JP2007103363A - 3段液体金属スイッチ - Google Patents
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Abstract
【課題】3段液体金属スイッチを提供する。
【解決手段】誘電体上のエレクトロウェッティング(EWOD)を使用する、本発明の一実施形態による3段液体金属スイッチは、入力ポート1302、第1共有EWODスイッチ出力1336、及び第2共有EWODスイッチ出力1338を有する共通EWODスイッチ1310と、第1EWODスイッチ入力1343、第1出力ポート1304、及び第1EWODスイッチ出力1368を有する第1EWODスイッチ1340と、第2EWODスイッチ入力1373、第2出力ポート1306、及び第2EWODスイッチ出力1398を有する第2EWODスイッチ1370と、を備え、第1共有EWODスイッチ出力1336は、第1EWODスイッチ入力1343に動作可能に接続され、第2共有EWODスイッチ出力1338は、第2EWODスイッチ入力1373に動作可能に接続される。
【選択図】図13
【解決手段】誘電体上のエレクトロウェッティング(EWOD)を使用する、本発明の一実施形態による3段液体金属スイッチは、入力ポート1302、第1共有EWODスイッチ出力1336、及び第2共有EWODスイッチ出力1338を有する共通EWODスイッチ1310と、第1EWODスイッチ入力1343、第1出力ポート1304、及び第1EWODスイッチ出力1368を有する第1EWODスイッチ1340と、第2EWODスイッチ入力1373、第2出力ポート1306、及び第2EWODスイッチ出力1398を有する第2EWODスイッチ1370と、を備え、第1共有EWODスイッチ出力1336は、第1EWODスイッチ入力1343に動作可能に接続され、第2共有EWODスイッチ出力1338は、第2EWODスイッチ入力1373に動作可能に接続される。
【選択図】図13
Description
本発明は、一般に液体金属スイッチに関し、特に、3段液体金属スイッチに関する。
低周波スイッチング用途及び高周波スイッチング用途について、スイッチ及びリレーを作製するための、多くの異なる技術が開発されている。これらの技術の多くは、1つの位置から別の位置へ交互に作動される固体の機械接点に依存して、電気接点を開閉する。残念ながら、固体−固体接触に依存する機械スイッチは、磨耗を受け易く、「フレッチング(fretting)」として知られる状況に陥り易い。フレッチングは、表面上の接触点で起こる侵食のことを言う。接点のフレッチングは、負荷の下で、また、反復した相対的な表面の移動の存在下で起こる可能性がある。フレッチングは、通常、接触面上のピット又は溝として現われ、スイッチ又はリレーの短絡をもたらす場合がある崩壊堆積物の形成を生じる。
スイッチ及びリレー接点に与えられる機械的損傷を最小にするために、スイッチ及びリレーは、可動式機械構造に濡れ性を付与して、固体と固体の接触を防止するために、液体金属を使用して作製されてきた。残念ながら、作動のために可動式機械構造を使用するスイッチ及びリレーは、ミリメートル以下のサイズにスケーリングされるため、作製、信頼性、及び動作における問題が表れ始める。可動式機械構造に濡れ性を付与するために金属液体を使用するマイクロスケール液体金属スイッチ及びリレーを作るために、マイクロマシニング作製(micromachining fabrication)プロセスが存在するが、機械可動部品を使用するデバイスは、非常に複雑であり、したがって、これらの技術を使用して作製したデバイスの生産量が減る。したがって、機械可動部品の無いスイッチがより望まれる場合がある。
高周波スイッチング等の一部の用途では、液体金属スイッチはアイソレーション(絶縁)が低い可能性がある。スイッチの開接点によってアイソレート(絶縁)されていると思われている信号は、開接点にわたって漏れる可能性があり、断続的なエラー及び意図しない結果がもたらされる。確実なアイソレーションの欠如によって、回路の信頼性が無くなる。
上記欠点を克服するであろう3段液体金属スイッチを有することが望ましいであろう。
本発明の一態様は、誘電体上のエレクトロウェッティング(EWOD)を使用する3段液体金属スイッチを提供し、3段液体金属スイッチは、入力ポート、第1共有EWODスイッチ出力、及び第2共有EWODスイッチ出力を有する共通EWODスイッチと、第1EWODスイッチ入力、第1出力ポート、及び第1EWODスイッチ出力を有する第1EWODスイッチと、第2EWODスイッチ入力、第2出力ポート、及び第2EWODスイッチ出力を有する第2EWODスイッチとを備え、第1共有EWODスイッチ出力は、第1EWODスイッチ入力に動作可能に接続され、第2共有EWODスイッチ出力は、第2EWODスイッチ入力に動作可能に接続される。
本発明の別の態様は、3段液体金属スイッチを提供し、3段液体金属スイッチは、第1液体金属液滴と、第1液体金属液滴を支持する手段と、第1制御信号に応答して、入力ポートを第1の第1スイッチ出力に動作可能に接続する第1の第1スイッチ位置と、入力ポートを第2の第1スイッチ出力に動作可能に接続する第2の第1スイッチ位置との間で第1液体金属液滴を並進させる手段と、第2液体金属液滴と、第2液体金属液滴を支持する手段と、第2制御信号に応答して、第1の第2スイッチ位置と第2の第2スイッチ位置との間で第2液体金属液滴を並進させる手段であって、第1の第2スイッチ位置は、第2スイッチ入力と第1出力ポートを動作可能に接続する、並進させる手段と、第3液体金属液滴と、第3液体金属液滴を支持する手段と、第3制御信号に応答して、第1の第3スイッチ位置と第2の第3スイッチ位置との間で第3液体金属液滴を並進させる手段であって、第1の第3スイッチ位置は、第3スイッチ入力と第2出力ポートを動作可能に接続する、並進させる手段とを備え、第1の第1スイッチ出力は、第2スイッチ入力に動作可能に接続し、第2の第1スイッチ出力は、第3スイッチ入力に動作可能に接続する。
本発明のさらに別の態様は、誘電体上のエレクトロウェッティング(EWOD)を使用する3段液体金属スイッチを提供し、3段液体金属スイッチは、共通EWODスイッチであって、入力ポート、第1共有EWODスイッチ出力、第2共有EWODスイッチ出力、共有EWODスイッチ液体金属液滴、及び少なくとも一対の共有EWODスイッチ電極を有し、共有EWODスイッチ液体金属液滴は、少なくとも一対の共有EWODスイッチ電極に対する共有EWODスイッチ制御信号に応答して、入力ポートと第1共有EWODスイッチ出力を動作可能に接続する第1共有EWODスイッチ位置と、入力ポートと第2共有EWODスイッチ出力を動作可能に接続する第2共有EWODスイッチ位置との間で切り換え可能である、共通EWODスイッチと、第1EWODスイッチであって、第1EWODスイッチ入力、第1出力ポート、第1EWODスイッチ出力、第1EWODスイッチ液体金属液滴、及び少なくとも一対の第1EWODスイッチ電極を有し、第1EWODスイッチ液体金属液滴は、少なくとも一対の第1EWODスイッチ電極に対する第1EWODスイッチ制御信号に応答して、第1の第1EWODスイッチ位置と、第2の第1EWODスイッチ位置との間で切り換え可能である、第1EWODスイッチと、第2EWODスイッチであって、第2EWODスイッチ入力、第2出力ポート、第2EWODスイッチ出力、第2EWODスイッチ液体金属液滴、及び少なくとも一対の第2EWODスイッチ電極を有し、第2EWODスイッチ液体金属液滴は、少なくとも一対の第2EWODスイッチ電極に対する第2EWODスイッチ制御信号に応答して、第1の第2EWODスイッチ位置と、第2の第2EWODスイッチ位置との間で切り換え可能である、第2EWODスイッチと、を備え、第1共有EWODスイッチ出力は、第1EWODスイッチ入力に動作可能に接続し、第2共有EWODスイッチ出力は、第2EWODスイッチ入力に動作可能に接続する。
本発明は、以下の図面を参照するとよりよく理解することができる。図面の構成要素は、必ずしも一定の縮尺で描かれておらず、代わりに、本発明の原理を明確に示すことに重点が置かれる。さらに、図面では、同じ参照符号は、いくつかの図を通して対応する部品を示す。
以下で述べるスイッチ構造は、高速で、信頼性のあるスイッチングを提供することが望ましい任意の用途で使用することができる。無線周波数(RF)信号のスイッチングとして以下で述べるが、アーキテクチャは、他のスイッチング用途のために使用することができる。
図1Aは、固体表面上に存在する導電性液体の液滴を含むシステム100を示す概略図である。液滴104は、たとえば、水銀又はガリウム合金であり、固体102の表面108上に存在する。濡れ性付与角度とも呼ばれる接触角度は、液滴104が表面108と接するところで形成される。接触角度は、θとして指示され、表面108、液体104、及び気体106が接するポイントで測定される。気体106は、この例では、空気、又は液滴104の周囲の雰囲気を形成する別の気体であることができる。液滴104が、相対的に濡れ性を付与しない、又は濡れ性が少ないと呼ばれる表面108に接触する時に、図1Aに示す大きな接触角度が形成される。濡れ性(wettability:湿潤性)は、一般に、表面108の材料と液滴104が形成される材料の関数であり、液体の表面張力に特に関連する。
図1Bは、異なる接触角度を有する図1Aのシステム100を示す概略図130である。図1Bでは、液滴134は、液滴104が表面108に対するよりも表面108に対して濡れ性が大きく、したがって、θ'と呼ぶより小さい接触角度を形成する。図1Bに示すように、液滴134は、図1Aの液滴104より、平坦であり、低い形状を有する。電位の印加による接触角度の変化として規定される、エレクトロウェッティングの概念は、導電性液体が接触状態にある表面に対して導電性液体が形成する接触角度を電気的に変えることができることによる。一般に、導電性液体と、導電性液体が接触状態にある表面との間の接触角度は、0°〜180°の範囲にある。エレクトロウェッティングの別の理論は、対象の液体の質量中心の移動に焦点を当てており、力が、液体の変位に対して、システムのエネルギー(容量性)の変化として規定される。接触角度の変化は、この解析では、直接扱われていない。
図2Aは、エレクトロウェッティングが、導電性液体の液滴と、液滴が接触する表面との間の接触角度を変えることができる1つの方法を示す概略図200である。図2Aでは、導電性液体の液滴210は、誘電体202と誘電体204の間に挟まれる。誘電体は、たとえば、酸化タンタル又は別の誘電体材料であることができる。電極206は誘電体202内に埋め込まれ、電極208は誘電体204内に埋め込まれる。電極206と208は、電圧源212に結合される。図2Aでは、システムは電気的にバイアスがかけられていない。この非バイアス状況下で、液滴210は、液滴210と接触する誘電体204の表面205に対して、θ1と呼ぶ接触角度を形成する。同様な接触角度は、液滴210と誘電体202の表面203との間に存在する。
図2Bは、電気バイアス下における図2Aのシステム200を示す概略図230である。電圧源212は、電極206と208にバイアス電圧を供給する。電極206と208に印加された電圧は、導電性液体の液滴を通って電界を生成し、液滴を移動させる。液滴240の移動は、システムの静電容量を増加させ、したがって、システムのエネルギーが増加する。この例では、液滴240の接触角度は、液滴210の接触角度に対して変えられる。新しい接触角度は、θ2と呼ばれ、電極206と208と液滴240の間で生成する電界の結果である。
液滴を電極からアイソレート(絶縁)し、したがって、液滴が、容量性回路の一部となることを可能にすることが、通常望ましい。図2Bに示す電気バイアスの印加は、図2Aに示す非バイアス状況に比べて、誘電体204の表面205と誘電体202の表面203を、液滴240に対してより濡れ性があるようにさせる。液滴240を形成する液体の表面張力は、エレクトロウェッティング作用に抗するが、電極206と208の間で電界を生成する結果として接触角度が変わる。以下で述べるように、接触角度の変化は、液滴の曲率を変え、液滴の並進運動をもたらす。
図3Aは、導電性液体の液滴を使用する電気スイッチ300の一実施形態を示す概略図である。スイッチ300は、スイッチの床を形成する表面303を有する誘電体302と、スイッチの屋根を形成する表面305を有する誘電体304とを含む。導電性液体の液滴310は、誘電体302と誘電体304の間に挟まれる。誘電体302は、電極306と電極312を含む。誘電体304は、電極308と電極314を含む。電極306と電極312は誘電体302内に埋め込まれ、電極308と電極314は誘電体304内に埋め込まれる。この例では、液滴310を電極312と314の方に移動するよう誘導するために、電極306と308は、電気リターン経路316に結合され、電極312と314から電気的に絶縁され、電極312と314は、電圧源326に結合される。或いは、液滴310を電極306と308の方に移動するよう誘導するために、電極312と314は、絶縁された電気リターン経路316に結合され、電極306と308は、電圧源に結合されることができる。
この例では、スイッチ300は、誘電体302の表面303上に配置された電気接点318、322、及び324を含む。この例では、接点318は、入力と呼ばれ、接点322と324は、出力と呼ぶことができる。図3Aに示すように、液滴310は、入力接点318と出力接点322と電気接触している。さらに、この例では、液滴310は、入力接点318に常に接触していることになる。
断面として図3Aに示すように、液滴310は、第1半径r1と第2半径r2を含む。電気的にバイアスされない、すなわち、電圧源326によって供給されるゼロ電圧が存在する時、半径r1の曲率は、半径r2の曲率と等しく、液滴は静止する。液滴の曲率半径rは、
r=d/(cosθtop+cosθbottom) (式1)
として規定される。ここで、dは、誘電体302の表面303と誘電体304の表面305の間の距離であり、θtopは、液滴310と表面305の間の接触角度であり、θbottomは、液滴310と表面303の間の接触角度である。したがって、図3Aに示すように、液滴310は、曲率が反対方向である半径r1が半径r2に等しいことによって静止する。電圧源326によって電位が印加されると、液滴310と表面303と305の間の新しい接触角度が規定される。以下の式は、新しい接触角度を規定する。
cosθ(V)=cosθ0+εV2/(2γt) (式2)
式2は、ヤング−リップマン(Young−Lippmann)の式と呼ばれ、新しい接触角度θ(V)は、印加電圧の関数として求められる。式2では、θ0は、電圧が印加されていない場合の一定角度であり、εは、誘電体302と304の誘電率であり、γは、液体の表面張力であり、tは、誘電体厚さであり、Vは、導電性液体に対して電極に印加された電圧である。したがって、表面303と305に対する液滴310の接触角度を変えるために、電極314と312に電圧が印加され、したがって、r1がr2に等しくなくなるように、液滴310の形状が変わる。r1がr2に等しくなくなる場合、液滴310に関する圧力Pは、以下の式に従って変わる。
P=γ(1/r1+1/r2) (式3)
r=d/(cosθtop+cosθbottom) (式1)
として規定される。ここで、dは、誘電体302の表面303と誘電体304の表面305の間の距離であり、θtopは、液滴310と表面305の間の接触角度であり、θbottomは、液滴310と表面303の間の接触角度である。したがって、図3Aに示すように、液滴310は、曲率が反対方向である半径r1が半径r2に等しいことによって静止する。電圧源326によって電位が印加されると、液滴310と表面303と305の間の新しい接触角度が規定される。以下の式は、新しい接触角度を規定する。
cosθ(V)=cosθ0+εV2/(2γt) (式2)
式2は、ヤング−リップマン(Young−Lippmann)の式と呼ばれ、新しい接触角度θ(V)は、印加電圧の関数として求められる。式2では、θ0は、電圧が印加されていない場合の一定角度であり、εは、誘電体302と304の誘電率であり、γは、液体の表面張力であり、tは、誘電体厚さであり、Vは、導電性液体に対して電極に印加された電圧である。したがって、表面303と305に対する液滴310の接触角度を変えるために、電極314と312に電圧が印加され、したがって、r1がr2に等しくなくなるように、液滴310の形状が変わる。r1がr2に等しくなくなる場合、液滴310に関する圧力Pは、以下の式に従って変わる。
P=γ(1/r1+1/r2) (式3)
図3Bは、エレクトロウェッティングによる接触角度の減少によって引き起こされる液滴310の圧力変化の結果として導電性液体の液滴に与えられる移動を示す概略図である。電圧源326によって電極314と312に電圧が印加されると、図3Aの表面303と305に対する液滴310の接触角度が、r1がr2に等しくなくなるように減少する。半径r1とr2が異なる時、圧力差が、液滴にわたって誘導され、したがって、液滴が、表面303と305にわたって並進する。
図3Cは、電圧印加後の図3Aのスイッチ300を示す概略図330である。図3Cに示すように、液滴310は、移動しており、今や入力接点318と出力接点324を電気的に接続する。こうして、エレクトロウェッティングは、導電性液体の並進運動を誘導するのに使用され、また、電子信号を切り換えるのに使用することができる。
図4Aは、本発明の第1の実施形態による、スイッチの断面を示す概略図である。スイッチ400では、一方の表面のみに接触する導電性液体の液滴410は、「付着(sessile)」液滴と呼ばれる。付着液滴410は、誘電体402の表面416上に載っている。誘電体は、たとえば、酸化タンタルであることができ、液滴410は、水銀、ガリウム合金、又は別の導電性液体であることができる。この実施形態では、無線周波数入力(RFin)接点と呼ばれる入力接点412及び出力接点408(RFout)が、誘電体402の表面416上に形成される。液滴410は、入力接点412と電気接触している。誘電体402の表面416はまた、表面416に対して液滴410によって形成される接触角度に影響を及ぼす1つ又は複数の特徴部によって少なくとも部分的に覆われる。表面416に対して液滴410によって形成される接触角度に影響を及ぼす特徴部の例は、表面416を覆う材料のタイプ、濡れ性を付与しない(non-wetting)表面の上に形成される濡れ性付与材料のパターニング、及び表面416の所定の部分の濡れ性を変えるマイクロテクスチャリング等を含む。これらの特徴部は以下で述べられるであろう。
誘電体402はまた、電圧源414に結合した電極404と電極406を含む。電極404と406は、誘電体402内に埋め込まれる。電圧バイアスが無い状態で、液滴410は、上述したように、表面416と液滴410の間の接触角度を制御することによって決めることができる予め決めた形状に一致する。液滴410が、電極404と406の上に位置する間、「上に」という用語は、液滴410と電極404と406の間の、空間的に不変の相対的な関係を記述することが意図されることは理解すべきである。さらに、液滴410は、電極404と406に近接して位置するため、スイッチ400が反転した場合、液滴410は、示すように、依然として電極404と406に近接していることになる。さらに、以下に続く実施形態における液滴と電極の間の関係は、同様に、空間的に不変である。
図4Bは、電気バイアス下における図4Aのスイッチ400を示す概略図である。図4Bでは、電気バイアスは、電圧源414によって電極404と406に印加される。電気バイアスは、液滴410を通過する電界を確立し、したがって、液滴410が、図4Bに示すように変形する。印加されたバイアスは、液滴410と表面416の間の接触角度を変え、したがって、液滴が、平坦になり、接点412と408の両方に重なる。こうして、入力接点412と出力接点408の間の電気接点を開閉するのに、液滴410のエレクトロウェッティングを使用する単純なスイッチが形成される。
電気バイアスが、電極404と406に印加されると、液滴は、電極404と406の間の容量性回路を完成し、誘電体が一定の厚さである場合、印加された電圧は、均一に分布し、したがって、電極404と406の両方の上で、液滴410の接触角度の同じ変化を生じる。この例では、バイアスが除去されると、液滴410は、図4Aに示すように、元の状態に戻り、出力電極408に関する接点を開くであろう。図4A及び図4Bに示す実施形態は、「非ラッチ動作」スイッチと呼ばれ、バイアス電圧が除去されると、液滴が元の状態に戻り、したがって、入力接点412と出力接点408の間の電気接点を開く。
図4Cは、図4Aと図4Bに示すスイッチを示す平面図460である。無電気バイアス下の液滴410は、入力接点412にだけ接触しているのが示されるが、電気バイアス下にある液滴440は、入力接点412と出力接点408に接触するのが示される。
図4Dは、液滴に対する表面の濡れ性を変える特徴部を含む誘電体402の表面416を示す平面図480である。この例では、誘電体402の表面416は、二酸化シリコン(SiO2)であり、液滴410と表面416の間の初期接触角度を変えるために、二酸化シリコンに対して、濡れ性付与材料482のストリップが塗布されており、したがって、液滴410について中間接触角度が形成される。この例では、濡れ性付与材料482は金(Au)である。或いは、金以外の濡れ性付与材料を塗布することができ、表面416と液滴410の間の他の接触角度が形成される。さらに、表面416と液滴410の間の接触角度を変えるために、表面416における小さなトレンチの形成であるマイクロテクスチャリングもまた、塗布することができる。こうして、初期接触角度を、表面416と液滴410の間で確立することができる。初期接触角度を規定することによって、電気バイアスの印加による接触角度の変化を、精密に制御することができ、それによって、スイッチング機能に対する制御が可能になる。
図5Aは、本発明によるスイッチの第2の実施形態500を示す平面図である。図5Aは、誘電体502の表面504上に存在する付着液滴510を含むスイッチ500を示す。電極506、508、512、及び514は、誘電体502の表面504の下に形成される。液滴510は、入力接点518と出力接点522と接触した状態の第1の位置510aにあるのが示され、入力接点518と出力接点524と接触した状態の第2の位置510bにあるのが示される。
電極508は、接続部532を介して、電気リターン経路516に結合し、電極506は、接続部536を介して、電気リターン経路516に結合する。電極512と514は、接続部538と534を介して、電圧源526に結合し、電極506と508から電気的に絶縁される。この実施形態では、電気バイアスされると、電気接続部は、液滴が、電極512と514の方へ移動するように誘導するであろう。或いは、液滴が電極506と508の方へ移動するように誘導するために、電極512と514を、電気リターン経路516に結合することができ、電極506と508を、電圧源に結合することができる。
バイアス電圧を印加すると、付着液滴510は、510aとして示す位置から510bとして示す位置へ並進するであろう。この実施形態は、「ラッチ動作」の実施形態と呼ばれ、液滴510の位置は、液滴が並進するようにバイアス電圧が印加されるまで、一定のままである。この例では、電極512と514及び電極506と508に印加される電圧を制御することによって、液滴510は、スイッチング機能を提供するように切り換えられる。電気バイアスが印加されない状態で、液滴510は、液滴と表面504の間の初期接触角度を調整することによって、510aとして輪郭線で示す、特定のエリアに限定される。液滴510の材料と表面504上に塗布される材料を選択して、液滴510と表面504の間の濡れ性を規定することによって、液滴510のラッチ動作を確実にする初期接触角度を調整することが可能である。
図5Bは、図5Aのスイッチ500を示す断面図である。スイッチ500は、誘電体502の表面504上に載っている液滴510を含む。電極512と514に対して電圧源526によって印加されるバイアス電圧に応じて、液滴510は、位置510aと510bの間で並進し、したがって、信号を、入力接点518から出力接点522か出力接点524のいずれかに切り換える。
図6Aは、図5Aに示すスイッチ500の代替の一実施形態600である。図6Aでは、電極606と612は、交互配置された接点を含み、電極608と614は、交互配置された接点を含み、これらを一まとめにして620と呼ぶ。電圧源626からのバイアス電圧の印加によって、液滴610が、位置610aから位置610bへ並進し、したがって、入力接点618に印加される入力信号が、液滴610の位置に応じて、出力接点622か、出力接点624のいずれかに送られる。
図6Bは、図6Aのスイッチ600を示す断面図である。電極612と614及び電極606と608に印加される電圧を制御することによって、液滴610は、位置610aと610bの間で並進し、したがって、入力接点618に印加される入力信号が、液滴610の位置に応じて、出力接点622か、出力接点624のいずれかに送られる。
図7は、本発明によるスイッチ700のさらなる代替の実施形態を示す概略図である。スイッチ700は、「完全に束縛された(fully constrained)」構成と呼ばれるものを示し、液滴710は、表面703を有する誘電体702と、表面705を有する誘電体704と、誘電体702と誘電体704との間のマイクロ流体境界720の間に束縛される。マイクロ流体境界は、液滴710を収容する空洞を形成する。マイクロ流体境界720は、図7において、別個の要素として示されるが、マイクロ流体境界720は、誘電体704及び/又は誘電体702を含む構造内に組み込まれてもよい。
誘電体702は、図5A、図5B、又は図6A及び図6Bに示す電極配置と同じ電極配置を含む。しかしながら、電極706と712のみが図7に示される。
電圧源726から印加されるバイアス電圧によって、液滴710が、位置710aと710bの間で並進し、したがって、スイッチング機能が生成される。この実施形態では、バイアス電圧が印加されると、液滴710と表面703の間の接触角度が変わることになり、表面703と705にわたる液滴の並進がもたらされる。
図8は、図7に示すスイッチ700の代替の一実施形態を示す概略図800である。図8では、誘電体804は、電極808と814を含む。電極808と814は、図5Aと図5Bに述べるように配置することができるか、又は、図6Aと図6Bで先に述べたように交互配置することができる。表面803、表面805、及びマイクロ流体境界820は、液滴を束縛する空洞を形成するため、液滴は、電圧源826からバイアス電圧を印加されると、位置810aと810bの間で並進する。この実施形態では、バイアス電圧を印加すると、液滴810と表面803と805の間の接触角度が変わることになり、表面803と805の間の液滴の並進がもたらされる。
図9は、本明細書で述べるスイッチのうちの任意のスイッチに適用することができる表面テクスチャリングを示す概略図900である。図9に述べる表面テクスチャリングは、液滴と液滴が接触している表面の間の初期接触角度を変えるために、上述したスイッチの実施形態のうちの任意の実施形態に適用することができる。誘電体902は、ほぼ示すように塗布された濡れ性を付与しないパターン904を含み、したがって、液滴がその上に存在することになる濡れ性付与パターン906が残る。さらに、濡れ性付与パターン906は、濡れ性を付与しない部分912を含むようにさらに規定して、液滴と液滴が接触している表面の間の初期接触角度を精密に調整することができる。こうして、初期接触角度は、特定の用途に合うように調整されることができる。
図10は、上述したスイッチの下方表面又は床を形成してもよい例示的な誘電体基板を示す概略図1000である。この例では、シリコン基板1002は、床を形成する表面1004上で、全体を1006で示すロケーションとして示される金属薄膜材料のパターニングを含む。この例では、金属膜上に塗布されることになる誘電体膜は、明確にするために省略される。液滴のおよそのロケーションが1010で示される。入力接点は1012で示され、出力接点は1014と1016で示される。
図11は、図7、図8、又は図9のスイッチの屋根及びマイクロ流体室を形成するキャップ1102を示す斜視図1100である。この例では、キャップ1102は、たとえば、Pyrex(登録商標)等のガラス材料から作製することができ、その下側1104が図11に示される。キャップ1102は、上述したマイクロ流体境界を形成する、屋根部分1120と壁部分1125を含む。1106で示す金属薄膜の部分は、キャップ1102を図10に示す基板1002に接合することができるように、図10の部分1006と少なくとも部分的に対応するように、表面1104に選択的に塗布することができる。たとえば、図10の金属薄膜1006が図11の金属薄膜1106に接触する場所では、熱と圧力を使用した熱圧縮接合を達成することができ、したがって、液滴をカプセル化することができる構造が形成される。或いは、基板1002(図10)をキャップ1102に接合するのに、陽極接合を使用することができる。こうして、上述した液滴が、その中に存在する可能性があるマイクロ流体室が形成されることができる。電極は、屋根部分1120内に埋め込まれるか、塗布されてもよい。
キャップ1102の壁1125はまた、スイッチの濡れ性付与能力及びラッチ動作能力を変える1つ又は複数の特徴部を含むことができる。こうした特徴部は、1130で示され、たとえば、基準リザーバ(reference reservoir)(図示せず)に出口を与えるであろう開口であることができる。開口1130が十分に小さい時、液体金属は、壁が比較的濡れ性を与えない場合には、開口を通って逃げる(wick through)ことなく、屋根部分1120、壁1125、及び床表面1004(図10)によって形成される室内に残ったままになることになる。液滴と壁1125の付着エネルギーは、開口1130によって減ることになる。付着エネルギーを制御するために、開口1130を選択的に規定することによって、スイッチのラッチ動作強度を制御することができる。キャップ1102はまた、導電性液体がそこを通して導入される充填ポート1114及び排出ポート1108と1112を含む。
図12は、本発明の一実施形態に従ってスイッチを形成する方法を記述するフローチャート1200である。ブロック1202にて、埋め込み式電極を含む基板が設けられる。ブロック1204にて、導電性液体の液滴が、基板上に設けられる。ブロック1206にて、導電性液体の液滴を含む電気回路を生成するように構成された電源が設けられる。ブロック1208にて、特徴部が基板上に形成される。特徴部は、表面と液滴の間の初期接触角度を決める。
図13は、誘電体上のエレクトロウェッティング(EWOD)を使用する3段液体金属スイッチ用の回路を示す概略図である。3段液体金属スイッチ1300は、共通EWODスイッチ1310、第1EWODスイッチ1340、及び第2EWODスイッチ1370を含む。3段液体金属スイッチ1300への接続部は、信号を受け取るために共通EWODスイッチ1310に動作可能に取り付けられた入力ポート1302、第1EWODスイッチ1340に動作可能に取り付けられた第1出力ポート1304、及び第2EWODスイッチ1370に動作可能に取り付けられた第2出力ポート1306を含む。3段液体金属スイッチ1300は、入力ポート1302と出力(第1出力ポート1304及び/又は第2出力ポート1306)の間の複数の接点アイソレーション(接点絶縁)を提供することができる。
例示的なEWODスイッチはそれぞれ、単極双投(SPDT)スイッチとして、1つの入力と2つの出力を有する。共通EWODスイッチ1310は、入力ポート1302、第1共有EWODスイッチ出力1336、及び第2共有EWODスイッチ出力1338を有する。第1EWODスイッチ1340は、第1EWODスイッチ入力1343、第1出力ポート1304、及び第1EWODスイッチ出力1368を有する。第2EWODスイッチ1370は、第2EWODスイッチ入力1373、第2出力ポート1306、及び第2EWODスイッチ出力1398を有する。第1共有EWODスイッチ出力1336は、第1EWODスイッチ入力1343に動作可能に接続され、第2共有EWODスイッチ出力1338は、第2EWODスイッチ入力1373に動作可能に接続される。一実施形態では、第1EWODスイッチ出力1368及び/又は第2EWODスイッチ出力1398は、50オーム抵抗1366又は50オーム抵抗1396を通して等で、コモン(共通電位)に動作可能に接続される。当業者は、抵抗が入力及び/又は出力伝送線とのインピーダンス整合を提供することができ、伝送線を終端させ、絶縁することを理解するであろう。
共通EWODスイッチ1310は、第1共有EWODスイッチ出力1336に動作可能に接続された第1接点1312、入力ポート1302に動作可能に接続された共有接点1314、及び第2共有EWODスイッチ出力1338に動作可能に接続された第2接点1316を有する誘電体表面1311を含む。共有EWODスイッチ液体金属液滴1318は、誘電体表面1311上に配設され、第1共有EWODスイッチ位置と第2共有EWODスイッチ位置との間で切り換え可能である。図13の例は、共有EWODスイッチ液体金属液滴1318が第1共有EWODスイッチ位置にある状態を示す。第1共有EWODスイッチ位置において、共有EWODスイッチ液体金属液滴1318は、第1接点1312と共有接点1314を動作可能に接続し、入力ポート1302と第1共有EWODスイッチ出力1336を動作可能に接続する。第2共有EWODスイッチ位置において、共有EWODスイッチ液体金属液滴1318は、共有接点1314と第2接点1316を動作可能に接続し、入力ポート1302と第2共有EWODスイッチ出力1338を動作可能に接続する。
共通EWODスイッチ1310はまた、共有EWODスイッチ端子の第1の対1322a、1322bに動作可能に接続された共有EWODスイッチ電極の第1の対1320a、1320b、及び、共有EWODスイッチ端子の第2の対1326a、1326bに動作可能に接続された共有EWODスイッチ電極の第2の対1324a、1324bを含む。共有EWODスイッチ電極の第1の対1320a、1320b及び共有EWODスイッチ電極の第2の対1324a、1324bは、図示を明確にするために、誘電体表面1311の外側に示される。共通EWODスイッチ電極の第1の対1320a、1320bは、共有EWODスイッチ端子の第1の対1322a、1322bを通して供給される第1共有EWODスイッチ制御信号1321に応答する。共有EWODスイッチ電極の第2の対1324a、1324bは、共有EWODスイッチ端子の第2の対1326a、1326bを通して供給される第2共有EWODスイッチ制御信号1325に応答する。電極の対のそれぞれにわたって電圧を印加することは、共有EWODスイッチ液体金属液滴1318の幾何形状を変えて、液滴を、第1共有EWODスイッチ位置と第2共有EWODスイッチ位置との間で並進させる。一実施形態では、第1共有EWODスイッチ制御信号1321等のスイッチ制御信号は、単一電圧制御信号、すなわち、共有EWODスイッチ端子1322a及び共有EWODスイッチ端子1322bに印加されるV+及びV+のような、同じ電圧である。共有EWODスイッチ液体金属液滴1318は、入力ポート1302に動作可能に接続された共有接点1314を通して共有EWODスイッチ液体金属液滴1318を接地することによって等で、共有EWODスイッチ端子1322a、1322bと異なる電圧に保持される。これは、EWOD作用に必要とされる電圧差を維持する。一実施形態では、第1共有EWODスイッチ制御信号1321等のスイッチ制御信号は、デュアル電圧制御信号、たとえば、共有EWODスイッチ端子1322a及び共有EWODスイッチ端子1322bに印加されるV+及びV−のような、異なる電圧である。共有EWODスイッチ液体金属液滴1318の電圧は、デュアル電圧制御信号がEWOD作用に必要とされる共有EWODスイッチ端子1322aと共有EWODスイッチ端子1322bとの電圧差を維持するため、浮遊することが許容される。
第1EWODスイッチ1340は、第1EWODスイッチ入力1343に動作可能に接続された第1接点1342、第1出力ポート1304に動作可能に接続された共有接点1344、及び第1EWODスイッチ出力1368に動作可能に接続される第2接点1346を有する誘電体表面1341を含む。第1EWODスイッチ液体金属液滴1348は、誘電体表面1341上に配設され、第1の第1EWODスイッチ位置と第2の第1EWODスイッチ位置との間で切り換え可能である。図13の例は、第1EWODスイッチ液体金属液滴1348が第1の第1EWODスイッチ位置にある状態を示す。この例の第1の第1EWODスイッチ位置において、第1EWODスイッチ液体金属液滴1348は、第1接点1342と共有接点1344を動作可能に接続し、第1EWODスイッチ入力1343と第1出力ポート1304を動作可能に接続する。この例の第2の第1EWODスイッチ位置において、第1EWODスイッチ液体金属液滴1348は、共有接点1344と第2接点1346を動作可能に接続し、第1出力ポート1304と第1EWODスイッチ出力1368を動作可能に接続する。
第1EWODスイッチ1340はまた、第1EWODスイッチ端子の第1の対1352a、1352bに動作可能に接続された第1EWODスイッチ電極の第1の対1350a、1350b、及び、第1EWODスイッチ端子の第2の対1356a、1356bに動作可能に接続された第1EWODスイッチ電極の第2の対1354a、1354bを含む。第1EWODスイッチ電極の第1の対1350a、1350b及び第1EWODスイッチ電極の第2の対1354a、1354bは、図示を明確にするために、誘電体表面1341の外側に示される。第1EWODスイッチ電極の第1の対1350a、1350bは、第1EWODスイッチ端子の第1の対1352a、1352bを通して供給される第1の第1EWODスイッチ制御信号1351に応答する。第1EWODスイッチ電極の第2の対1354a、1354bは、第1EWODスイッチ端子の第2の対1356a、1356bを通して供給される第2の第1EWODスイッチ制御信号1355に応答する。電極の対のそれぞれにわたって電圧を印加することは、第1EWODスイッチ液体金属液滴1348の幾何形状を変えて、液滴を、第1の第1EWODスイッチ位置と第2の第1EWODスイッチ位置との間で並進させる。一実施形態では、第1の第1EWODスイッチ制御信号1351等のスイッチ制御信号は、単一電圧制御信号、すなわち、第1EWODスイッチ端子1352a及び第1EWODスイッチ端子1352bに印加されるV+及びV+等の、同じ電圧である。第1EWODスイッチ液体金属液滴1348は、第1出力ポート1304に動作可能に接続された共有接点1344を通して第1EWODスイッチ液体金属液滴1348を接地することによって等で、第1EWODスイッチ端子1352a、1352bと異なる電圧に保持される。これは、EWOD作用に必要とされる電圧差を維持する。一実施形態では、第1の第1EWODスイッチ制御信号1351等のスイッチ制御信号は、デュアル電圧制御信号、たとえば、第1EWODスイッチ端子1352a及び第1EWODスイッチ端子1352bに印加されるV+及びV−等の、異なる電圧である。第1EWODスイッチ液体金属液滴1348の電圧は、デュアル電圧制御信号がEWOD作用に必要とされる第1EWODスイッチ端子1352aと第1EWODスイッチ端子1352bとの電圧差を維持するため、浮遊することが許容される。
第2EWODスイッチ1370は、第2EWODスイッチ入力1373に動作可能に接続された第1接点1372、第2出力ポート1306に動作可能に接続された共有接点1374、及び第2EWODスイッチ出力1398に動作可能に接続される第2接点1376を有する誘電体表面1371を含む。第2EWODスイッチ液体金属液滴1378は、誘電体表面1371上に配設され、第1の第2EWODスイッチ位置と第2の第2EWODスイッチ位置との間で切り換え可能である。図13の例は、第2EWODスイッチ液体金属液滴1378が第2の第2共有EWODスイッチ位置にある状態を示す。この例の第2の第2EWODスイッチ位置において、共有EWODスイッチ液体金属液滴1378は、共有接点1374と第2接点1376を動作可能に接続し、第2出力ポート1306と第2EWODスイッチ出力1398を動作可能に接続する。この例の第1の第2共有EWODスイッチ位置において、第2EWODスイッチ液体金属液滴1378は、第1接点1372と共有接点1374を動作可能に接続し、第2EWODスイッチ入力1373と第2出力ポート1306を動作可能に接続する。
第2EWODスイッチ1370はまた、第2EWODスイッチ端子の第1の対1382a、1382bに動作可能に接続された第2EWODスイッチ電極の第1の対1380a、1380b、及び、第2EWODスイッチ端子の第2の対1386a、1386bに動作可能に接続された第2EWODスイッチ電極の第2の対1384a、1384bを含む。第2EWODスイッチ電極の第1の対1380a、1380b及び第2EWODスイッチ電極の第2の対1384a、1384bは、図示を明確にするために、誘電体表面1371の外側に示される。第2EWODスイッチ電極の第1の対1380a、1380bは、第2EWODスイッチ端子の第1の対1382a、1382bを通して供給される第1の第2EWODスイッチ制御信号1381に応答する。第2EWODスイッチ電極の第2の対1384a、1384bは、第2EWODスイッチ端子の第2の対1386a、1386bを通して供給される第2の第2EWODスイッチ制御信号1385に応答する。電極の対のそれぞれにわたって電圧を印加することは、第2EWODスイッチ液体金属液滴1378の幾何形状を変えて、液滴を、第1の第2EWODスイッチ位置と第2の第2EWODスイッチ位置との間で並進させる。一実施形態では、第1の第2EWODスイッチ制御信号1381等のスイッチ制御信号は、単一電圧制御信号、すなわち、第2EWODスイッチ端子1382a及び第2EWODスイッチ端子1382bに印加されるV+及びV+等の、同じ電圧である。第2EWODスイッチ液体金属液滴1378は、第2出力ポート1306に動作可能に接続された共有接点1374を通して第2EWODスイッチ液体金属液滴1378を接地することによって等で、第2EWODスイッチ端子1382a、1382bと異なる電圧に保持される。これは、EWOD作用に必要とされる電圧差を維持する。一実施形態では、第1の第2EWODスイッチ制御信号1381等のスイッチ制御信号は、デュアル電圧制御信号、たとえば、第2EWODスイッチ端子1382a及び第2EWODスイッチ端子1382bに印加されるV+及びV−等の、異なる電圧である。第2EWODスイッチ液体金属液滴1378の電圧は、デュアル電圧制御信号がEWOD作用に必要とされる第2EWODスイッチ端子1382aと第2EWODスイッチ端子1382bとの電圧差を維持するため、浮遊することが許容される。
動作時、3段液体金属スイッチ1300は、入力ポート1302を第1出力ポート1304及び第2出力ポート1306のうちの一方に接続することができ、一方、接続されていない、第1出力ポート1304及び第2出力ポート1306のうちの他方に対して2つの開接点のアイソレーションを提供する。デュアル電圧の第1共有EWODスイッチ制御信号1321として、共有EWODスイッチ端子1322aと1322bの電圧差を、デュアル電圧の第1の第1EWODスイッチ制御信号1351として第1EWODスイッチ端子1352aと1352bの電圧差を供給することによって、入力ポート1302を、第1出力ポート1304に接続することができる。デュアル電圧の第2の第2EWOD制御信号1385として第2EWODスイッチ端子1386aと1386bの電圧差を供給することは、共通EWODスイッチ1310に1つ、第2EWODスイッチ1370に1つある、入力ポート1302と第2出力ポート1306の間の2つの開接点アイソレーションを生じる。第1の第1EWODスイッチ制御信号1351としての電圧差を除去し、デュアル電圧の第2の第1EWODスイッチ制御信号1355として、第1EWODスイッチ端子1352aと1352bの電圧差を供給することは、同様に、入力ポート1302を絶縁することができる。2つの開接点アイソレーションは、入力ポート1302と第2出力ポート1306の間で維持され、1つの接点アイソレーションは、入力ポート1302と第1EWODスイッチ1340の第1出力ポート1304との間に設けられる。
共有EWODスイッチ端子1322a、1322bの第1の対に供給される第1共有EWODスイッチ制御信号1321等の、スイッチ端子の対に供給されるスイッチ制御信号は、単一電圧制御信号又はデュアル電圧制御信号であることができる。本明細書で規定されるように、単一電圧制御信号は、スイッチ端子の対の両方に同じ電圧を印加し、デュアル電圧制御信号は、異なる電圧、すなわち、スイッチ端子の対にわたる差電圧を印加する。液体金属液滴が、液体金属液滴と誘電体表面の間の接触角度に対する差電圧の作用によって並進するか、又は、差電圧からの電磁界の電気力学によって並進するかについては、一部議論があるが、液体金属液滴は、制御信号が印加されると実際に並進する。共通EWODスイッチ1310についての1つの例では、共有EWODスイッチ端子の第1の対1322a、1322bに、第1共有EWODスイッチ制御信号1321としてデュアル電圧制御信号を印加することは、共有EWODスイッチ液体金属液滴1318を共有EWODスイッチ電極の第1の対1320a、1320bの方に並進させる。共通EWODスイッチ1310についての別の例では、共有EWODスイッチ端子の第1の対1322a、1322bに、第1共有EWODスイッチ制御信号1321として正電圧を有する単一電圧制御信号を印加し、共有接点1314をコモンに接続することは、共有EWODスイッチ液体金属液滴1318を共有EWODスイッチ電極の第1の対1320a、1320bの方に並進させる。単一及び/又はデュアル電圧制御信号は、特定の用途について所望されるように、3段液体金属スイッチ1300全体を通して種々の組み合わせで使用することができる。
特定の用途について所望されるように、スイッチ位置及びポート接続の種々の組み合わせが可能であることを、当業者は理解するであろう。別の実施形態では、第1EWODスイッチ入力1343は、共有接点1344に動作可能に接続され、第1出力ポート1304は、第1接点1342に動作可能に接続される。別の実施形態では、第2EWODスイッチ入力1373は、共有接点1374に動作可能に接続され、第2出力ポート1306は、第1接点1372に動作可能に接続される。付加的な3段液体金属スイッチ又は付加的なEWODスイッチへの入力として、出力ポートを接続することによって、付加的なアイソレーション層を設けることができる。
共通EWODスイッチ1310、第1EWODスイッチ1340、及び第2EWODスイッチ1370は全て、1つのEWODスイッチのタイプであることができるか、EWODスイッチタイプの混合物であることができる。EWODスイッチは、図3A〜3Cに示す2層EWODスイッチ、図5A及び図5Bに示す単層EWODスイッチ、図6A、図6B、図7、及び図8等に示す交互配置式EWODスイッチ等であることができる。
共通EWODスイッチ1310、第1EWODスイッチ1340、及び第2EWODスイッチ1370は、それぞれの誘電体表面1311、1341、及び1371に濡れ性特徴部を含むことができる。濡れ性特徴部の例は、表面材料、濡れ性を持たない表面上に形成された濡れ性付与材料、マイクロテクスチャリング等を含む。共通EWODスイッチ1310、第1EWODスイッチ1340、及び第2EWODスイッチ1370は、所望であれば、単一誘電体上に配設することができる。
共通EWODスイッチ1310、第1EWODスイッチ1340、及び/又は第2EWODスイッチ1370は、所望であれば、ラッチ動作又は非ラッチ動作であることができる。ラッチ動作構成では、液体金属液滴を並進させる電極対に対する制御信号としての電圧が除去されると、液体金属液滴は、所定位置にあるままである。液体金属液滴をその位置から並進させる電圧が印加されるまで、液体金属液滴は、その位置にあるままである。非ラッチ動作構成では、液体金属液滴を並進させる電極対に対する制御信号としての電圧が除去されると、液体金属液滴は、中心位置又は中性位置等の所定の位置に存在する。ラッチ動作又は非ラッチ動作構成は、表面材料特性、表面トポロジー等のような誘電体表面の性質によって決めることができる。
同じ要素が同じ参照符号を図13と共有する図14は、本発明による3段液体金属スイッチの一実施形態を示す平面図である。3段液体金属スイッチ1300は、共通EWODスイッチ1310、第1EWODスイッチ1340、及び第2EWODスイッチ1370を含む。EWODスイッチのそれぞれについて、液体金属液滴(図示せず)は、それぞれの誘電体表面1341、1311、及び1371上に配設される。コモン1399は、それぞれ、抵抗1366及び抵抗1396を通しての、第1EWODスイッチ出力1368及び第2EWODスイッチ出力1398の接続のために設けられる。
同じ要素が同じ参照符号を図13と共有する図15は、図14の液体金属スイッチの1つの電極層を示す平面図である。共有EWODスイッチ1310の電極層1319は、例として設けられる。第1EWODスイッチ1340と第2EWODスイッチ1370の電極層は、通常、同様であるが、異なるタイプのEWODスイッチが使用される場合には、異なる可能性がある。電極層1319は、誘電体表面(図示せず)の下に配設され、第1電極対1320a、1320bは、第1共有EWODスイッチ制御信号1321に動作可能に接続され、第2電極対1324a、1324bは、第2共有EWODスイッチ制御信号1325に動作可能に接続される。制御信号と電極の接続は、所望であれば、電極層1319の下のバイア(via:ビア)によって行うことができる。図15の例では、共有EWODスイッチ端子1322bを共有EWODスイッチ電極1320bに、また、共有EWODスイッチ端子1326bを共有EWODスイッチ電極1324bに接続するバイアは、電極層1319の下にあるものとして示されない。第1接点1312、共有接点1314、及び第2接点1316は、電極層1319と同じ層内に形成することができる。
同じ要素が同じ参照符号を図13と共有する図16A及び図16Bは、それぞれ、第1と第2のスイッチング位置にある3段液体金属スイッチを示す概略図である。第1スイッチング位置では、3段液体金属スイッチ1300は、入力ポート1302を第2出力ポート1306に接続し、第1出力ポート1304は絶縁される。第2スイッチング位置では、3段液体金属スイッチ1300は、入力ポート1302を第1出力ポート1304に接続し、第2出力ポート1306は絶縁される。
図16Aを参照すると、誘電体表面1311上に配設された共通EWODスイッチ1310の共有EWODスイッチ液体金属液滴1318は、第2共有EWODスイッチ位置にある。第2共有EWODスイッチ位置では、共有EWODスイッチ液体金属液滴1318は、液体金属液滴1318の下の共有接点(図示せず)と第2接点1316を動作可能に接続し、入力ポート1302と第2共有EWODスイッチ出力1338を動作可能に接続する。誘電体表面1371上に配設された第2EWODスイッチ1370の第2EWODスイッチ液体金属液滴1378は、第1の第2EWODスイッチ位置にある。第1の第2EWODスイッチ位置では、第2EWODスイッチ液体金属液滴1378は、第1接点1372と液体金属液滴1378の下の共有接点(図示せず)を動作可能に接続し、第2EWODスイッチ入力1373と第2出力ポート1306を動作可能に接続する。
第1EWODスイッチ1340の第1出力ポート1304は、2つの開接点、すなわち、第1EWODスイッチ1340の第1接点1342と共通EWODスイッチ1310の第1接点1312によって、終端され、絶縁される。誘電体表面1341上に配設された第1EWODスイッチ1340の第1EWODスイッチ液体金属液滴1348は、第2の第1EWODスイッチ位置にある。第2の第1EWODスイッチ位置では、第1EWODスイッチ液体金属液滴1348は、第2接点1346と液体金属液滴1348の下の共有接点(図示せず)を動作可能に接続し、第1EWODスイッチ入力1368と第1出力ポート1304を動作可能に接続する。
第2出力ポート1306から第1出力ポート1304に入力ポート1302の接続を変え、第1出力ポート1304から第2出力ポート1306にアイソレーションを変えるために、液体金属液滴の位置は、図16A及び図16Bの例の間で切り換わる。一実施形態では、EWODスイッチは、ラッチ動作するため、液体金属液滴は、関連する電極対に対する制御信号としての電圧が無い状態で、所定位置にあるままである。別の実施形態では、EWODスイッチは、非ラッチ動作するため、電圧差が、EWODスイッチ用の一対の端子から除去され、EWODスイッチ用の他の端子対に印加される。非ラッチ動作スイッチとしてEWODスイッチを有する図16A及び図16Bの例では、デュアル電圧制御信号は、第2の第1EWODスイッチ制御信号1355として、第1EWODスイッチ端子の第2の対1356a、1356bにわたる電圧差、第2共有EWODスイッチ制御信号1325として、共有EWODスイッチ端子1326a、1326bの第2の対にわたる電圧差、及び、第1の第2EWODスイッチ制御信号1381として、第2EWODスイッチ端子の第1の対1382a、1382bにわたる電圧差によって、図16Aにおいて印加される。第1の第1EWODスイッチ制御信号1351として、第1EWODスイッチ端子の第1の対1352a、1352bにわたる電圧差、第1共有EWODスイッチ制御信号1321として、共有EWODスイッチ端子の第1の対1322a、1322bにわたる電圧差、及び、第2の第2EWODスイッチ制御信号1385として、第2EWODスイッチ端子の第2の対1386a、1386bにわたる電圧差として、デュアル電圧制御信号を印加することによって、液体金属液滴が、図16Bの例の切り換え位置に並進する。所望されるスイッチ構成を達成するために、デュアル電圧制御信号としての電圧差を、種々の組み合わせで、3段液体金属スイッチ1300に印加することができることを、当業者は理解するであろう。別の実施形態では、制御信号の1つ又は複数は、単一電圧制御信号であり、スイッチ端子の対の両方と、共有接点に動作可能に接続された入力又は出力ポートとの間に印加される電圧差であることができる。
図16Bを参照すると、共有EWODスイッチ液体金属液滴1318は、第1共有EWODスイッチ位置にあり、第1接点1312と液体金属液滴1318の下の共有接点(図示せず)を動作可能に接続して、入力ポート1302と第1共有EWODスイッチ出力1336を動作可能に接続する。第1EWODスイッチ液体金属液滴1348は、第1の第1EWODスイッチ位置にあり、液体金属液滴1348の下の共有接点(図示せず)と第1接点1342を動作可能に接続して、第1出力ポート1304と第1EWODスイッチ入力1343を動作可能に接続する。第2EWODスイッチ1370の第2出力ポート1306は、2つの開接点、すなわち、第2EWODスイッチ1370の第1接点1372と共通EWODスイッチ1310の第2接点1316によって終端され、絶縁される。第2EWODスイッチ液体金属液滴1378は、第2の第2EWODスイッチ位置にあり、液体金属液滴1378の下の共有接点(図示せず)と第2接点1376を動作可能に接続して、第2出力ポート1306と第2EWODスイッチ出力1398を動作可能に接続する。
本開示は、具体的に示す実施形態を使用して、本発明を詳細に説明する。しかしながら、添付の特許請求の範囲によって規定される本発明は、述べる厳密な実施形態に限定されないことが理解されるべきである。
1300:3段液体金属スイッチ
1302:入力ポート
1304:第1出力ポート
1306:第2出力ポート
1310:共通EWODスイッチ
1311:誘電体表面
1312、1314、1316:接点
1318:共有EWODスイッチ液体金属液滴
1320a、1320b:共有EWODスイッチ電極の第1の対
1324a、1324b:共有EWODスイッチ電極の第2の対
1340:第1EWODスイッチ
1341:誘電体表面
1342、1344、1346:接点
1348:第1EWODスイッチ液体金属液滴
1350a、1350b:第1EWODスイッチ電極の第1の対
1354a、1354b:第1EWODスイッチ電極の第2の対
1370:第2EWODスイッチ
1371:誘電体表面
1372、1374、1376:接点
1378:第2EWODスイッチ液体金属液滴
1380a、1380b:第2EWODスイッチ電極の第1の対
1384a、1384b:第2EWODスイッチ電極の第2の対
1302:入力ポート
1304:第1出力ポート
1306:第2出力ポート
1310:共通EWODスイッチ
1311:誘電体表面
1312、1314、1316:接点
1318:共有EWODスイッチ液体金属液滴
1320a、1320b:共有EWODスイッチ電極の第1の対
1324a、1324b:共有EWODスイッチ電極の第2の対
1340:第1EWODスイッチ
1341:誘電体表面
1342、1344、1346:接点
1348:第1EWODスイッチ液体金属液滴
1350a、1350b:第1EWODスイッチ電極の第1の対
1354a、1354b:第1EWODスイッチ電極の第2の対
1370:第2EWODスイッチ
1371:誘電体表面
1372、1374、1376:接点
1378:第2EWODスイッチ液体金属液滴
1380a、1380b:第2EWODスイッチ電極の第1の対
1384a、1384b:第2EWODスイッチ電極の第2の対
Claims (20)
- 誘電体上のエレクトロウェッティング(EWOD)を使用する3段液体金属スイッチであって、
入力ポート、第1共有EWODスイッチ出力、及び第2共有EWODスイッチ出力を有する共通EWODスイッチと、
第1EWODスイッチ入力、第1出力ポート、及び第1EWODスイッチ出力を有する第1EWODスイッチと、
第2EWODスイッチ入力、第2出力ポート、及び第2EWODスイッチ出力を有する第2EWODスイッチと、
を備え、
前記第1共有EWODスイッチ出力は、前記第1EWODスイッチ入力に動作可能に接続され、前記第2共有EWODスイッチ出力は、前記第2EWODスイッチ入力に動作可能に接続される、3段液体金属スイッチ。 - 前記第1EWODスイッチ出力がコモンに動作可能に接続される、請求項1に記載の3段液体金属スイッチ。
- 前記共通EWODスイッチが、2層EWODスイッチ、単層EWODスイッチ、及び組み合わせEWODスイッチから成るグループから選択される、請求項1に記載の3段液体金属スイッチ。
- 前記第1EWODスイッチが、2層EWODスイッチ、単層EWODスイッチ、及び組み合わせEWODスイッチから成るグループから選択される、請求項1に記載の3段液体金属スイッチ。
- 前記共通EWODスイッチ、前記第1EWODスイッチ、及び前記第2EWODスイッチが、誘電体上に配設される、請求項1に記載の3段液体金属スイッチ。
- 前記共通EWODスイッチが、誘電体表面と、該誘電体表面上に配設された液体金属液滴と、少なくとも一対の電極と、を有する誘電体を備え、前記液体金属液滴は、前記少なくとも一対の電極への制御信号に応答して、前記入力ポートを前記第1共有EWODスイッチ出力に動作可能に接続する第1の位置と、前記入力ポートを前記第2共有EWODスイッチ出力に動作可能に接続する第2の位置との間で切り換え可能である、請求項1に記載の3段液体金属スイッチ。
- 前記少なくとも一対の電極が、第1の電極対と第2の電極対とを備え、前記制御信号が、第1制御信号と第2制御信号とを含み、前記第1の電極対は、前記第1制御信号に応答して前記液体金属液滴を前記第1の位置に並進させ、前記第2の電極対は、前記第2制御信号に応答して前記液体金属液滴を前記第2の位置に並進させる、請求項6に記載の3段液体金属スイッチ。
- 前記誘電体表面が、濡れ性特徴部を有する、請求項6に記載の3段液体金属スイッチ。
- 前記液体金属液滴が、前記第1の位置及び前記第2の位置のうちの少なくとも一方でラッチ動作する、請求項6に記載の3段液体金属スイッチ。
- 前記制御信号が、単一電圧制御信号及びデュアル電圧制御信号から成るグループから選択される、請求項6に記載の3段液体金属スイッチ。
- 前記第1EWODスイッチが、誘電体表面と、該誘電体表面上に配設された液体金属液滴と、少なくとも一対の電極と、を有する誘電体を備え、前記液体金属液滴は、前記少なくとも一対の電極への制御信号に応答して、第1の位置と第2の位置との間で切り換え可能である、請求項1に記載の3段液体金属スイッチ。
- 前記少なくとも一対の電極が、第1の電極対と第2の電極対とを備え、前記制御信号が、第1制御信号と第2制御信号とを含み、前記第1の電極対は、前記第1制御信号に応答して前記液体金属液滴を前記第1の位置に並進させ、前記第2の電極対は、前記第2制御信号に応答して前記液体金属液滴を前記第2の位置に並進させる、請求項11に記載の3段液体金属スイッチ。
- 前記液体金属液滴が、前記第1の位置及び前記第2の位置のうちの少なくとも一方でラッチ動作する、請求項11に記載の3段液体金属スイッチ。
- 3段液体金属スイッチであって、
第1液体金属液滴と、
前記第1液体金属液滴を支持する手段と、
第1制御信号に応答して、入力ポートを第1の第1スイッチ出力に動作可能に接続する第1の第1スイッチ位置と、前記入力ポートを第2の第1スイッチ出力に動作可能に接続する第2の第1スイッチ位置との間で前記第1液体金属液滴を並進させる手段と、
第2液体金属液滴と、
前記第2液体金属液滴を支持する手段と、
第2制御信号に応答して、第1の第2スイッチ位置と第2の第2スイッチ位置との間で前記第2液体金属液滴を並進させる手段であって、前記第1の第2スイッチ位置は、第2スイッチ入力と第1出力ポートとを動作可能に接続する、手段と、
第3液体金属液滴と、
前記第3液体金属液滴を支持する手段と、
第3制御信号に応答して、第1の第3スイッチ位置と第2の第3スイッチ位置との間で前記第3液体金属液滴を並進させる手段であって、前記第1の第3スイッチ位置は、第3スイッチ入力と第2出力ポートとを動作可能に接続する、手段と、
を備え、
前記第1の第1スイッチ出力は、前記第2スイッチ入力に動作可能に接続され、前記第2の第1スイッチ出力は、前記第3スイッチ入力に動作可能に接続される、3段液体金属スイッチ。 - 前記第1液体金属液滴支持手段、前記第2液体金属液滴支持手段、及び前記第3液体金属液滴支持手段のうちの少なくとも1つに濡れ性を付与する手段をさらに備えている、請求項14に記載の3段液体金属スイッチ。
- 前記第1液体金属液滴を、前記第1共有スイッチ位置及び前記第2共有スイッチ位置のうちの一方でラッチ動作する手段をさらに備えている、請求項14に記載の3段液体金属スイッチ。
- 前記第2液体金属液滴を、前記第1の第2スイッチ位置及び前記第2の第2スイッチ位置のうちの一方でラッチ動作する手段をさらに備えている、請求項14に記載の3段液体金属スイッチ。
- 前記第1出力ポートを終端し、絶縁する手段をさらに備えている、請求項14に記載の3段液体金属スイッチ。
- 誘電体上のエレクトロウェッティング(EWOD)を使用する3段液体金属スイッチであって、
入力ポート、第1共有EWODスイッチ出力、第2共有EWODスイッチ出力、共有EWODスイッチ液体金属液滴、及び少なくとも一対の共有EWODスイッチ電極を有し、前記共有EWODスイッチ液体金属液滴は、前記少なくとも一対の共有EWODスイッチ電極への共有EWODスイッチ制御信号に応答して、前記入力ポートと前記第1共有EWODスイッチ出力とを動作可能に接続する第1共有EWODスイッチ位置と、前記入力ポートと前記第2共有EWODスイッチ出力とを動作可能に接続する第2共有EWODスイッチ位置との間で切り換え可能である、共通EWODスイッチと、
第1EWODスイッチ入力、第1出力ポート、第1EWODスイッチ出力、第1EWODスイッチ液体金属液滴、及び少なくとも一対の第1EWODスイッチ電極を有し、前記第1EWODスイッチ液体金属液滴は、前記少なくとも一対の第1EWODスイッチ電極への第1EWODスイッチ制御信号に応答して、第1の第1EWODスイッチ位置と、第2の第1EWODスイッチ位置との間で切り換え可能である、第1EWODスイッチと、
第2EWODスイッチ入力、第2出力ポート、第2EWODスイッチ出力、第2EWODスイッチ液体金属液滴、及び少なくとも一対の第2EWODスイッチ電極を有し、前記第2EWODスイッチ液体金属液滴は、前記少なくとも一対の第2EWODスイッチ電極への第2EWODスイッチ制御信号に応答して、第1の第2EWODスイッチ位置と、第2の第2EWODスイッチ位置との間で切り換え可能である、第2EWODスイッチと、を備え、
前記第1共有EWODスイッチ出力は、前記第1EWODスイッチ入力に動作可能に接続され、前記第2共有EWODスイッチ出力は、前記第2EWODスイッチ入力に動作可能に接続される、3段液体金属スイッチ。 - 前記第1EWODスイッチ出力が、コモンに動作可能に接続される、請求項19に記載の3段液体金属スイッチ。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/240,998 US7271688B1 (en) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | Three-stage liquid metal switch |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007103363A true JP2007103363A (ja) | 2007-04-19 |
Family
ID=36539830
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006264291A Pending JP2007103363A (ja) | 2005-09-30 | 2006-09-28 | 3段液体金属スイッチ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7271688B1 (ja) |
EP (1) | EP1770736A3 (ja) |
JP (1) | JP2007103363A (ja) |
CN (1) | CN1941242A (ja) |
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-
2006
- 2006-04-12 EP EP06007706A patent/EP1770736A3/en not_active Withdrawn
- 2006-05-16 CN CNA2006100782305A patent/CN1941242A/zh active Pending
- 2006-09-28 JP JP2006264291A patent/JP2007103363A/ja active Pending
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---|---|
EP1770736A3 (en) | 2008-11-19 |
CN1941242A (zh) | 2007-04-04 |
US7271688B1 (en) | 2007-09-18 |
EP1770736A2 (en) | 2007-04-04 |
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