JP2007066531A

JP2007066531A - 低融点ガラスのパターン形成方法及びパターン形成装置

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Publication number: JP2007066531A
Application number: JP2005247037A
Authority: JP
Inventors: Shinji Kanda; 真治神田
Original assignee: ELFO TEC KK; ELFO-TEC KK
Current assignee: ELFO TEC KK; ELFO-TEC KK
Priority date: 2005-08-29
Filing date: 2005-08-29
Publication date: 2007-03-15

Abstract

【課題】プラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの隔壁形成等に使用される低融点ガラスのパターン形成に於いて、低融点ガラスのリサイクルが可能な低融点ガラスのパターン形成を行う。
【解決手段】低融点ガラスペーストのバインダーとして水溶性のバインダーを使用して、低融点ガラスペーストを基板上に塗布乾燥後レジストにより該乾燥した低融点ガラスペースト上にパターンを形成後水と高圧エアーの混合流体又は水蒸気によりレジスト以外の低融点ガラスを切削して低融点ガラスによりパターンを形成後サイクロンにより捕集された水と低融点ガラスの混合物より水を乾燥させることにより切削された低融点ガラスを再利用する。
【選択図】図９

Description

本発明はプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの隔壁形成材料やフラットパネルディスプレイやセラミック基板等に使用されている電極形成材料として使用されているリサイクル可能な低融点ガラスのパターン形成方法及びパターン形成装置及び低融点ガラスペースト材料に関する。

従来プラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの隔壁形成材料やフラットパネルディスプレイやセラミック基板等に使用されている電極形成材料として使用されている低融点ガラスのパターン形成方法としては、スクリーン印刷により低融点ガラスを印刷する方法か、図２のようにあらかじめ低融点ガラスペースト６をガラス基板１上に塗布乾燥し、乾燥した低融点ガラスペースト７上に感光性ドライフィルム２にてパターンを形成後サンドブラスト装置によりノズル１６より高圧エアーと研磨材１８を吹き付けパターン以外の部分の低融点ガラスを切削加工して低融点ガラス１２のパターン形成を行っていた。

特開平３−２９４１８０号公報

従来のスクリーン印刷による低融点ガラスのパターン形成方法では、スクリーン印刷自体がスクリーンの版を伸ばしながら印刷する方法のため、大きな基板を印刷するときにスクリーン版が伸びてしまい正確なパターンが印刷できない問題点があった。

またスクリーン印刷によるパターン形成方法では、フラットパネルディスプレイの放電空間形成では膜厚が必要となるため、１０回から２０回程度刷り重ねて印刷する必要があり、印刷時間がかかり精度がでにくいという問題点があった。

またサンドブラストによるパターン形成方法では、感光性ドライフィルムを使用してパターン形成を行うため精度は出やすいが、全面に低融点ガラスペーストを塗布後乾燥させ、サンドブラストにより低融点ガラスを削り、削った部分と破砕された研磨材を集塵機で捕集し廃棄していた。

サンドブラストによるパターン形成方法では廃棄した研磨材と削った低融点ガラスを分離し再生する方法が難しくリサイクルコストが高くなる問題があった。

前記課題を解決するための手段として、低融点ガラスペーストのバインダーとして水溶性のバインダーを使用して、該低融点ガラスペーストを塗布乾燥させた低融点ガラス乾燥膜上にレジストにてパターンを形成後、ノズルの吹き出し口の断面が縦に対し横が５倍以上長いスリット形状ノズルより水と高圧エアーの混合流体又は水蒸気又は水蒸気を含有する高圧流体を吹き付けレジスト以外の低融点ガラスを除去することにより低融点ガラスのパターンを形成する。

低融点ガラスのバインダーとして水溶性のバインダーを使用することにより、従来サンドブラスト装置を使用して高圧エアーにて研磨材を吹き付け低融点ガラスを削っていた方法に代わり、研磨材の代わりに水と高圧エアーの混合流体又は水蒸気又は水蒸気を含有する高圧流体を吹きつけ低融点ガラスを削ることにより、削った低融点ガラスは水分を乾燥させれば再び低融点ガラスペーストの原料として使用可能であり、低融点ガラスペーストのリサイクルが可能となり研磨材のかわりに水又は水蒸気を使用するため、消耗品のコストも抑えられ、安価に低融点ガラスのパターン形成が可能となった。

本発明の低融点ガラスのパターン形成について、以下に図を参照して説明する。

図１に於いてまず行程Ａにてスリットコーターやロールコーター３０等のコーターを使用するかスクリーン印刷により基板上に低融点ガラスペースト６を基板１上に塗布し、乾燥させる。

ここで使用する低融点ガラスペーストのバインダーとしては水又は温水に可溶性があり、低融点ガラスの焼成温度以下で分解する水溶性セルロース系又はポリビニルアルコール又はポリビニルピロリドン等の樹脂を使用する。

特にポリビニルアルコール樹脂は約３００℃で完全に分解し、特に完全ケン化型のポリビニルアルコールは高温水にのみ溶解可能であり、ノズルから噴射される噴射材に高温の水蒸気又は高温水を使用した場合に水蒸気又は高温水が接触する高温部分のみ溶解され、温度が下がった残留した水分には溶解されないため、パターンのサイドエッチが少なくなる特徴がある。

また感光性ドライフィルムをレジストとして使用した場合は、現像及び剥離行程は低温で行い、低融点ガラスの切削行程は高温の水蒸気又は高温水にて行うことが可能となる。

行程Ｂにて乾燥した低融点ガラスペースト７上に感光性ドライフィルム２をラミネートするか感光性低融点ガラスペーストを塗布乾燥して感光性レジスト層を形成後、パターンマスク１１をのせ、露光して、行程Ｃにて現像液５を使用して現像して感光性ドライフィルム２又は感光性低融点ガラスペーストにてパターンを形成させる。

感光性ドライフィルム等の感光性のレジストを使用するかわりに、スクリーン印刷等により耐水性のレジストを印刷することによりマスクパターンを形成しても良い。

図４に示すようにノズルの吹き出し口の断面が縦に対し横が５倍以上長いスリット形状ノズル１５内に減圧弁等で圧力を調整した高圧エアー４０を導入加圧し、該高圧エアーにて加圧されたスリットノズル１５内に高圧エアー又はポンプにより加圧された水をスリットノズル内の水導入部１３から導入し、該スリットノズル先端部吹き出し口１４より高圧エアーと水の混合流体を吹き付けるか、図７に示すようにノズルの吹き出し口の断面が縦に対し横が５倍以上長いスリット形状ノズル１５から水蒸気又は水蒸気を含有する高圧流体又は水蒸気と高温水の混合流体を吹き付けることにより低融点ガラスの切削を行う。

スリットノズル１５の吹き出し口１４の寸法はｂ寸法がａ寸法の５倍以上で望ましくは１０倍以上とし、吹き出し口スリットの長さｃ寸法はａ寸法の５倍以上が望ましい。

スリットノズル吹き出し口１４の断面形状は図１１のような形状であり、スリットノズル１５を左右に揺動し加工基板を前後に連続的に移動させる場合には１１−３及び１１−４及び１１−５及び１１−６のようにスリットノズルのコーナー部が中心に対して狭い形状が望ましく均一に加工できる。

高圧エアーと水との混合流体を吹き付ける方法では、効率よく細かいパターンの現像を行うためには、スリットノズル１５より吹き出す高圧エアーと水の濃度は、高圧エアーの容量に対して水の容量が３％以下であり望ましくは１％以下の濃度とする。

行程Ｅ及び行程Ｆにてパターン形成された低融点ガラス１２上のレジスト膜３を剥離液にて剥離した後、焼成して低融点ガラスを使用したフラットパネルディスプレイ等の隔壁や電極等を形成させる。

感光性低融点ガラスペーストを使用した場合はレジストの剥離の必要は無く、そのまま焼成して低融点ガラスを使用したフラットパネルディスプレイ等の隔壁や電極等を形成させる。

図３及び図５及び図６及び図８は本発明のパターン形成装置の全体図であり、図３は高圧エアーと水との混合流体を噴射する方式で、装置下部に設置されたホッパー下２２から吹き付けた高圧エアーと水との混合流体及び削られた低融点ガラスペーストを吸い込むようにした装置であり、水供給タンク１９内に水を入れ、タンク加圧弁２５を閉じた後、ヒーターにより温度調節可能な水加圧タンク１０内を高圧エアーにて加圧することにより、ある一定の温度に設定された水が水導管（水ホース）３１を経由して水導入部１３から高圧エアー導管２８より減圧弁等により圧力を調整した高圧エアー４０にて加圧されたスリットノズル１５内に導入され、スリットノズル１５の吹き出し口１４よりスリットノズル１５から噴射材である高圧エアーと水の混合流体４を噴射させることにより高圧エアーにより水が微粒子化して高圧エアーの圧力により加圧され加工基板１に吹き付けられる。

水加圧タンク１０内の圧力はスリットノズル１５内部の圧力より高く設定し、スリットノズル１５内の圧力と水加圧タンク１０内の圧力差により噴射する水の量を調整することが可能となる。

高圧エアーを使用し、水加圧タンク１０を加圧して水を導入する代わりにポンプを使用して水を加圧して水をスリットノズル１５に導入しても良い。

水をスリットノズル１５内に導入する水導入部１３は横長のスリットノズル内に均一に分散させるため図４のようにパイプ側面に穴を一定ピッチであけ、パイプの片方をふさぎ、パイプのもう一方から水を導入し側面の穴からスリットノズル１５内に水を導入するか、パイプ側面に形成したスリット形状の横穴をあけ、パイプの片方をふさぎ、パイプのもう一方から水を導入し側面のスリット形状の横穴からスリットノズル１５内に現像液を導入するようにする。

水導入部１３の水が出る穴の大きさを変えることによりスリットノズル１５から噴射される水の量を変えることができる。

加圧した水と高圧エアーをスリットノズル９内で混合させるのでは無く、水加圧タンク１０とスリットノズル１５の間に設けられた水導管３１の途中で混合させ、スリットノズル１５より噴射材である水と高圧エアーの混合流体４を噴射させても良い。

スリットノズル１５はノズル駆動部２０により左右に揺動し、スリットノズル１５下に設置された現像を行う加工基板１に均一に噴射材である水と高圧エアーの混合流体４が吹き付けられる。

加工基板１はコンベア駆動部２１の駆動により前後に搬送される。

スリットノズル１５から噴射された水又は温水及び切削された低融点ガラスはブロアー２６の負圧により本体ホッパー２２からサイクロン導管２９を経て、サイクロン２３に入りサイクロン２３にて捕集され捕集タンク１７に入る。

タンク加圧弁２５を２ヶ設けて交互に開くことにより水加圧タンク２４内を加圧状態で連続的に水を水加圧タンク２４に導入しても良い。

捕集タンク１７内に捕集された水と低融点ガラスは、水を除去することにより再び低融点ガラスを低融点ガラスペーストの原料として使用することが可能となる。

図５はスリットノズル１５の周りを囲い、上部よりブロアー２６の負圧により噴射材である水と高圧エアーの混合流体４を吸い込むようにした噴射材回収部３５を設け、加工基板１に吹き付けた噴射材である水と高圧エアーの混合流体４を吹き付けながら吸い込み、吸い込んだ水及び切削した低融点ガラスをサイクロン２３にて回収するようにした装置であり、水供給タンク１９内に水を入れ、タンク加圧弁２５を閉じた後、ヒーターにより温度調節可能な水加圧タンク１０内を減圧弁等で圧力を調整した高圧エアーにて加圧することにより、水が水導管（水ホース）３１を通り水導入部１３から高圧エアー導管２８より高圧エアーにて加圧されたスリットノズル１５内に導入されスリットノズル１５の吹き出し口１４より高圧エアーと水の混合流体４を噴射させることにより高圧エアーにより水が微粒子化して高圧エアーの圧力により加圧され加工基板１に吹き付けられる。

タンク加圧弁２５を２ヶ設けて交互に開くことにより水加圧タンク１０内を加圧状態で水加圧タンク１０内に水を導入しても良い。

図９及び図１０に示すように吹き付けられた噴射材である高圧エアーと現像液の混合流体４はスリットノズル１５を囲うようにした噴射材回収部３５からブロアー２６の負圧にて吸い込まれ、吸い込まれた水及び削られた低融点ガラスペーストはサイクロン導管２９を経てサイクロン２３に入り、サイクロン２３にて捕集され捕集タンク１７に入る。

図９及び図１０に示すようにスリットノズル１５を囲うようにした噴射材回収部３５の下部にスリットノズル１５の長手方向と垂直方向にスリットノズル１５より加工基板１に吹き付けた噴射材である高圧エアーと水の混合流体４が拡散し噴射材回収部３５内に捕集されるように拡散板３４を設けることが望ましい。

また加工基板が噴射材回収部３５から一部外れたときに、噴射材回収部３５の負圧を保持するために噴射材回収部３５下部に負圧保持板３６を設けるようにする。

噴射材回収部３５と負圧保持板３６及び加工基板１との隙間は１０ミリ以内に設定するのが望ましい。

スリットノズル１５及び噴射材回収部３５はノズル駆動部２０により左右に揺動し、スリットノズル１５下に設置された加工基板１に均一に水と高圧エアーの混合流体が吹き付けら、吹き付けられた水及び削られた低融点ガラスペーストが回収されるようにする。

図６はスリットノズルより水蒸気を噴射する方式で、装置下部に設置されたホッパー下から吹き付けた水蒸気及び又は水及び又は削られた低融点ガラスペーストを吸い込むようにした装置であり、ボイラー２４にて発生した水蒸気が水蒸気導管２７を通りスリットノズル１５に導入される。

スリットノズル１５より水蒸気をスリットノズル先端の吹き出し口１４より噴射して水蒸気を加工基板１に吹き付ける。

スリットノズル１５はノズル駆動部２０により左右に揺動し、スリットノズル１５下に設置された低融点ガラスのパターン形成を行う加工基板１に均一に水蒸気が吹き付けられる。

水蒸気の代わりに水蒸気と高圧エアーの混合流体又は水蒸気と高圧エアーと高温水の混合流体又は水蒸気と高温水の混合流体をノズルより吹き付けても良い。

スリットノズル１５から噴射された水蒸気及び切削された低融点ガラスはブロアー２６の負圧により本体ホッパー２２からサイクロン導管２９を経て、サイクロン２３に入りサイクロン２３にて捕集され捕集タンク１７に入る。

捕集タンク１７内に捕集された水蒸気から発生した水と低融点ガラスは、水を除去することにより再び低融点ガラスを低融点ガラスペーストの原料として使用することが可能となる。

図８はスリットノズル１５の周りを囲い、上部よりブロアー２６の負圧により噴射材である水蒸気４を吸い込むようにした噴射材回収部３５を設け、加工基板１に吹き付けた噴射材である水蒸気４を吹き付けながら吸い込み、吸い込んだ水蒸気による水及び切削した低融点ガラスペーストをサイクロン２３にて回収するようにした装置であり、ボイラー２４にて発生した水蒸気が水蒸気導管２７を通りスリットノズル１５に導入される。

スリットノズル先端の吹き出し口１４より水蒸気を噴射して水蒸気を加工基板１に吹き付ける。

図９及び図１０に示すように吹き付けられた水蒸気及び削られた低融点ガラスペーストはスリットノズル１５を囲うようにした噴射材回収部３５からブロアー２６の負圧にて吸い込まれ、吸い込まれた水蒸気による水及び削られた低融点ガラスペーストはサイクロン導管２９を経てサイクロン２３に入り、サイクロン２３にて捕集され捕集タンク１７に入る。

図９及び図１０に示すようにスリットノズル１５を囲うようにした噴射材回収部３５の下部にスリットノズル１５の長手方向と垂直方向にスリットノズル１５より加工基板１に吹き付けた噴射材である水蒸気４が拡散し噴射材回収部３５内に捕集されるように拡散板３４を設けることが望ましい。

スリットノズル１５及び噴射材回収部３５はノズル駆動部２０により左右に揺動し、スリットノズル１５下に設置された加工基板１に均一に水蒸気が吹き付けられ、吹き付けられた水及び削られた低融点ガラスペーストが回収されるようにする。

。
加工基板１はコンベア駆動部２１の駆動により前後に搬送される。

以下に前述した本発明の現像方法の実施例について具体的に説明する。

低融点ガラスペースト用粉末として酸化鉛を６０％含んだ旭硝子（株）製ＡＳＦ−ＳＷＦ０２５を使用する。

水溶性バインダーとして日本酢ビ・ポバール（株）製のポリビニルアルコールＪＦ−２０を温水に溶解して、低融点ガラスペーストを分散させて低融点ガラスペーストを作成した。

該低融点ガラスペーストを１５０ミリ×１５０ミリのガラス基板上に塗布乾燥させ、１８０ミクロンの膜厚の低融点ガラスペースト乾燥膜を形成した。

感光性ドライフィルムとして東京応化工業（株）製のＢＦ７０４にて低融点ガラスペースト上にライン幅９０ミクロンでピッチ２００ミクロンのストライプ状マスクパターンを形成した。

水加圧タンク１０内に水を２０リットル入れ、温度を９０℃に設定する。

ラミネート露光した加工基板をスリットノズル１５の下まで搬送させ、スリットノズル１５を左右にノズル速度５ｍ／ｍｉｎで２００ミリ幅を揺動しながら、水加圧タンク１０とスリットノズル１５に高圧エアーを導入し、スリットノズル１５より高圧エアーと温水の混合流体を吹き付けて低融点ガラスの切削加工を行った。

水加圧タンク１０への高圧エアー圧は０．１ＭＰａでスリットノズル１５への高圧エアー圧は０．２ＭＰａに設定し、スリットノズル１５から基板までの距離は３０ミリに設定した。

このときスリットノズル１５内の圧力は０．０９ＭＰａであった。

高圧エアー及び温水の噴射時間は３分行い、現像液が３分で約１．５リットル噴射された。

モノエタノールアミン３％溶液に加工した基板を入れ、パターン形成された低融点ガラス上の感光性ドライフィルムを温度２５℃にて剥離した。

加工基板１を５５０℃にて加熱して低融点ガラスによる幅８５ミクロンでピッチ２００ミクロン高さ１５０ミクロンの隔壁を形成した。

サイクロン２３から捕集タンクに捕集されたスリットノズル１５から噴射された水と切削された低融点ガラスを取り出し、濾過乾燥して低融点ガラスの粉末を分離することができた。

感光性ドライフィルムとして東京応化工業（株）製のＢＦ７０４にて低融点ガラスペースト上にライン幅７０ミクロンでピッチ２００ミクロンのストライプ状マスクパターンを形成した。

ラミネート露光した加工基板をスリットノズル１５の下まで搬送させ、スリットノズル１５を左右にノズル速度５ｍ／ｍｉｎで２００ミリ幅を揺動しながら、スリットノズル１５より水蒸気を圧力０．３ＭＰａにて吹き付けて低融点ガラスの切削加工を行った。

加工基板を５５０℃にて加熱して低融点ガラスによる幅６５ミクロンでピッチ２００ミクロン高さ１５０ミクロンの隔壁を形成した。

サイクロン２３から捕集タンク１７に捕集されたスリットノズル１５から噴射された水蒸気による水と切削された低融点ガラスを取り出し、濾過乾燥して低融点ガラスの粉末を分離することができた。

本発明の産業上の利用可能性としては、プラズマディスプレイ等の平面ディスプレイ等に使用される低融点ガラスによる隔壁形成や電極形成に於いて、切削された低融点ガラスのリサイクルを可能にし、消耗品として水又は水蒸気を使うのみで製造コストの低い低融点ガラスのパターン形成方法を提供することにより、より安価なプラズマディスプレイ等フラットパネルディスプレイができる。

本発明の加工プロセスを示した工程図である。従来のサンドブラスト加工プロセスを示した工程図である。本発明で使用する水と高圧エアーを噴射する装置の概要を示した正面図である。本発明で使用する水と高圧エアーを噴射するスリットノズルのアイソメ図である。本発明で使用する水と高圧エアーを噴射する装置の概要を示した正面図である。本発明で使用する水蒸気を噴射する装置の概要を示した正面図である。本発明で使用する水蒸気を噴射するスリットノズルのアイソメ図である。本発明で使用する水蒸気を噴射する装置の概要を示した正面図である。噴射材を噴射しながら回収するようにしたスリットノズル及び噴射材回収部の断面図である。噴射材を噴射しながら回収するようにしたスリットノズル及び噴射材回収部のアイソメ図である。スリットノズルの吹き出し口の開口部の参考図である。

符号の説明

１ガラス基板
２感光性ドライフィルム（感光性レジスト）
３パターン形成された感光性ドライフィルム
４噴射材（高圧エアー＋水又は水蒸気）
６低融点ガラスペースト
７低融点ガラスペースト乾燥膜
８アドレス電極
９放電空間
１０水加圧タンク
１１パターンマスク
１２パターン形成された低融点ガラス乾燥膜
１３水導入部
１４吹き出し口
１５スリットノズル
１６サンドブラストノズル
１７低融点ガラス捕集タンク
１８研磨材＋高圧エアー
１９水供給タンク
２０ノズル駆動部
２１コンベア駆動部
２２本体ホッパー
２３サイクロン
２４ボイラー
２５タンク加圧弁
２６ブロアー
２７水蒸気導管（水蒸気ホース）
２８高圧エアー導管（高圧エアーホース）
２９サイクロン導管
３０コーター
３１水導管
３４拡散板
３５噴射材回収部
３６負圧保持板
３７コンベアローラー
３８噴射材吸い込み口
４０高圧エアー
４１ブロアーの負圧
４２噴射された高圧エアー又は水蒸気の流れ

Claims

低融点ガラスペーストのバインダーとして水溶性のバインダーを使用して、該低融点ガラスペーストを塗布乾燥させた低融点ガラス乾燥膜上にレジストにてパターンを形成後、ノズルの吹き出し口の断面が縦に対し横が５倍以上長いスリット形状ノズル内に高圧エアーを導入加圧し、該高圧エアーにて加圧されたスリットノズル内に高圧エアー又はポンプにより加圧された水を導入し、該スリットノズル先端部吹き出し口より高圧エアーと水の混合流体を加工基板に吹き付け、吹き付けた水をブロアーの負圧により吸い込みレジスト以外の低融点ガラスを除去することにより低融点ガラスのパターンを形成することを特徴とする低融点ガラスのパターン形成方法。
低融点ガラスペーストのバインダーとして水溶性のバインダーを使用して、該低融点ガラスペーストを塗布乾燥させた低融点ガラス乾燥膜上にレジストにてパターンを形成後、水を水加圧タンク内に充填し、水加圧タンクを加圧するか、水をポンプにて加圧し、ノズルに連結された水導管に供給後、水導管中に高圧エアーを供給することにより、水導管に連結された縦に対し横が５倍以上長いスリット形状ノズルより水と高圧エアーの混合流体を加工基板に吹き付け、吹き付けた水をブロアーの負圧により吸い込みレジスト以外の低融点ガラスを除去することにより低融点ガラスのパターンを形成することを特徴とする低融点ガラスのパターン形成方法。
低融点ガラスペーストのバインダーとして水溶性のバインダーを使用して、該低融点ガラスペーストを塗布乾燥させた低融点ガラス乾燥膜上にレジストにてパターンを形成後、ノズルの吹き出し口の断面が縦に対し横が５倍以上長いスリット形状ノズルから水蒸気又は水蒸気を含有する高圧流体又は水蒸気と高温水の混合流体を加工基板に吹き付け、吹き付けた水蒸気をブロアーの負圧により吸い込みレジスト以外の低融点ガラスを除去することにより低融点ガラスのパターンを形成することを特徴とする低融点ガラスのパターン形成方法。
請求項１及び又は請求項２及び又は請求項３記載の低融点ガラスのパターン形成方法に於いて、水溶性のバインダーとしてポリビニルアルコール樹脂を使用することを特徴とする低融点ガラスペースト材料。
請求項１及び又は請求項２及び又は請求項３記載の低融点ガラスのパターン形成方法に於いて、水溶性のバインダーとしてポリビニルアルコール樹脂を使用し、ポリビニルアルコール樹脂のケン化度により、溶解温度が変化することを利用し、ポリビニルアルコールの溶解温度以上に加熱した高圧水と高圧エアーの混合流体又は水蒸気又は水蒸気を含有する高圧流体をノズルより吹き付けてレジスト部以外の低融点ガラスを除去することにより低融点ガラスのパターン形成を行い、ポリビニルアルコールの溶解温度以下でレジストの現像と剥離を行うことを特徴とする低融点ガラスのパターン形成方法。
請求項１及び又は請求項２及び又は請求項３記載の低融点ガラスのパターン形成方法に使用するレジストに於いて、該レジストに感光性を有するドライフィルム又は感光材料を含有する感光性低融点ガラスペーストを使用することを特徴とする低融点ガラスのパターン形成方法。
請求項１及び又は請求項２及び又は請求項３記載の低融点ガラスのパターン形成方法に於いて、スリットノズルの周りを囲い、スリットノズル吹き出し口より上部に設けられた噴射材吸い込み口よりブロアーの負圧によりスリットノズルより吹き付けられた水と高圧エアーの混合流体又は水蒸気又は水蒸気を含有する高圧流体又は水蒸気と高温水の混合流体を吸い込むようにした噴射材回収部を設け、スリットノズルより噴射され加工基板に吹き付けた高圧エアー及び又は水及び又は水蒸気をスリットノズルより加工基板に吹き付けながら高圧エアー及び又は水及び又は水蒸気及び又は切削された低融点ガラスを吸い込むことを特徴とする低融点ガラスのパターン形成方法。
請求項１及び又は請求項２及び又は請求項３記載の低融点ガラスのパターン形成方法に使用するパターン形成装置に於いて、パターン形成装置内部又はスリットノズル外周部に設置された噴射材回収部内をブロアーの負圧により負圧にし、ブロアーとパターン形成装置本体又はブロアーと噴射材回収部の間にサイクロンを設置しサイクロンによりノズルから吹き付けた水蒸気又は水により除去された低融点ガラス及を回収することを特徴とする低融点ガラスのパターン形成装置。
請求項１記載の低融点ガラスのパターン形成方法に使用するパターン形成装置に於いて、スリットノズル内に水を導入するために、パイプ側面に穴を一定ピッチであけた水導入部又は、パイプ側面に形成したスリット形状の水導入部より加圧した水をノズル内に導入することを特徴とする低融点ガラスのパターン形成装置。
請求項１及び又は請求項２及び又は請求項３記載の低融点ガラスのパターン形成方法に使用するパターン形成装置に於いて、ノズルから水と高圧エアーの混合流体又は水蒸気又は水蒸気を含有する高圧流体を吹き付けながらノズル及び又は噴射材回収部を左右に揺動し基板を前後に搬送することによりレジスト部以外の低融点ガラスをパターン切削することを特徴とする低融点ガラスのパターン形成装置。