装置の製造方法について説明する。
以下の説明は、本発明の半導体装置及び該半導体装置の製造方法の実施態様を説明するものであり、本発明が以下の実施形態に限定されるものではない。また、説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略及び簡略化がなされている。また、当業者であれば、以下の実施形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加、変換することが可能である。なお、各図において同一の符号を付されたものは同一の構成要素を示しており、適宜、説明を省略する。
以下の説明は、本発明の半導体装置及び該半導体装置の製造方法の実施態様を説明するものであり、本発明が以下の実施形態に限定されるものではない。また、説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略及び簡略化がなされている。また、当業者であれば、以下の実施形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加、変換することが可能である。なお、各図において同一の符号を付されたものは同一の構成要素を示しており、適宜、説明を省略する。
本発明の半導体装置の実施態様について、図1を参照して説明する。図1は、本発明の半導体装置の実施態様の構成を示す概略断面図である。
図1に示されるように、本実施態様に係る半導体装置は、貫通電極12を備える第1の半導体チップ10と、第1の主面Fa上に配置されたバリアメタル膜22及び金属膜24からなる金属配線パターン20と、金属配線パターン20に接続されたマイクロバンプ(内部接続端子)30と、マイクロバンプ30を介して第1の半導体チップ10にフェイスダウン実装される第2の半導体チップ40a、40bと、貫通電極12に接続された外部端子50と、金属配線パターン20と第2の半導体チップ40a、40bとの間に注入されたアンダーフィル60と、により構成されている。
以下、この半導体装置の実施態様について詳細に説明する。
図1に示されるように、本実施態様に係る半導体装置は、貫通電極12を備える第1の半導体チップ10と、第1の主面Fa上に配置されたバリアメタル膜22及び金属膜24からなる金属配線パターン20と、金属配線パターン20に接続されたマイクロバンプ(内部接続端子)30と、マイクロバンプ30を介して第1の半導体チップ10にフェイスダウン実装される第2の半導体チップ40a、40bと、貫通電極12に接続された外部端子50と、金属配線パターン20と第2の半導体チップ40a、40bとの間に注入されたアンダーフィル60と、により構成されている。
以下、この半導体装置の実施態様について詳細に説明する。
第1の半導体チップ10には、図1に示されるように、基板14を貫通する複数の貫通電極12が等間隔で格子状に配列されている。また、貫通電極12と基板14との間には絶縁膜16が設けられている。更に、絶縁膜16は、基板14の第1の主面Faにおいて貫通電極12が露出していない領域も被覆している。
加えて、基板14の第1の主面Fbにおいて貫通電極12が露出していない領域は、絶縁膜18により被覆されている。
加えて、基板14の第1の主面Fbにおいて貫通電極12が露出していない領域は、絶縁膜18により被覆されている。
また、第1の半導体チップ10に設けられる貫通電極12の配列間隔は、マイクロバンプ30の配列間隔はよりも大きいことが好ましい。貫通電極12の配列間隔は、標準化団体により規格化されており、その間隔は0.1mm〜1mmのオーダーである。これに対してマイクロバンプ30の配列間隔は、半導体の微細加工技術を適用することにより貫通電極12よりも狭ピッチ化が可能であり、アプリケーションに応じた配列間隔を設定可能である。その間隔は1μm〜100μmのオーダーである。このように本発明の第1の半導体チップ10は、貫通電極12とマイクロバンプ30の配列間隔の違いを吸収する役割ももっており、貫通電極12の配列間隔はマイクロバンプ30の配列間隔の10倍以上100倍以下とすることにより、効率良いプリント配線板への実装が可能となる。
第1の半導体チップ10は、シリコンインターポーザで構成されている。これにより、例えば、第2の半導体チップ40a、40bがシリコン基板を用いたものであれば、シリコンインターポーザである第1の半導体チップ10を用いることで、熱や伸び縮み等に対する物理的な強度を向上させることができ、その結果、高い信頼性を確保できる。
また、第1の半導体チップ10における基板14は、GaAs等の絶縁基板であってもよい。基板14を絶縁基板にすることで、貫通電極12と基板14との間に設けられる絶縁膜16を省略することが可能となり、また、高周波特性の向上を図ることができる。
なお、第1の半導体チップ10は、ウエハからダイシングされることで、所定のサイズに分割されるが、その際、各辺のサイズが、貫通電極12の間隔の正の整数倍よりダイシングにより消失する部分だけ減じた大きさであることが好適である。
第1の半導体チップの第1の主面Fa上には、絶縁膜26中に形成されるバリアメタル膜22及び金属膜24からなる金属配線パターン20が配置される。バリアメタル膜22は、貫通電極14と接触配置されており、そのバリアメタル膜22の上部に多層の金属膜24が形成されている。このような金属配線パターン20の形状は、上部にフェイスダウンで実装される第2の半導体チップ40a、40bの金属配線パターン42a、42bの形状に合わせて、設定される。
金属配線パターン20における金属膜24の最上部には、第1の半導体チップ10と第2の半導体チップ40a、40bとを、物理的かつ電気的に接続するためのマイクロバンプ(内部接続端子)30が形成されている。
なお、本実施態様では、内部接続端子がマイクロバンプであるが、特にこの形態に限定されるものではなく、その他、常温接合に用いられる金属ポストや金属パッドも内部接続端子として用いることができる。
なお、本実施態様では、内部接続端子がマイクロバンプであるが、特にこの形態に限定されるものではなく、その他、常温接合に用いられる金属ポストや金属パッドも内部接続端子として用いることができる。
第2の半導体チップ40a、40bは、所望する半導体装置に合わせて、適宜、選択すればよい。第2の半導体チップ40a、40bとして用いられるものとしては、具体的には、RAMやフラッシュメモリ等のメモリ、アナログ回路、論理回路、ASIC等の集積回路等が挙げられる。
なお、図1においては、第2の半導体チップが2つ設けられた構成について示したが、本発明の半導体装置はこの構成に限定されるものではなく、第2の半導体チップを1つ以上有していればよい。また、第2の半導体チップが複数設けられる場合、それらは、異なる種類ものものであってもよいし、同じものであってもよい。
なお、図1においては、第2の半導体チップが2つ設けられた構成について示したが、本発明の半導体装置はこの構成に限定されるものではなく、第2の半導体チップを1つ以上有していればよい。また、第2の半導体チップが複数設けられる場合、それらは、異なる種類ものものであってもよいし、同じものであってもよい。
第1の半導体チップ10の第2の主面Fb側には、貫通電極12の露出面に接触した外部端子50が形成されている。これにより、貫通電極12と外部端子50とが物理的かつ電気的に接続される。
この外部端子50は、本発明の半導体装置と、該半導体装置の外部にあるプリント配線板と、を接続するために用いられる。そのため、外部端子50は、必ずしも貫通電極12の全てに接触配置する必要はなく、この外部端子50と直接電気的に接続するプリント配線板の配線パターンに応じて、選択された貫通電極12に対してのみ接触配置されればよい。
また、外部端子50の好適な態様としては、ランドや、はんだボールなどのバンプが挙げられる。
この外部端子50は、本発明の半導体装置と、該半導体装置の外部にあるプリント配線板と、を接続するために用いられる。そのため、外部端子50は、必ずしも貫通電極12の全てに接触配置する必要はなく、この外部端子50と直接電気的に接続するプリント配線板の配線パターンに応じて、選択された貫通電極12に対してのみ接触配置されればよい。
また、外部端子50の好適な態様としては、ランドや、はんだボールなどのバンプが挙げられる。
金属配線パターン20と第2の半導体チップ40a、40bとの間には、アンダーフィル60が設けられている。これにより、第2の半導体チップ40a、40bと、第1の半導体チップ10と、の間の熱膨張率のミスマッチを防止することができる。なお、第2の半導体チップ40a、40bと、第1の半導体チップ10と、の間の熱膨張率の差が少ない場合には、アンダーフィル60を省略することも可能である。
このような本実施態様の半導体装置は、更に、第1の半導体チップ10の第1の主面Faを第2の半導体チップ40a、40bと共に樹脂でモールドしたものであることが好ましく、また、第1の半導体チップ10の第2の主面Fbにおける外部端子50が配置されていない部分を樹脂でモールドしたものであることも好ましく、この両方を行ったものも好ましい態様である。
このように、半導体装置の上面及び底面をモールディングすることにより、半導体装置の物理的な強度を向上させることができる。
このように、半導体装置の上面及び底面をモールディングすることにより、半導体装置の物理的な強度を向上させることができる。
<半導体装置の製造方法>
次に、図面を参照して、本発明の半導体装置の製造方法における第1及び第2の実施態様について説明する。
次に、図面を参照して、本発明の半導体装置の製造方法における第1及び第2の実施態様について説明する。
(第1の実施態様)
本発明の半導体装置の製造方法における第1の実施態様について、図2及び図3を参照して説明する。
まず、図2(a)に示されるように、埋込電極12aが配列された第1の半導体チップ用の半導体基板14を用意する。ここで、本発明における「第1の半導体チップ用の半導体基板」とは、後述する図4及び図5に示されるようなウエハの形態であってもよく、また、このウエハを所望のサイズに切断されたものも含まれる。
本発明の半導体装置の製造方法における第1の実施態様について、図2及び図3を参照して説明する。
まず、図2(a)に示されるように、埋込電極12aが配列された第1の半導体チップ用の半導体基板14を用意する。ここで、本発明における「第1の半導体チップ用の半導体基板」とは、後述する図4及び図5に示されるようなウエハの形態であってもよく、また、このウエハを所望のサイズに切断されたものも含まれる。
本発明においては、半導体基板中の埋込電極(貫通電極)間の距離(間隔)は、具体的には、プリント配線板の配線パターンに対する接続容易性、及び、温度サイクル耐性の点から、500μm以上であることが好ましく、500〜1250μmの範囲であることがより好ましい。
また、埋込電極(貫通電極)の直径は、電気抵抗及び機械的強度を考慮して決定することができる。具体的には、50〜300μmの範囲であることが好ましい。
また、埋込電極(貫通電極)の直径は、電気抵抗及び機械的強度を考慮して決定することができる。具体的には、50〜300μmの範囲であることが好ましい。
ここで、図2(a)に示されるような、埋込電極12aが配列された第1の半導体チップ用の半導体基板14の作製方法の一例を説明する。
まず、シリコンウエハに対して、反応性イオンエッチング法(RIE法)により、埋込電極12aの形状やその間隔に応じて、所定の凹部を形成する。続いて、エッチング面全面に対して、熱酸化膜等の絶縁膜16を形成する。その後、凹部に、例えば、銅メッキにより埋込電極12aを形成する。
なお、このような半導体基板は、埋込電極が格子状に配列している形態を有していればよく、その作製方法は上記の方法で限定されるものではない。
まず、シリコンウエハに対して、反応性イオンエッチング法(RIE法)により、埋込電極12aの形状やその間隔に応じて、所定の凹部を形成する。続いて、エッチング面全面に対して、熱酸化膜等の絶縁膜16を形成する。その後、凹部に、例えば、銅メッキにより埋込電極12aを形成する。
なお、このような半導体基板は、埋込電極が格子状に配列している形態を有していればよく、その作製方法は上記の方法で限定されるものではない。
上記のような方法で得られた、銅からなる埋込電極12aが配列されてなる半導体基板(シリコンウエハ)14を用意した(図2(a))の後、図2(b)に示されるように、埋込電極12aが露出する面に対して、所定の厚さのバリアメタル膜22と、所定の厚さの1層目の配線用の金属膜24と、を、例えば、スパッタ法により成膜する。更に、その上に、保護のための絶縁膜26を、例えば、CVDを用いて所定の厚さに成膜する。
なお、本発明において、図2(b)に示されるように、半導体基板10aの埋込電極12a上に、バリアメタル膜22、金属膜24、及び絶縁膜26をこの順に設けた形態は、汎用性を有する。そのため、以降の工程を所望の製品毎にカスタマイズすることで、各種の製品への応用が可能となる。
続いて、図2(c)に示されるように、例えば、フォトリソグラフィ技術を用いて、多層の絶縁膜26中に、バリアメタル膜22と2層の金属膜24とからなる金属配線パターン20を形成する。この際、金属配線パターン20の形状は、第2の半導体チップ40a、40bの形態に応じて、電気的に接続可能なように形成される(金属配線パターン形成工程)。
その後、図2(d)に示されるように、基板14の下方を、埋込電極12aが露出するまで研削し、貫通電極12とする(貫通電極形成工程)。次いで、研削面全面に、所定の厚さの絶縁膜18をCVD等により成膜する。
続いて、図3(e)に示されるように、金属配線パターン20の最上面を形成する2層目の金属膜24上に、マイクロバンプ(内部接続端子)30を形成する(内部接続端子形成工程)。その後、図3(f)に示されるように、例えば、DRAMからなる第2の半導体チップ40aと、ASICからなる第2の半導体チップ40bと、をそれぞれ、マイクロバンプ30に物理的かつ電気的に接続する(半導体チップ接続工程)。
また、金属配線パターン20と、第2の半導体チップ40a、40bと、の間の領域に、アンダーフィル60を注入する。
また、金属配線パターン20と、第2の半導体チップ40a、40bと、の間の領域に、アンダーフィル60を注入する。
続いて、図3(g)に示されるように、第2の主面Fbに対して、必要な箇所のみ開口するマスクを使用し、リソグラフィ技術にて、選択された貫通電極12を、再度、露出させる。そして、選択された貫通電極12に対して、はんだボールによるバンプ(外部端子)50を設ける(外部端子形成工程)。
その後、第1の半導体チップ用の半導体基板14として、ウエハの形態や第1の半導体チップよりも大きなサイズの基板を用いることから、半導体基板を、所望の第1の半導体チップのサイズにダイシングする工程(ダイシング工程)が施される。
これらの工程を経ることにより、本発明の半導体装置が製造される。
これらの工程を経ることにより、本発明の半導体装置が製造される。
ここで、本発明におけるダイシング工程について、図4及び図5を参照して説明する。図4及び図5は、第1の半導体チップ用の半導体基板の一例であるウエハを示す平面概略図である。
図4に示すように、ウエハ14Aには、所定の間隔waを隔てて埋込電極12aが格子状に配列されている。このウエハ14Aを、埋込電極12aの電極列間の中心を通るスクライブ線Lに沿ってダイシングすることで、所定の大きさの角形の第1の半導体チップを得ることができる。
ここで、図4に示すように、埋込電極12a間の間隔がwaであるので、スクライブ線Lに沿ってダイシングされた第1の半導体チップの両辺のサイズは、wa×n(nは正の整数、図4では14)となる。
また、スクライブ線Lにより分離される第1の半導体チップにおいて、最外周に位置する埋込電極12aの中心からスクライブ線Lの中心までの距離は、wa/2(waの1/2倍)である。なお、第1の半導体チップは、wa×n未満の大きさにダイシングしてもよく、この場合は、埋込電極12aからスクライブ線Lの中心までの距離は、wa/2未満になる。
図4に示すように、ウエハ14Aには、所定の間隔waを隔てて埋込電極12aが格子状に配列されている。このウエハ14Aを、埋込電極12aの電極列間の中心を通るスクライブ線Lに沿ってダイシングすることで、所定の大きさの角形の第1の半導体チップを得ることができる。
ここで、図4に示すように、埋込電極12a間の間隔がwaであるので、スクライブ線Lに沿ってダイシングされた第1の半導体チップの両辺のサイズは、wa×n(nは正の整数、図4では14)となる。
また、スクライブ線Lにより分離される第1の半導体チップにおいて、最外周に位置する埋込電極12aの中心からスクライブ線Lの中心までの距離は、wa/2(waの1/2倍)である。なお、第1の半導体チップは、wa×n未満の大きさにダイシングしてもよく、この場合は、埋込電極12aからスクライブ線Lの中心までの距離は、wa/2未満になる。
また、図5に示すように、ウエハ14Bは、所定の間隔wbを隔てて埋込電極12aが格子状に配列されている。このウエハ14Bを、埋込電極12aの電極列間の中心を通るスクライブ線Lに沿ってダイシングすることで、所定の大きさの角形の第1の半導体チップを得ることができる。
図5に示すように、埋込電極12a間の間隔がwbであるので、スクライブ線Lに沿ってダイシングされた第1の半導体チップの一辺のサイズがwb×p(pは正の整数、図5では10)、他の一辺のサイズがwb×q(qは正の整数、図5では8)となる。
また、スクライブ線Lにより分離される第1の半導体チップにおいて、最外周に位置する埋込電極12aの中心からスクライブ線Lの中心までの距離は、wb/2(wbの1/2倍)である。なお、第1の半導体チップは、wb×p未満及び/又はwb×q未満の大きさにダイシングしてもよく、この場合は、埋込電極12aからスクライブ線Lの中心までの距離は、wb/2未満になる。
図5に示すように、埋込電極12a間の間隔がwbであるので、スクライブ線Lに沿ってダイシングされた第1の半導体チップの一辺のサイズがwb×p(pは正の整数、図5では10)、他の一辺のサイズがwb×q(qは正の整数、図5では8)となる。
また、スクライブ線Lにより分離される第1の半導体チップにおいて、最外周に位置する埋込電極12aの中心からスクライブ線Lの中心までの距離は、wb/2(wbの1/2倍)である。なお、第1の半導体チップは、wb×p未満及び/又はwb×q未満の大きさにダイシングしてもよく、この場合は、埋込電極12aからスクライブ線Lの中心までの距離は、wb/2未満になる。
上記のように、ダイシング工程において、複数の貫通電極の最外周に位置する貫通電極の中心から第1の半導体チップを形成するためのスクライブ線の中心までの距離を、貫通電極の間隔の1/2とすることが好適である。このためには、ダイシングに用いるスクライブ線の中心を、半導体基板における隣接する埋込電極間の中心位置に設定すればよい。
これにより、ダイシング工程において得られた第1の半導体チップの各辺のサイズは、貫通電極の間隔の正の整数倍よりダイシングにより消失する部分だけ減じた大きさとなる。
これにより、ダイシング工程において得られた第1の半導体チップの各辺のサイズは、貫通電極の間隔の正の整数倍よりダイシングにより消失する部分だけ減じた大きさとなる。
(第2の実施態様)
本発明の半導体装置の製造方法における第2の実施態様について、図6及び図7を参照して説明する。なお、第2の実施態様において、半導体基板14上に、バリアメタル膜22、金属膜24、絶縁膜26をこの順に成膜するまでの工程は、第1の実施態様の図2(a)及び(b)に示される工程と同様であるため、ここでは、説明を省略する。
半導体基板14上に、バリアメタル膜22、金属膜24、絶縁膜26をこの順に成膜された後、図6(a)に示されるように、例えば、フォトリソグラフィ技術を用いて、多層の絶縁膜26中に、バリアメタル膜22と3層の金属膜24とからなる金属配線パターン20を形成する。この際、金属配線パターン20の形状は、第2の半導体チップ40a、40bの形態に応じて、電気的に接続可能なように形成される(金属配線形成工程)。
本発明の半導体装置の製造方法における第2の実施態様について、図6及び図7を参照して説明する。なお、第2の実施態様において、半導体基板14上に、バリアメタル膜22、金属膜24、絶縁膜26をこの順に成膜するまでの工程は、第1の実施態様の図2(a)及び(b)に示される工程と同様であるため、ここでは、説明を省略する。
半導体基板14上に、バリアメタル膜22、金属膜24、絶縁膜26をこの順に成膜された後、図6(a)に示されるように、例えば、フォトリソグラフィ技術を用いて、多層の絶縁膜26中に、バリアメタル膜22と3層の金属膜24とからなる金属配線パターン20を形成する。この際、金属配線パターン20の形状は、第2の半導体チップ40a、40bの形態に応じて、電気的に接続可能なように形成される(金属配線形成工程)。
その後、図6(b)に示されるように、基板14の下方を、埋込電極12aが露出するまで研削し、貫通電極12とする(貫通電極形成工程)。続いて、研削面全面に、所定の厚さの絶縁膜18をCVD等により成膜する。
続いて、図6(c)に示されるように、金属配線パターン20の最上面を形成する3層目の金属膜24上に、マイクロバンプ(内部接続端子)30を形成する(内部接続端子形成工程)。
そして、図7(d)に示されるように、例えば、DRAMからなる第2の半導体チップ40aと、ASICからなる第2の半導体チップ40bと、を、バンプ30に物理的かつ電気的に接続する(半導体チップ接続工程)。
また、金属配線パターン20と、第2の半導体チップ40a、40bと、の間の領域に、アンダーフィル60を注入した後、第2の半導体チップ40a、40bの上方から、樹脂層70によりモールドする(モールド工程)。
続いて、図7(d)に示されるように、第2の主面Fbに対して、必要な箇所のみ開口するマスクを使用し、リソグラフィ技術にて、選択された貫通電極12を、再度、露出させる。そして、選択された貫通電極12に対して、ポスト54をメッキにより形成する。
また、金属配線パターン20と、第2の半導体チップ40a、40bと、の間の領域に、アンダーフィル60を注入した後、第2の半導体チップ40a、40bの上方から、樹脂層70によりモールドする(モールド工程)。
続いて、図7(d)に示されるように、第2の主面Fbに対して、必要な箇所のみ開口するマスクを使用し、リソグラフィ技術にて、選択された貫通電極12を、再度、露出させる。そして、選択された貫通電極12に対して、ポスト54をメッキにより形成する。
その後、図7(e)に示されるように、第2の主面Fbに対して、ポスト54の露出する側面を覆うように樹脂層72でモールドした(モールド工程)。そして、ポスト54に対して接続するバンプ(外部端子)50が設けられる(外部端子形成工程)。
この後、第1の半導体チップ用の半導体基板14として、ウエハの形態や第1の半導体チップよりも大きなサイズの基板を用いることから、図4及び図5に示されたようなスクライブ線Lに沿って、半導体基板を、所望の第1の半導体チップのサイズにダイシングする工程(ダイシング工程)が施される。
これらの工程を経ることにより、本発明の半導体装置が製造される。
これらの工程を経ることにより、本発明の半導体装置が製造される。
なお、第1の実施形態及び第2の実施形態のダイシング工程においては、スクライブ線に沿ったダイシングを正確に行うために、第1の半導体チップ用の半導体基板に対して、アライメントマークを設けることができる。また、配列している貫通電極の個数を基準としてダイシングを行ってもよいし、所定の貫通電極に対し、材質を変えたり、着色したり、直径を変える等の方法で目印を付け、その目印の貫通電極を基準にダイシングを行ってもよい。
次に、本発明の半導体装置における外部端子の設置形態について詳細に説明する。
図8は、本発明の半導体装置における外部端子の使用方法を説明するために用いる概略図であり、(a)は平面図であり、(b)はC−C線における断面図であり、(c)〜(e)底面図である。
図8(a)及び(b)に示されるように、この半導体装置は、第1の半導体チップ10上に、金属配線パターン20を介して、4つの第2の半導体チップ40a、40b、40c、40dが設けられた態様である。
図8(c)は、図8(a)及び(b)に示される半導体装置の底面を示した図である。ここでは、半導体装置の底面(第1の半導体チップの第2の主面)に、外部端子50が配列して設けられているが、その一部、すなわち、白丸で表されている箇所は、第1の半導体チップ10中に貫通電極12が設けられているものの、外部端子50が設けられていない箇所を示す。より具体的には、図8(c)に示すように、貫通電極12が256個設けられているうち、外部端子50が接続している箇所は224箇所であり、外部端子50は貫通電極12に対し、選択的に接続していることが分かる。
図8は、本発明の半導体装置における外部端子の使用方法を説明するために用いる概略図であり、(a)は平面図であり、(b)はC−C線における断面図であり、(c)〜(e)底面図である。
図8(a)及び(b)に示されるように、この半導体装置は、第1の半導体チップ10上に、金属配線パターン20を介して、4つの第2の半導体チップ40a、40b、40c、40dが設けられた態様である。
図8(c)は、図8(a)及び(b)に示される半導体装置の底面を示した図である。ここでは、半導体装置の底面(第1の半導体チップの第2の主面)に、外部端子50が配列して設けられているが、その一部、すなわち、白丸で表されている箇所は、第1の半導体チップ10中に貫通電極12が設けられているものの、外部端子50が設けられていない箇所を示す。より具体的には、図8(c)に示すように、貫通電極12が256個設けられているうち、外部端子50が接続している箇所は224箇所であり、外部端子50は貫通電極12に対し、選択的に接続していることが分かる。
一方、図8(d)及び(e)は、本発明の半導体装置における外部端子の設置形態について別の態様を示したものである。
図8(d)に示されるように、外部端子50が設けられている箇所と、設けられていない箇所(白丸表示箇所)と、が交互に存在する状態を形成することができる。このようにすることで、例えば、隣接する貫通電極12の中心間の距離(間隔)が0.5mmであれば、隣接する外部端子50の中心間の距離(間隔)は0.5mm×21/2≒0.7mmとなる。
また、図8(e)に示されるように、外部端子50が設けられている箇所の周囲に、外部端子50が設けられていない箇所が存在するような状態を形成することもできる。この場合、例えば、隣接する貫通電極12の中心間の距離(間隔)が0.5mmであれば、隣接する外部端子50の中心間の距離(間隔)は0.5mm×2=1.0mmとなる。
図8(d)に示されるように、外部端子50が設けられている箇所と、設けられていない箇所(白丸表示箇所)と、が交互に存在する状態を形成することができる。このようにすることで、例えば、隣接する貫通電極12の中心間の距離(間隔)が0.5mmであれば、隣接する外部端子50の中心間の距離(間隔)は0.5mm×21/2≒0.7mmとなる。
また、図8(e)に示されるように、外部端子50が設けられている箇所の周囲に、外部端子50が設けられていない箇所が存在するような状態を形成することもできる。この場合、例えば、隣接する貫通電極12の中心間の距離(間隔)が0.5mmであれば、隣接する外部端子50の中心間の距離(間隔)は0.5mm×2=1.0mmとなる。
以上のように、外部端子間の距離(間隔)は、貫通電極の配列状態を基に、その外部端子を設置する箇所を選択することで、任意に調整することができる。そのため、本発明の半導体装置において、直接電気的に接続するプリント配線板の配線パターンに合わせて、外部端子を設置することができる。
これらの結果、製造された半導体装置(本発明の半導体装置)は、フレキシブル性を有し、様々なプリント配線板の配線パターンに直接電気的に接続することが可能となる。これは、プリント配線基板の配線パターンに応じて貫通電極の設置位置を設定した後、半導体装置を製造する技術とは異なり、本発明によれば、半導体装置の製造工程の簡易化や、コストの低減を図ることができる。
これらの結果、製造された半導体装置(本発明の半導体装置)は、フレキシブル性を有し、様々なプリント配線板の配線パターンに直接電気的に接続することが可能となる。これは、プリント配線基板の配線パターンに応じて貫通電極の設置位置を設定した後、半導体装置を製造する技術とは異なり、本発明によれば、半導体装置の製造工程の簡易化や、コストの低減を図ることができる。
10 第1の半導体チップ
12 貫通電極
14 (第1の半導体チップ用の)半導体基板
14A、14B ウエハ
20 金属配線パターン
30 マイクロバンプ(内部接続端子)
40a、40b 第2の半導体チップ
50 バンプ(外部端子)
Fa 第1の主面
Fb 第2の主面
L スクライブ線
12 貫通電極
14 (第1の半導体チップ用の)半導体基板
14A、14B ウエハ
20 金属配線パターン
30 マイクロバンプ(内部接続端子)
40a、40b 第2の半導体チップ
50 バンプ(外部端子)
Fa 第1の主面
Fb 第2の主面
L スクライブ線
Claims (15)
- 格子状に配列された複数の貫通電極を有する第1の半導体チップと、
前記第1の半導体チップの第1の主面に配置された金属配線パターンと、
前記金属配線パターン上に前記貫通電極の間隔より狭い間隔で設けられた複数の内部接続端子と、
前記内部接続端子を介してフェイスダウンで前記金属配線パターンに電気的に接続された少なくとも1つの第2の半導体チップと、
前記第1の半導体チップの第2の主面から露出した前記貫通電極の露出面に設けられると共に、装置外部のプリント配線板に直接接続可能な外部端子と、
を含む半導体装置。 - 前記第1の半導体チップの各辺のサイズを、前記貫通電極の間隔の正の整数倍よりダイシングにより消失する部分だけ減じた大きさとした請求項1に記載の半導体装置。
- 前記複数の貫通電極の最外周に位置する貫通電極の中心から前記第1の半導体チップを形成するためのスクライブ線の中心までの距離を、前記貫通電極の間隔の1/2とした請求項1又は請求項2に記載の半導体装置。
- 前記貫通電極の間隔を、前記内部接続端子の間隔の10倍以上とした請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記外部端子を、予め選択された貫通電極の露出面に設けた請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記外部端子は、ハンダボール又はランドである請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1の半導体チップの第1の主面を前記第2の半導体チップと共に樹脂でモールドした請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1の半導体チップの第2の主面における外部端子が配置されていない部分を樹脂でモールドした請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 第1の主面側に複数の埋込電極が格子状に配列された半導体基板の該埋込電極上に金属配線パターンを形成する工程と、
前記半導体基板の第2の主面側を前記埋込電極が露出するまで研削し、当該埋込電極を貫通電極とする工程と、
前記金属配線パターン上に前記貫通電極の間隔より狭い間隔で複数の内部接続端子を形成する工程と、
前記内部接続端子を介してフェイスダウンで前記金属配線パターンに、少なくとも1つの半導体チップを電気的に接続する工程と、
前記貫通電極の露出面に設けられると共に、装置外部のプリント配線板に直接接続可能な外部端子を形成する工程と、
前記半導体基板をダイシングする工程と、
を含む半導体装置の製造方法。 - 前記ダイシングに用いるスクライブ線の中心を、前記半導体基板における隣接する前記埋込電極間の中心位置に設定した請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記貫通電極の間隔を、前記内部接続端子の間隔の10倍以上とした請求項9又は請求項10に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記外部端子を、予め選択された貫通電極の露出面に設けた請求項9〜請求項11のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記外部端子は、ハンダボール又はランドである請求項9〜請求項12のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の半導体チップの第1の主面を前記第2の半導体チップと共に樹脂でモールドする工程を含む請求項9〜請求項13のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の半導体チップの第2の主面における外部端子が配置されていない部分を樹脂でモールドする工程を含む請求項9〜請求項14のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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JP2005296814A JP2007109730A (ja) | 2005-10-11 | 2005-10-11 | 半導体装置、及びその製造方法 |
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JP2005296814A JP2007109730A (ja) | 2005-10-11 | 2005-10-11 | 半導体装置、及びその製造方法 |
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JP2007109730A true JP2007109730A (ja) | 2007-04-26 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005296814A Pending JP2007109730A (ja) | 2005-10-11 | 2005-10-11 | 半導体装置、及びその製造方法 |
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JP (1) | JP2007109730A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102832200A (zh) * | 2011-06-15 | 2012-12-19 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 半导体结构及其形成方法 |
-
2005
- 2005-10-11 JP JP2005296814A patent/JP2007109730A/ja active Pending
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CN102832200A (zh) * | 2011-06-15 | 2012-12-19 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 半导体结构及其形成方法 |
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