JP2007092152A - 連続熱cvd装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、水平に配されたループ状のベルトコンベヤ1 と、コンベヤの一端部上に供給された基板4 と、コンベヤの一側の長さ中央部から他端円弧部に亘って設けられた基板予熱ゾーン9 と、コンベヤの他側にその他端部から長さ中央部に亘って設けられたCVD加熱ゾーン11と、コンベヤの他端他側に設けられた原料ガス流入口3 と、コンベヤの他端他側に設けられ、かつ基板予熱ゾーンからCVD加熱ゾーンへのガス流入を防ぐと共に原料ガスをCVD加熱ゾーンへ運ぶキャリアガスの流入口2 とを具備した連続CVD装置を提供する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、水平に配されたループ状のベルトコンベヤと、コンベヤの一端部上に供給された基板と、コンベヤの一側の長さ中央部から他端円弧部に亘って設けられた基板予熱ゾーンと、コンベヤの他側にその他端部から長さ中央部に亘って設けられたCVD加熱ゾーンと、コンベヤの他端他側に設けられた原料ガス流入口と、コンベヤの他端他側に設けられ、かつ基板予熱ゾーンからCVD加熱ゾーンへのガス流入を防ぐと共に原料ガスをCVD加熱ゾーンへ運ぶキャリアガスの流入口とを具備した連続CVD装置を提供する。
は、次いでケーシング(5) を出てベルトコンベヤ(1) から装置外へ搬出される。基板搬入部の回転方向前方に隣接してケーシング(5) の一側一端にも、シールガス給気路(10)と同じ構造のシールガス給気路(14)が設けられている。
(2) :キャリアガス流入口
(3) :原料ガス流入口
(4) :基板
(5) :ケーシング
(6) :延長部
(6a):偏平ノズル
(8) (13):排気路
(9) :予熱ゾーン
(10)(14):シールガス給気路
(11):CVD加熱ゾーン
(12):垂直壁
Claims (2)
- 水平に配されたループ状のベルトコンベヤと、コンベヤの一端部上に供給された基板と、コンベヤの一側の長さ中央部から他端円弧部に亘って設けられた基板予熱ゾーンと、コンベヤの他側にその他端部から長さ中央部に亘って設けられたCVD加熱ゾーンと、コンベヤの他端他側に設けられた原料ガス流入口と、コンベヤの他端他側に設けられ、かつ原料ガスをCVD加熱ゾーンへ運ぶと共に基板予熱ゾーンからCVD加熱ゾーンへのガス流入を防ぐキャリアガスの流入口とを具備した連続CVD装置。
- 原料ガスの未反応分とキャリアガスとのガス混合物を排出する排気路と、排気路に隣接して設けられたシールガス給気路とを備えた請求項1記載の連続CVD装置。
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