JP2007109700A - ウィスカー形成放熱体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡単な工程で得られ、放熱性が高くかさばらないウィスカー形成放熱体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】金属基体の表面にウィスカーを形成し、ウィスカー形成部分の表面積は基体のみの表面積に対して5〜1000倍であるウィスカー形成放熱体である。半導体パッケージに用いる。ウィスカー形成部位の放射率が0.7以上である。
【選択図】なし
【解決手段】金属基体の表面にウィスカーを形成し、ウィスカー形成部分の表面積は基体のみの表面積に対して5〜1000倍であるウィスカー形成放熱体である。半導体パッケージに用いる。ウィスカー形成部位の放射率が0.7以上である。
【選択図】なし
Description
本発明は、ウィスカー形成放熱体及びその製造方法に係り、更に詳細には、小型でも放熱性に優れるウィスカー形成放熱体及びその製造方法に関する。
近年、半導体技術の進歩による超微細化に伴い、急速に高集積化が進んでおり、電子部品の小型化への要求が高まっている。
しかし、部品の発熱量が増える一方で、機器の小型化による放熱が困難となっている。
しかし、部品の発熱量が増える一方で、機器の小型化による放熱が困難となっている。
このため、半導体部品の放熱効率の向上が必要とされている。
例えば、図1に示すように、アルミなどの放熱フィン(ヒートシンク5)をパッケージに取り付けることが提案されている(例えば、特許文献1参照。)
また、基体やパッケージに高熱伝導性セラミックスを使用したり、封止用樹脂に高熱伝導電性セラミックスを分散させることが提案されている(例えば特許文献2参照。)
更に、金属パッケージ表面に酸化膜やセラミックス被膜を形成することが提案されている(例えば、特許文献3参照。)
特開平9−321192号公報
特開2004−363309号公報
特許第3157541号公報
例えば、図1に示すように、アルミなどの放熱フィン(ヒートシンク5)をパッケージに取り付けることが提案されている(例えば、特許文献1参照。)
また、基体やパッケージに高熱伝導性セラミックスを使用したり、封止用樹脂に高熱伝導電性セラミックスを分散させることが提案されている(例えば特許文献2参照。)
更に、金属パッケージ表面に酸化膜やセラミックス被膜を形成することが提案されている(例えば、特許文献3参照。)
しかしながら、特許文献1に記載の技術では、金属なので熱伝導は充分に高いが、表面積が小さいので放熱量には上限がある。また、半導体チップのサイズが小さくなるほど放熱量が小さくなる。更に、部品全体がかさばる、重くなる。
また、特許文献2に記載の技術では、製造工程が複雑である。また、セラミックスの粒子化、分散などを行うため高コストである。更に、半導体パッケージを水溶液に浸さなければならないので、腐食などの不安がある。更にまた、特許文献1の技術と同様に表面積に上限があり、パッケージのサイズが小さくなるほど放熱量が小さくなる。
更に、特許文献3に記載の技術では、放熱効果はあるが、放熱部の表面積がパッケージの表面積と同じで放熱に限界がある。また、ヒートシンクの放熱で非常に高い放熱効果が得られるが、半導体チップに対して非常に大きくかさばるものを別の工程で作製し、取り付けなければならない。
このような背景から、本発明者らは、放熱効率を向上させるには、(1)放射率の高い材料を表面に出すこと、(2)熱伝導率の高い材料を使用すること、(3)大気に触れる部分の表面積を増やすこと、(4)熱対流を妨げない表面構造にすること、を満たせばよいことを知見した。
本発明は、このような従来技術の有する課題及び新たな知見に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、簡単な工程で得られ、放熱性が高くかさばらないウィスカー形成放熱体及びその製造方法を提供することにある。
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意研究を重ねた結果、放射率の高いウィスカーを表面に形成させることにより、上記目的が達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
即ち、本発明のウィスカー形成放熱体は、金属基体の表面の一部又は全部にウィスカーを形成したウィスカー形成放熱体であって、
ウィスカー形成部分の表面積は、当該基体のみの表面積に対して5〜1000倍であることを特徴とする。
また、本発明のウィスカー形成放熱体の好適形態は、上記ウィスカーは、金属基体に含まれる元素を主成分とすることを特徴とする。
ウィスカー形成部分の表面積は、当該基体のみの表面積に対して5〜1000倍であることを特徴とする。
また、本発明のウィスカー形成放熱体の好適形態は、上記ウィスカーは、金属基体に含まれる元素を主成分とすることを特徴とする。
また、本発明のウィスカー形成放熱体の好適形態は、上記金属基体の表面に、上記ウィスカーの主成分である元素を含む層が形成されていることを特徴とする。
更に、本発明のウィスカー形成放熱体の好適形態は、上記ウィスカーが酸化物で構成されていることを特徴とする。
更に、本発明のウィスカー形成放熱体の好適形態は、上記ウィスカーが酸化物で構成されていることを特徴とする。
更に、本発明のウィスカー形成放熱体の他の好適形態は、半導体パッケージに用いたことを特徴とする。
更にまた、本発明のウィスカー形成放熱体の製造方法は、上記ウィスカー形成放熱体を製造するに当たり、金属基体乃至その前駆体を、微量酸素の存在中で加熱処理し、酸化物を含むウィスカーを形成させることを特徴とする。
本発明によれば、放射率の高いウィスカーを表面に形成させることとし、簡単な工程で得られ、その表面積の大きさから放熱性が高くかさばらないウィスカー形成放熱体及びその製造方法を提供することができる。
以下、本発明のウィスカー形成放熱体について説明する。なお、本明細書において、「%」は特記しない限り、質量百分率を表わすものとする。
上述の如く、本発明のウィスカー形成放熱体は、金属基体の表面の一部又は全部にウィスカーを形成して成る。
また、ウィスカー形成部分の表面積は、当該基体のみ(ウィスカー形成前)の表面積に対して5〜1000倍とする。
また、ウィスカー形成部分の表面積は、当該基体のみ(ウィスカー形成前)の表面積に対して5〜1000倍とする。
具体的には、図2に示すように、球状頭部の直径が20nm、幹部の直径が10nm、長さが10μmであるウィスカーが、50nm間隔で形成されているときは、表面積が約130倍に増大する。
このように、金属基体の表面積が著しく増大するので、放熱体の放熱効率が向上する。また、金属基体の表面に微細なウィスカーを形成した構成であるため、製造が容易であるとともに小型化が実現できる。
ウィスカー形成部分の表面積が、当該基体のみの表面積に対して5〜1000倍とすることで十分な表面積を得られることで放熱性が向上し、また適度なウィスカー形成部の密生度となって断熱層として機能しないだけの放熱性も得られるものである。
ウィスカー形成部分の表面積が、当該基体のみの表面積に対して5〜1000倍とすることで十分な表面積を得られることで放熱性が向上し、また適度なウィスカー形成部の密生度となって断熱層として機能しないだけの放熱性も得られるものである。
なお、ウィスカーは、一般には、幹部の先端に球状頭部を有する構成や、幹部のみの構成をとるが、その他にも枝分かれ状、モール状、毛玉状などの構成をとる場合がある。
また、ウィスカーが形成されることによって金属基体本来の用途や他の製作工程が阻害されなければ、基本的に金属基体の表面の任意の部位にウィスカーを形成することができる。
更に、金属基体の形状は、特に限定されるものではなく、発熱部位に合わせた形状で利用することができる。例えば、図3に示すように、素子の支持基板やリードフレームなどを金属基体3として利用できウィスカー6を形成することができる。
また、ウィスカーが形成されることによって金属基体本来の用途や他の製作工程が阻害されなければ、基本的に金属基体の表面の任意の部位にウィスカーを形成することができる。
更に、金属基体の形状は、特に限定されるものではなく、発熱部位に合わせた形状で利用することができる。例えば、図3に示すように、素子の支持基板やリードフレームなどを金属基体3として利用できウィスカー6を形成することができる。
ここで、上記ウィスカーは、金属基体に含まれる金属元素またはその酸化物を主成分とすることが好適である。更に、酸化物ウィスカーは、幹部の表面が酸化物で構成されていることが好ましい。
このときは、ウィスカーが金属基体から連続的に形成されるので、放熱効率が良好となりうる。また、ウィスカー形成成分が金属基材の表面部の構成材料と同じであるので、ウィスカー形成放熱体全体としての表面組成がほぼ均一となり、金属基体とウィスカーの密着強度が高められ、耐久性も向上しうる。
なお、本明細書において「主成分」とは、50〜100%程度含まれることを言う。
このときは、ウィスカーが金属基体から連続的に形成されるので、放熱効率が良好となりうる。また、ウィスカー形成成分が金属基材の表面部の構成材料と同じであるので、ウィスカー形成放熱体全体としての表面組成がほぼ均一となり、金属基体とウィスカーの密着強度が高められ、耐久性も向上しうる。
なお、本明細書において「主成分」とは、50〜100%程度含まれることを言う。
上記金属基体に含まれる元素としては、例えば、シリコン(Si)、マンガン(Mn)、アルミニウム(Al)、クロム(Cr)、インジウム(In)、銀(Ag)、ガリウム(Ga)、錫(Sn)、銅(Cu)、スカンジウム(Sc)又はゲルマニウム(Ge)、亜鉛(Zn)及びこれらの任意の組合わせに係るものを挙げることができる。
これらは蒸気圧の高い金属であり、これらが蒸発し、金属基体の表面に析出する際にウィスカーが形成されうる。また、析出時の雰囲気に酸素が存在することにより、酸化物ウィスカーとなりうる。
また、特に、絶縁性が要求される場合には、SiOxやAlOxなど絶縁性の高い材料でウィスカーを形成することが望ましい。
これらは蒸気圧の高い金属であり、これらが蒸発し、金属基体の表面に析出する際にウィスカーが形成されうる。また、析出時の雰囲気に酸素が存在することにより、酸化物ウィスカーとなりうる。
また、特に、絶縁性が要求される場合には、SiOxやAlOxなど絶縁性の高い材料でウィスカーを形成することが望ましい。
更に、上記金属基体の表面に、上記ウィスカーの主成分である元素を含むウィスカー形成層を配設することが好適である。
この場合は、金属基体にウィスカー形成成分が含まれないときであっても、表面に上記元素を含む層を形成することによりウィスカーを形成できる。また、熱伝導性の高い材料で形成した金属基体と、放熱性に優れた材料で形成したウィスカーとを組み合わせた放熱体が得られる。更に、ウィスカー形成成分が金属基材の表面部の構成材料と同じであるので、ウィスカー形成放熱体全体としての表面組成がほぼ均一となり、金属基体とウィスカーの密着強度が高められ、耐久性も向上しうる。
この場合は、金属基体にウィスカー形成成分が含まれないときであっても、表面に上記元素を含む層を形成することによりウィスカーを形成できる。また、熱伝導性の高い材料で形成した金属基体と、放熱性に優れた材料で形成したウィスカーとを組み合わせた放熱体が得られる。更に、ウィスカー形成成分が金属基材の表面部の構成材料と同じであるので、ウィスカー形成放熱体全体としての表面組成がほぼ均一となり、金属基体とウィスカーの密着強度が高められ、耐久性も向上しうる。
本発明のウィスカー形成放熱体において、ウィスカーの寸法は、上述した所定の表面積が得られれば特に限定されないが、代表的には、太さが10〜10000nm、長さが0.1〜1000μmのように微細なものとなる。
また、本発明のウィスカー形成放熱体は、半導体パッケージに使用することが好ましい。
この場合には、ヒートシンクなどの放熱部品を用いなくても、放熱効果の高い小型の半導体パッケージが得られる。
この場合には、ヒートシンクなどの放熱部品を用いなくても、放熱効果の高い小型の半導体パッケージが得られる。
例えば、図4に示すように、半導体パッケージ内の封止樹脂1に、耐熱性の高い金属基体3(リードフレームなど)の表面にウィスカー6を形成した放熱体を埋設することができる。
このときは、半導体パッケージ全体の放熱効率が向上しうる。また、従来から使用されているセラミックス混合樹脂に対して、セラミックス粉末を形成・混合する工程が不要となりうる。また、ウィスカーの方向がそろっているのでより効率よく熱伝導できる。
このときは、半導体パッケージ全体の放熱効率が向上しうる。また、従来から使用されているセラミックス混合樹脂に対して、セラミックス粉末を形成・混合する工程が不要となりうる。また、ウィスカーの方向がそろっているのでより効率よく熱伝導できる。
更に、本発明のウィスカー形成放熱体において、酸化物ウィスカーが形成される場合にはウィスカー形成部位の放射率が0.7以上であることが好適である。
このような放射率と大きな表面積により、熱放射に優れた放熱体となりうる。
このような放射率と大きな表面積により、熱放射に優れた放熱体となりうる。
次に、本発明のウィスカー形成放熱体の製造方法について説明する。
本発明のウィスカー形成放熱体の製造方法は、上述のウィスカー形成放熱体を製造するに当たり、金属基体乃至その前駆体を減圧下もしくは不活性ガス雰囲気中で加熱処理し、ウィスカーを形成させて、当該ウィスカー形成放熱体を得る。または、金属基体乃至その前駆体を微量酸素の存在中で加熱処理し、酸化物ウィスカーを形成させて、当該ウィスカー形成放熱体を得る。
なお、「金属基体乃至その前駆体」と記載したのは、金属基体が加熱処理によって組成変化する場合を考慮したものである。
本発明のウィスカー形成放熱体の製造方法は、上述のウィスカー形成放熱体を製造するに当たり、金属基体乃至その前駆体を減圧下もしくは不活性ガス雰囲気中で加熱処理し、ウィスカーを形成させて、当該ウィスカー形成放熱体を得る。または、金属基体乃至その前駆体を微量酸素の存在中で加熱処理し、酸化物ウィスカーを形成させて、当該ウィスカー形成放熱体を得る。
なお、「金属基体乃至その前駆体」と記載したのは、金属基体が加熱処理によって組成変化する場合を考慮したものである。
これにより、ヒートシンクなどの放熱部品を作製する工程や取り付ける工程を行うことなく、表面積の大きい放熱体が得られる。
ここで、上記微量酸素とは、ウィスカー原料となる元素及びその含有率によって異なるが、代表的には1〜1000ppmの酸素量を言う。また、上記加熱処理は、代表的には800〜1100℃の範囲で行うことができる。
図5に、本製造方法の工程フローを示す。上図(製法1)は金属基体3の表面全部から直接AlOxウィスカー6を形成する場合であり、下図(製法2)は金属基体3の表面の一部にAlOxウィスカー6を形成する場合である。
また、本発明のウィスカー形成放熱体の製造方法においては、金属基体乃至その前駆体の表面に、酸化物ウィスカーの主成分である元素を含むウィスカー形成層を配設し、該ウィスカー形成層の表面に酸化物ウィスカーを形成することが好適である。
このときは、上記金属基体がウィスカー形成材料を含まない場合であっても、表面に当該元素を含むウィスカー形成層を配設することで任意の部位にウィスカーを形成できる。よって、半導体チップとパッケージする金属種を制限することなく放熱体が得られる。
なお、ウィスカー形成材料を含まない金属基体としては、例えば鉄(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、ロジウム(Rh)、チタン(Ti)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)などが挙げられる。
このときは、上記金属基体がウィスカー形成材料を含まない場合であっても、表面に当該元素を含むウィスカー形成層を配設することで任意の部位にウィスカーを形成できる。よって、半導体チップとパッケージする金属種を制限することなく放熱体が得られる。
なお、ウィスカー形成材料を含まない金属基体としては、例えば鉄(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、ロジウム(Rh)、チタン(Ti)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)などが挙げられる。
図6に、本製造方法の工程フローを示す。上図(製法3)はウィスカー形成成分を含まない金属基体3の表面全部にウィスカー形成層10を配設してウィスカー6を形成する場合であり、下図(製法4)はウィスカー形成成分を含まない金属基体3の表面の一部にウィスカー形成層10を配設してウィスカー6を形成する場合である。
上記酸化物ウィスカーの主成分である元素としては、例えば、シリコン、マンガン、アルミニウム、クロム、インジウム、銀、ガリウム、錫、銅、スカンジウム、亜鉛又はゲルマニウム、及びこれらの任意の組合わせに係るものを挙げることができる。
更に、本発明のウィスカー形成放熱体の製造方法は、代表的には、金属基体乃至その前駆体を、アルゴン(Ar)などの不活性ガス雰囲気中で、該金属基体乃至その前駆体の融点より低い温度で加熱処理をして、該基体の表面上にウィスカーを形成できる。
このように、不活性ガス雰囲気中で、金属基体が融解しない温度で加熱処理するといった簡易な方法により所望のウィスカーを形成できるので、例えばCVDのように外部からウィスカー形成材料を供給することを必要とせずに製造できる。
このように、不活性ガス雰囲気中で、金属基体が融解しない温度で加熱処理するといった簡易な方法により所望のウィスカーを形成できるので、例えばCVDのように外部からウィスカー形成材料を供給することを必要とせずに製造できる。
また、不活性ガス導入量は、反応炉や原料基体のサイズや形状などに応じて決定されることになるが、例えば、反応炉容量が3Lの場合には、不活性ガスを毎分0.1〜5L程度供給することが望ましい。
この場合には、該金属基体乃至その前駆体から成長した幹部を有するウィスカー、又は該金属基体乃至その前駆体から成長した幹部とその先端に位置する頭部を有するウィスカーを得ることができる。
この場合には、該金属基体乃至その前駆体から成長した幹部を有するウィスカー、又は該金属基体乃至その前駆体から成長した幹部とその先端に位置する頭部を有するウィスカーを得ることができる。
以下、本発明をいくつかの実施例により詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
(実施例1)
FCHW2合金(3%Alを含むFe−Cr系合金)を金属基体として使用した。
この金属基体を半導体チップのサイズにあわせて成型した後、Ar流量1LMフロー中で1000℃に1時間加熱し、長さ10μm、太さ10nmのウィスカーが形成された放熱体を得た。
図7に、得られたウィスカー形成放熱体のウィスカー部分のSEM写真を示す。
FCHW2合金(3%Alを含むFe−Cr系合金)を金属基体として使用した。
この金属基体を半導体チップのサイズにあわせて成型した後、Ar流量1LMフロー中で1000℃に1時間加熱し、長さ10μm、太さ10nmのウィスカーが形成された放熱体を得た。
図7に、得られたウィスカー形成放熱体のウィスカー部分のSEM写真を示す。
(実施例2)
Niを金属基体として使用し、上面にSi膜をCVD法(原料:SiH4ガス)により成膜した。
この金属基体を半導体チップのサイズにあわせて成型した後、Ar流量1LMフロー中で1000℃に1時間加熱し、長さ50μm、太さ20nmのウィスカーが形成された放熱体を得た。
図8に、得られたウィスカー形成放熱体のウィスカー部分のSEM写真を示す。
Niを金属基体として使用し、上面にSi膜をCVD法(原料:SiH4ガス)により成膜した。
この金属基体を半導体チップのサイズにあわせて成型した後、Ar流量1LMフロー中で1000℃に1時間加熱し、長さ50μm、太さ20nmのウィスカーが形成された放熱体を得た。
図8に、得られたウィスカー形成放熱体のウィスカー部分のSEM写真を示す。
(実施例3)
ニッケルを金属基体として使用し、スパッタ法(DCマグネトロンスパッタ)により、NiとMnを2元系DC(Ni 145W、Mn 95W)、スパッタ圧0.6Pa(Ar)で成膜した。
この金属基体を半導体チップのサイズにあわせて成型した後、Ar流量0.5LMフロー中で800℃に1時間加熱し、長さ10μm、太さ100nmのウィスカーが形成された放熱体を得た。
図9に、得られたウィスカー形成放熱体のウィスカー部分のSEM写真を示す。
ニッケルを金属基体として使用し、スパッタ法(DCマグネトロンスパッタ)により、NiとMnを2元系DC(Ni 145W、Mn 95W)、スパッタ圧0.6Pa(Ar)で成膜した。
この金属基体を半導体チップのサイズにあわせて成型した後、Ar流量0.5LMフロー中で800℃に1時間加熱し、長さ10μm、太さ100nmのウィスカーが形成された放熱体を得た。
図9に、得られたウィスカー形成放熱体のウィスカー部分のSEM写真を示す。
(比較例1)
半導体チップのサイズに成型した金属アルミニウム平板を放熱体として用意した。
半導体チップのサイズに成型した金属アルミニウム平板を放熱体として用意した。
(評価測定)
(1)放射率の測定
放射温度計(日本電子社製、フーリエ赤外分光光度計(赤外放射測定ユニット付))を用いて、各例で得た放熱体の表面の放射率を測定した。
実施例1で得た放熱体の放射率は、0.71であった。
実施例2で得た放熱体の放射率は、0.8であった。
実施例3で得た放熱体の放射率は、0.87であった。
比較例1で得た放熱体の放射率は、0.05であった。
(1)放射率の測定
放射温度計(日本電子社製、フーリエ赤外分光光度計(赤外放射測定ユニット付))を用いて、各例で得た放熱体の表面の放射率を測定した。
実施例1で得た放熱体の放射率は、0.71であった。
実施例2で得た放熱体の放射率は、0.8であった。
実施例3で得た放熱体の放射率は、0.87であった。
比較例1で得た放熱体の放射率は、0.05であった。
(2)表面積の測定
実施例1で得た放熱体は、50nm間隔でウィスカーが形成されており、見かけ1cm2あたり127cm2の表面積であった。
実施例2で得た放熱体は、100nm間隔でウィスカーが形成されており、見かけ1cm2あたり318cm2の表面積であった。
実施例3で得た放熱体は、500nm間隔でウィスカーが形成されており、見かけ1cm2あたり13cm2の表面積であった。
比較例1で得た放熱体は、半導体チップとほぼ同じ2cm2の表面積であった。
実施例1で得た放熱体は、50nm間隔でウィスカーが形成されており、見かけ1cm2あたり127cm2の表面積であった。
実施例2で得た放熱体は、100nm間隔でウィスカーが形成されており、見かけ1cm2あたり318cm2の表面積であった。
実施例3で得た放熱体は、500nm間隔でウィスカーが形成されており、見かけ1cm2あたり13cm2の表面積であった。
比較例1で得た放熱体は、半導体チップとほぼ同じ2cm2の表面積であった。
以上の結果と、熱放射量(放熱効率)は表面材料の放射率、表面積のそれぞれに比例することから、比較例1の放熱体に対して実施例1〜3の放熱体は、計算上は90〜6000倍の熱放出量を実現すると考えられる。
なお、一般に、金属の放射率は0.05〜0.1、酸化物やガラスファイバーなどの放射率は0.7〜0.95であり、これらを用いた放熱体よりも本発明のウィスカー形成放熱体は優れた熱放熱量を実現すると考えられる。
なお、一般に、金属の放射率は0.05〜0.1、酸化物やガラスファイバーなどの放射率は0.7〜0.95であり、これらを用いた放熱体よりも本発明のウィスカー形成放熱体は優れた熱放熱量を実現すると考えられる。
1 封止樹脂
2 ボンディング・ワイヤー
3 金属基体
4 絶縁シート
5 ヒートシンク
6 ウィスカー
10 ウィスカー形成層
2 ボンディング・ワイヤー
3 金属基体
4 絶縁シート
5 ヒートシンク
6 ウィスカー
10 ウィスカー形成層
Claims (9)
- 金属基体の表面の一部又は全部にウィスカーを形成したウィスカー形成放熱体であって、
ウィスカー形成部分の表面積は、当該基体のみの表面積に対して5〜1000倍であることを特徴とするウィスカー形成放熱体。 - 上記ウィスカーは、金属基体に含まれる元素を主成分とすることを特徴とする請求項1に記載のウィスカー形成放熱体。
- 上記金属基体の表面に、上記ウィスカーの主成分である元素を含むウィスカー形成層を配設したことを特徴とする請求項1又は2に記載のウィスカー形成放熱体。
- 上記ウィスカーが酸化物で構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つの項に記載のウィスカー形成放熱体。
- 半導体パッケージに用いたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つの項に記載のウィスカー形成放熱体。
- 上記金属基体が、シリコン、マンガン、アルミニウム、クロム、インジウム、銀、ガリウム、錫、銅、スカンジウム及びゲルマニウムから成る群より選ばれた少なくとも1種の元素を含有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つの項に記載のウィスカー形成放熱体。
- ウィスカー形成部位の放射率が0.7以上であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つの項に記載のウィスカー形成放熱体。
- 請求項1〜7のいずれか1つの項に記載のウィスカー形成放熱体を製造するに当たり、
金属基体乃至その前駆体を微量酸素の存在中で加熱処理し、酸化物ウィスカーを形成させることを特徴とするウィスカー形成放熱体の製造方法。 - 金属基体乃至その前駆体の表面に、酸化物ウィスカーの主成分である元素を含むウィスカー形成層を配設し、該ウィスカー形成層の表面に酸化物ウィスカーを形成することを特徴とする請求項8に記載のウィスカー形成放熱体の製造方法。
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JP2005296187A JP2007109700A (ja) | 2005-10-11 | 2005-10-11 | ウィスカー形成放熱体及びその製造方法 |
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-
2005
- 2005-10-11 JP JP2005296187A patent/JP2007109700A/ja active Pending
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