JP2007095883A - 薄膜形成方法及びシートフィルム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】塗布膜102を形成するための塗布液を構成している溶媒の表面張力が、シートフィルム101の臨界表面張力を超えない範囲とされているので、シートフィルム101の上に、均一な状態で塗布膜102が形成された状態となる。この後、基板103に、シートフィルム101の塗布膜102の形成面を貼り合わせ、ついで、基板103よりシートフィルム101を離型(剥離)することで、基板103の上に、部分的な剥がれなどが抑制された状態で、前述した薄膜材料よりなる薄膜112が均一に形成された状態とする。
【選択図】図1
Description
以上に説明したように、従来の技術では、転写により均一な薄膜を形成することが容易ではなかった。
Claims (11)
- 樹脂よりなるシートフィルムの上に、薄膜材料よりなる塗布液を塗布して前記シートフィルムの上に塗布膜が形成された状態とする第1工程と、
基板と前記シートフィルムの前記塗布膜の形成面とを貼り合わせる第2工程と、
前記シートフィルムを前記塗布膜より離型し、前記基板の上に前記薄膜材料よりなる薄膜が形成された状態とする第3工程と
を少なくとも備え、
前記塗布液の表面張力は、前記シートフィルムの臨界表面張力を超えない範囲の値とされている
ことを特徴とする薄膜形成方法。 - 樹脂よりなるシートフィルムの上に剥離層が形成された状態とする第1工程と、
前記剥離層の上に、薄膜材料よりなる塗布液を塗布して前記剥離層の上に塗布膜が形成された状態とする第2工程と、
基板と前記シートフィルムの前記塗布膜の形成面とを貼り合わせる第3工程と、
前記シートフィルムを前記剥離層より離型し、前記基板の上に前記薄膜材料よりなる薄膜が形成された状態とする第4工程と
を少なくとも備え、
前記剥離層は、前記シートフィルムと接触している面とは反対側の表面に親水基を備えて形成される
ことを特徴とする薄膜形成方法。 - 請求項2記載の薄膜形成方法において、
前記剥離層は、親水基を有するフッ素化合物から構成されていることを特徴とする薄膜形成方法。 - 請求項3記載の薄膜形成方法において、
前記剥離層は、親水基を有するフッ素樹脂から構成されていることを特徴とする薄膜形成方法。 - 請求項4記載の薄膜形成方法において、
前記第1工程では、前記フッ素樹脂よりなる塗布液を塗布することで、前記剥離層が前記シートフィルムの上に形成された状態とし、形成された剥離層の上に水分を配置することで、前記剥離層の表面に親水基が備えられた状態とする
ことを特徴とする薄膜形成方法。 - 請求項2記載の薄膜形成方法において、
前記剥離層は、親水基を有するシリコーンから構成されていることを特徴とする薄膜形成方法。 - 請求項2記載の薄膜形成方法において、
前記剥離層は、フッ素樹脂及びシリコーンの少なくとも1つから構成され、
前記剥離層の表面に対して活性化処理を行うことで、前記剥離層の表面に親水基が備えられた状態とする
ことを特徴とする薄膜形成方法。 - 請求項7記載の薄膜形成方法において、
前記活性化処理は、前記剥離層の表面に対するプラズマの照射である
ことを特徴とする薄膜形成方法。 - 請求項7記載の薄膜形成方法において、
前記活性化処理は、コロナ放電処理である
ことを特徴とする薄膜形成方法。 - 請求項1〜9のいずれか1項に記載の薄膜形成方法において、
前記シートフィルムは、フッ素樹脂より構成されたものである
ことを特徴とする薄膜形成方法。 - 樹脂よりなるシートフィルムの上に、薄膜材料よりなる塗布液を塗布して前記シートフィルムの上に塗布膜が形成された状態とし、基板と前記シートフィルムの前記塗布膜の形成面とを貼り合わせ、前記シートフィルムを前記塗布膜より離型し、前記基板の上に前記薄膜材料よりなる薄膜が形成された状態とする薄膜形成方法に用いるシートフィルムにおいて、
前記シートフィルムは、前記塗布膜の形成面に剥離層を備え、
前記剥離層は、フッ素樹脂及びシリコーンの少なくとも1つから構成され、前記シートフィルムと接触している面とは反対側の表面に親水基を備える
ことを特徴とするシートフィルム。
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2005
- 2005-09-28 JP JP2005281493A patent/JP2007095883A/ja active Pending
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