JP2007064834A - デバイス特性測定システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
デバイスの端子に接触するプローブとパルスジェネレータを同軸ケーブルの途中に電流測定用のシャント抵抗を設け、そのシャント抵抗の両端の電位差をアクティブ差動プローブによって検出し、電位差に応じた信号を信号波形観測手段によって観測するよう構成して、デバイスに流れる電流を測定する。また、シャント抵抗に並列にコンデンサを接続することにより周波数特性が改善される。
【選択図】 図1
Description
"Low-Field Amorphous State Resistance and Threshold Voltage Drift in Chalcogenide Materials", PIROVANO et al., IEEE Transactions on Electron Devices, Vol. 51 Issue 5 pp. 714-719, May 2004 "Phase-change chalcogenide nonvolatile RAM completely based on CMOS technology", Hwang, Y.N. et al., VLSI Technology, Systems, and Applications, 2003 International Symposium pp. 29-31, Oct. 2003
12 半導体ウエハ
13 プローブカード
14 プローブ
20 パルスジェネレータ
30 オシロスコープ
40 アクティブ差動プローブ
50 アクティブプローブ
60、61、62 シャント抵抗
71 同軸ケーブル
72 同軸ケーブル
90、91、92 コンデンサ
Claims (12)
- 被測定対象のデバイスの特性を測定するデバイス特性測定システムであって、
パルスを発生するパルスジェネレータと、
前記デバイスの端子と電気的に接触する第1のプローブと、
前記デバイスに流れる電流を測定するための抵抗と、
前記第1のプローブの出力端子と前記抵抗の一端とを電気的に接続する第1のケーブルと、
前記パルスジェネレータの出力と前記抵抗の他端とを電気的に接続する第2のケーブルと、
前記抵抗の両端に電気的に接続され、前記抵抗の電位差に対応する信号を出力する第2のプローブと、
前記第2のプローブから出力された信号の波形を観測する第1の信号波形観測手段と
を具備することを特徴とするデバイス特性測定システム。 - 前記抵抗の前記一端に電気的に接続された第3のプローブと、
前記第3のプローブから出力された信号の波形を観測する第2の信号波形観測手段と
をさらに具備することを特徴とする請求項1記載のデバイス特性測定システム。 - 前記第3のプローブは入力インピーダンスが出力インピーダンスより高いアクティブプローブであることを特徴とする請求項2記載のデバイス特性測定システム。
- 前記抵抗に並列に接続された周波数特性を改善するためのコンデンサをさらに具備することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のデバイス特性測定システム。
- 前記コンデンサの容量は、前記デバイスを流れる電流の波形と前記第1の信号波形観測手段によって観測される波形とがほぼ同一の波形となるような値であることを特徴とする請求項4記載のデバイス特性測定システム。
- 被測定対象のデバイスの特性を測定するデバイス特性測定システムであって、
パルスを発生するパルスジェネレータと、
前記デバイスの端子と電気的に接触する第1のプローブと、
前記デバイスに流れる電流を測定するための、直列接続された第1の抵抗と第2の抵抗とからなる直列合成抵抗と、
前記第1のプローブの出力端子と前記直列合成抵抗の一端とを電気的に接続する第1のケーブルと、
前記パルスジェネレータの出力と前記直列合成抵抗の他端とを電気的に接続する第2のケーブルと、
前記直列合成抵抗の両端に電気的に接続され、前記直列合成抵抗の電位差に対応する信号を出力する第2のプローブと、
前記第2のプローブから出力された信号の波形を観測する第1の信号波形観測手段と、
前記直列合成抵抗と並列に接続された周波数特性を改善するための第1のコンデンサと、
前記直列合成抵抗の前記他端と前記第1の抵抗及び前記第2の抵抗の直列接続点とに電気的に接続された第2のコンデンサと
を具備することを特徴とするデバイス特性測定システム。 - 前記直列合成抵抗の前記一端に電気的に接続された第3のプローブと、
前記第3のプローブから出力された信号の波形を観測する第2の信号波形観測手段と
をさらに具備することを特徴とする請求項6記載のデバイス特性測定システム。 - 前記第3のプローブは入力インピーダンスが出力インピーダンスより高いアクティブプローブであることを特徴とする請求項7記載のデバイス特性測定システム。
- 前記デバイスは半導体ウエハに作られたものであり、前記第1のプローブは、半導体プローバ内に設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載のデバイス特性測定システム。
- 前記第2のプローブは入力インピーダンスが出力インピーダンスより高いアクティブプローブであることを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれか一項に記載のデバイス特性測定システム。
- 前記デバイスは、相変化メモリであることを特徴とする請求項1乃至請求項10記載のデバイス特性測定システム。
- 前記第1のケーブル及び前記第2のケーブルは同軸ケーブルであることを特徴とする請求項1乃至請求項11記載のデバイス特性測定システム。
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