JP2007081373A - 液浸リソグラフィ方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液浸リソグラフィシステムは、前面部を有する結像レンズ130と、結像レンズの前面部の下方に配置される基板ステージ160と、前面部と基板ステージ160の基板110との間にある空間を少なくとも部分的に充填する第1の流体を保持する液浸流体保持構造140とを含む。液浸流体保持構造140は、第1の入口又は第2の入口のうちの少なくとも一つをさらに含む。第1の入口は、結像レンズの近くに配置されて真空ポンプシステムに接続され、第1の入口は空間へ第1の流体を供給する。第2の入口は、結像レンズの近くに配置され、基板に第2の流体を供給する。
【選択図】図3
Description
図1は、本発明の実施形態による液浸リソグラフィ方法を基板110に行う液浸リソグラフィ装置100を示す模式図である。基板110は、元素半導体、化合物半導体、合金半導体又はそれら材料の組み合わせを有する半導体ウェーハである。半導体ウェーハは、ポリシリコン、金属及び/又は誘電体など、少なくとも一つの材料層がパターニングされる。基板110は、その上に形成されるパターニング層120をさらに含む。パターニング層は、パターンを形成する露光工程を行うフォトレジスト(レジスト)層でもよい。
110 基板
120 パターニング層
130 レンズシステム
140 液浸流体保持モジュール
141 入口
142 開口
143 開口
144 開口
145 開口
146 開口
150 液浸流体
160 基板ステージ
200 脱気システム
210a タンク
210b タンク
210c タンク
220a フローコントローラ
220b フローコントローラ
220c フローコントローラ
220d フローコントローラ
230a 真空ポンプ
230b 真空ポンプ
230c 真空ポンプ
Claims (18)
- 結像レンズ、基板ステージ及び液浸流体保持構造を備える液浸リソグラフィシステムであって、
前記結像レンズは前面部を有し、
前記基板ステージは、前記結像レンズの前記前面部の下方に配置され、
前記液浸流体保持構造は、第1の入口及び第2の入口のうちの少なくとも一つを含み、前記前面部と前記基板ステージ上にある基板との間の空間を少なくとも部分的に充填する第1の流体を保持し、
前記第1の入口は、前記結像レンズ近くに配置され、真空ポンプシステムに接続され、前記前面部と前記基板との間に第1の流体を供給し、
前記第2の入口は、前記結像レンズ近くに配置され、前記基板上に第2の流体を供給することを特徴とする液浸リソグラフィシステム。 - 前記第2の流体は、空気、窒素、酸素、脱イオン水、アルコール及び界面活性剤からなる群から選ばれる一種以上を含むことを特徴とする請求項1に記載の液浸リソグラフィシステム。
- 前記液浸流体保持構造は、前記結像レンズの周囲に配置されることを特徴とする請求項1に記載の液浸リソグラフィシステム。
- 前記真空ポンプシステムは、前記第1の流体に対して脱気を行い、前記第1の流体を脱気した後に、前記第1の入口により前記第1の流体を前記空間へ送ることを特徴とする請求項1に記載の液浸リソグラフィシステム。
- 結像レンズ、基板ステージ、液浸流体保持モジュール及び流体入口システムを備える液浸リソグラフィ装置であって、
前記結像レンズは前面部を有し、
前記基板ステージは、前記結像レンズの前記前面部の下方に配置され、
前記液浸流体保持モジュールは、前記結像レンズ近くに配置され、前記前面部と前記基板ステージ上にある基板との間の空間を少なくとも部分的に充填する前記流体を保持し、
前記流体入口システムは、前記流体の脱気を行ってから前記空間へ送ることを特徴とする液浸リソグラフィ装置。 - 前記流体入口システムは、前記流体に対して脱気を行う少なくとも一つのポンプを備えることを特徴とする請求項5に記載の液浸リソグラフィ装置。
- 前記流体入口システムは、それぞれ前記流体を前記空間へ送る少なくとも二つの入口を備えることを特徴とする請求項5に記載の液浸リソグラフィ装置。
- 基板上にレジスト層を形成する工程と、
前記レジスト層上に第1の流体層を形成する工程と、
結像レンズと前記レジスト層との間の空間内に第2の流体を充填する工程と、
前記結像レンズに照射し、前記レジスト層上にリソグラフィ露光を行う工程と、
を含むことを特徴とする液浸フォトリソグラフィ方法。 - 前記第1の流体層は、脱イオン水、界面活性剤、酸性溶液、塩基性溶液、溶剤、ポリマー及びイソプロピルアルコールからなる群から選ばれる一種以上を含むことを特徴とする請求項8に記載の液浸フォトリソグラフィ方法。
- 前記第2の流体は脱イオン水を含むことを特徴とする請求項8に記載の液浸フォトリソグラフィ方法。
- 前記第2の流体は脱気された脱イオン水を含むことを特徴とする請求項8に記載の液浸フォトリソグラフィ方法。
- 前記レジスト層上に前記第1の流体層が形成された後に、前記第2の流体は前記レジスト層に対して100度よりも小さい接触角を有することを特徴とする請求項8に記載の液浸フォトリソグラフィ方法。
- 液浸フォトリソグラフィ方法であって、
基板上にレジスト層を形成する工程と、
予備処理を行い、前記液浸フォトリソグラフィ方法に関連する欠陥を減らす工程と、
前記予備処理を行った後に、結像レンズと前記基板ステージ上にある前記基板上の前記レジスト層との間の空間に第1の流体を充填する工程と、
前記結像レンズに照射し、前記レジスト層上にリソグラフィ露光を行う工程と、
を含むことを特徴とする液浸フォトリソグラフィ方法。 - 前記予備処理は、
前記第1の流体に対して脱気を行う工程と、
前記レジスト層上に第2の流体層を形成する工程と、
放射源により前記レジスト層の一部を露光し、脱イオン水により前記レジスト層をリンスする工程と、
界面活性剤、酸性溶液、塩基性溶液、溶剤及び脱イオン水からなる群から選ばれる一種以上によりレジスト層をリンスする工程とを含むことを特徴とする請求項13に記載の液浸フォトリソグラフィ方法。 - 前記第1の流体は脱イオン水を含むことを特徴とする請求項14に記載の液浸フォトリソグラフィ方法。
- 前記第2の流体層は、脱イオン水、界面活性剤、ポリマー及びイソプロピルアルコールからなる群から選ばれる一種以上を含むことを特徴とする請求項14に記載の液浸フォトリソグラフィ方法。
- 前記予備処理を行った後に、前記レジスト層は前記第1の流体に対して100度よりも小さい接触角を有することを特徴とする請求項14に記載の液浸フォトリソグラフィ方法。
- 基板上にレジスト層を形成する工程と、
脱イオン水に対して脱気を行い、結像レンズと前記結像レンズの下方にある前記基板上の前記レジスト層との間の空間に前記脱気された脱イオン水を充填する工程と、
前記結像レンズに照射し、前記レジスト層上にリソグラフィ露光を行う工程と、
を含むことを特徴とする液浸フォトリソグラフィ方法。
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