JP2007033392A - 放射線分析装置と放射線分析方法、及びそれを用いたx線計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パルス信号印加手段7を備え、パルス信号印加手段からの電流パルスをバイアス電流供給手段52の出力に加算することによりTES1にパルス信号を加える。さらに、波高分析器4から出力された波高スペクトルを有限時間間隔で複数回測定し保存し、保存された波高スペクトルのパルス信号に対応するピーク位置と実際のエネルギーの値が一致するように感度係数を導出し、それを用いて感度校正してエネルギースペクトルを与える演算処理装置18を備える。
【選択図】 図1
Description
図12に、放射線検出素子としてTESを用いた従来技術による放射線分析装置の構成図を示す。放射線検出素子であるTES1を動作させる電力を供給するための電力供給手段52は、バイアス電流源2とシャント抵抗10から構成される。また、TES1に流れる電流を検出する信号読み出し手段21は、超伝導量子干渉素子(SQUID:Superconducting QUantum Interference Device)8とSQUID駆動回路9から構成される。SQUID駆動回路9によりSQUID8を駆動し、TES1からの信号をSQUID8で電気信号に変換され、その電気信号をSQUID駆動回路9で増幅し電圧信号に変換される。
D. A. Wollman 他、High-resolution、 energy-dispersive microcalorimeter spectrometer for X-ray microanalysis、"J. Microscopy"、1997、vol.188、p.196-222
TES1で試料から放射される放射線を検出する。
このような感度校正を定期的に行うことにより、エネルギースペクトルのシフトを防ぐことができる。実際の分析では、試料が発する放射線によって得られる波高スペクトルに対して、感度校正によって得られた感度係数を用いてエネルギースペクトルに換算する。
(実施の形態2)
本実施例の構成は、図1で示した実施形態1と同じである。また、分析方法のフローチャートも実施形態1で説明したものと同じである。ただし、印加するパルス信号に、波高値の異なる2種類のパルスを使用する点が異なる。
図8には、計算により求められた結果が校正曲線803および校正曲線804として表されている。校正曲線803は時間3後に用いられる校正曲線を、また、校正曲線804は時間4後に用いられる校正曲線を表す。これらの校正曲線により、入射エネルギーに対する感度係数を求めることができる。演算処理装置18では、校正曲線803、804から時間3、時間4におけるエネルギーに対する感度係数を求め、さらに、その感度係数を用いて、波高分析手段4から出力された波高スペクトルをエネルギースペクトルを校正する。
(実施の形態3)
図10に実施の形態3にかかわる本発明の放射線分析装置を用いたX線計測装置の構成図を示す。本実施形態のX線計測装置は、電子線を試料に照射することで試料から放出されるX線を検出して試料の定性分析・定量分析などを行う。真空環境にできる分析室43内に、試料Sを設置する試料ステージ47と、電子線照射部44と、電子線検出部46と、放射線検出装置45とを備え、分析室の真空環境を保ち試料を導入するための試料導入部42が分析室に接続されている構成である。
2 バイアス電流源
3 波形整形器
4 波高分析器
7 パルス信号発生器(パルス信号印加手段)
8 超伝導量子干渉素子(SQUID)
9 SQUID駆動回路
10 シャント抵抗
11 基板
12 メンブレン(熱リンク)
13 吸収体
14 抵抗体
15 電極
16 コールドブロック
18 演算処理装置
20 冷却装置
21 信号読み出し手段
36 SQUIDループ
38 入力コイル
42 試料導入部
43 分析室
44 電子線照射部
45 X線分光部
46 電子線検出部
47 試料ステージ
51 放射線検出素子
52 電力供給手段
53 表示装置
Claims (7)
- 放射線エネルギーを温度変化として検出する放射線検出素子と、
前記放射線検出素子を駆動する電力供給手段と、
前記放射線検出素子からの信号を電気信号に変換し増幅する信号読み出し手段と、
前記増幅された電気信号の波形をパルス信号に整形処理する波形整形器と、
前記パルス信号を波高スペクトルに対応して選別する波高分析器とからなる放射線分析装置において、
前記放射線検出素子に電流パルスを印加するパルス信号印加手段と、
前記波高分析器から出力された波高スペクトルと前記電流パルスに対応するエネルギースペクトルとから感度補正を行う演算処理装置とを備えることを特徴とする放射線分析装置。 - 請求項1記載の放射線分析装置において、
前記放射線検出素子が、超伝導転移端センサであることを特徴とする放射線分析装置。 - 請求項1または2記載の放射線分析装置において、
前記電流パルスが異なる2種類以上の波高値であることを特徴とする放射線分析装置。 - 筐体と該筐体に納められた電子線、イオン、X線のいずれかを放出する線源と、試料ホルダとを備え、
該試料ホルダ上の試料に前記電子線、イオン、X線のいずれかを照射し、前記試料から発生するX線のエネルギーを分析することを特徴とする請求項1乃至3記載の放射線分析装置を用いたX線計測装置。 - 電力供給手段によって放射線検出素子に電力を供給する工程と、
放射線照射によって試料から放射される放射線を放射線検出素子で検出する工程と、
前記放射線検出素子からの信号を信号読み出し手段によって電気信号に変換し増幅する工程と、
波形整形器により前記電気信号をパルス信号に波形整形処理する工程と、
波高分析器により前記波形整形されたパルス信号を波高値に対応して選別する工程と、
波高分析器で前記選別された波高値に対応した計数値を示す波高スペクトルにする工程とからなる放射線分析方法において、
パルス信号印加手段から電流パルスを放射線検出素子に供給する工程と、
前記波高分析器から出力された前記電流パルスを含む波高スペクトルを演算処理装置回路で保存する工程と、
該演算処理装置で、前記保存された波高スペクトルの前記電流パルス信号に対応する波高エネルギーと前記電流パルスに対応するエネルギースペクトルとから感度係数を求める工程を有することを特徴とする放射線分析方法。 - 請求項5に記載の放射線分析方法において
前記放射線検出素子が、超伝導転移端センサであることを特徴とする放射線分析方法。 - 請求項5または6に記載の放射線分析方法において、
前記パルス信号印加手段から前記電流パルスを前記放射線検出素子に印加する工程で、波高値の異なる2種類以上の前記電流パルスを印加し、
前記演算処理装置で、前記保存された波高スペクトルの前記電流パルスに対応する波高エネルギーと前記電流パルスに対応するエネルギースペクトルとから感度係数を求める工程で、前記異なる2種類以上の前記電流パルスごとに感度係数を求めることを特徴とする放射線分析方法。
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JP2007033392A true JP2007033392A (ja) | 2007-02-08 |
JP2007033392A5 JP2007033392A5 (ja) | 2008-05-22 |
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