JP2007093410A - 分光光度計 - Google Patents

分光光度計 Download PDF

Info

Publication number
JP2007093410A
JP2007093410A JP2005283775A JP2005283775A JP2007093410A JP 2007093410 A JP2007093410 A JP 2007093410A JP 2005283775 A JP2005283775 A JP 2005283775A JP 2005283775 A JP2005283775 A JP 2005283775A JP 2007093410 A JP2007093410 A JP 2007093410A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
sample
signal
ratio
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005283775A
Other languages
English (en)
Inventor
Mikio Sugioka
幹生 杉岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP2005283775A priority Critical patent/JP2007093410A/ja
Publication of JP2007093410A publication Critical patent/JP2007093410A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

【課題】
試料光量が対照光量に比較して非常に小さい場合に従来の装置で生じていたデータノイズおよび、デジタルデータの桁落ちに起因する測定精度の低下を改善する。
【解決手段】
対照信号RHと試料信号SHをSH/RH算出器32に供給し、対照信号RHと試料信号SHの比を繰り返し測定し、両信号の比SH/RHがあらかじめ定めた閾値、たとえば1/100以下になった場合に再測定メッセージ表示器33からメッセージを表示し、測定者に伝達する。測定者はメッシュフィルタ部31に光量減衰用のメッシュフィルタを挿入し、SH/RHが閾値以上になった状態で同期増幅器20Nに対してあらためて測定開始信号Pを入力し、再測定を開始させる。
【選択図】 図1

Description

本発明は排水、湖水などの環境分野における濃度管理や、半導体・光学・電気各分野における材料解析などに使用されるダブルビーム分光光度計に関する。
ダブルビーム分光光度計(以下、分光光度計と略記する)は、光源からの光ビームを、回折格子やプリズムを使用したモノクロメータ部で単波長化した後、2個の光ビームに分割し、一方を液体または気体などの試料を封入した試料セルに、他方を比較用の対照物質を封入した対照セルに導き、それぞれのセルを通過したビームの光量差を測定することによって、光源特性の経時変化などの装置固有の影響を除き、試料固有の光吸収を検出している。光源には目的に応じた波長領域の光が得られるように、たとえば紫外・可視光用には重水素ランプ、可視・近赤外用にはハロゲンランプなどが単独または切り替えて使用されている。たとえば特許文献1に分光光度計の一例が記載されている。
以下、図7によって従来の分光光度計の基本構成の一例と作動を説明する。光源1(前記のように複数の光源を使用することもあるが図示は省略する)からの光はミラー2で反射および集束され、フィルタ3で分光に不必要な波長帯域が除かれた後、スリット4の一方の開口で光ビーム(以下、ビームと記載する)に整形され、ミラー5で反射されて回折格子6で波長分散される。波長分散されたビームは再びミラー5で反射されてスリット4の他方の開口を逆方向に通過する。ビームはさらにミラー7、集光用のレンズ8を介してチョッパ9に入射する。チョッパ9はたとえばチョッパ軸心10の回りに回転する半円形の円盤で、チョッパ制御器19からの駆動信号によって高速回転しており、チョッパ9の1回転中の入射光の約1/2をミラー11方向に反射し、約1/2をミラー15方向に通過させる。
ミラー11で反射され、対照物質を封入した対照セル12を通過した対照ビーム、すなわち対照光量Rの対照ビームはミラー13で反射され検出器14に入射する。またミラー15で反射され、試料を封入した試料セル16を通過した試料ビーム、すなわち試料光量Sの試料ビームはミラー17およびミラー18で反射され検出器14に入射する。検出器14としては光電子増倍管または光電管などが用いられる。
検出器14からの出力は同期増幅器20で増幅される。前記出力には対照ビームの出力と試料ビームの出力が含まれているので、チョッパ9の回転と同期した同期信号をチョッパ制御器19から同期増幅器20に供給し、対照ビームの出力と試料ビームの出力を分離することによって、同期増幅器20から、対照光量Rのみに対応した対照信号RHと、試料光量Sのみに対応した試料信号SHを分離して取り出すことができる。さらに差分増幅器21によって対照信号RHと試料信号SHの差を差分信号Dとして取り出す。差分信号Dは試料のみの吸収に対応した信号である。
特開2001−228082号公報
従来の分光光度計の構造は以上のとおりであるが、この構造では試料光量Sと対照光量Rの光量差が大きい場合には精度の高い測定が行えない。すなわち、測定波長帯域全般にわたって吸収の大きな試料では、試料光量Sは対照光量Rに比較して非常に小さいが、従来の装置ではこの光量差、換言すれば試料光量Sと対照光量Rの比率、と測定精度の関連について特別な考慮が払われていなかった。光量差の大きな場合にはデジタルデータに桁落ちなどの精度低下が発生している場合が多いが、従来の装置ではこのことに起因する精度低下の有無および低下の程度を測定者に認識させる手段が無かったので、データノイズ(測定データのザラツキ)から定性的にその原因を憶測するほかなく、測定者の判断は恣意的になり、多くの場合は測定者に認識がなされないまま測定条件の変更が行われず、精度の低下したままの測定が行われていた。本発明はこのような問題点を解決する手段を提供することを目的とする。
本発明が第1に提供する分光光度計は、上記課題を解決するために、試料セルを通過した光ビームの光量と対照セルを通過した光ビームの光量の比を測定する手段と、前記光量比があらかじめ定めた閾値以下になったときに閾値以下になったことを測定者に警告する手段を備えたものである。したがって閾値以下になると測定者に警告が行われる。
本発明が第2に提供する分光光度計は、試料セルを通過した光ビームの光量と対照セルを通過した光ビームの光量の比を測定する手段と、前記光量比があらかじめ定めた閾値以下になったときに自動的に対照セルを通過した光ビームの光量を低下させて前記光量比を前記閾値以上に設定する手段を備えたものである。したがって自動的に対照セルを通過した光ビームの光量を低下させて前記光量比があらかじめ定めた閾値以上に設定される。
本発明によれば、データノイズやデジタルデータの桁落ちなどが防止されるので、広い範囲の試料に対して前記光量比に起因するデータ精度の低下を見逃すことがなく、測定者に依存せずに測定精度を改善することができる。
本発明が提供する分光光度計は試料セルと対照セルを通過した光量比を測定する手段と、光量比が閾値以下になったことを測定者に警告する手段と、対照セルを通過する光ビームの光量を低下させる手段を備える点にあり、警告は表示器によるメッセージ表示される。さらに光ビームの光量の比を測定し、光量比が閾値以下になったときに自動的に対照セルを通過した光ビームの光量を低下させて前記光量比をあらかじめ定めた閾値以上に設定する手段を備えるように構成された点に特徴がある。したがってこれら両特徴を備えた分光光度計、具体的には光量比算出器および対照セルの光量を低下させるための制御信号発生器ならびにメッシュフィルタ部を介し光量比の正確な測定が行われる分光光度計である。
以下図示例にしたがって説明する。なお、図1において図7と同一符号の部品の構造および作動は図7と同一である。図1において、光源1からの光はスリット4の一方の開口で光ビームに整形され、回折格子6で波長分散される。波長分散されたビームは光学経路に沿ってチョッパ9に入射する。チョッパ9の1回転中の入射光の約1/2はミラー11方向に反射し、約1/2はミラー15方向に通過する。
ミラー11で反射され、対照物質を封入した対照セル12を通過した対照ビームは検出器14に入射する。またミラー15で反射され、試料を封入した試料セル16を通過した試料ビームも同じく検出器14に入射する。対照ビームの光路には光量減衰のためのメッシュフィルタ部31が挿入されている。
検出器14からの出力は同期増幅器20Nに入力され、測定者から入力される測定開始信号Pによって測定が開始される。前記出力には対照ビームの出力と試料ビームの出力が含まれているが、チョッパ9の回転と同期した同期信号がチョッパ制御器19から同期増幅器20Nに供給され、対照ビームの出力と試料ビームの出力を分離することができるので、同期増幅器20Nからは対照光量Rのみに対応した対照信号RHと、試料光量Sのみに対応した試料信号SHを分離して取り出すことができる。さらに差分増幅器21によって対照信号RHと試料信号SHの差を差分信号Dとして取り出す。差分信号Dは試料のみの吸収に対応した信号である。
対照信号RHと試料信号SHはSH/RH算出器32にも供給され、対照信号RHと試料信号SHの比がチョッパ9の1回転、たとえば1/60秒毎に繰り返し測定される。両信号の比(以下、SH/RHと記載する)があらかじめ定めた閾値、たとえば1/100以下になった場合には、SH/RH算出器32から再測定メッセージ表示器33に表示信号が出力され、再測定メッセージ表示器33からメッセージが表示され、測定者に伝達される。測定者は前記メッシュフィルタ部31に光量減衰用のメッシュフィルタを挿入し、同期増幅器20Nに対してあらためて測定開始信号Pを入力し、再測定を開始する。
図2は図1の本発明の実施例の作動の基本的な流れをフローチャートによって示したものである。前記測定開始信号Pの入力によって、まず同期増幅器20Nおよび差分増幅器21のベースラインが自動チェックされ、ベースライン補正が実行される。引き続いて測定が開始され、前記のようにSH/RH算出器32によりSH/RHが繰り返して連続測定される。この測定値が前記のSH/RHの繰り返し連続測定のいずれかの区間で、あらかじめ定めた閾値、たとえば1/100以下になると、再測定メッセージ表示器33から「メッシュフィルタを入れ、再測定することを勧める」とのメッセージが表示される。測定者は再測定するかどうかをあらためて判断し、再測定を行う場合は図1のメッシュフィルタ部31にメッシュフィルタを挿入し、あらためて測定開始信号Pを入力すると、再度ベースライン補正が実行され、引き続いて再測定が行われる。再測定の必要が無いと判断した場合は試料を交換し、次測定に移る。
本発明が第2に提供する実施例は、SH/RHがあらかじめ定めた閾値以下になったときに自動的に対照セル12を通過した光ビームの光量を低下させてSH/RHをあらかじめ定めた閾値以上に自動的に設定する手段を備える。図3は前記の自動的に設定する手段の一例を示している。すなわち、前記SH/RHがあらかじめ定めた閾値以下になったときに、自動的に図1に示すSH/RH算出器32からの信号が図3の制御信号発生器Tに供給され、制御信号発生器Tからパルスモータにモータ駆動信号が出力される。パルスモータの回転力はラック、ピニオンを介して吸収係数の異なる数種類のメッシュフィルタを保持したメッシュフィルタ部31に伝達され、メッシュフィルタ部31が上方に移動して次のメッシュフィルタと交換され、対照セル12を通過する光量を一段階低下させる。この状態で再度SH/RHが測定され、閾値との比較の結果、さらに光量低下が必要な場合は再度SH/RH算出器32からの信号が制御信号発生器Tに供給され、SH/RHが閾値を越えるまで上記の作動が繰り返される。SH/RHが閾値を越えた段階でSH/RH算出器32から測定開始用の信号(図示せず)が出力され、測定が開始される。
図4から6には、自動的に設定する手段の他の例が示されている。図4は回転円盤形状のメッシュフィルタ部31に吸収係数の異なる数種類のメッシュフィルタを取り付けた構造である。SH/RH算出器32からの信号が制御信号発生器Tに供給されてパルスモータにモータ駆動信号が出力され、メッシュフィルタ部31が回転し次のメッシュフィルタに交換され、光量が一段階低下する。本実施例のその後の作動は実施例2に類似であるので詳細説明は省略する。図5は楔形状のメッシュフィルタを使用した例を示している。パルスモータはSH/RHが閾値を越えるまで自動的かつ連続的にメッシュフィルタ部31を上昇させ、連続的に光量を低下させる。この連続的な制御においては、一度閾値を越えた後にSH/RHが閾値前後で微細に自然変化した場合の不安定を避けるため、閾値を越えた段階でパルスモータはさらに定められた時間回転し、その後停止するように制御信号発生器Tを作動させる。図6はたとえば真空蒸着や光学的撮影などで作成された吸収係数が連続的に変化するリボン状のメッシュフィルタ膜を使用した例である。本実施例の作動は図5において説明した実施例に類似であるので詳細説明は省略する。
さらに、上記の各閾値を可変にして測定者が閾値を設定できるような構造や、再測定メッセージ表示器33にSH/RHの値を表示させたり、警告音や警告光を伴う表示をしたりする構造も考えられる。本発明はこれらをすべて包含する。
本発明は排水、湖水などの環境分野における濃度管理や、半導体・光学・電気各分野における材料解析などに使用されるダブルビーム分光光度計に適用することができる。
本発明の実施例の構成を示す図である。 本発明の実施例のシーケンスを示す図である。 本発明の実施例のメッシュフィルタ部の構造の一例である。 本発明の実施例のメッシュフィルタ部の構造の一例である。 本発明の実施例のメッシュフィルタ部の構造の一例である。 本発明の実施例のメッシュフィルタ部の構造の一例である。 従来の分光光度計の構成を示す図である。
符号の説明
1 光源
2 ミラー
3 フィルタ
4 スリット
5 ミラー
6 回折格子
7 ミラー
8 レンズ
9 チョッパ
10 チョッパ軸心
11 ミラー
12 対照セル
13 ミラー
14 検出器
15 ミラー
16 試料セル
17 ミラー
18 ミラー
19 チョッパ制御器
20同期増幅器
20N同期増幅器
21 差分増幅器
31 メッシュフィルタ部
32 SH/RH算出器
33再測定メッセージ表示器
D 差分信号
P 測定開始信号
R 対照光量
RH 対照信号
S 試料光量
SH 試料信号
T 制御信号発生器

Claims (2)

  1. 試料セルを通過した光ビームと対照セルを通過した光ビームの光量差を検出する手段を備えたダブルビーム式の分光光度計であって、試料セルを通過した光ビームの光量と対照セルを通過した光ビームの光量の比を測定する手段と、前記光量比があらかじめ定めた閾値以下になったときに測定者に警告する手段を備えたことを特徴とする分光光度計。
  2. 試料セルを通過した光ビームと対照セルを通過した光ビームの光量差を検出する手段を備えたダブルビーム式の分光光度計であって、試料セルを通過した光ビームの光量と対照セルを通過した光ビームの光量の比を測定する手段と、前記光量比があらかじめ定めた閾値以下になったときに自動的に対照セルを通過した光ビームの光量を低下させて前記光量比を前記閾値以上に設定する手段を備えたことを特徴とする分光光度計。
JP2005283775A 2005-09-29 2005-09-29 分光光度計 Pending JP2007093410A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005283775A JP2007093410A (ja) 2005-09-29 2005-09-29 分光光度計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005283775A JP2007093410A (ja) 2005-09-29 2005-09-29 分光光度計

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007093410A true JP2007093410A (ja) 2007-04-12

Family

ID=37979309

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005283775A Pending JP2007093410A (ja) 2005-09-29 2005-09-29 分光光度計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007093410A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016530546A (ja) * 2013-09-24 2016-09-29 ジーイー・ヘルスケア・バイオサイエンス・アクチボラグ 光吸収モニタシステム
JP2019522202A (ja) * 2016-07-11 2019-08-08 ジーイー・ヘルスケア・バイオサイエンス・アクチボラグ 溶液中の物質の吸光度を測定するための方法およびそのための測定装置
DE102022115621A1 (de) 2021-06-25 2022-12-29 Hitachi High-Tech Science Corporation Spektrophotometer, spektroskopisches messverfahren und programm

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016530546A (ja) * 2013-09-24 2016-09-29 ジーイー・ヘルスケア・バイオサイエンス・アクチボラグ 光吸収モニタシステム
JP2019522202A (ja) * 2016-07-11 2019-08-08 ジーイー・ヘルスケア・バイオサイエンス・アクチボラグ 溶液中の物質の吸光度を測定するための方法およびそのための測定装置
JP7308744B2 (ja) 2016-07-11 2023-07-14 サイティバ・スウェーデン・アクチボラグ 溶液中の物質の吸光度を測定するための方法およびそのための測定装置
US11815451B2 (en) 2016-07-11 2023-11-14 Cytiva Sweden Ab Method for measuring the absorbance of a substance in a solution and a measuring device therefor
DE102022115621A1 (de) 2021-06-25 2022-12-29 Hitachi High-Tech Science Corporation Spektrophotometer, spektroskopisches messverfahren und programm
US11927527B2 (en) 2021-06-25 2024-03-12 Hitachi High-Tech Science Corporation Spectrophotometer, spectroscopic measurement method, and program

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI783980B (zh) 用於蝕刻處理監視的先進光學感測器、系統及方法
KR102674160B1 (ko) 수직 입사 원위치 프로세스 모니터 센서
CN103688156A (zh) 临界尺寸的测量
Hárosi et al. Dichroic microspectrophotometer: A computer-assisted, rapid, wavelength-scanning photometer for measuring linear dichroism in single cells
JP2007093410A (ja) 分光光度計
JP2007093492A (ja) 示差屈折率検出器及びその調整方法
JP3316012B2 (ja) 顕微ラマン分光光度計を用いた温度測定装置
TW201132945A (en) Micro spectrometer capable of receiving zeroth-order and first-order spectrum components
JPH0580981B2 (ja)
JP2004138499A (ja) ガス濃度検出センサ
JP5086958B2 (ja) 粒子物性測定装置
JP2007040981A (ja) ウエハ温度測定方法及びウエハ温度測定装置
JP4156534B2 (ja) 薄膜結晶層の歪み測定方法および測定装置
JPS62147344A (ja) 多波長分光光度計
RU2672036C1 (ru) Способ измерения толщины покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования и устройство для его реализации
JP2005164255A (ja) 分光分析装置
JP2005037180A (ja) 吸光式分析計
JP6927218B2 (ja) 分析装置
US3363505A (en) Luminance measuring apparatus
JPS6082835A (ja) 自動光熱分光測定装置
JPS62278436A (ja) 蛍光測定法及び装置
CN116106247B (zh) 一种紫外可见分光光度计的校准方法
JP2004053432A (ja) 赤外線ガス分析計
JPS63243726A (ja) フオトダイオ−ドアレイ検出器
RU2427814C1 (ru) Способ измерения коэффициента пропускания объективов