JP2007086428A - 共焦点顕微鏡装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 ＯＣＴ計測を用いた共焦点顕微鏡装置において、高速に断層画像の取得を行う。
【解決手段】 測定対象Ｓからの反射光Ｌ３と参照光Ｌ２が合波され、その干渉光Ｌ４が干渉光検出手段６により検出され測定対象Ｓの断層画像が取得される共焦点顕微鏡装置において、参照光Ｌ２の周波数変調を行う光変調部２０が設けられている。この光変調部２０は、参照光Ｌ２を分光する回折格子素子２２と、分光された参照光Ｌ２を平行光にするコリメータレンズ２３と、コリメータレンズ２３を透過した参照光を再びコリメータレンズ２３側に反射させる反射ミラー２４と、コリメータレンズ２３の光軸からずれた位置を中心にして反射ミラー２４とを備えている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、測定対象の所定の深さの画像を取得する共焦点顕微鏡装置に関し、特にＯＣＴ(Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ)計測技術を共焦点顕微鏡装置に用いて測定対象の所定の深さの画像を取得する共焦点顕微鏡装置に関するものである。

従来、体内の内視鏡検査を行う際に共焦点顕微鏡装置が用いられることが知られているが、さらに、この共焦点顕微鏡装置において、ヘテロダイン検出を用いたＯＣＴ計測の原理と共焦点顕微鏡の原理とを組み合わせたものが提案されている（たとえば特許文献１参照）。特許文献１の共焦点顕微鏡装置において、光源から射出されたレーザ光が測定光と参照光とに分割され、参照光は参照光の光軸方向に移動する参照ミラーに入射されることにより周波数変調が施される。

一方、測定光は光ファイバを用いて測定対象まで導波され、光ファイバから射出した測定光が集光レンズにより測定対象に集光される。そして、測定対象からの反射光が再び集光レンズにより集光され光ファイバに入射される。このとき、光ファイバの測定光射出部分と測定対象における焦点位置とは共焦点関係にあり、測定対象の焦点位置以外からの反射光は光ファイバに入射できないようになっている。

その後、周波数変調が施された参照光と光ファイバにより導波された測定対象からの反射光との干渉光をヘテロダイン検波を行うことにより焦点位置における反射情報が取得される。そして、集光レンズの焦点位置を測定対象の深さ方向に対し直交する方向に移動させることにより、所定の深さ位置における断層画像を取得することができる。
特表２００２−５１７０１１号公報

ここで、ヘテロダイン検波を行う際に、測定光と参照光との間には周波数差を与えるために参照ミラーを移動もしくは振動させる必要がある。しかし参照ミラーを移動等させたときには測定対象の深さ方向のヘテロダイン検波を行っていることになる。よって、上述した共焦点顕微鏡装置のように所定の深さ位置における断層画像を得るような場合には、参照ミラーを移動させたときに参照光の光路長が集光レンズの焦点位置までの測定光の光路長に一致したときは干渉光を検出することができるが、それ以外は干渉光の検出ができないため、断層画像を取得する際に冗長な時間が存在しているという問題がある。

そこで、本発明は、高速に断層画像の取得を行うことができるＯＣＴ計測を用いた共焦点顕微鏡装置を提供することを目的とするものである。

本発明の共焦点顕微鏡装置は、測定対象の所定の深さの画像を取得する共焦点顕微鏡装置において、光を射出する光源ユニットと、光源ユニットから射出される光を測定光と参照光とに分割する光分割手段と、光分割手段により分割された測定光と参照光との間に周波数の差を与える光変調部と、光分割手段により分割された測定光を測定対象に集光するとともに、測定光を測定対象に集光したときの測定対象からの反射光を集光する共焦点光学系と、共焦点光学系により集光された反射光と参照光とを合波する合波手段と、合波手段により合波された反射光と参照光とが干渉したときの干渉光を検出する干渉光検出手段と、干渉光検出手段により検出された干渉光から測定対象の所定の深さの画像を取得する画像取得手段とを有するものであり、光変調部が、光分割手段により分割された参照光を分光する回折格子素子と、回折格子素子により分光された参照光を平行光にするコリメータレンズと、コリメータレンズを透過した参照光を再びコリメータレンズ側に反射し回折格子素子に入射させる、コリメータレンズの光軸からずれた位置を中心に揺動する反射ミラーと、反射ミラーから回折格子素子に入射され回折格子素子において分光された参照光を再び回折格子素子側に反射するミラーとを備えたものであることを特徴とするものである。

ここで、反射ミラーは、光変調部から射出される参照光に対し光路長の変更を生じることなく周波数変調のみ生じるように揺動するものであって、参照光の波長をλ_０、コリメータレンズと反射ミラーとの距離をｌ_ｆ、回折格子素子の格子ピッチをｐ、反射ミラーが揺動するときの中心とコリメータレンズの光軸とのずれ量をｘとしたときに、ｘ＝ｌ_ｆλ_０／ｐとなるように反射ミラーを揺動させるものであることが好ましい。

なお、反射ミラーは等速で揺動するものであることが好ましい。このとき、画像取得手段が、干渉光検出手段において検出された干渉光のうち、反射ミラーの揺動速度で決まる干渉光の周波数の信号のみを通過させる帯域通過フィルタを有するものであってもよい。

また、共焦点光学系はその構成を問わず、たとえば光分割手段から測定対象まで測定光を導波する光ファイバの光射出部分と、光ファイバの光射出部分から射出された測定光を測定対象に対し集光する集光レンズとを備えたものであってもよい。

本発明の共焦点顕微鏡装置によれば、光変調部が、光分割手段により分割された参照光をスペクトル毎に分光する回折格子素子と、回折格子素子により分光された参照光を平行光にするコリメータレンズと、コリメータレンズを透過した参照光を再び該コリメータレンズ側に反射し回折格子素子に入射させる、コリメータレンズの光軸からずれた位置を中心に揺動する反射ミラーと、反射ミラーから回折格子素子に入射され該回折格子素子において分光された参照光を再び回折格子素子側に反射するミラーとを備えたことにより、参照光の光路長を変化させることなく周波数変調のみを高速に行うことが可能となるため、断層画像の取得の高速化を図ることができる。

なお、反射ミラーが、参照光の波長をλ_０、コリメータレンズと反射ミラーとの距離をｌ_ｆ、回折格子素子の格子ピッチをｐ、反射ミラーが揺動するときの中心とコリメータレンズの光軸とのずれ量をｘとしたときに、ｘ＝ｌ_ｆλ_０／ｐとなるように揺動するものであれば、光変調部から射出される参照光に対し光路長の変更を生じることなく周波数変調のみを高速に行うことができるため、断層画像の取得の高速化を図ることができる。

また、反射ミラーが等速で揺動するものであり、画像取得手段が、干渉光検出手段において検出された干渉光のうち、反射ミラーの揺動速度で決まる干渉光の周波数の信号のみを通過させる帯域通過フィルタを有するものであれば、測定したい部位からの干渉光のみを確実に検出することができるようになるため、従来の共焦点顕微鏡装置で得られる画像よりもノイズが少ないＳ／Ｎの良い画像を得ることができる。

以下、図面を参照して本発明の共焦点顕微鏡装置の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明の共焦点顕微鏡装置の好ましい実施の形態を示す構成図である。共焦点顕微鏡装置１は、ＯＣＴ(Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ)技術を用いた共焦点顕微鏡装置であって、光を射出する光源ユニット２と、光源ユニット２から射出される光Ｌを測定光Ｌ１と参照光Ｌ２とに分割する光分割手段３と、光分割手段３により分割された参照光Ｌ２に対し周波数変調を行う光変調部２０と、光分割手段３により分割された測定光Ｌ１を測定対象Ｓに対し集光するとともに、測定対象Ｓにおいて反射した反射光Ｌ３を集光する共焦点光学系１０と、光変調部２０により周波数変調された参照光Ｌ２と共焦点光学系１０により集光された反射光Ｌ３とを合波する合波手段４と、合波手段４により合波された参照光Ｌ２と反射光Ｌ３とが干渉したときの干渉光Ｌ４を検出する干渉光検出手段６と、干渉光検出手段６により検出された干渉光から測定対象Ｓの所定の深さの画像を取得する画像取得手段８と有している。

ここで、光源ユニット２は、たとえばＳＬＤ（Super Luminescent Diode）等の広帯域なスペクトルを有する低コヒーレンス光を射出するものであって、射出された光は光ファイバＦＢ１に入射されるようになっている。光分割手段３はたとえば光ファイバカプラからなっており、光ファイバＦＢ１を介して伝搬された光Ｌを測定光Ｌ１と参照光Ｌ２とに分割する機能を有する。ここで、測定光Ｌ１は光ファイバＦＢ３側に射出され、参照光Ｌ２は光ファイバＦＢ２側に射出される。なお、この光ファイバは測定対象Ｓからの反射光Ｌ３と参照光Ｌ２とを合波する合波手段４としても機能する。

光ファイバＦＢ３を導波した測定光Ｌ１は共焦点光学系１０を介して測定対象Ｓに照射される。共焦点光学系１０は光分割手段３により分割された測定光Ｌ１を測定対象Ｓに対し集光するとともに、測定対象Ｓにおいて反射した反射光を集光するものであって、光ファイババンドル部１１と、光ファイババンドル部１１のコア１１Ｃ（図２参照）から射出された測定光Ｌ１を測定対象Ｓに対し集光する集光レンズ１３とを有している。

ここで、図２は光ファイババンドル部１１の一例を示す模式図である。光ファイババンドル部１１は、マルチコアの光ファイバであって、クラッド１１Ｇ内に複数のコア１１Ｃが収容された構造を有している。光ファイバＦＢ３と光ファイババンドル部１１との間にはコア選択手段１２が接続されており、コア選択手段１２は、光ファイバＦＢ３内を導波した測定光Ｌ１をいずれのコア１１Ｃに導波させるか選択する機能を有している。特にコア選択手段１２は、矢印Ｘ方向（主走査方向）に向かってコアの選択の走査を、矢印Ｙ方向（副走査方向）に向かって繰り返すようになっている。このように、矢印ＸＹ方向にコア１１Ｃの選択を行うことにより、測定対象Ｓの所定の深さ位置ｚにおけるＸＹ平面の反射光Ｌ３を得ることができる。

図１の集光レンズ１３は、各コア１１Ｃから射出される測定光Ｌ１を測定対象Ｓに集光するものであるとともに、測定対象Ｓからの反射光Ｌ３を各コア１１Ｃに集光するようになっている。ここで、各コア１１Ｃには測定対象Ｓ側の焦点位置から反射した反射光Ｌ３のみ入射され、焦点位置以外からの反射光Ｌ３は入射されない。よって、測定対象Ｓ内における集光レンズ１３の焦点位置が形成される深さ位置からの反射光Ｌ３のみが各コア１１Ｃに入射されることになる。

合波手段４は、光分割手段３としても機能するビームスプリッタからなり、光変調部２０により周波数変調された参照光Ｌ２と測定対象Ｓからの反射光Ｌ３とを合波し干渉光検出手段６側に射出するようになっている。

干渉光検出手段６は、合波手段４により合波された反射光Ｌ３と参照光Ｌ２との干渉光Ｌ４を検出するものであって、画像取得手段８は、干渉光検出手段６により検出された干渉光Ｌ４の周波数および光強度に基づいて、測定対象Ｓの断層画像を取得するようになっている。

次に、図３は光変調部２０の一例を示す模式図であり、図１と図３を参照して光変調部２０について説明する。光変調部２０は、いわゆる「ＲＳＯＤ：Ｒａｐｉｄ Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｄｅｌａｙ ｌｉｎｅ」と呼ばれている光変調部であって、このＲＳＯＤの詳細な原理については、「Andrew M.Rollins,Manish D.Kulkarni,Siavash Yazdanfar,Rujchai Ung-arunyawee and Joseph A.Izatt,”IN vivo video rate optical coherence tomography”Opt.Express 6,219-229(1998)（以下、「ＲＳＯＤ文献」という）」および特表２００１−１２７６５９号公報に記載されている。光変調部２０は、参照光に対し光路長の変更を行わず周波数変調のみを行うものであってＲＳＯＤからなっている。具体的には、光変調部２０は、参照光Ｌ２をスペクトル毎に分散する回折格子素子２２と、回折格子素子２２により分散された参照光Ｌ２を平行光にするコリメータレンズ２３と、コリメータレンズ２３により平行光にされた参照光Ｌ２を再びコリメータレンズ２３側に反射する反射ミラー２４と、反射ミラー２４から回折格子素子２２に入射され回折格子素子２２において分光された参照光Ｌ２を再び回折格子素子２２側に反射するミラー２５とを備えている。

回折格子素子２２は、光ファイバＦＢ２からコリメータレンズ２１を介して一定の角度で入射された参照光Ｌ２を各スペクトル毎に分光し、コリメータレンズ２３側に射出する。コリメータレンズ２３はたとえばフーリエ変換レンズからなっており、回折格子素子２２により分光された参照光Ｌ２を平行光にする機能を有している。

反射ミラー２４は、コリメータレンズ２３の焦点距離ｌ_ｆだけ離れた位置に配置されている。反射ミラー２４はコリメータレンズ２３の光軸ＬＬから外れた位置を中心として矢印σ方向に高速に揺動し、参照光Ｌ２にドップラーシフトによる周波数変調を生じさせる機能を有する。そして、周波数シフトされた参照光Ｌ２が光ファイバＦＢ４を介して光変調部２０に再び入射されることになる。

つまり、参照光Ｌ２は回折格子素子２２、コリメータレンズ２３、反射ミラー２４の順に進み、再び反射ミラー２４、コリメータレンズ２３、回折格子素子２２を経てミラー２５に到達する。さらに、参照光Ｌ２はミラー２５において反射し、回折格子素子２２、コリメータレンズ２３、反射ミラー２４の順に進み、再び反射ミラー２４、コリメータレンズ２３、回折格子素子２２を経て光ファイバＦＢ２に入射される。

次に、図１から図３を参照して共焦点顕微鏡装置１の動作例について説明する。まず、光源ユニット２から広帯域な低コヒーレンス光Ｌが射出されたとき、低コヒーレンス光Ｌは光分割手段３により測定光Ｌ１と参照光Ｌ２とに分割される。参照光Ｌ２は光変調部２０により周波数シフトが施される。一方、測定光Ｌ１はプローブ２０により体腔内に導波され測定対象Ｓに照射される。そして、測定対象Ｓからの反射光Ｌ３と参照光Ｌ２とが合波され、反射光Ｌ３と参照光Ｌ２との干渉光Ｌ４がビート信号として干渉光検出手段６により検出される。この検出された干渉光Ｌ４に基づいて所定の深さの画像（断層画像）が画像取得手段８により取得される。

ここで、反射ミラー２４は参照光Ｌ２に光遅延（光路長変化）が生じないように駆動するようになっている。具体的には、反射ミラー２４は、参照光の中心波長をλ_０、コリメータレンズ２３と反射ミラー２４との距離をｌ_ｆ、回折格子素子の格子ピッチをｐのとき、コリメータレンズ２３の光軸ＬＬから揺動中心までのずれ量ｘ＝ｌ_ｆλ_０／ｐとなるように反射ミラー２４を揺動させるようになっている。

つまり、光変調部２０において反射ミラー２４を揺動させることにより、参照光Ｌ２に生じる光遅延量Δｌｇは、
Δｌｇ＝４σｘ−４σｌ_ｆλ_０／ｐ ・・・（１）
で表すことができる。なおσは反射ミラー２４の傾き量である。よって、光遅延量Δｌｇ＝０になるためには式（１）より、光軸ＬＬからのずれ量ｘ＝ｌ_ｆλ_０／ｐとなる位置で反射ミラー２４を揺動させればよい。

このように、光変調部２０に周波数変調のみを行い光路長変更を行わないＲＳＯＤを用いることにより、周波数シフトを高速に行うことができ断層画像の取得を高速に行うことができる。すなわち、従来のＯＣＴ計測を用いた共焦点顕微鏡装置の場合、参照光Ｌ２に周波数シフトを施すために参照ミラーを移動させたとき、同時に光路長も変化してしまう。このため、参照ミラーによる光路長の変化にあわせて集光レンズ１３の焦点位置の調整を行わなければならず、断層画像の取得に時間が掛かってしまう。一方、図２の光変調部２０においては、参照光Ｌ２の光路長変化を生じさせることなく周波数変調だけを行うことができるため、参照光Ｌ２の光路長変化に合わせた集光レンズ１３の焦点位置の調整が不要であり、高速に断層画像の取得を行うことができる。

さらに、反射ミラー２４を揺動させることにより周波数シフトさせたときの中心周波数ｆ_０および周波数シフト幅Δｆは、
ｆ₀＝４ｘ／λ_０・δσ（ｔ）／δｔ ・・・（２）
Δｆ＝２Δλ／λ_０ ²（２ｘ−２ｌ_fλ_０／ｐ）・δσ（ｔ）／δｔ・・・（３）
で表すことができる。

ここで、反射ミラー２４を等速度ω（＝δσ（ｔ）／δｔ）で揺動させたとき、式（２）により中心周波数ｆ_０＝４ｘω／λ_０となる。さらに、式（３）にずれ量ｘ＝ｌ_ｆλ_０／ｐを代入するとΔｆ＝０となる。つまり、反射ミラー２４がずれ量ｘ＝ｌ_ｆλ_０／ｐとなる位置を中心に等速で揺動することにより、周波数ｆ_ｍ＝４ｘω／λ_０＝４ωｌ_ｆ／ｐの一定の周波数からなる参照光Ｌ２が出力されることになる。

したがって、測定光Ｌ１の周波数ｆと参照光Ｌ２の周波数ｆ_ｍとの差周波数は不変となり、干渉光検出手段６はこの差周波数のビート信号を取得すればよい。このため、図１に示すように、画像取得手段８が、干渉光検出手段６において検出された干渉光Ｌ４のうち、反射ミラー２４の揺動速度で決まる干渉光Ｌ４の周波数の信号のみを通過させる帯域通過フィルタ（ＢＰＦ）７を有するようにした場合、差周波数以外の周波数からなる信号を除去することができ、従来の共焦点顕微鏡装置で得られる画像よりもＳ／Ｎ比の良い画像を得ることができる。なお、帯域通過フィルタ（ＢＰＦ）７のバンド幅を理論的に０にすることができ、実現できる最も帯域の小さいバンド幅のものを用いることができる。

具体的には、上述した帯域通過フィルタ７を用いた場合にはノイズが除去され、図４の実線で示すように干渉光Ｌ４のピークは鋭い状態で検出され、鮮鋭な断層画像を得ることができる。一方、従来の共焦点顕微装置を用いた場合、図５の実線で示すようにピークが繋がった包絡線状のものが干渉光Ｌ４として検出され画質が劣化してしまう。つまり、参照光Ｌ２と反射光Ｌ３との差周波数を一定にし、帯域通過フィルタ７を限りなく０に近いバンド幅にすることにより、Ｓ／Ｎ比の良い画像を得ることができる。

なお、光変調部２０とコア選択手段１２とは同期制御手段により制御されており、図６（Ａ）のような反射ミラー２４の動作と、図６（Ｂ）のようなコア選択手段１２のコア１１Ｃの選択とが同期してガルバノ走査するようになっている。つまり、反射ミラー２４を傾ける動作をしているとき、コア選択手段１２は矢印Ｘ方向に対しコア１１Ｃの選択を走査するようになっている。これにより、矢印Ｘ方向に対しコア１１Ｃの選択を走査している最中に反射ミラー２４がδ＝０°に戻る動作を行うことによる画質の劣化を防止することができる。

上記実施の形態によれば、光変調部２０が、光分割手段３により分割された参照光Ｌ２をスペクトル毎に分光する回折格子素子２２と、回折格子素子２２により分光された参照光Ｌ２を平行光にするコリメータレンズ２３と、コリメータレンズ２３を透過した参照光Ｌ２を再びコリメータレンズ側に反射させる反射ミラー２４とを備えたことにより、参照光Ｌ２の光路長を変化させることなく周波数変調を高速に行うことができるため、断層画像の取得の高速化を図ることができる。

なお、反射ミラー２４が、参照光の波長をλ_０、フーリエ変換レンズと反射ミラーとの距離をｌ_ｆ、回折格子素子の格子ピッチをｐ、反射ミラーが揺動するときの中心とフーリエ変換レンズの光軸とのずれ量をｘとしたときに、ｘ＝ｌ_ｆλ_０／ｐとなるように反射ミラーを揺動するものであれば、光変調部２０から射出される参照光Ｌ２に対し光路長の変更を生じることなく周波数変調を生させるようにすることができるため、断層画像の取得の高速化を図ることができる。

また、反射ミラー２４が等速で揺動するものであり、画像取得手段が、干渉光検出手段６において検出された干渉光のうち、反射ミラーの揺動速度で決まる干渉光の周波数の信号のみを通過させる帯域通過フィルタを有するものであれば、測定したい部位から反射した反射光に基づく干渉光のみを確実に検出することができるようになるため、従来の共焦点顕微鏡装置で得られる画像よりもノイズが少ないＳ／Ｎの良い画像を得ることができる。

本発明の実施の形態は、上記実施の形態に限定されない。たとえば、図１における共焦点顕微鏡装置１において、光Ｌ、測定光Ｌ１、参照光Ｌ２、反射光Ｌ３、干渉光Ｌ４は光ファイバ中を伝搬させる場合について例示しているが、それぞれ大気中もしくは真空中を伝搬するようにしてもよい。

本発明の共焦点顕微鏡装置の好ましい実施の形態を示す模式図 図１の共焦点顕微鏡装置における光ファイバの一例を示す模式図 図１の共焦点顕微鏡装置における光変調部の一例を示す模式図 図１の共焦点顕微鏡装置により得られる干渉光の波形を示す図 従来の共焦点顕微鏡装置により得られる干渉光の波形を示す図 図１の共焦点顕微鏡装置においてコアの選択と反射ミラーの走査が同期する様子を示すグラフ図

符号の説明

１ 共焦点顕微鏡装置
２ 光源ユニット
３ 光分割手段
４ 合波手段
６ 干渉光検出手段
７ 帯域通過フィルタ
８ 画像取得手段
１０ 共焦点光学系
１１Ｇ クラッド
２０ 光変調部
２１ コリメータレンズ
２２ 回折格子素子
２３ コリメータレンズ
２４ 反射ミラー
２５ ミラー
ｆ_ｍ 周波数
Ｌ 光
Ｌ１ 測定光
Ｌ２ 参照光
Ｌ３ 反射光
Ｌ４ 干渉光
ＬＬ 光軸
Ｓ 測定対象

Claims (3)

1. 測定対象の所定の深さの画像を取得する共焦点顕微鏡装置において、
   光を射出する光源ユニットと、
   該光源ユニットから射出される光を測定光と参照光とに分割する光分割手段と、
   前記光分割手段により分割された前記測定光と前記参照光との間に周波数の差を与える光変調部と、
   前記光分割手段により分割された前記測定光を前記測定対象に集光するとともに、前記測定光を前記測定対象に集光したときの該測定対象からの反射光を集光する共焦点光学系と、
   前記共焦点光学系により集光された前記反射光と前記参照光とを合波する合波手段と、
   該合波手段により合波された前記反射光と前記参照光とが干渉したときの干渉光を検出する干渉光検出手段と、
   該干渉光検出手段により検出された前記干渉光から前記測定対象の所定の深さの画像を取得する画像取得手段と
   を有するものであり、
   前記光変調部が、
   前記光分割手段により分割された前記参照光を分光する回折格子素子と、
   該回折格子素子により分光された前記参照光を平行光にするコリメータレンズと、
   該コリメータレンズを透過した前記参照光を再び該コリメータレンズ側に反射し前記回折格子素子に入射させる、前記コリメータレンズの光軸からずれた位置を中心に揺動する反射ミラーと、
   該反射ミラーから前記回折格子素子に入射され該回折格子素子において分光された前記参照光を再び前記回折格子素子側に反射するミラーと
   を備えたものであることを特徴とする共焦点顕微鏡装置。
2. 前記反射ミラーが、前記参照光の波長をλ_０、前記コリメータレンズと前記反射ミラーとの距離をｌ_ｆ、前記回折格子素子の格子ピッチをｐ、前記コリメータレンズの光軸と前記反射ミラーが揺動するときの中心とのずれ量をｘとしたときに、ｘ＝ｌ_ｆλ_０／ｐとなる位置を中心に揺動するものであることを特徴とする請求項１記載の共焦点顕微鏡装置。
3. 前記反射ミラーが等速で揺動させるものであり、前記画像取得手段が、前記干渉光検出手段において検出された前記干渉光のうち、前記反射ミラーの揺動速度で決まる前記干渉光の周波数の信号のみを通過させる帯域通過フィルタを有するものであることを特徴とする請求項２記載の共焦点顕微鏡装置。

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