JP3892272B2

JP3892272B2 - スイッチ装置

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Publication number: JP3892272B2
Application number: JP2001321594A
Authority: JP
Inventors: 勉竹中
Original assignee: Agilent Technologies Inc
Current assignee: Agilent Technologies Inc
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Filing date: 2001-10-19
Publication date: 2007-03-14
Anticipated expiration: 2021-10-19
Also published as: JP2003123605A; US20030075428A1

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導電性流体を利用して固定電極間の開閉を機械的に行うスイッチ装置又は電気接点開閉装置に関し、特に機械接点式の超小型リレー又は超小型スイッチを集積化した、高周波信号の用途に好適な複数接点を連動させるスイッチ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、高周波信号のための回路には、電磁コイルを利用した機械的スイッチが利用されてきた。この種のスイッチによれば、必要とされる応用に合わせて複数の個別スイッチが組み合わせて設けられる。また、個々のスイッチを駆動するために電磁コイルが対応して設けられ、それらは制御手段によって一括して制御されていた。
【０００３】
高周波信号を扱う応用でのスイッチの一つに、双極双投型（ＤＰＤＴ）と呼ばれるスイッチがある。例えばこのスイッチは、特開平１０−１５４９４７号公報、或いは特開平１１−２９８２３８号公報に記載されるようにアンテナ切り換え器の一部として使用される。双極双投型のスイッチとして、半導体固体素子を集積化して当該スイッチ機能を実現したものが市販されている。しかし、低歪み特性、低インサーションロス、広帯域周波数特性が要求される場合には、機械接点式スイッチとして、図４に例示するような単極双投型スイッチを２個集積化したものを用いることが一般的である。
【０００４】
【発明の解決すべき課題】
しかしながら、複数の接点を連動して開閉させる機械接点式スイッチ、例えば、双極双投型スイッチの回路を高周波、特にマイクロ波、ミリ波領域で実現しようとする場合、図４にあるように物理的な大きさがある機械接点式スイッチを組み合わせるという制限から、ある長さをもった線路１、２、３、４、５、６が存在するようになり、開側にある４、６の線路は、信号線路に対し容量性のあるオープンスタブとして動作し、回路の周波数特性を劣化させてしまう。また、従来の機械接点式スイッチは接点毎に接点のドライブ手段が要せられ、サイズ的にも大きい。
【０００５】
一方、スイッチの小型化の要求については、例えば、特開２０００−１９５３８９号公報に開示される流体金属を用いたスイッチを利用することにより満足させることができる。このスイッチによれば、小型ながら信頼性の高い動作が実現され、高周波信号の伝送にも適している。しかし、実用的な双極双投型又は他の種類のスイッチ装置の実現については示されていない。
【０００６】
従って、本発明の目的は、高周波信号の伝送に対応した実用的で信頼性の高いスイッチ装置を実現することにあり、特に、従来品でスイッチ開側に余分な線路が存在することに起因する問題を解決した高性能のスイッチを実現することにある。
【０００７】
本発明の他の目的は、高周波信号の伝送に対応した双極双投型スイッチを、小型で且つ高性能にして実現することにある。
【０００８】
本発明の更に他の目的は、高周波信号の伝送に対応して容量性又は誘導性の特性を付加することのできるスイッチ装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明のスイッチ装置は、導電性流体及び非導電性流体が充填されるチャネルを有する。チャネルには環状部分が含まれる。環状部分には導電性流体が配置され、また、環状部分の長さ方向には複数の電極が相互に離間して設けられる。スイッチ装置は、非導電性流体を移動させ又は体積を変化させる駆動手段を含む。この手段を駆動させることにより非導電性流体が環状部分の所定位置に広がり、これにより導電性流体が相互に切断又は分離されて電気パスが解除され、同時に、他の位置では分離された導電性流体同士が新たに連結して、所定の電極と協働して新たな電気パスを構成する。
【００１０】
本発明のスイッチ装置による利点は、導電性流体の移動により電気パスが開閉される際に、開状態の場合には導電路が物理的に消失し、閉の場合のみに必要な寸法の導電路が物理的に出現することである。これにより高周波帯における電気パスの開の場合に存在する寄生インダクタ分を除去し、周波数依存性を改善することができる。例えば、本発明はマイクロ波線路として実現される。つまり、回路特性より要求されるインピーダンスと長さをもったマイクロ波線路を、オンのときには存在、オフ時には導電性流体の移動により消失させて、寄生成分の発生を抑えることができる。従って、小型でありながら、高周波信号の伝送に好適なスイッチ装置が提供される。
【００１１】
導電性流体は、例えば水銀等の液体金属とされ、非導電性流体は、少なくとも常温で化学的に不活性である窒素等の気体又は加熱により気化可能である常温で液体の材料とすることができる。この場合、非導電性流体を移動させ又は体積を変化させる手段は、ヒータ等の加熱手段とされ得る。駆動手段は、同時に動作されることのない一対の駆動部を含み、それぞれは環状部分の所定の位置に連結される。従って、一方の駆動部が動作されたとき、非導電性流体は互いに離間した位置で同時に環状部分内に広がり、その位置で導電性流体を分離させるとともに、他の位置で導電性流体が連結されることを可能にする。
【００１２】
導電性流体は、切り替えられた所定の電気パスを維持するべく、ラッチ状態とされ得る。即ち、例えば電極を液体金属等の導電性流体に対して濡れ性の高い材料から選択し、又は更に電極近傍で環状部分の内面の構造を変更することにより、所望の電気パスを構成する導電性流体を電極近傍に維持することができる。尚、電極表面の高い濡れ性により常時導電性流体が維持される点、それに結合される導電性流体は、表面張力（より正確には表面エネルギーが最小になる状態を実現すること）によって所望の位置に維持され得る点にも注目すべきである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して本発明の好適実施形態となるスイッチ装置について詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本発明の第１の実施形態となる双極双投型スイッチ装置の構成を示す概略図であり、（ａ）、（ｂ）は、それぞれその動作により変化する２つの状態を示す図である。図２は、その等価回路を示す略式の回路図であり、（ａ）、（ｂ）は、図１（ａ）、（ｂ）のそれぞれに対応した状態を示す図である。
【００１５】
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、本発明のスイッチ装置１０は、絶縁体からなる基体１１、その内部に形成される環状のチャネル２１、チャネル２１内に配置され、特に図１（ａ）では１対のかたまりとして示される導電性液体３１、３２、チャネル２１に沿って離間して設けられる電極２２、２３、２４、２５、ヒータ３９、４０、それらが配置されるキャビティ３５、３６、チャネル２１の周方向又は長さ方向に沿う対向位置でキャビティ３５と連結される１対のサブチャネル４１、４２、キャビティ３６とチャネル２１の長さ方向に沿う対向位置で連結されるサブチャネル４３、４４、及びキャビティ３５、３６、サブチャネル４１、４２、４３、４４、チャネル２１内の、導電性流体３１、３２が配置される以外の部分の全てに充填される非導電性流体３７、３８を有する。
【００１６】
基体１１は、例えば２枚の絶縁基板の張り合わせにより構成され、チャネル２１等の構造はそれらの基板の内面に沿って形成される。即ち、チャネル等はこれらの基板により密封されて成る。２枚の基板は必ずしも同種の材料である必要はなく、セラミック基板とガラス基板のように異なる種類の基板であっても良い。本実施形態では、チャネル２１は略四角形状を成し、電極２２、２３、２４、２５は略Ｌ字形状の角部に設けられる。また。キャビティ３５は、チャネル２１の内側に設けられ、キャビティ３６はその外側に設けられる。図示されるように、キャビティ３５からはサブチャネル４１、４２が上下方向に延びて、チャネル２１の上下の辺の略中央位置に結合され、キャビティ３６から延びるサブチャネル４３、４４は、サブチャネル４１、４２が結合する辺と交差する方向に延びる左右の辺の略中央に結合する。
【００１７】
導電性流体３１、３２は、水銀等の液体金属とされる。電極２２、２３、２４、２５は、水銀等の導電性流体３１、３２に対して濡れ性の大きな材料から形成される。後述のように、スイッチ装置の動作において、非導電性流体を移動、変形させる際、この濡れ性により移動変形のための圧力漏洩を防ぎ、且つ、連結又は切断した後に、前記導電性流体の表面張力と併せて、スイッチの開閉の状態を維持する効果も合わせ持っている。また、図示されるように、キャビティ３５、３６はその内部に非導電性流体３７、３８を含み、サブチャネル４１、４２、４３、４４は、チャネル２１より細く、導電性流体３１、３２が浸入しない構造となっている。非導電性流体は、窒素等の不活性気体、又は気化可能な液体とされる。尚、後者の場合に関連して、便宜上、図面には非導電性流体を液体と気体とを区別しないで示すが、この場合には、通常は加熱によって液体中に気泡が発生することを利用した態様となる。
【００１８】
次にスイッチ装置の動作について説明する。図１（ａ）では、導電性流体３１、３２により、電極２２と２５、電極２３と２４がそれぞれ閉状態であり、非導電性流体３７により電極２２と２３、電極２４と２５がそれぞれ開状態にある。この状態での等価回路を図２（ａ）に示す。
【００１９】
ここで、ヒータ４０にバイアスを加えると、キャビティ３６内部の非導電性流体３８がヒータ４０の熱によって膨張又は液相から気相へと相変化し、キャビティ３５に対し正圧力が生ずる。この正圧力はサブチャネル４１及び４２を介して、導電性流体３１、３２に作用し、これらをチャネル２１内で各々二等分に分割し、同時に、導電性流体３１、３２を移動変形させ、図１（ａ）の状態でチャネル内に位置した非導電性流体３７の一部をキャビティ３５内に追いやる。結果的に図１（ｂ）のように、導電性流体３１、３２が分割、移動、合体し、新たな形態としての導電性流体５１、５２を形成する。ここで、ヒータ４０に対してのバイアスを除いた後においても、導電性流体５１、５２の表面張力が、キャビティ３５内での圧力に勝るよう、キャビティの設計を行うことで、導電性流体５１、５２は図１（ｂ）の形態を維持する。
【００２０】
この状態の等価回路が図２（ｂ）に示される。図１（ｂ）を共に参照して理解されるように、このとき、導電性流体５１、５２により、電極２２と２３、電極２４と２５がそれぞれ閉状態であり、非導電性流体３８により電極２２と２５、電極２３と２４がそれぞれ開状態にある。従って、ヒータ４０へのバイアスにより電気的なパスが変更されたことが理解される。
【００２１】
注目すべき点は、図１（ａ）及び図２（ａ）において閉状態にあった導電性流体３１、３２による電気パスが、図１（ｂ）及び図２（ｂ）の状態になった時には、導電性流体の移動により完全に消失していることである。このようにすることでマイクロ波、ミリ波のような高周波動作においても平坦な周波数特性を可能になり、同時に、集積的に、複数の接点を持ち、導電性流体の特性を生かした長寿命、高再現性の超小型スイッチが実現できる。
【００２２】
逆に、図１（ｂ）の状態から、ヒータ３９にバイアスを加えると、上記と逆の動作によって図１（ａ）の状態に戻すことができる。即ち、ヒータ３９によるキャビティ３５の加熱により非導電性流体３７の一部が再度チャネル２１内に入り込み（図１（ａ）参照）、その正圧力は、図１（ｂ）における導電性流体５１、５２をそれぞれ分断して角部の電極側へと押しやり、その結果、導電性流体５１、５２が分割、移動、合体し、元の形態である導電性流体３１、３２を形成する。この工程においても、図１（ａ）の状態で必要とされない電極２２、２３間、及び電極２４、２５間の電気パスが消失する点に注目すべきである。
【００２３】
本発明のスイッチ装置は、その原理を同じくして、他のスイッチングの応用にも適用可能である。図３は、本発明の第２の好適実施形態となるスイッチ装置を示す概略図であり、（ａ）、（ｂ）は切替可能な互いに相違する状態を示す図である。本実施形態は、電力分配／合成器とスイッチの機能を併せて実現したものである。
【００２４】
本実施形態によるスイッチ装置１００によれば、やはり第１の実施形態同様に、環状に連通した細長のチャネル６１が、基体９６内に封止されるようにして形成される。チャネル６１の環状方向の離間した位置には４箇所に電極６２、６３、６４、６５が設けられる。また、図示されるように、左右の対向位置にヒータ７９、８０を備えた一対のキャビティ７５、７６が設けられ、そのそれぞれは、電極６４、６２の近傍位置でサブチャネル７７、７８、及び８１、８２を介してチャネル６１に連結される。連結位置は、図示されるように、それぞれの電極６４、６２の両側とされる。第１の実施形態同様に、導電性流体７１、７２は、チャネル６１内の所定位置に配置され、他の位置には非導電性流体８６、８７が充填される。
【００２５】
電極６３、６５は、電極６２から（電極６２を使用する場合の）信号周波数ｆ₁の１／４波長の長さだけ離間し、チャネル６１の幅、高さは内包される導電性流体７１による電気パスの特性インピーダンスがＺ₀となるように決められる。更に、電極６３、６５は√２・Ｚ₀の抵抗値をもつ抵抗８５で接続される。このような構成とすることで、一般にウィルキンソンデバイダと呼ばれる電極６３、６５間でアイソレーション特性を持つ等分電力分配／合成器を実現できる。
【００２６】
本実施形態によるスイッチ装置１００では、更に、電極６３、６５が、電極６４から（電極６４を使用する場合の）信号周波数ｆ₂の１／４波長の長さ離間しており、新たに信号周波数ｆ₂で適用できる上記とは別のウィルキンソンデバイダを構成できる。即ち、本実施形態によるスイッチ装置１００は、周波数の異なる信号源を選択しながら、当該信号の電力を２分配して出力する回路に有用な例である。
【００２７】
ここで、図３（ａ）の状態で、ヒータ８０にバイアスを加えると、キャビティ７６内部の非導電性流体がヒータ８０の発する熱によって膨張し、又は液相から気相へと相変化し、キャビティ７５に対しての正圧力を生じる。この正圧力はサブチャネル８１及び８２を介して、導電性流体７１に伝えられる。これにより、サブチャネル８１、８２がチャネル６１に連通した位置近傍で導電性流体７１が分割され、更に、チャネル６１に入り込む非導電性流体８７は、分割された導電性流体７１の一部をキャビティ７５側へ押して、キャビティ７５側の非導電性流体８６をサブチャネル７７、７８を介してキャビティ７５内に追いやって、電極６４近傍に維持される導電性流体７２と合体する。その結果、図３（ｂ）のように、新しい形態の導電性流体９１、９２が生じ、電極６３、６２、６５が抵抗８５と協働する構成の電気回路が形成される。
【００２８】
第１の実施形態と同様にして逆の動作も可能である。図３（ｂ）の状態でヒータ７９にバイアスを加えると、キャビティ７５がキャビティ７６に対して正圧力を生じ、その結果サブチャネル７７、７８を介して、非導電性流体８６の一部が再度チャネル６１内に入り込み、導電性流体９２をサブチャネル７７、７８との結合部近傍で再度分割し、その一部をキャビティ７６側へと押し出す。この結果、再度図３（ａ）の状態に復帰し、電極６３、６４、６５が抵抗８５と協働する構成の電気回路が形成される。
【００２９】
本実施形態で注目すべきは、図３（ａ）の閉状態にあった導電性流体７１による１／４波長の電気パスは、図３（ｂ）の状態になった時には、導電性流体の移動により完全に消失していること、及び、その逆で、図３（ｂ）の閉状態にあった導電性流体９２による１／４波長の電気パスは、図３（ａ）の状態になった時には、導電性流体の移動により完全に消失していることである。このようにすることで、電極６３、６５付近で余分なオープンスタブや容量成分等のない理想的に近い形でウィルキンソンデバイダを実現できる。また、ヒータへのバイアス除去後も、第１の実施形態同様、スイッチの開閉状態は導電性流体の表面張力によりそのまま維持される。
【００３０】
【発明の効果】
本発明のスイッチ装置によれば、小型にして高性能であるスイッチ装置が実現される。特に、高周波信号に対する良好な特性が得られ、挿入損失及びアイソレーション特性でも有効な結果が得られる。
【００３１】
以上のように、本発明の好適実施形態となるスイッチ装置について詳細に説明したが、これはあくまでも例示的なものであり、本発明を制限するものではなく、当業者によって様々な変形・変更が可能である。
【００３２】
上述の好適実施形態に即して本発明を説明すると、本発明は、導電性流体３１、３２、５１、５２；７１、７２、９１、９２及び非導電性流体３７、３８；８６、８７が充填され、相互に離間して設けられる複数の電極２２、２３、２４、２５；６２、６３、６４、６５を含むチャネル２１；６１を有し、駆動手段３５、３６；７５、７６によって非導電性流体３７、３８；８６、８７を移動させ又は体積を変化させることにより導電性流体３１、３２、５１、５２；７１、７２、９１、９２をチャネル２１；６１内で移動させて相互に連結又は切断し、複数の電極２２、２３、２４、２５；６２、６３、６４、６５及び導電性流体３１、３２、５１、５２；７１、７２、９１、９２から構成される電気パスを切り替えることのできるスイッチ装置１０；１００において、チャネル２１；６１は、複数の電極２２、２３、２４、２５；６２、６３、６４、６５を含む環状部分２１；６１を有し、導電性流体３１、３２、５１、５２；７１、７２、９１、９２は環状部分２１；６１内のみを移動可能とされ、所望の電気パスを得るべく駆動手段３５、３６；７５、７６が動作されるときに、導電性流体３１、３２、５１、５２；７１、７２、９１、９２は、環状部分２１；６１内で必要とされる位置へ移動されて適当な電極同士を相互接続するとともに、所望の電気パスを構成しない位置から排除されるよう構成されることを特徴とする。
【００３３】
好ましくは、閉状態の場合のみに出現する所望の電気パスを回路素子として物理形状を決め、スイッチに容量性又は誘導性の特性を付加することで電気パスの開閉以外の回路特性を備える。
【００３４】
好ましくは、駆動手段３５、３６；７５、７６は、独立して動作可能な一対の駆動部を含み、一対の駆動部は、環状部分２１；６１の長さ方向に沿って少なくとも一つの電極を挟んで離間した位置に結合され、一対の駆動部の一方が動作されるとき、環状部分２１；６１と結合する位置に非導電性流体３７、３８；８６、８７が広がり導電性流体３１、３２、５１、５２；７１、７２、９１、９２が切断され、切断された導電性流体３１、３２、５１、５２；７１、７２、９１、９２の一部が他の位置に置かれる導電性流体と連結されることに新たな電気パスが形成されるよう構成される。
【００３５】
好ましくは、一対の駆動部のそれぞれは、非導電性流体３７、３８；８６、８７を加熱膨張させる手段を含む。
【００３６】
好ましくは、一対の駆動部の一方は環状部分２１の内側に、他方は環状部分２１の外側に位置する。
【００３７】
好ましくは、複数の電極２２、２３、２４、２５は４個の電極を含み、双極双投型のスイッチを構成する。
【００３８】
好ましくは、複数の電極２２、２３、２４、２５；６２、６３、６４、６５の近傍又は同一位置に、他部分と比べ導電性流体３１、３２、５１、５２；７１、７２、９１、９２が安定的に存在し得る構造を設け、一対の駆動部の一方又は他方を動作させて導電性流体３１、３２、５１、５２；７１、７２、９１、９２を移動させた後に駆動を停止した場合においても、導電性流体３１、３２、５１、５２；７１、７２、９１、９２の表面張力によってスイッチの開閉の状態が維持される。
【００３９】
好ましくは、電極２２、２３、２４、２５；６２、６３、６４、６５が、導電性流体３１、３２、５１、５２；７１、７２、９１、９２に対して良好な濡れ性を有する。
【００４０】
好ましくは、電極２２、２３、２４、２５；６２、６３、６４、６５の表面には、常時導電性流体３１、３２、５１、５２；７１、７２、９１、９２の一部が維持される。
【００４１】
好ましくは、チャネルは、４つの電極６２、６３、６４、６５を角部に備える四角形を成す環状部分６１を有し、駆動手段７５、７６は、独立して動作可能な一対の駆動部を含み、４つの電極６２、６３、６４、６５のうち対向する電極６３、６５が他の２つの電極６２、６４のいずれか一方を介して相互に連結される第１及び第２の２つの状態を選択的に実現できるよう、対向する電極６３、６５の両側のそれぞれに位置する２辺が一対の駆動部のそれぞれに共通に結合され、一側に対応した一対の駆動部の一方が動作されるときに、非導電性流体８６、８７が環状部材６１に入り込み導電性流体７１、７２、９１、９２を切断することにより一側を開状態とするとともに、他側で導電性流体７１、７２、９１、９２を連結させて閉状態とし、各側の辺はそれぞれ相違する信号波長の１／４の長さを有し、更に対向する電極６３、６５間には使用インピーダンスＺ₀の√２倍の抵抗が設けられ、これにより電気パスの切替に加えて高周波信号の電力分配又は合成ができるよう構成される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態となる双極双投型スイッチ装置の構成を示す概略図であり、（ａ）、（ｂ）は、それぞれその動作により変化する２つの状態を示す図である。
【図２】図１の（ａ）、（ｂ）の２つの状態に対応した等価回路を示す略式の回路図である。
【図３】本発明の第２の好適実施形態となるスイッチ装置を示す概略図であり、（ａ）、（ｂ）は切替え可能な互いに相違する状態を示す図である。
【図４】従来のスイッチ装置を示す概略ブロック図である。
【符号の説明】
１０、１００スイッチ装置
２１；６１環状部分
３１、３２、５１、５２；７１、７２、９１、９２導電性流体
３７、３８；８６、８７非導電性流体
３５、３６；７５、７６駆動手段

Claims

導電性流体及び非導電性流体が充填され、相互に離間して設けられる複数の電極を含むチャネルを有し、駆動手段によって前記非導電性流体を移動させ又は体積を変化させることにより前記導電性流体を前記チャネル内で移動させて相互に連結又は切断し、前記複数の電極及び前記導電性流体から構成される電気パスを切り替えることのできるスイッチ装置において、
前記チャネルは、前記複数の電極を含む環状部分を有し、前記導電性流体は前記環状部分内のみを移動可能とされ、所望の電気パスを得るべく前記駆動手段が動作されるときに、前記導電性流体は、前記環状部分内で必要とされる位置へ移動されて適当な電極同士を相互接続するとともに、前記所望の電気パスを構成しない位置から排除されるよう構成され、
前記チャネルは、４つの電極を角部に備える四角形を成す環状部分を有し、前記駆動手段は、独立して動作可能な一対の駆動部を含み、前記４つの電極のうち対向する電極が他の２つの電極のいずれか一方を介して相互に連結される第１及び第２の２つの状態を選択的に実現できるよう、前記対向する電極の両側のそれぞれに位置する２辺が前記一対の駆動部のそれぞれに共通に結合され、一側に対応した前記一対の駆動部の一方が動作されるときに、前記非導電性流体が前記環状部材に入り込み前記導電性流体を切断することにより前記一側を開状態とするとともに、他側で前記導電性流体を連結させて閉状態とし、各側の辺はそれぞれ相違する信号波長の１／４の長さを有し、更に前記対向する電極間には使用インピーダンスＺ ₀ の√２倍の抵抗が設けられ、これにより電気パスの切替に加えて高周波信号の電力分配又は合成ができるよう構成されることを特徴とするスイッチ装置。
閉状態の場合のみに出現する所望の電気パスを回路素子として物理形状を決め、スイッチに容量性又は誘導性の特性を付加することで電気パスの開閉以外の回路特性を備えることを特徴とする、請求項１のスイッチ装置。
前記駆動手段は、独立して動作可能な一対の駆動部を含み、該一対の駆動部は、前記環状部分の長さ方向に沿って少なくとも一つの電極を挟んで離間した位置に結合され、前記一対の駆動部の一方が動作されるとき、前記環状部分と結合する位置に前記非導電性流体が広がり前記導電性流体が切断され、切断された該導電性流体の一部が他の位置に置かれる前記導電性流体と連結されることに新たな電気パスが形成されるよう構成されることを特徴とする、請求項１のスイッチ装置。
前記一対の駆動部のそれぞれは、前記非導電性流体を加熱膨張させる手段を含むことを特徴とする請求項３のスイッチ装置。
前記一対の駆動部の一方は前記環状部分の内側に、他方は前記環状部分の外側に位置することを特徴とする、請求項３のスイッチ装置。
前記複数の電極は４個の電極を含み、双極双投型のスイッチを構成することを特徴とする、請求項３のスイッチ装置。
前記複数の電極の近傍又は同一位置に、他部分と比べ前記導電性流体が安定的に存在し得る構造を設け、前記一対の駆動部の一方又は他方を動作させて前記導電性流体を移動させた後に駆動を停止した場合においても、前記導電性流体の表面張力によってスイッチの開閉の状態が維持されることを特徴とする、請求項１のスイッチ装置。
前記電極が、前記導電性流体に対して良好な濡れ性を有することを特徴とする、請求項７のスイッチ装置。
前記導電性流体の一部は、常時前記電極の表面を覆うように維持されることを特徴とする、請求項７のスイッチ装置。