JP2007041870A - ガス流量制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ガス配管2の途中に設けられる流量制限部材8に、予め設定された径及び長さで、かつ、角部のない切り溝15を機械加工することによってコンダクタンスを所定の公式に基いて算出可能な単一の制限流路16を形成し、その単一制限流路16によるコンダクタンスCと圧力差(P1−P2)とにより、プロセスチャンバー1へ供給されるガス流量Qを設定する。
【選択図】 図1
Description
Q=C・(P1−P2) ……(1)
なる式で設定される。なお、P1:P2=100:1の場合は、P2を無視して、
Q=C・P1 ……(2)
なる式で設定可能である。
前記流量制限部材に、予め設定された径及び長さで、かつ、角部のない切り溝を機械加工することによって前記コンダクタンスを所定の公式に基いて算出可能な単一の制限流路を形成し、この流量制限部材の単一制限流路によるコンダクタンスと前記圧力差とにより二次側への供給ガス流量を設定することを特徴とするものである。
C=1349×d4 /l×(P1−P2)/2 ……(3)
なる簡易な公式に基いて正確に算出することができる。また、制限流路の単一化によって、流量が極端に低下するデッドボリウムや、詰まり、滞留等の流れの不確定要素を最大限に抑制することが可能であり、上記コンダクタンスの再現性を確保することができる。したがって、限られた占有スペース内にガス流量を決定する上で必要不可欠なコンダクタンスを容易かつ正確に算出することができ、この正確なコンダクタンスを既述(1)式または(2)式に代入することでガス流量を安定よく、かつ、再現性よく設定し、製造プロセスへのガス供給量のばらつきをなくして製造品質の安定化に大きく寄与できるという効果を奏する。
この場合は、流量制限部材における円柱体と円筒体とを軸線方向に相対移動させて複数の制限流路の一つを選択使用することにより、コンダクタンスを複数段に変化させて供給ガス流量を広範囲に亘って設定変更することが可能となり、これによって、同一のガス配管を通して製造プロセスに異なる複数のガスをプロセス内容に見合った量で供給するといったマルチガス化、ワイドレンジ化を容易に実現でき、ガス流量制御方法を実現するために用いられるマスフローコントローラの製造及び保管コストの削減効果をも達成することができる。
図1は半導体プロセス等の各種製造プロセスにおいて必要な種々のガスを供給するためのガス配送システムの概要図であって、プロセスチャンバー1に接続されたガス配管2に、第1のガス圧力調整機構3と第1開閉バルブ4とガス流量制御機構5と第2のガス圧力調整機構6と第2開閉バルブ7とが上流側から下流側にかけて順番に配設されている。
C=1349×d4 /l×(P1−P2)/2 ……(3)
なる所定の公式に基いてコンダクタンスCを算出可能な単一の制限流路16が形成されている。
8 流量制限部材
11 ガス導入口
12,14 円板
15,19a〜19c 切り溝
16,20a〜20c 制限流路
17 円筒体
18 コンダクタンスビレット(円柱体)
P1 一次圧力
P2 二次圧力
C,C1〜C3 コンダクタンス
Claims (4)
- ガス配管の途中に流量制限部材を設け、この流量制限部材よりも上流側の一次圧力及び下流側の二次圧力の差と前記流量制限部材の制限流路によるコンダクタンスとにより、二次側へ供給されるガス流量を設定するガス流量制御方法であって、
前記流量制限部材に、予め設定された径及び長さで、かつ、角部のない切り溝を機械加工することにより前記コンダクタンスを所定の公式に基いて算出可能な単一の制限流路を形成し、この流量制限部材の単一制限流路によるコンダクタンスと前記圧力差とにより二次側への供給ガス流量を設定することを特徴とするガス流量制御方法。 - 前記流量制限部材の単一制限流路が、ガス配管に同心接続可能なガス導入口を中心部に有する円板のガス流線方向に垂直な面に、前記ガス導入口を起点として渦巻き形状に機械加工された切り溝によって形成されたものである請求項1に記載のガス流量制御方法。
- 前記流量制限部材の単一制限流路が、ガス配管に同心接続可能な円筒体内に嵌合保持された円柱体の外周面に、ガス流線方向に沿って螺旋状に機械加工された切り溝によって形成されたものである請求項1に記載のガス流量制御方法。
- 前記ガス配管に同心接続可能な円筒体内に嵌合保持された円柱体の外周面でその軸線方向に間隔を隔てた複数個所に、ガス流線方向に沿って螺旋状に機械加工された径及び/または長さの異なる複数の切り溝によってガス流線方向に複数の単一制限流路を形成し、この流量制限部材における前記円柱体と前記円筒体との軸線方向相対移動により、複数の単一制限流路のいずれか一つを選択使用して二次側への供給ガス流量を設定変更可能としている請求項3に記載のガス流量制御方法。
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