JP2007072168A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 制御対象を仮想軸である基準軸に対して傾けるように支持する支持機構と、前記制御対象を、前記基準軸と直交する第１の軸を中心として揺動させ且つ基準軸と第１の軸の双方に直交する第２の軸を中心として揺動させる磁気駆動機構とを備えている２軸型アクチュエータにおいて、
   前記磁気駆動機構には、磁性材料で形成された第１のヨークと、磁石、および磁性材料で形成された第２のヨークが、前記基準軸の軸方向に向けて重ねられて設けられており、
   前記第２のヨークには、互いに直交する方向で且つ前記基準軸と交叉する方向に延びる腕部が設けられ、それぞれの腕部が前記第１のヨークと対向しており、前記腕部と前記第１のヨークとの対向部内にコイルが設けられていることを特徴とする２軸型アクチュエータ。
2. 前記腕部は、その基部よりもその先部が、前記第１のヨークに接近する形状であり、前記腕部の前記先部と前記第１のヨークとの間に、前記コイルが配置されている請求項１記載の２軸型アクチュエータ。
3. 前記第２のヨークには、互いに直交する方向に延び且つ前記基準軸の軸芯と交叉する方向に延びる４つの腕部が設けられており、４つの腕部のそれぞれに対向する４つのコイルは、その巻き中心が、前記基準軸の軸芯と直交する向きに配置されている請求項１または２記載の２軸型アクチュエータ。
4. 空洞の中心部とこの中心部から延びる複数の連通部が形成された非磁性材料製のボビンが設けられており、前記第２のヨークが前記中心部に配置され、前記腕部が前記連通部に挿入されて、前記連通部の回りに前記コイルが巻かれている請求項１ないし３のいずれかに記載の２軸型アクチュエータ。
5. 制御対象を仮想軸である基準軸に対して傾けるように支持する支持機構と、前記制御対象を、前記基準軸と直交する第１の軸を中心として揺動させ且つ基準軸と第１の軸の双方に直交する第２の軸を中心として揺動させる磁気駆動機構とを備えている２軸型アクチュエータにおいて、
   前記磁気駆動機構には、磁性材料で形成された第１のヨークと、磁石、および磁性材料で形成された第２のヨークが、前記基準軸の軸方向に向けて重ねられて設けられており、
   前記第２のヨークには、前記基準軸の中心から互いに直交する方向に離れた位置で前記基準軸と平行に延びる腕部が設けられ、それぞれの腕部が前記第１のヨークと対向しており、前記腕部と前記第１のヨークとの対向部内にコイルが設けられていることを特徴とする２軸型アクチュエータ。
6. 前記第２のヨークには、前記基準軸の軸芯と平行に延びる４つの腕部が設けられており、４つの腕部のそれぞれに対向する４つのコイルは、巻き中心が、前記基準軸の軸芯と平行に配置されている請求項５記載の２軸型アクチュエータ。
7. 前記第１のヨークと前記第２のヨークとが、磁性材料の金属板から切断し折り曲げた板金加工により形成されている請求項１ないし５のいずれかに記載の２軸型アクチュエータ。
8. 前記第１のヨークと前記磁石および前記第２のヨークが可動側に設けられ、前記コイルが前記支持機構を支持する固定側に設けられている請求項１ないし７のいずれかに記載の２軸型アクチュエータ。
9. 前記コイルが可動側に設けられ、前記第１のヨークと前記磁石および前記第２のヨークが固定側に設けられている請求項１ないし７のいずれかに記載の２軸型アクチュエータ。