JP2007066973A - Common mode choke coil - Google Patents

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Japanese (ja)
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Kosuke Haruyama
耕佑 晴山
Yoshiki Hamada
芳樹 濱田
Naoto Yokoyama
直人 横山
Katsuyuki Kayahara
勝之 萱原
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Taiyo Yuden Co Ltd
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Taiyo Yuden Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small and low profile common mode choke coil. <P>SOLUTION: The common mode choke coil 1 comprises a laminate 10 in which a pair of spiral coils are buried while being arranged oppositely, and terminal electrodes 21-24 formed on the upper surface or the lower surface of the laminate 10. The laminate 10 is formed by laminating a first insulator layer 30 in which the pair of spiral coils 61 and 62 are buried, a pair of film-like magnetic body layers 41 and 42 formed by a non-sintering deposition method on the upper and lower surface of the first insulator layer 30, and a pair of second insulator layers 51 and 52 formed on the film-like magnetic body layers 41 and 42. Extraction electrodes 71-74 in which the terminal electrodes 21-24 are formed partially are buried in the second insulator layer 51 and connected with the coils 61 and 62 through via holes 81-84 penetrating the film-like magnetic body layer 41. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、高速差動伝送などの用途においてコモンモードノイズの除去などを目的として用いられるコモンモードチョークコイルに関し、特に非巻線型のコモンモードチョークコイルに関する。   The present invention relates to a common mode choke coil used for the purpose of removing common mode noise in applications such as high-speed differential transmission, and more particularly to a non-winding type common mode choke coil.

コモンモードチョークコイルは巻線型と非巻線型に大別されるが、後者の非巻線型のコイルは小型化・低背化という観点から好ましいものである。従来、非巻線型のコモンモードチョークコイルの基本構造としては特許文献1に記載されたものが知られている。このコモンモードチョークコイルは、フェライトの焼結体等からなる一対の磁性体基板と、この磁性体基板に挟まれた積層体とを備えている。積層体は、絶縁体層とコイル導体層及び引出電極層とを積層したものである。絶縁体層はポリイミド樹脂やエポキシ樹脂等の材料により形成されている。
特開平8−203737号公報
Common mode choke coils are roughly classified into a winding type and a non-winding type, and the latter non-winding type coil is preferable from the viewpoint of miniaturization and low profile. Conventionally, as a basic structure of a non-winding type common mode choke coil, one described in Patent Document 1 is known. The common mode choke coil includes a pair of magnetic substrates made of a ferrite sintered body and the like, and a laminated body sandwiched between the magnetic substrates. The laminate is a laminate of an insulator layer, a coil conductor layer, and an extraction electrode layer. The insulator layer is made of a material such as polyimide resin or epoxy resin.
JP-A-8-203737

この種のコモンモードチョークコイルでは、低背化すなわち部品厚みの薄型化が大きな課題としてある。従来のコモンモードチョークコイルでは磁性体基板として数百μm厚のフェライト板を用いており、このフェライト板の厚みが部品全体の厚みの半分以上を占めている。そこで、低背化の方向性として該磁性体基板の薄型化が検討されるが、機械的強度の問題から100μm以下のフェライト板の製造・実装は困難であった。   In this type of common mode choke coil, a major problem is to reduce the height, that is, to reduce the thickness of the component. In a conventional common mode choke coil, a ferrite plate having a thickness of several hundreds μm is used as a magnetic substrate, and the thickness of the ferrite plate occupies more than half of the thickness of the entire component. Therefore, as a direction for reducing the height, the magnetic substrate is considered to be thin. However, it is difficult to manufacture and mount a ferrite plate having a thickness of 100 μm or less because of mechanical strength.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、小型・低背なコモンモードチョークコイルを提供することにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a common mode choke coil having a small size and a low profile.

上記目的を達成するために、本願では、互いに対向配置された一対の渦巻き状のコイルが埋め込まれた積層体と、該積層体上面又は下面に形成した端子電極とを備えたコモンモードチョークコイルにおいて、前記積層体は、前記一対の渦巻き状コイルが埋め込まれた第1の絶縁体層と、該第1の絶縁体層の上面及び下面に非焼結方式成膜法で形成された一対の膜状磁性体層と、該膜状磁性体層上に形成された一対の第2の絶縁体層とを積層してなり、該第2の絶縁体層には前記端子電極が一部に形成された引出電極が埋設し、該引出電極は前記膜状磁性体層を貫通するビアホールを介して前記コイルに接続していることを特徴とするものを提案する。   In order to achieve the above object, in the present application, in a common mode choke coil including a laminated body in which a pair of spiral coils arranged opposite to each other is embedded, and a terminal electrode formed on the upper surface or the lower surface of the laminated body. The laminate includes a first insulator layer in which the pair of spiral coils are embedded, and a pair of films formed by a non-sintering film formation method on the upper and lower surfaces of the first insulator layer. A layered magnetic layer and a pair of second insulator layers formed on the film-like magnetic layer are laminated, and the terminal electrode is partially formed on the second insulator layer. Further, the present invention proposes a structure in which an extraction electrode is embedded and the extraction electrode is connected to the coil through a via hole penetrating the film-like magnetic layer.

本発明によれば、磁性体が非焼結方式成膜法により形成された極めて薄い膜状磁性体からなるので、フェライト板を用いていた従来のものと比較して大幅な小型・低背化が可能となる。なお、非焼結方式成膜法としては、フェライトメッキ,エアロゾルデポジション法,スパッタ法,レーザー蒸着法、CVDなどがあげられ、この非焼結方式成膜法で形成した膜状磁性体を使ったコモンモードチョークコイルは、フェライト焼結体を使ったそれと比較して同程度かそれ以上の性能が出せることがシミュレーションより確認されている。   According to the present invention, since the magnetic body is made of an extremely thin film-like magnetic body formed by a non-sintered film forming method, it is greatly reduced in size and height compared to the conventional one using a ferrite plate. Is possible. Non-sintered film formation methods include ferrite plating, aerosol deposition method, sputtering method, laser vapor deposition method, CVD, etc. Using a film-like magnetic material formed by this non-sintered film formation method It has been confirmed by simulation that the common mode choke coil can produce the same or better performance than that using the sintered ferrite body.

また、この種の電子部品では基板実装時の信頼性も重要な課題となる。具体的には実装時の衝撃耐性が課題となる。本願発明では、比較的衝撃に弱い非焼結膜状磁性体上を第2の絶縁体層で被覆しているので、容易に信頼性を向上させることができる。なお、この第2の絶縁体層として絶縁性樹脂層を用いると、衝撃吸収率に優れ、また線膨張係数の調整を容易に行うことができるので、実装時の信頼性向上という観点から更に好適である。   In addition, in this type of electronic component, reliability at the time of board mounting is also an important issue. Specifically, the impact resistance at the time of mounting becomes a problem. In the present invention, since the non-sintered film-like magnetic body that is relatively weak against impact is covered with the second insulator layer, the reliability can be easily improved. If an insulating resin layer is used as the second insulator layer, the shock absorption rate is excellent and the linear expansion coefficient can be easily adjusted, which is further preferable from the viewpoint of improving the reliability during mounting. It is.

以上説明したように本発明に係るコモンモードチョークコイルによれば、コモンモードインピーダンスなどの性能を維持しつつ、従来品と比較して大幅な小型・低背化を実現できる。   As described above, according to the common mode choke coil of the present invention, it is possible to realize a significant reduction in size and height as compared with the conventional product while maintaining the performance such as the common mode impedance.

(第1の実施の形態)
本発明の第1の実施の形態に係るコモンモードチョークコイルについて図面を参照して説明する。図1はコモンモードチョークコイルの外観斜視図、図2は積層体の分解斜視図、図3は積層体の断面図である。
(First embodiment)
A common mode choke coil according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is an external perspective view of a common mode choke coil, FIG. 2 is an exploded perspective view of the laminate, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the laminate.

このコモンモードチョークコイル1は、図1に示すように、一対のコイルが埋設されされた積層体10と、該積層体10の上面又は下面の何れか一方に形成され、それぞれ各コイル端に接続した端子電極21,22,23,24とを備えている。端子電極21,22,23,24は、格子状に等間隔で配置されており、各端子電極21,22,23,24のピッチ間隔は集積回路等で広く用いられているものと共通である。積層体10は、各コイルが埋設された第1の絶縁体層30と、第1の絶縁体層30の両面に形成された膜状の磁性体層41,42と、磁性体層41,42の外側に形成された第2の絶縁体層51,52とを積層した構造となっている。第2の絶縁体層51,52は、それぞれ磁性体層41,42の外側に形成された絶縁性樹脂層53,54と、該絶縁性樹脂層53,54を被覆するように形成された被覆層55,56を積層した構造となっている。   As shown in FIG. 1, the common mode choke coil 1 is formed on a laminated body 10 in which a pair of coils are embedded, and either the upper surface or the lower surface of the laminated body 10, and is connected to each coil end. Terminal electrodes 21, 22, 23, and 24 are provided. The terminal electrodes 21, 22, 23, 24 are arranged at regular intervals in a lattice shape, and the pitch interval between the terminal electrodes 21, 22, 23, 24 is the same as that widely used in integrated circuits and the like. . The laminate 10 includes a first insulator layer 30 in which each coil is embedded, film-like magnetic layers 41 and 42 formed on both surfaces of the first insulator layer 30, and magnetic layers 41 and 42. The second insulator layers 51 and 52 formed outside are laminated. The second insulating layers 51 and 52 are respectively formed of insulating resin layers 53 and 54 formed on the outer sides of the magnetic layers 41 and 42 and coatings formed so as to cover the insulating resin layers 53 and 54. The layers 55 and 56 are stacked.

積層体10の内部構造について図2の分解斜視図及び図3の断面図を参照して説明する。なお、図2はコイル及び端子電極の構造を説明するため積層体10の層構造については図示を省略した。また、図3は端子電極21,23を通る線で切断した断面図である。   The internal structure of the laminate 10 will be described with reference to an exploded perspective view of FIG. 2 and a cross-sectional view of FIG. Note that FIG. 2 omits illustration of the layer structure of the laminate 10 in order to explain the structure of the coil and the terminal electrode. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along a line passing through the terminal electrodes 21 and 23.

図2及び図3に示すように、積層体10内には、互いに対向配置された一対の渦巻き状のコイル導体61,62と、コイル導体61,62の外周側端部又は内周側端部に接続する引出電極71,72,73,74とが埋設されている。コイル導体61,62は第1の絶縁体層30に埋設されている。引出電極71,72,73,74は第2の絶縁体層51に埋設されている。より具体的には、引出電極71,72,73,74は、絶縁性樹脂層53と被覆層55の境界に形成されている。各引出電極71,72,73,74の一方の端部には、前記端子電極21,22,23,24が形成されている。この端子電極21,22,23,24は、前記被覆層55を貫通して形成されている。引出電極71,72の他方の端部は、コイル導体61,62の外周側端部と厚み方向に重なる位置まで延びており、絶縁性樹脂層53,磁性体層41,第1の絶縁体層30を貫通するビア81,82によりコイル導体61,62の外周側端部と電気的に接続されている。一方、引出電極73,74の他方の端部は、コイル導体61,62の内周側端部と厚み方向に重なる位置まで延びており、絶縁性樹脂層53,磁性体層41,第1の絶縁体層30を貫通するビア83,84によりコイル導体61,62の内周側端部と電気的に接続されている。   As shown in FIG. 2 and FIG. 3, in the laminated body 10, a pair of spiral coil conductors 61 and 62 arranged to face each other, and an outer peripheral side end portion or an inner peripheral side end portion of the coil conductors 61 and 62. Lead electrodes 71, 72, 73, 74 connected to are embedded. The coil conductors 61 and 62 are embedded in the first insulator layer 30. The extraction electrodes 71, 72, 73, 74 are embedded in the second insulator layer 51. More specifically, the extraction electrodes 71, 72, 73 and 74 are formed at the boundary between the insulating resin layer 53 and the coating layer 55. The terminal electrodes 21, 22, 23 and 24 are formed at one end of each of the extraction electrodes 71, 72, 73 and 74. The terminal electrodes 21, 22, 23, 24 are formed so as to penetrate the coating layer 55. The other ends of the extraction electrodes 71 and 72 extend to positions where they overlap with the outer peripheral side ends of the coil conductors 61 and 62 in the thickness direction, and the insulating resin layer 53, the magnetic layer 41, and the first insulating layer. The coil conductors 61 and 62 are electrically connected to the outer peripheral end portions of the coil conductors 61 and 62 through vias 81 and 82 penetrating 30. On the other hand, the other ends of the lead electrodes 73 and 74 extend to positions where they overlap with the inner peripheral side ends of the coil conductors 61 and 62 in the thickness direction, and the insulating resin layer 53, the magnetic layer 41, and the first end. The vias 83 and 84 that penetrate the insulator layer 30 are electrically connected to the inner peripheral side ends of the coil conductors 61 and 62.

コイル導体61,62、引出電極71〜74の材料としては、導電性に優れた金属、例えばAg,Pd,Cu,Al或いはこれらの合金などが用いられる。端子電極21〜24の材料としては、半田(ペースト,ボール,鉛フリー半田等)、無電解ニッケル/金メッキなどを用いることができる。   As a material for the coil conductors 61 and 62 and the extraction electrodes 71 to 74, a metal having excellent conductivity, for example, Ag, Pd, Cu, Al, or an alloy thereof is used. As materials for the terminal electrodes 21 to 24, solder (paste, ball, lead-free solder, etc.), electroless nickel / gold plating, or the like can be used.

第1の絶縁体層30及び絶縁性樹脂層53,54としては、プリント配線板や薄膜プロセスの層間絶縁層として用いられる基材と同じものが用いられ、これらで一般的に用いられるベンゾシクロブテン(BCB)ポリイミド,エポキシ,ポリエステルなどの有機樹脂を材料とする。また、第1の絶縁体層30及び絶縁性樹脂層53,54の線膨張係数は、実装先の基板の線膨張係数と近い値が好ましく、具体的には10〜80ppmが好ましい。被膜層55,56としては、具体的には、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂等の有機樹脂、特にソルダーマスク、ソルダーレジスト、カバーレイフィルム等で用いられるエポキシ樹脂、ポリイミド樹脂等が望ましい。   As the first insulator layer 30 and the insulating resin layers 53 and 54, the same base material used as an interlayer insulating layer in a printed wiring board or a thin film process is used, and benzocyclobutene generally used in these. (BCB) An organic resin such as polyimide, epoxy, or polyester is used as a material. Moreover, the linear expansion coefficient of the first insulator layer 30 and the insulating resin layers 53 and 54 is preferably a value close to the linear expansion coefficient of the mounting destination substrate, specifically 10 to 80 ppm. Specifically, the coating layers 55 and 56 are preferably organic resins such as epoxy resins and polyimide resins, particularly epoxy resins and polyimide resins used in solder masks, solder resists, coverlay films and the like.

磁性体層41,42は、透磁率15以上を有する磁性体材料からなり、フェライトメッキ、エアロゾルディポジション法、スパッタ法,レーザー蒸着法、CVDなどの非焼結方式成膜法により形成された強磁性膜である。磁性体層41,42の厚みは、数十μm以下(75μm未満)である。   The magnetic layers 41 and 42 are made of a magnetic material having a permeability of 15 or more, and are formed by a non-sintered film forming method such as ferrite plating, aerosol deposition method, sputtering method, laser vapor deposition method, or CVD. It is a magnetic film. The thickness of the magnetic layers 41 and 42 is several tens of μm or less (less than 75 μm).

本発明の磁性体層の厚さは、75μm未満であることが推奨され、好ましくは10〜75μm未満、より好ましくは20μm〜50μmである。なお、磁性体層が薄すぎると磁気飽和を起こしやすくなり、所望の特性を得られない場合がある。一方、磁性体層が厚すぎると低背化が困難となり、コスト高にもつながるおそれがある。   The thickness of the magnetic layer of the present invention is recommended to be less than 75 μm, preferably less than 10 to 75 μm, more preferably 20 μm to 50 μm. If the magnetic layer is too thin, magnetic saturation is likely to occur, and desired characteristics may not be obtained. On the other hand, if the magnetic layer is too thick, it is difficult to reduce the height, which may lead to high costs.

次に、このコモンモードチョークコイルの製造方法について図4及び図5を参照して説明する。なお、図面に参照されていない番号を引用している箇所については、他の図面の同一の参照符号の部分を示し、その説明は省略する。   Next, a method for manufacturing the common mode choke coil will be described with reference to FIGS. In addition, about the part which quotes the number which is not referred in drawing, the part of the same referential mark of another drawing is shown, The description is abbreviate | omitted.

まず、従来からプリント配線板の製造において採用されているビルドアップ法を用いて第1の絶縁体層30に相当する部分を製造する。具体的には、図4に示すように、第1の絶縁体層30のうちコイル導体61,62の間に介在する部分となる基台101の両面に、メッキ,エッチング,印刷,インクジェット法などによりコイル導体パターン102を形成する(図4(a))。   First, a portion corresponding to the first insulator layer 30 is manufactured by using a build-up method that has been conventionally used in the manufacture of printed wiring boards. Specifically, as shown in FIG. 4, plating, etching, printing, an ink jet method, or the like is provided on both surfaces of the base 101 which is a portion interposed between the coil conductors 61 and 62 in the first insulator layer 30. Thus, the coil conductor pattern 102 is formed (FIG. 4A).

次に、第1の絶縁体層30の他の部分に相当する樹脂層103を基台101の両面に形成する(図4(b))。この樹脂層103は銅張積層板(RCC)やドライフィルム状の絶縁材料の場合には熱真空ラミネートや静水圧プレス法などで成膜し、液状の絶縁材料の場合はスピンコート法で成膜する。特に熱真空ラミネートを用いると膜厚バラツキを抑える点で好適である。樹脂層103の材料としては各種有機樹脂が用いられるが、樹脂としては熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂のどちらであってもよい。   Next, resin layers 103 corresponding to other portions of the first insulator layer 30 are formed on both surfaces of the base 101 (FIG. 4B). The resin layer 103 is formed by a thermal vacuum laminating or isostatic pressing method in the case of a copper clad laminate (RCC) or a dry film insulating material, and is formed by a spin coating method in the case of a liquid insulating material. To do. In particular, the use of a thermal vacuum laminate is preferable in terms of suppressing variations in film thickness. Various organic resins are used as the material of the resin layer 103, and the resin may be either a thermoplastic resin or a thermosetting resin.

熱硬化性樹脂の例としては、ベンゾシクロブテン(BCB)、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビニルエステル樹脂、ポリイミド樹脂(PI)、ポリフェニレンエーテルオキサイド樹脂(PPO)、ビスマレイミドトリアジンシアネートエステル樹脂、フマレート樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリビニルベンジルエーテル樹脂などが挙げられる。また熱可塑性樹脂の例としては、超低密度ポリエチレン樹脂(VLDPE)、低密度ポリエチレン樹脂(LDPE)、線状低密度ポリエチレン樹脂(LLDPE)、中密度ポリエチレン樹脂(MDPE)、高密度ポリエチレン樹脂(HDPE)、ポリプロピレン樹脂(PP)、ポリブテン樹脂、ポリメチルペンテン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、エチレン・ビニルアルコール共重合体、ポリアクリロニトリル、ポリアミド樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、アイソタクチックポリスチレン樹脂、液晶ポリマーなどが挙げられる。特に、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂(PI)、ベンゾシクロブテン(BCB)は、低誘電率で且つ低誘電正接であること、及び、耐薬品性に優れており且つ低吸水率であるため高信頼性を確保することができる点で好ましい。   Examples of thermosetting resins include benzocyclobutene (BCB), epoxy resin, phenol resin, unsaturated polyester resin, vinyl ester resin, polyimide resin (PI), polyphenylene ether oxide resin (PPO), bismaleimide triazine cyanate ester Examples thereof include resins, fumarate resins, polybutadiene resins, and polyvinyl benzyl ether resins. Examples of thermoplastic resins include very low density polyethylene resin (VLDPE), low density polyethylene resin (LDPE), linear low density polyethylene resin (LLDPE), medium density polyethylene resin (MDPE), and high density polyethylene resin (HDPE). ), Polypropylene resin (PP), polybutene resin, polymethylpentene resin, polyvinyl alcohol resin, ethylene / vinyl alcohol copolymer, polyacrylonitrile, polyamide resin, polyacetal resin, polyethylene terephthalate resin, polybutylene terephthalate resin, polyphenylene sulfide resin, Examples include polyetheretherketone resins, isotactic polystyrene resins, liquid crystal polymers, and the like. In particular, epoxy resin, polyimide resin (PI), and benzocyclobutene (BCB) are highly reliable because of their low dielectric constant and low dielectric loss tangent, as well as excellent chemical resistance and low water absorption. Is preferable in that it can be secured.

なお、熱可塑性樹脂を用いる場合、ラミネートによるより内側の絶縁層厚変動を防ぐため基台となる絶縁樹脂層よりもより外側の絶縁樹脂層の可塑温度が低いことが重要である。   When a thermoplastic resin is used, it is important that the plastic temperature of the outer insulating resin layer is lower than that of the insulating resin layer serving as a base in order to prevent fluctuation of the inner insulating layer thickness due to lamination.

次に、樹脂層103の両面に、フェライトメッキ、エアロゾルディポジション法、スパッタ法、レーザー蒸着法、CVDなどの非焼結方式成膜法によってフェライト膜からなる磁性体層104を厚み数十μm以下で形成する(図4(c))。次に、磁性体層104の表面に、絶縁性樹脂層53,54に相当する樹脂層105を前述と同様の手法・材料で形成する(図4(d))。次に、ビア81,82,83,84を形成するために貫通孔を形成し、さらに引出電極パターン106を形成する(図4(e))。次に、絶縁性樹脂層53,54及び引出電極パターン106を被覆するように、さらに被覆層55,56に相当する樹脂層107を形成する(図5(f))。次に、この樹脂層107に、端子電極の形成位置に前記引出電極パターン106が露出するよう、貫通孔108を形成する(図5(g))。樹脂層107及び貫通孔108の形成工程では、従来周知の感光性ソルダレジスト法を用いる。次に、この貫通孔108に、従来周知のフォトリソグラフ法を用いて端子電極109を形成する(図5(h))。次に、この積層体を単位部品毎にカットすることで積層体10が得られる(図5(i))。最後に、端子電極の表面にメッキ膜や、さらに必要に応じてボールバンプを形成することで、コモンモードチョークコイル1が得られる。   Next, a magnetic material layer 104 made of a ferrite film is formed on both surfaces of the resin layer 103 by a non-sintered film forming method such as ferrite plating, aerosol deposition method, sputtering method, laser vapor deposition method, CVD, etc. (FIG. 4C). Next, the resin layer 105 corresponding to the insulating resin layers 53 and 54 is formed on the surface of the magnetic layer 104 by the same method and material as described above (FIG. 4D). Next, through holes are formed to form the vias 81, 82, 83, and 84, and the extraction electrode pattern 106 is formed (FIG. 4E). Next, a resin layer 107 corresponding to the covering layers 55 and 56 is formed so as to cover the insulating resin layers 53 and 54 and the extraction electrode pattern 106 (FIG. 5F). Next, a through hole 108 is formed in the resin layer 107 so that the extraction electrode pattern 106 is exposed at the position where the terminal electrode is formed (FIG. 5G). In the process of forming the resin layer 107 and the through hole 108, a conventionally known photosensitive solder resist method is used. Next, a terminal electrode 109 is formed in the through hole 108 by using a conventionally known photolithography method (FIG. 5H). Next, the laminate 10 is obtained by cutting the laminate for each unit part (FIG. 5 (i)). Finally, the common mode choke coil 1 can be obtained by forming a plating film on the surface of the terminal electrode and, if necessary, a ball bump.

本実施の形態に係るコモンモードチョークコイル1によれば、フェライトメッキ、エアロゾルデポジション法、スパッタ法、レーザー蒸着法、CVDなどの非焼結方式成膜法により数十μm以下の厚みに形成したので、小型・低背なものとなる。また、コモンモードチョークコイル1の上下面は磁性体層41,42を被覆するように絶縁性の樹脂層53,54が形成されているので、耐衝撃性に優れているとともに、樹脂層53,54の線膨張係数を10〜80ppmとすることで基板実装時の信頼性が向上する。   According to the common mode choke coil 1 according to the present embodiment, it is formed to a thickness of several tens of μm or less by a non-sintered film forming method such as ferrite plating, aerosol deposition method, sputtering method, laser vapor deposition method, or CVD. So it will be small and low profile. In addition, since the insulating resin layers 53 and 54 are formed on the upper and lower surfaces of the common mode choke coil 1 so as to cover the magnetic layers 41 and 42, the resin layer 53, 54 is excellent in impact resistance. By setting the linear expansion coefficient of 54 to 10 to 80 ppm, the reliability at the time of board mounting is improved.

また、本実施の形態では、一対のコイル導体61,62の間に介在する部位を基台として、磁性体層41,42方向にビルドアップ法により第1の絶縁体層30を形成したので、一対のコイル導体61、62の間隔を高精度に安定させることができる。このコイル間隔はコモンモードチョークコイルの特性に大きく影響するので、特性の安定性という観点から好適である。   Further, in the present embodiment, since the first insulator layer 30 is formed by the build-up method in the direction of the magnetic layers 41 and 42 with the portion interposed between the pair of coil conductors 61 and 62 as a base, The interval between the pair of coil conductors 61 and 62 can be stabilized with high accuracy. Since this coil interval greatly affects the characteristics of the common mode choke coil, it is preferable from the viewpoint of stability of characteristics.

(第2の実施の形態)
本発明の第2の実施の形態に係るコモンモードチョークコイルについて図面を参照して説明する。図6はコモンモードチョークコイルの断面図である。
(Second Embodiment)
A common mode choke coil according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 6 is a cross-sectional view of a common mode choke coil.

本実施の形態に係るコモンモードチョークコイル2が第1の実施の形態と異なる点は、第1の実施の形態では磁路が開放された開磁路型となっているのに対して、本実施の形態では磁路が閉じた閉磁路型となっている点にある。すなわち、積層体10における層構造が第1の実施の形態と相違する。コイル導体61,62や引出電極71〜74などの電極構造については第1の実施の形態と同様である。   The common mode choke coil 2 according to the present embodiment is different from the first embodiment in that the first embodiment is an open magnetic circuit type in which the magnetic path is opened. In the embodiment, the magnetic path is a closed magnetic circuit type. That is, the layer structure in the laminate 10 is different from that of the first embodiment. The electrode structures such as the coil conductors 61 and 62 and the extraction electrodes 71 to 74 are the same as those in the first embodiment.

積層体10は、図6に示すように、第1の実施の形態と同様の材料からなる絶縁体層35内に、コイル導体61,62や引出電極71〜74やビア81〜84を埋設した構造となっている。磁性体層41,42は、第1の実施の形態と同様に、コイル導体61,62の形成層と引出電極71〜74の形成層の間に配置されている。ただし、第1の実施の形態とは異なり、磁性体層41,42が、コイル導体61,62の内周の内側において第2の磁性体91によって接続され、コイル導体61,62の外周の外側において第3の磁性体92によって接続した構造となっている。この磁性体層41と、前記第2の磁性体91及び第3の磁性体92は一体となって、積層面と交差する方向に面状に形成されている。コイル導体61,62の引出電極71〜74を接続するビアホール81〜84は磁性体層41を貫通している。また、磁性体層41,42は積層体10の側面までは延びておらず、前記第3の磁性体92の端部まで形成された構造となっている。すなわち、磁性体層41,42、第2の磁性体91,第3の磁性体92により閉磁路が形成される。   As shown in FIG. 6, the laminated body 10 has coil conductors 61 and 62, lead electrodes 71 to 74, and vias 81 to 84 embedded in an insulator layer 35 made of the same material as that of the first embodiment. It has a structure. The magnetic layers 41 and 42 are arranged between the formation layers of the coil conductors 61 and 62 and the formation layers of the extraction electrodes 71 to 74, as in the first embodiment. However, unlike the first embodiment, the magnetic layers 41 and 42 are connected by the second magnetic body 91 inside the inner peripheries of the coil conductors 61 and 62, and outside the outer peripheries of the coil conductors 61 and 62. In this case, the third magnetic body 92 is connected. The magnetic layer 41, the second magnetic body 91, and the third magnetic body 92 are integrally formed in a planar shape in a direction intersecting the laminated surface. Via holes 81 to 84 connecting the extraction electrodes 71 to 74 of the coil conductors 61 and 62 penetrate the magnetic layer 41. Further, the magnetic layers 41 and 42 do not extend to the side surface of the multilayer body 10, and have a structure formed up to the end of the third magnetic body 92. That is, the magnetic layers 41 and 42, the second magnetic body 91, and the third magnetic body 92 form a closed magnetic path.

次に、このコモンモードチョークコイル2の製造方法について図7及び図8を参照して説明する。   Next, a method for manufacturing the common mode choke coil 2 will be described with reference to FIGS.

まず、第1の実施の形態における図4(a)〜(b)と同様の手法・手順で、コイル導体が埋設された積層体201を得る(図7(a))。次に、この積層体201に、前述の第2の磁性体91を成膜するための貫通孔202をコイルの内側に形成するとともに、第3の磁性体92を成膜するための貫通孔203をコイルの内側に形成する(図7(b))。この貫通孔202,203は内部の電極パターンを切断しないようレーザー、サンドブラスト、化学エッチングなどの方法で形成する。   First, the laminated body 201 in which the coil conductor is embedded is obtained by the same method and procedure as in FIGS. 4A to 4B in the first embodiment (FIG. 7A). Next, a through-hole 202 for forming the above-described second magnetic body 91 is formed in the laminated body 201 inside the coil, and a through-hole 203 for forming the third magnetic body 92 is formed. Is formed inside the coil (FIG. 7B). The through holes 202 and 203 are formed by a method such as laser, sand blasting or chemical etching so as not to cut the internal electrode pattern.

一方、前記磁性体層42を被覆する絶縁樹脂層54に相当する絶縁シート204を用意し、この絶縁シート204に上述のフェライトメッキ、エアロゾルデポジション法、スパッタ法、レーザー蒸着法、CVDなどの非焼結方式成膜法により磁性体膜205を形成し、この絶縁シート204を前記積層体201に貼り合わせる(図7(c),(d))。   On the other hand, an insulating sheet 204 corresponding to the insulating resin layer 54 covering the magnetic layer 42 is prepared, and the above-described ferrite plating, aerosol deposition method, sputtering method, laser deposition method, CVD, etc. are applied to the insulating sheet 204. A magnetic film 205 is formed by a sintering method, and this insulating sheet 204 is bonded to the laminate 201 (FIGS. 7C and 7D).

次に、前記貫通孔202及び203の内面に、前記と同様にフェライトメッキ、エアロゾルデポジション法、スパッタ法、レーザー蒸着法、CVDなどの非焼結方式成膜法により磁性体膜206を一体に形成する(図8(e))。そして、磁性体膜206の上面に樹脂層207を形成する(図8(f))。このとき、貫通孔203内にも樹脂が充填される。以降は、第1の実施の形態と同様に、引出電極208の形成(図8(g))、被覆層209の形成(図8(h))、端子電極の形成(図示省略)、切断(図示省略)、メッキ処理等(図示省略)を行うことにより、コモンモードチョークコイル2が得られる。   Next, the magnetic film 206 is integrally formed on the inner surfaces of the through holes 202 and 203 by a non-sintering film forming method such as ferrite plating, aerosol deposition method, sputtering method, laser vapor deposition method, CVD, etc. It forms (FIG.8 (e)). Then, a resin layer 207 is formed on the upper surface of the magnetic film 206 (FIG. 8F). At this time, the through hole 203 is also filled with resin. Thereafter, as in the first embodiment, formation of the extraction electrode 208 (FIG. 8G), formation of the coating layer 209 (FIG. 8H), formation of the terminal electrode (not shown), cutting ( The common mode choke coil 2 is obtained by performing a plating process (not shown) or the like (not shown).

次に、本実施の形態に係るコモンモードチョークコイル5の他の製造方法について図9及び図10を参照して説明する。   Next, another method for manufacturing the common mode choke coil 5 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.

まず、第1の実施の形態と同様に、磁性体層41,42の間の層についてビルドアップ法などにより作成して積層体211を得て、この積層体211の一方の面に上述の非焼結方式成膜法により磁性体膜212を形成する(図9(a))。次に、この積層体211に、前述の第2の磁性体91を成膜するための貫通孔213をコイルの外側に形成するとともに、第3の磁性体92を成膜するための貫通孔214をコイルの内側に形成する(図9(b))。この貫通孔213,214は内部の電極パターンを切断しないようレーザー、サンドブラスト、化学エッチングなどの方法で形成する。   First, as in the first embodiment, a layered body 211 is obtained by creating a layer between the magnetic layers 41 and 42 by a build-up method or the like, and the above-described non-layered surface is formed on one surface of the layered body 211. A magnetic film 212 is formed by a sintering method (FIG. 9A). Next, a through-hole 213 for forming the above-described second magnetic body 91 is formed in the laminated body 211 outside the coil, and a through-hole 214 for forming the third magnetic body 92 is formed. Is formed inside the coil (FIG. 9B). The through holes 213 and 214 are formed by a method such as laser, sand blasting or chemical etching so as not to cut the internal electrode pattern.

次に、前記磁性体層42を被覆する絶縁樹脂層54に相当する絶縁シート215を用意し、この絶縁シート215を積層体211に貼り合わせる(図9(c),(d))。次に、前記貫通孔213及び貫通孔214の内面並びに貫通孔213の底面に磁性体膜216を前記非焼結方式成膜法により一体に形成する(図9(e))。以降は、図7及び図8を参照して説明した方法及び第1の実施の形態と同様に、磁性体膜216の上面に樹脂層を形成し、引出電極を形成し、被覆層を形成し、端子電極を形成し、積層体を切断し、短資電極のメッキ処理等(いずれも図示省略)を行うことにより、コモンモードチョークコイル2が得られる。   Next, an insulating sheet 215 corresponding to the insulating resin layer 54 covering the magnetic layer 42 is prepared, and this insulating sheet 215 is bonded to the laminate 211 (FIGS. 9C and 9D). Next, the magnetic film 216 is integrally formed on the inner surfaces of the through-hole 213 and the through-hole 214 and on the bottom surface of the through-hole 213 by the non-sintering film forming method (FIG. 9E). Thereafter, similarly to the method described with reference to FIGS. 7 and 8 and the first embodiment, a resin layer is formed on the upper surface of the magnetic film 216, an extraction electrode is formed, and a covering layer is formed. The common mode choke coil 2 is obtained by forming a terminal electrode, cutting the laminate, and performing a plating treatment of a short electrode (not shown).

本実施の形態に係るコモンモードチョークコイル2によれば、積層体10内において磁路が閉じた構造となるので、コモンモードインピーダンスが向上したものとなる。他の作用・効果については第1の実施の形態と同様である。   According to the common mode choke coil 2 according to the present embodiment, since the magnetic path is closed in the laminated body 10, the common mode impedance is improved. Other operations and effects are the same as those in the first embodiment.

(第3の実施の形態)
本発明の第3の実施の形態に係るコモンモードチョークコイルについて図面を参照して説明する。図10はコモンモードチョークコイルの外観斜視図、図11はコモンモードチョークコイルの断面図である。
(Third embodiment)
A common mode choke coil according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 10 is an external perspective view of the common mode choke coil, and FIG. 11 is a cross-sectional view of the common mode choke coil.

本実施の形態に係るコモンモードチョークコイル3が第1の実施の形態と異なる点は、第1の実施の形態では一対のコイルを内蔵した2回路4端子のコモンモードチョークコイルであったのに対して、本実施の形態では二対のコイルを内蔵した4回路8端子のアレイ型コモンモードチョークコイルとした点にある。なお、図10及び図11においては、各系統を表すために参照符号の末尾に「a」「b」という符号を付している。   The common mode choke coil 3 according to the present embodiment is different from the first embodiment in that the first embodiment is a two-circuit, four-terminal common mode choke coil incorporating a pair of coils. On the other hand, in this embodiment, it is an array type common mode choke coil having 4 circuits and 8 terminals that incorporates two pairs of coils. In FIGS. 10 and 11, reference numerals “a” and “b” are attached to the end of the reference numerals in order to represent the respective systems.

このコモンモードチョークコイル3は、図10及び図11に示すように、第1の実施の形態と同様に、積層体10の上面又は下面の何れか一方に、それぞれ各コイル端に接続した端子電極21a〜24a,21b〜24bが形成されている。端子電極21a〜24a,21b〜24bは、格子状に等間隔に配置されており、各端子電極21a〜24a,21b〜24bのピッチ間隔は集積回路等で広く用いられているものと共通である。積層体10は、第1の実施の形態と同様に、第1の絶縁体層30、第1の絶縁体層30の両面に形成された磁性体層41,42、磁性体層41,42の表面に形成された第2の絶縁体層51,52とを積層した構造となっている。第2の絶縁体層51,52は、第1の実施の形態と同様に、それぞれ磁性体層41,42の外側に形成された絶縁性樹脂層53,54と、該絶縁性樹脂層53,54を被覆するように形成された被覆層55,56を積層した構造となっている。   As shown in FIGS. 10 and 11, the common mode choke coil 3 includes terminal electrodes connected to the respective coil ends on either the upper surface or the lower surface of the multilayer body 10 as in the first embodiment. 21a-24a, 21b-24b are formed. The terminal electrodes 21a to 24a and 21b to 24b are arranged at regular intervals in a lattice shape, and the pitch intervals of the terminal electrodes 21a to 24a and 21b to 24b are common to those widely used in integrated circuits and the like. . As in the first embodiment, the multilayer body 10 includes a first insulator layer 30, magnetic layers 41 and 42 formed on both surfaces of the first insulator layer 30, and magnetic layers 41 and 42. It has a structure in which second insulator layers 51 and 52 formed on the surface are laminated. Similarly to the first embodiment, the second insulator layers 51 and 52 are formed of insulating resin layers 53 and 54 formed outside the magnetic layers 41 and 42, respectively, and the insulating resin layers 53, In this structure, coating layers 55 and 56 formed so as to cover 54 are laminated.

積層体10内のコイル及び引出電極の構造は第1の実施の形態にかかるコイル及び引出電極を二系統分並設した構造となっている。本実施の形態の特徴的な点は、図11に示すように、磁性体層41,42が各系統毎に分離されている点にある。すなわち、磁性体層41a,42aの間に第1の系統に係るコイル導体61a,62aが配置されており、磁性体層41b,42bの間に第2の系統に係るコイル導体61b,62bが配置されている。他の構成・材質・製造方法等は第1の実施の形態と同様である。   The structure of the coil and the extraction electrode in the laminated body 10 is a structure in which the coil and the extraction electrode according to the first embodiment are arranged in parallel for two systems. A characteristic point of this embodiment is that the magnetic layers 41 and 42 are separated for each system as shown in FIG. That is, coil conductors 61a and 62a according to the first system are arranged between the magnetic layers 41a and 42a, and coil conductors 61b and 62b according to the second system are arranged between the magnetic layers 41b and 42b. Has been. Other configurations, materials, manufacturing methods, and the like are the same as those in the first embodiment.

本実施の形態に係るコモンモードチョークコイルによれば、磁性体層41,42が各系統毎に分離されているので、系統間での磁気的結合を低減させることができる。これにより、系統間でのクロストークを低減させることができる。他の作用・効果については第1の実施の形態と同様である。なお、本実施の形態は第1の実施の形態の変形例として説明したが、第2の実施の形態のコモンモードチョークコイルに対しても同様の構成を採用することができる。   According to the common mode choke coil according to the present embodiment, the magnetic layers 41 and 42 are separated for each system, so that magnetic coupling between the systems can be reduced. Thereby, crosstalk between systems can be reduced. Other operations and effects are the same as those in the first embodiment. In addition, although this Embodiment was demonstrated as a modification of 1st Embodiment, the same structure is employable also with respect to the common mode choke coil of 2nd Embodiment.

(第4の実施の形態)
本発明の第4の実施の形態に係るコモンモードチョークコイルについて図面を参照して説明する。図12はコモンモードチョークコイルの断面図、図13は積層体の分解斜視図である。
(Fourth embodiment)
A common mode choke coil according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 12 is a cross-sectional view of the common mode choke coil, and FIG. 13 is an exploded perspective view of the laminate.

本実施の形態に係るコモンモードチョークコイル4が第2の実施の形態と異なる点は、図12及び図13に示すように、積層体10の両面に端子電極を設けている点にある。具体的には、積層体10の一方の面には、第2の実施の形態と同様に端子電極21〜24が形成されており、他方の面には積層体10を挟んで前記端子電極21〜24と対向する位置に端子電極25〜28が形成されている。   The common mode choke coil 4 according to the present embodiment is different from the second embodiment in that terminal electrodes are provided on both surfaces of the laminate 10 as shown in FIGS. Specifically, terminal electrodes 21 to 24 are formed on one surface of the laminate 10 as in the second embodiment, and the terminal electrode 21 is sandwiched between the laminate 10 on the other surface. Terminal electrodes 25 to 28 are formed at positions facing to 24.

第2の絶縁体層52には、第2の絶縁体層51内に埋設されている引出電極71〜74と同様の引出電極75〜78が埋設されている。より具体的には、各引出電極75〜78は、絶縁性樹脂層54と被覆層56の境界に形成されている。また、各引出電極75〜78は、第2の絶縁体層51に形成された引出電極71〜74と対称な位置・形状で形成されている。引出電極75〜78の一方の端部には、前記端子電極25〜28が形成されている。引出電極75〜78の他方の端部は、ビア85〜88を介してコイル導体61,62の端部に接続している。このような構成により、対向する端子電極21と25,22と26,23と27,24と28は、それぞれ導通接続する。他の構成・材質・製造方法等は第2の実施の形態と同様である。   In the second insulator layer 52, extraction electrodes 75 to 78 similar to the extraction electrodes 71 to 74 embedded in the second insulator layer 51 are embedded. More specifically, each extraction electrode 75 to 78 is formed at the boundary between the insulating resin layer 54 and the coating layer 56. In addition, the extraction electrodes 75 to 78 are formed in positions and shapes that are symmetrical to the extraction electrodes 71 to 74 formed on the second insulator layer 51. The terminal electrodes 25 to 28 are formed at one end of the extraction electrodes 75 to 78. The other ends of the extraction electrodes 75 to 78 are connected to the ends of the coil conductors 61 and 62 through vias 85 to 88. With this configuration, the opposing terminal electrodes 21 and 25, 22 and 26, 23 and 27, and 24 and 28 are electrically connected. Other configurations, materials, manufacturing methods, and the like are the same as those in the second embodiment.

本実施の形態によれば、積層体10の両面に端子電極21〜28が形成されているので、実装の自由度が向上する。具体的には、部品の上下がないのでバルクフィーダ実装が可能となり、テーピング実装と比較して実装コストの低減、実装後の不要テープの処理の削減が可能となる。また、本コモンモードチョークコイルを部品内蔵基板に埋め込む場合など3次元実装を行う場合は、上面又は下面の端子電極を任意に選ぶことができる。この結果、従来の非巻線型コモンモードチョークコイルと比較して配線ピッチを広げることなく、且つ、第2の実施の形態のものと比較して配線をより短く引き回すことが可能となる。他の作用・効果については第2の実施の形態と同様である。なお、本実施の形態は第2の実施の形態の変形例として説明したが、第1又は第3の実施の形態のコモンモードチョークコイルに対しても同様の構成を採用することができる。   According to the present embodiment, since the terminal electrodes 21 to 28 are formed on both surfaces of the laminate 10, the degree of freedom in mounting is improved. Specifically, since there are no parts up and down, bulk feeder mounting is possible, and compared to taping mounting, mounting cost can be reduced and processing of unnecessary tape after mounting can be reduced. In addition, when three-dimensional mounting is performed such as when the common mode choke coil is embedded in a component-embedded substrate, the upper or lower terminal electrodes can be arbitrarily selected. As a result, it is possible to route the wiring shorter without increasing the wiring pitch as compared with the conventional non-winding type common mode choke coil and as compared with the second embodiment. Other operations and effects are the same as those of the second embodiment. In addition, although this Embodiment was demonstrated as a modification of 2nd Embodiment, the same structure is employable also with respect to the common mode choke coil of 1st or 3rd Embodiment.

(第5の実施の形態)
本発明の第5の実施の形態に係るコモンモードチョークコイルについて図面を参照して説明する。図14はコモンモードチョークコイルの断面図、図15は積層体の分解斜視図である。
(Fifth embodiment)
A common mode choke coil according to a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 14 is a cross-sectional view of the common mode choke coil, and FIG. 15 is an exploded perspective view of the laminate.

本実施の形態に係るコモンモードチョークコイル5が第2の実施の形態と異なる点は、図14及び図15に示すように、入力側の端子電極と出力側の端子電極とを積層体10の異なる面に設けている点にある。具体的には、積層体10の一方の面には、端子電極21,22が形成されており、他方の面には端子電極23,24が形成されている。   The common mode choke coil 5 according to the present embodiment is different from the second embodiment in that the input-side terminal electrode and the output-side terminal electrode are connected to each other as shown in FIGS. It is in the point provided in a different surface. Specifically, terminal electrodes 21 and 22 are formed on one surface of the laminate 10, and terminal electrodes 23 and 24 are formed on the other surface.

第2の絶縁体層51には、コイル導体61,62の内周側端部と接続する引出電極73,74が埋設されている。より具体的には、各引出電極73,74は、絶縁性樹脂層53と被覆層55の境界に形成されている。引出電極73,74の一方の端部には、前記端子電極23、24が形成されている。引出電極73,74の他方の端部は、ビア83,84を介してコイル導体61,62の内周側端部に接続している。   In the second insulator layer 51, lead electrodes 73 and 74 connected to the inner peripheral side ends of the coil conductors 61 and 62 are embedded. More specifically, each extraction electrode 73 and 74 is formed at the boundary between the insulating resin layer 53 and the coating layer 55. The terminal electrodes 23 and 24 are formed at one end of the extraction electrodes 73 and 74. The other ends of the extraction electrodes 73 and 74 are connected to the inner peripheral side ends of the coil conductors 61 and 62 through vias 83 and 84.

一方、第2の絶縁体層52には、コイル導体61,62の外周側端部と接続する引出電極71,72が埋設されている。より具体的には、各引出電極71,72は、絶縁性樹脂層54と被覆層56の境界に形成されている。引出電極71,72の一方の端部には、前記端子電極21、22が形成されている。引出電極71,72の他方の端部は、ビア81,82を介してコイル導体61,62の外周側端部に接続している。他の構成・材質・製造方法等は第2の実施の形態と同様である。   On the other hand, in the second insulator layer 52, lead electrodes 71 and 72 connected to the outer peripheral side ends of the coil conductors 61 and 62 are embedded. More specifically, each extraction electrode 71 and 72 is formed at the boundary between the insulating resin layer 54 and the coating layer 56. The terminal electrodes 21 and 22 are formed at one end of the extraction electrodes 71 and 72. The other ends of the extraction electrodes 71 and 72 are connected to the outer peripheral side ends of the coil conductors 61 and 62 through vias 81 and 82. Other configurations, materials, manufacturing methods, and the like are the same as those in the second embodiment.

なお、以上のような構成は、第4の実施の形態に係るコモンモードチョークコイル4から、端子電極21,22,27,28、引出電極71,72,77,78、ビア81,82,87,88を取り除いたものに相当する。   Note that the configuration as described above includes terminal electrodes 21, 22, 27, 28, lead electrodes 71, 72, 77, 78, and vias 81, 82, 87 from the common mode choke coil 4 according to the fourth embodiment. , 88 is removed.

本実施の形態によれば、入力用端子電極と出力用端子電極が積層体10の異なる面に形成されているので、実装の自由度が向上する。具体的には、本コモンモードチョークコイルを部品内蔵基板に埋め込む場合など3次元実装を行う場合、その回路構成によっては、配線ピッチを広げることなく、且つ、第2の実施の形態のものと比較して配線をより短く引き回すことが可能となる。またこの場合、第4の実施の形態では利用していない端子電極,引出電極,ビアによりノイズが生じるおそれがあるが、本実施の形態では利用していない端子電極,引出電極,ビアは存在しないので、前述のノイズ発生による信号劣化を防止できる。他の作用・効果については第2の実施の形態と同様である。なお、本実施の形態は第2の実施の形態の変形例として説明したが、第1又は第3の実施の形態のコモンモードチョークコイルに対しても同様の構成を採用することができる。   According to the present embodiment, since the input terminal electrode and the output terminal electrode are formed on different surfaces of the laminated body 10, the degree of freedom in mounting is improved. Specifically, when three-dimensional mounting is performed such as when the common mode choke coil is embedded in a component-embedded board, depending on the circuit configuration, the wiring pitch is not increased and compared with that of the second embodiment. Thus, the wiring can be routed shorter. In this case, noise may occur due to terminal electrodes, lead electrodes, and vias that are not used in the fourth embodiment, but there are no terminal electrodes, lead electrodes, and vias that are not used in this embodiment. Therefore, it is possible to prevent signal deterioration due to the above-described noise generation. Other operations and effects are the same as those of the second embodiment. In addition, although this Embodiment was demonstrated as a modification of 2nd Embodiment, the same structure is employable also with respect to the common mode choke coil of 1st or 3rd Embodiment.

(第6の実施の形態)
本発明の第6の実施の形態に係るコモンモードチョークコイルについて図面を参照して説明する。図16はコモンモードチョークコイルの断面図、図17は積層体の分解斜視図である。
(Sixth embodiment)
A common mode choke coil according to a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 16 is a cross-sectional view of the common mode choke coil, and FIG. 17 is an exploded perspective view of the laminate.

本実施の形態に係るコモンモードチョークコイル6が第2の実施の形態と異なる点は、一対のコイルをそれぞれ多層に亘って形成した点にある。本実施の形態では、図15及び図16に示すように、それぞれ異なる層に一方のコイルに係るコイル導体61及び63が形成されている。他方のコイルに係るコイル導体62は、第2の実施の形態と同様に、前記コイル導体61と対向配置されている。また、コイル導体62と異なる層にはコイル導体64が形成されている。ここで、一方のコイルに係るコイル導体61,63と、他方のコイルに係るコイル導体62,63とは交互に積層している。   The common mode choke coil 6 according to the present embodiment is different from the second embodiment in that a pair of coils are formed in multiple layers. In this embodiment, as shown in FIGS. 15 and 16, coil conductors 61 and 63 relating to one coil are formed in different layers. The coil conductor 62 related to the other coil is disposed opposite to the coil conductor 61 as in the second embodiment. A coil conductor 64 is formed in a layer different from the coil conductor 62. Here, the coil conductors 61 and 63 related to one coil and the coil conductors 62 and 63 related to the other coil are alternately laminated.

一方のコイル導体61及び63の内周側端部はビア301により互いに接続している。コイル導体61の外周側端部は、ビア83及び引出電極73を介して端子電極23と接続している。また、コイル導体63の外周側端部は、ビア81及び引出電極71を介して端子電極21と接続している。   The inner peripheral side ends of the coil conductors 61 and 63 are connected to each other by a via 301. The outer peripheral side end of the coil conductor 61 is connected to the terminal electrode 23 via the via 83 and the extraction electrode 73. The outer peripheral side end of the coil conductor 63 is connected to the terminal electrode 21 via the via 81 and the extraction electrode 71.

他方のコイル導体62及び64の内周側端部はビア302により互いに接続している。コイル導体62の外周側端部は、ビア84及び引出電極74を介して端子電極24と接続している。また、コイル導体64の外周側端部は、ビア82及び引出電極72を介して端子電極22と接続している。他の構成・材質・製造方法等は第2の実施の形態と同様である。   The inner peripheral side ends of the other coil conductors 62 and 64 are connected to each other by a via 302. The outer peripheral end of the coil conductor 62 is connected to the terminal electrode 24 via the via 84 and the extraction electrode 74. The outer peripheral side end of the coil conductor 64 is connected to the terminal electrode 22 via the via 82 and the extraction electrode 72. Other configurations, materials, manufacturing methods, and the like are the same as those in the second embodiment.

本実施の形態に係るコモンモードチョークコイル6によれば、第2の実施の形態と比較して、同じ実装面積中で各コイルの巻回数を多くすることができるので、コモンモードインピーダンスの向上という観点から好適である。他の作用・効果については第2の実施の形態と同様である。なお、本実施の形態は第2の実施の形態の変形例として説明したが、第1又は第3乃至第5の実施の形態のコモンモードチョークコイルに対しても同様の構成を採用することができる。   According to the common mode choke coil 6 according to the present embodiment, the number of turns of each coil can be increased in the same mounting area as compared with the second embodiment, which means that the common mode impedance is improved. It is preferable from the viewpoint. Other operations and effects are the same as those of the second embodiment. Although this embodiment has been described as a modification of the second embodiment, the same configuration may be adopted for the common mode choke coils of the first or third to fifth embodiments. it can.

なお、本実施の形態では、一方のコイルに係るコイル導体61,63と、他方のコイルに係るコイル導体62,63とは交互に積層しているが、一方のコイルに係るコイル導体61,63、他方のコイルに係るコイル導体62,63の順に積層するようにしてもよい。もっとも、シミュレーションの結果、交互に積層したものの方がノーマルインピーダンスの低下を図れたので、この観点からは交互に積層した方が好適である。   In the present embodiment, the coil conductors 61 and 63 related to one coil and the coil conductors 62 and 63 related to the other coil are alternately stacked, but the coil conductors 61 and 63 related to one coil are stacked. The coil conductors 62 and 63 related to the other coil may be laminated in this order. However, as a result of the simulation, the alternately laminated layers can reduce the normal impedance, so that alternately laminated layers are preferable from this viewpoint.

以上、本発明の実施の形態について説明したが本発明はこれに限定されるものではない。例えば、上記実施の形態では一対のコイルを内蔵した2回路4端子や4回路8端子のコモンモードチョークコイルについて説明したが、3回路6端子のコモンモードチョークコイルにも本発明を適用することができる。また、上記第6の実施の形態では、一つのコイルを2層にわたって形成したが3層以上に亘って形成するようにしてもよい。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to this. For example, in the above embodiment, a common mode choke coil having two circuits and four terminals and four circuits and eight terminals having a pair of coils built in has been described. However, the present invention can also be applied to a common mode choke coil having three circuits and six terminals. it can. Moreover, in the said 6th Embodiment, although one coil was formed over two layers, you may make it form over three or more layers.

第1の実施の形態に係るコモンモードチョークコイルの外観斜視図External perspective view of the common mode choke coil according to the first embodiment 第1の実施の形態に係る積層体の構造を説明する分解斜視図The disassembled perspective view explaining the structure of the laminated body which concerns on 1st Embodiment 第1の実施の形態に係る積層体の断面図Sectional drawing of the laminated body which concerns on 1st Embodiment 第1の実施の形態に係るコモンモードチョークコイルの製造方法を説明する図The figure explaining the manufacturing method of the common mode choke coil which concerns on 1st Embodiment 第1の実施の形態に係るコモンモードチョークコイルの製造方法を説明する図The figure explaining the manufacturing method of the common mode choke coil which concerns on 1st Embodiment 第2の実施の形態に係る積層体の断面図Sectional drawing of the laminated body which concerns on 2nd Embodiment 第2の実施の形態に係るコモンモードチョークコイルの製造方法を説明する図The figure explaining the manufacturing method of the common mode choke coil which concerns on 2nd Embodiment 第2の実施の形態に係るコモンモードチョークコイルの製造方法を説明する図The figure explaining the manufacturing method of the common mode choke coil which concerns on 2nd Embodiment 第2の実施の形態に係るコモンモードチョークコイルの他の例に係る製造方法を説明する図The figure explaining the manufacturing method which concerns on the other example of the common mode choke coil which concerns on 2nd Embodiment 第3の実施の形態に係るコモンモードチョークコイルの外観斜視図External perspective view of a common mode choke coil according to a third embodiment 第3の実施の形態に係る積層体の断面図Sectional drawing of the laminated body which concerns on 3rd Embodiment 第4の実施の形態に係る積層体の断面図Sectional drawing of the laminated body which concerns on 4th Embodiment 第4の実施の形態に係る積層体の構造を説明する分解斜視図The exploded perspective view explaining the structure of the laminated body which concerns on 4th Embodiment 第5の実施の形態に係る積層体の断面図Sectional drawing of the laminated body which concerns on 5th Embodiment 第5の実施の形態に係る積層体の構造を説明する分解斜視図The exploded perspective view explaining the structure of the laminated body which concerns on 5th Embodiment 第6の実施の形態に係る積層体の断面図Sectional drawing of the laminated body which concerns on 6th Embodiment 第6の実施の形態に係る積層体の構造を説明する分解斜視図The exploded perspective view explaining the structure of the laminated body which concerns on 6th Embodiment

符号の説明Explanation of symbols

1,2,3,4,5,6…コモンモードチョークコイル、10…積層体、21〜28…端子電極、30,35,51,52…絶縁体層、53,54…絶縁性樹脂層、55,56…被膜層、41,42…磁性体層、61〜64…コイル導体、71〜78…引出電極、81〜88,301,302…ビア、91…第2の磁性体、92…第3の磁性体。   1, 2, 3, 4, 5, 6 ... common mode choke coil, 10 ... laminate, 21-28 ... terminal electrode, 30, 35, 51, 52 ... insulator layer, 53, 54 ... insulating resin layer, 55, 56 ... coating layer, 41, 42 ... magnetic material layer, 61-64 ... coil conductor, 71-78 ... extraction electrode, 81-88, 301, 302 ... via, 91 ... second magnetic material, 92 ... first 3. Magnetic material.

Claims (7)

互いに対向配置された一対の渦巻き状のコイルが埋め込まれた積層体と、該積層体上面又は下面に形成した端子電極とを備えたコモンモードチョークコイルにおいて、
前記積層体は、前記一対の渦巻き状コイルが埋め込まれた第1の絶縁体層と、該第1の絶縁体層の上面及び下面に非焼結方式成膜法で形成された一対の膜状磁性体層と、該膜状磁性体層上に形成された一対の第2の絶縁体層とを積層してなり、
該第2の絶縁体層には前記端子電極が一部に形成された引出電極が埋設し、
該引出電極は前記膜状磁性体層を貫通するビアホールを介して前記コイルに接続している
ことを特徴とするコモンモードチョークコイル。
In a common mode choke coil comprising a laminate in which a pair of spiral coils arranged opposite to each other is embedded, and a terminal electrode formed on the upper surface or the lower surface of the laminate,
The laminated body includes a first insulator layer in which the pair of spiral coils are embedded, and a pair of film shapes formed on the upper surface and the lower surface of the first insulator layer by a non-sintering film forming method. A magnetic layer and a pair of second insulator layers formed on the film-like magnetic layer;
In the second insulator layer, an extraction electrode partially formed with the terminal electrode is embedded,
The extraction electrode is connected to the coil via a via hole penetrating the film-like magnetic layer. A common mode choke coil, wherein:
前記一対の膜状磁性体層は、コイルの内周の内側において第1の絶縁体層と交差する面に形成された第2の膜状磁性体により互いに接続されている
ことを特徴とする請求項1記載のコモンモードチョークコイル。
The pair of film-like magnetic layers are connected to each other by a second film-like magnetic body formed on a surface intersecting with the first insulator layer inside the inner periphery of the coil. Item 2. The common mode choke coil according to Item 1.
前記一対の膜状磁性体層は、コイルの外周の外側において第1の絶縁体層と交差する面に形成された第3の膜状磁性体により互いに接続されている
ことを特徴とする請求項1又は2の何れか1項記載のコモンモードチョークコイル。
The pair of film-shaped magnetic layers are connected to each other by a third film-shaped magnetic body formed on a surface crossing the first insulator layer outside the outer periphery of the coil. The common mode choke coil according to any one of 1 and 2.
前記第2の絶縁体層は、膜状磁性体層上に形成された絶縁性樹脂層と、前記端子電極のみが露出するよう絶縁性樹脂層及び引出電極を被覆した被覆層とを積層してなる
ことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項記載のコモンモードチョークコイル。
The second insulator layer is formed by laminating an insulating resin layer formed on the film-like magnetic layer and a coating layer covering the insulating resin layer and the extraction electrode so that only the terminal electrode is exposed. The common mode choke coil according to any one of claims 1 to 3, wherein:
複数対のコイルを備えるとともに、前記膜状磁性体層は各コイル対に対応して分離形成されている
ことを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項記載のコモンモードチョークコイル。
5. The common mode choke coil according to claim 1, wherein the common mode choke coil includes a plurality of pairs of coils, and the film-like magnetic layer is separately formed corresponding to each coil pair.
前記膜状磁性体層の厚みは75μm未満である
ことを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項記載のコモンモードチョークコイル。
The common mode choke coil according to any one of claims 1 to 5, wherein the thickness of the film-like magnetic layer is less than 75 µm.
前記絶縁性樹脂層の線膨張係数は10ppm以上80ppm以下である
ことを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項記載のコモンモードチョークコイル。
7. The common mode choke coil according to claim 1, wherein a linear expansion coefficient of the insulating resin layer is 10 ppm or more and 80 ppm or less.
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Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011014747A (en) * 2009-07-02 2011-01-20 Tdk Corp Coil component, and method of manufacturing the same
JP2011091097A (en) * 2009-10-20 2011-05-06 Tdk Corp Coil component
WO2011145490A1 (en) * 2010-05-17 2011-11-24 太陽誘電株式会社 Electronic component to be embedded in substrate and component embedded substrate
CN102468034A (en) * 2010-11-10 2012-05-23 Tdk株式会社 Coil component and method of manufacturing the same
CN102479601A (en) * 2010-11-26 2012-05-30 Tdk株式会社 Electronic component
JP2013211302A (en) * 2012-03-30 2013-10-10 Tdk Corp Laminate coil component
US8907757B2 (en) 2011-11-04 2014-12-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. Common mode choke coil and high-frequency electronic device
JP2016139785A (en) * 2015-01-27 2016-08-04 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. Coil component and manufacturing method of the same
JP2016181712A (en) * 2010-11-18 2016-10-13 パナソニックIpマネジメント株式会社 Common mode noise filter
WO2017179591A1 (en) * 2016-04-14 2017-10-19 株式会社村田製作所 Passive element array and printed circuit board
JP2018046051A (en) * 2016-09-12 2018-03-22 株式会社村田製作所 Inductor component and inductor component built-in substrate
JP2018170321A (en) * 2017-03-29 2018-11-01 Tdk株式会社 Coil component and manufacturing method thereof
US20190115150A1 (en) * 2017-10-17 2019-04-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. Inductor component
JP2019179842A (en) * 2018-03-30 2019-10-17 ローム株式会社 Chip inductor
JP2020053483A (en) * 2018-09-25 2020-04-02 株式会社村田製作所 Inductor component
JP2021028944A (en) * 2019-08-09 2021-02-25 株式会社村田製作所 Inductor component and inductor component built-in substrate
JP2021034602A (en) * 2019-08-27 2021-03-01 株式会社村田製作所 Inductor component
JP2021136310A (en) * 2020-02-26 2021-09-13 株式会社村田製作所 Inductor component
KR20230168427A (en) 2022-06-07 2023-12-14 삼성전기주식회사 Coil component

Cited By (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011014747A (en) * 2009-07-02 2011-01-20 Tdk Corp Coil component, and method of manufacturing the same
JP2011091097A (en) * 2009-10-20 2011-05-06 Tdk Corp Coil component
US8791783B2 (en) 2010-05-17 2014-07-29 Taiyo Yuden Co., Ltd. Electronic component to be embedded in substrate and component-embedded substrate
KR101373540B1 (en) * 2010-05-17 2014-03-12 다이요 유덴 가부시키가이샤 Electronic component to be embedded in substrate and component embedded substrate
WO2011145490A1 (en) * 2010-05-17 2011-11-24 太陽誘電株式会社 Electronic component to be embedded in substrate and component embedded substrate
TWI450286B (en) * 2010-05-17 2014-08-21 Taiyo Yuden Kk Electronics parts to embed in a printed board and a printed board with an electronics parts
JPWO2011145490A1 (en) * 2010-05-17 2013-07-22 太陽誘電株式会社 Electronic components for built-in boards and built-in type boards
CN102893344A (en) * 2010-05-17 2013-01-23 太阳诱电株式会社 Electronic component to be embedded in substrate and component embedded substrate
US8564393B2 (en) 2010-11-10 2013-10-22 Tdk Corporation Coil component and method of manufacturing the same
CN102468034A (en) * 2010-11-10 2012-05-23 Tdk株式会社 Coil component and method of manufacturing the same
JP2012104673A (en) * 2010-11-10 2012-05-31 Tdk Corp Coil component and manufacturing method therefor
JP2016181712A (en) * 2010-11-18 2016-10-13 パナソニックIpマネジメント株式会社 Common mode noise filter
JP2012114363A (en) * 2010-11-26 2012-06-14 Tdk Corp Electronic component
US8878641B2 (en) 2010-11-26 2014-11-04 Tdk Corporation Electronic component
CN102479601A (en) * 2010-11-26 2012-05-30 Tdk株式会社 Electronic component
US8907757B2 (en) 2011-11-04 2014-12-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. Common mode choke coil and high-frequency electronic device
JPWO2013065716A1 (en) * 2011-11-04 2015-04-02 株式会社村田製作所 Common mode choke coil and high frequency electronic equipment
JP2013211302A (en) * 2012-03-30 2013-10-10 Tdk Corp Laminate coil component
US8988180B2 (en) 2012-03-30 2015-03-24 Tdk Corporation Multilayer coil component
JP2016139785A (en) * 2015-01-27 2016-08-04 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. Coil component and manufacturing method of the same
JPWO2017179591A1 (en) * 2016-04-14 2018-10-11 株式会社村田製作所 Passive element array and printed wiring board
US10264676B2 (en) 2016-04-14 2019-04-16 Murata Manufacturing Co., Ltd. Passive element array and printed wiring board
WO2017179591A1 (en) * 2016-04-14 2017-10-19 株式会社村田製作所 Passive element array and printed circuit board
JP2018046051A (en) * 2016-09-12 2018-03-22 株式会社村田製作所 Inductor component and inductor component built-in substrate
US10937589B2 (en) 2017-03-29 2021-03-02 Tdk Corporation Coil component and method of manufacturing the same
JP2018170321A (en) * 2017-03-29 2018-11-01 Tdk株式会社 Coil component and manufacturing method thereof
US20190115150A1 (en) * 2017-10-17 2019-04-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. Inductor component
US11676761B2 (en) * 2017-10-17 2023-06-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. Inductor component
JP2019179842A (en) * 2018-03-30 2019-10-17 ローム株式会社 Chip inductor
JP2020053483A (en) * 2018-09-25 2020-04-02 株式会社村田製作所 Inductor component
JP2021028944A (en) * 2019-08-09 2021-02-25 株式会社村田製作所 Inductor component and inductor component built-in substrate
JP7156209B2 (en) 2019-08-09 2022-10-19 株式会社村田製作所 Inductor components and substrates with built-in inductor components
JP2021034602A (en) * 2019-08-27 2021-03-01 株式会社村田製作所 Inductor component
JP7427392B2 (en) 2019-08-27 2024-02-05 株式会社村田製作所 inductor parts
JP7452607B2 (en) 2019-08-27 2024-03-19 株式会社村田製作所 inductor parts
JP2021136310A (en) * 2020-02-26 2021-09-13 株式会社村田製作所 Inductor component
KR20230168427A (en) 2022-06-07 2023-12-14 삼성전기주식회사 Coil component

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